JPH071829B2 - 多層セラミック基板の製造方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、多層セラミック基板の製造技術に関し、特に
シート積層法による製造工程に適用して有効な技術に関
する。

〔従来の技術〕

たとえば、所望の電子回路などの構築するに際して、複
数の回路素子などの実装に用いられる配線基板の一種と
して、いわゆる多層セラミック基板がある。

この多層セラミック基板の製造技術としては、たとえ
ば、特開昭62-124947号公報に開示されるようなシート
積層法が知られている。

すなわち、焼成前の可塑性のグリーンシートを額縁状の
枠材に貼り付けることで所定の強度の付与および取り扱
いの容易化を図った後、厚さ方向に貫通するバイアホー
ルの穿設および当該バイホールへの導体材料の充填、さ
らには平面への所望の配線パターンの形成を行う。

そして、上述のようにして得られた複数のグリーンシー
トを所定の順序で積層した状態で、枠材の内側に位置す
る要部を打ち抜き、さらに所定の温度での焼成を施すこ
とで、個々のグリーンシートに形成された配線パターン
がバイアホールに充填された導体を介して所望の接続状
態となるようにした多層セラミック基板を得るものであ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上述のような枠材を用いるシート積層法を用
いる多層セラミック基板の量産工程では、グリーンシー
トを打ち抜いた後のグリーンシート屑が付着した枠材が
多数発生することになり、枠材を再利用する場合には、
グリーンシート屑の除去作業が必須となる。

ところが、上記の従来技術では、枠材に貼り付けられた
個々のグリーンシートの重ね合わせ精度の向上による断
線不良は短絡不良の防止には注意が払われているが、グ
リーンシート屑が付着した枠材の再利用については言及
していない。

このため、たとえば、枠材を再利用すべく当該枠材に付
着したグリーンシート屑の除去作業を人手によって行う
場合には、多くの工数や時間を要するという問題があっ
た。

そこで、本発明の目的は、グリーンシートが貼り付けら
れる枠材を再利用することが可能な多層セラミック基板
の製造方法を提供することにある。

本発明の他の目的は、枠材からのグリーンシート屑の除
去を自動的に行うことで、枠材の再利用を効率良く行う
ことが可能な多層セラミック基板の製造装置を提供する
ことにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明になる多層セラミック基板の製造方法
は、 矩形の額縁状の枠材の一側面の４辺に、外形寸法が枠材
の内法寸法よりも大きく厚さが枠材りよりも小さな矩形
のグリーンシートの４辺を接着剤を用いて貼り付ける第
１の工程と、グリーンシートに所望の加工を施す第２工
程と、個別に枠材に保持された複数枚のグリーンシート
の要部を個別に打ち抜いた後に重ね合わせる第３の工程
と、打ち抜かれた積層状態の前記グリーンシートの要部
を焼成する第４の工程と、枠材に残存する接着剤および
グリーンシート屑からなる異物を除去する第５の工程と
からなり、 第５の工程は、異物が付着した枠材を70℃〜80℃の温度
に加温された市水または工業用水からなる温水に浸漬す
る第６の工程と、枠材における異物の付着面に摺接する
剥離刀および枠材の両面に摺接する一対の回転ブラシを
用いて異物を剥離する第７の工程と、枠材に市水または
工業用水からなる洗浄液を噴射する第８の工程と、枠材
に気体を吹き付けて乾燥させる第９の工程とからなるも
のである。

また、本発明になる多層セラミック基板の製造装置は、 一側面の４辺に接着剤およびグリーンシート屑からなる
異物が付着した矩形の額縁状の枠材の受け入れを行うロ
ーダ部と、 枠材を異物の付着面が上向きとなるように反転させる反
転機構と、異物が付着した枠材が浸漬される70℃〜80℃
の温度に加温された市水または工業用水からなる温水が
貯留される温水槽と、枠材に付着した異物を剥離する剥
離手段と、剥離手段から到来する枠材に市水または工業
用水からなる洗浄液を吹き付ける洗浄ノズルとからなる
剥離・洗浄部と、 枠材に対して市水または工業用水からなる洗浄液を吹き
付ける仕上げスプレーおよび枠材に対して空気を吹き付
けるエアーブローからなり、剥離後の枠材の洗浄および
乾燥を行う仕上げ部と、 仕上げ後の枠材の払い出しを行うアンローダ部と、 ローダ部からアンローダ部に至る枠材の搬送動作を行う
搬送機構とからなり、 温水槽は、底部側面が連通する第１温水槽および第２温
水槽からなり、第１温水槽に搬入される枠材を連通部を
通じて第２温水槽から取り出す構成を有し、 剥離手段は、枠材におけるグリーンシート屑および接着
剤からなる異物の付着面に摺接して剥離動作を行う剥離
刀と、枠材の両面に摺接する一対の回転ブラシとからな
り、 搬送機構は、ローダ部から反転機構へと枠材を受け渡す
吸着ヘッドと、反転機構において反転された枠材を第１
温水槽の内部を降下させる搬送チェーンと、第１温水槽
の底部から第２温水槽の底部へと枠材を移動させる搬送
ローラと、搬送ローラから到来する枠材を第２温水槽の
内部において上昇させる搬送チェーンと、剥離刀に対す
る枠材に摺接時に当該枠材を固定する動作および枠材を
一対の回転ブラシの間に送り込む動作を行う枠固定ロー
ラと、一対の回転ブラシの間から到来する枠材を、仕上
げ部を通過させてアンローダ部に送り込む搬送ローラと
からなるものである。

〔作用〕

上記した本発明の多層セラミック基板の製造方法によれ
ば、第５の工程が、グリーンシート屑などの異物が付着
した枠材を温水に浸漬し、当該枠材にグリーンシートを
貼り付ける際に使用された接着剤などを温水によって膨
潤状態にする第６の工程と、枠材に剥離工具を摺接させ
てグリーンシート屑を剥離する第７の工程と、枠材に洗
浄液を噴射する第８の工程と、枠材に気体を吹き付けて
乾燥させる第９の工程とで構成されているので、グリー
ンシート屑などからなる異物を確実に除去することがで
き、枠材を第１の工程で再利用することが可能となる。

また、本発明になる多層セラミック基板の製造装置によ
れば、枠材を温水に浸漬することによって、当該枠材に
グリーンシートを貼り付ける際に使用された接着剤など
を膨潤状態にする操作と、剥離手段を構成する剥離刀に
よるグリーンシート屑などの異物の除去と、回転ブラシ
による残留接着剤などの異物の除去と、その後の洗浄お
よび乾燥操作などからなる仕上げとからなる一連の処理
が、自動的に確実に行われる。

これにより、グリーンシート屑などの異物が付着した使
用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業者などが
介入することなく、当該枠材に付着していたグリーンシ
ート屑や接着剤などの異物が完全に除去された再利用可
能な状態の枠材がアンローダ部に得られるので、枠材の
再利用を効率良く行うことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例である多層セラミック基板の製
造方法およびそれが実施される製造装置について図面を
参照しながら詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例である多層セラミック基板
の製造装置の斜視図であり、第２図（Ａ）はその一部の
断面図、また同図（Ｂ）はその一部の平面図であり、同
図（Ｃ）は同図（Ａ）において線Ｙ−Ｙで示される部分
の断面図である。

また、第３図および第４図は、同じくその一部を取り出
して示す側面図および斜視図であり、第５図（Ａ）〜
（Ｇ）は、シート積層法による多層セラミック基板の製
造工程の概略を示す説明図である。

まず、本実施例の多層セラミック基板の製造方法および
装置に一例についての説明に先立って、多層セラミック
基板の一般的な製造方法の一例について、第５図を参照
しながら説明する。

最初の枠貼り工程（第１の工程）においては、たとえ
ば、和糊などの接着剤を用いてステンレス鋼などからな
る枠材１に対して、グリーンシート２の貼り付けを行
う。これは、焼成前のグリーンシート２は可塑性である
ため、平面形状が安定に維持されるように強度を付与し
て、以降の工程における取り扱いを容易にするためであ
る。

本実施例における枠材１は、たとえば、外形寸法260×2
50mmで内形寸法200×200mmの厚さ1mmの矩形の額縁状を
呈しており、この枠材１の一側面の４辺に外形寸法215
×215mmで厚さ0.23mmのグリーンシート２の４辺が支持
されるように貼り付けられる。

次の穴明け工程（第２の工程）においては、枠材１に固
定されたグリーンシート２に対して、厚さ方向に貫通す
る複数の接続孔2aを所定の位置に精密に穿設する。

その後、穴埋め工程（第２の工程）において、グリーン
シート２に穿設されている接続孔2aに対して、図示しな
い導電性のペーストを充填する。

さらに、印刷工程（第２の工程）においては、グリーン
シート２に対して、導電性ペーストが充填されている接
続孔2aを所定の状態に接続するような配線パターン2bの
印刷を行う。

上述のような枠貼り工程〜印刷工程を繰り返すことによ
って、複数のグリーンシート２の各々には、当該グリー
ンシート２の後述の積層位置による固有の接続孔2aの配
置及び配線パターン2bの形成が行われる。

こうして得られた複数のグリーンシート２は、積層工程
（第３の工程）において、枠材１を上側にした姿勢で個
別に枠材１の内側の要部が打ち抜かれ、その後、当該グ
リーンシート２に穿設されている接続孔2aの位置および
配線パターン2bの形状などに応じて、所定の順序で精密
に積み重ねられる。

そして、精密に積み重ねられた複数のグリーンシート２
は、図示しない接着および焼成工程などを経ることによ
り、接続孔2aに充填されていた導電性ペーストが焼成さ
れて（第４の工程）形成される導体によって、個々のグ
リーンシート２に形成されていた配線パターン2bが所望
の状態に電気的に接続されるとともに、積層された複数
枚のグリーンシート２が焼成によって一体の高強度のセ
ラミックス板となった多層セラミック基板が形成され
る。

一方、前述の積層工程においてグリーンシート２の要部
が打ち抜かれた用済の枠材１には、第５図（Ｆ）および
（Ｇ）に示されるように、グリーンシート屑2cなどの異
物が額縁状に残存した状態となる。

以下に示す本実施例の多層セラミック基板の製造方法お
よび装置は、この打ち抜き後の用済の枠材１に付着した
グリーンシート屑2cを除去（第５の工程）を自動的に行
って、当該枠材１の枠貼り工程における再利用を図ると
ともに、再利用の効率化を実現するものである。

すなわち、第１図に示されるように、本実施例の多層セ
ラミック基板に製造装置は、大別して、剥離・洗浄部４
と、この剥離・洗浄部４を挟む位置に設けられたローダ
部５およびアンローダ部15とで構成されている。

ローダ部５は、パレット７などの搬送治具に投げ積みさ
れて到来する、グリーンシート屑2cが付着した複数の枠
１の受入作業を行うものであり、パレット７に載置され
た複数の枠材１を個別に保持して、剥離・洗浄部４の側
に搬送する動作を行う吸着ヘッド6aと、当該吸着ヘッド
6aの直下にパレット７を搬送する搬送レール5aなどで構
成されている。

また、アンローダ部15は、剥離・洗浄部４において清浄
にされ、再利用可能にされて到来する枠材１を、所定の
枚数毎にパレット７に積み重ねて払い出す作業を行うも
のであり、枠材１を保持してパレット７に順次積み重ね
る動作を行う吸着ヘッド6bと、当該吸着ヘッド6bの直下
へのパレット７の搬送動作などを行う搬送レール15aと
を備えている。

一方、剥離・洗浄部４には、複数の第１温水槽16と第２
温水槽17とが設けられており、両者は、底部側面に形成
されたスリット部17aを介して連通している。

また、第１温水槽16および第２温水槽17には、第１温水
槽16の側に設けられたヒータ18によって70℃〜80℃の温
度に加温された市水または工業用水からなる温水Ｗが貯
留されている。この温水Ｗの温度は、第１温水槽16およ
び第２温水槽17を枠材１が通過する時間内に当該枠材１
に付着している異物が膨潤して剥離しやすい状態となる
ように設定する必要があり、通過時間は単位時間当たり
の枠材１の処理枚水に依存するが、実用的には上述の70
℃〜80℃の温度に設定することが望ましいことが本発明
者らによって明らかにされている。

第１温水槽16および第２温水槽17の各々の内部には、複
数組の搬送チェーン20aおよび搬送チェーン20bと、前記
スリット部17aの高さに設けられた複数の搬送ローラ21
とが設けられている。

搬送チェーン20aおよび20bの各々の外周部には、複数の
ガイド19が突設されており、同一の高さに突設された複
数のガイド19によって枠材１を水平な姿勢で個別に支持
し、その状態で、第１温水槽16の側の搬送チェーン20a
は降下動作を行い、第２温水槽17の側の搬送チェーン20
bは上昇動作を行うようになっている。

また、複数の搬送ローラ21は、搬送チェーン20aによっ
て第１温水槽16の内部をスリット部17aの高さまで降下
した枠材１を挟持して、第２温水槽17の搬送チェーン20
bの側に水平に移動させる動作を行うものである。

これにより、枠材１は、第１温水槽16の内部を降下し、
底部側面のスリット部17aを通過して第２温水槽17の側
に水平に移動し、さらに当該第２温水槽17の内部を上昇
するという経路を辿って移動することになり、たとえば
単に温水Ｗの中を水平方向に移動させる場合などに比較
して第１温水槽16および第２温水槽17の設置床面積を必
要以上に大きくすることなく、枠材１が、第１温水槽16
および第２温水槽17に貯留されている温水Ｗに浸漬され
る時間が充分に確保されるものである。

第１温水槽16の直上部には、複数の吸着パッド８を備え
た反転機構９が設けられており、ローダ部５の側から吸
着ヘッド6aに保持されて個別に搬送されて来る個々の枠
材１の姿勢を反転させた後に搬送チェーン20aに保持さ
せる動作を行うようになっている。

すなわち、前述のように、積層工程においては、グリー
ンシート２は、当該グリーンシート２を保持する枠材１
を上にした状態で積み重ねられるので、当該積層工程を
経た後の複数の枠材１は、当該枠材１の下面にグリーン
シート屑2cが付着した状態で、パレット７に投げ積みさ
れてローダ部５に到来することになるが、本実施例の後
述のような剥離作業においてはグリーンシート屑2cが付
着した面が上になるほうが都合がよいので、反転機構９
による枠材１の反転動作を行わせるものである。

搬送チェーン20bによって枠材１が温水Ｗから取り出さ
れる第２温水槽17の直上部には、当該枠材１を上側から
支持するように配設された複数の枠固定用ローラ22と、
回動軸23a（24a）を軸とする回動動作によって枠材１の
下側を四方から押圧することにより、当該枠材１を枠固
定用ローラ22との間に挟圧して保持する一対の枠固定ガ
イド23および一対の枠固定ガイド24とが設けられてい
る。

さらに、この枠固定用ローラ22および枠固定ガイド23,2
4の直上部には、剥離刀10が設けられている。

この剥離刀10は、第３図に示されるように、中央部に係
合され、当該剥離刀10を枠材１に押圧する方向の摺接力
25を発生するエアーシリンダ26によって上下動するとと
もに、当該エアーシリンダ26を介して支持される剥離刀
駆動機構34によって水平方向における移動動作を行うよ
うになっている。

この場合、剥離刀10の両端部は、シャフト27を介して剥
離刀駆動機構34に支持されている。すなわち、このシャ
フト27は、剥離刀駆動機構34の側に固定されたベアリン
グ28に挿通されることによって軸方向に滑動自在に案内
されるとともに、一端に螺着された調整ナット30を介し
て同軸に挿通されるスプリング29に係合されており、こ
のスプリング29から発生する、前記摺接力25とは逆方向
の反摺接力32を剥離刀10に作用される。

この摺接力25に抗する反摺接力32は、シャフト27に螺着
された調整ナット30の当該シャフト27に対する螺着位置
を変化させることによって所望の値に設定可能であると
ともに、設定後は当該調整ナット30とともに螺着されて
いるロックナット31によって安定に維持される構造とな
っている。すなわち、調整ナット30をベアリング28に接
近させる方向に締め込むことにより、摺接力25に抗する
反摺接力32が大きくなるようになっている。

これにより、後述のようなグリーンシート屑2cの剥離作
業において、剥離刀10を枠材１に対して摺接させる際
に、エアーシリンダ26から剥離刀10に作用する摺接力25
を予め最適な大きさに設定して、枠材１の損傷などを防
止するものである。

また、本実施例の場合には、第４図に示すように、剥離
刀10は、剥離力駆動機構34による枠材１に対する移動方
向に対して直交する方向から所定の傾斜角度θだけ傾斜
した姿勢で、すなわち矩形の枠材１の一辺に平行な方向
に対して所定の傾斜角度θだけ傾斜した姿勢で当該剥離
刀駆動機構34に支持されている。

これにより、剥離力10に先行する側の刃先10aの通過に
よって枠材１の反りが水平にされた後、当該刃先10aに
遅れて移動する刃先10bに至る領域が枠材１の上を通過
することとなり、枠材１の内側の開口縁と剥離刀10の刃
先が噛み合うことが回避され、枠材１の損傷が防止され
るものである。

また、剥離刀10の材質としては、枠材１よりも硬度の小
さい樹脂や金属が用いられる。

一方、枠材１を支持する枠固定用ローラ22とアンローダ
部15との間には、上下方向から枠材１を挟持するように
配置された複数対の搬送ローラ22aが、枠固定用ローラ2
2とほぼ同じ高さに配列されている。

そして、この搬送ローラ22aの配列方向には、枠材１の
上下両面に対して摺接するように配置された一対の回転
ブラシ11,回転ブラシ12と、この回転ブラシ11および12
と枠材１との摺接部に対して上下両側から洗浄液を噴射
する洗浄ノズル11aおよび洗浄ノズル12aと、枠材１の上
下両面に対して仕上げの洗浄を施す仕上げスプレー13
と、枠材１に付着した液滴を吹き飛ばして乾燥させる操
作を行うエアーブロー14とが順に配置されている。

この場合、洗浄ノズル11aおよび12aから噴射される洗浄
液は、たとえば、2kg/cm²以上の圧を有する市水または
工業用水からなり、この噴射圧によって枠材１に残留付
着している異物を吹き飛ばして除去するものである。

以下、本実施例の多層セラミック基板の製造方法および
装置の作用の一例を説明する。

まず、前述の積層工程において、グリーンシート２の打
ち抜き後に生じた、グリーンシート屑2cが付着した複数
の枠材１は、当該グリーンシート屑2cが付着した面を下
にしたままパレット７に投げ積みされ、当該パレット７
とともにローダ部５に搬送される。

ローダ部５においては、搬送レール5aの動作によって、
枠材１が投げ積みされているパレット７を吸着ヘッド6a
の直下に移動させる。

その後、吸着ヘッド6aは、パレット７の最上部の一枚の
枠材１を吸着して保持し、第１温水槽16の上部に位置す
る反転機構９の吸着パレット８に移動させる。

反転機構９は、吸着パッド８によって枠材１を保持した
状態で半回転することにより、枠材１を反転させ、グリ
ーンシート屑2cが付着した面が上向きになるようにし
て、直下に位置する搬送チェーン20aのガイド19に枠材
１を載置する。

その後、搬送チェーン20aの降下動作により、第１温水
槽16の内部に貯留されている温水Ｗの内部に枠材１の全
体が浸漬され、この状態で、枠材１は、第１温水槽16の
底部に達した後、搬送ローラ21による搬送動作によっ
て、スリット部17aを通過して第２温水槽17の側を搬送
チェーン20bに移動する。

さらに、搬送チェーン20bの上昇動作によって枠材１
は、第２温水槽17の温水Ｗに浸漬された状態で上昇す
る。

この第１温水槽16および第２温水槽17の温水Ｗを通過す
る間に、枠材１にグリーンシート屑2cを固着させている
和糊などの接着剤の膨潤が充分に促進され、グリーンシ
ート屑2cは枠材１から剥離しやすい状態となる。（第６
の工程） そして、第２温水槽17の内部を上昇する枠材１は、温水
Ｗの液面上に出た後、複数対の枠固定ガイド23および24
の90度回転などによる保持動作によて直上部に位置する
枠固定用ローラ22に下側から押圧されて固定される。

次に、エアーシリンダ26による摺接力25と、シャフト27
を介してスプリング29から作用する反摺接力32の差だけ
の押圧力によって剥離刀10は降下して枠材１の一端側に
押圧され、その状態で剥離刀駆動機構34によって他端側
（アンローダ部15の側）に水平に剥離刀10を移動するこ
とにより、枠材１に付着していたグリーンシート屑2cを
除去する。（第７の工程） このグリーンシート屑2cの剥離動作に際して、本実施例
の場合には、前述のように、摺接力調整機構33によって
剥離刀10の枠材１に対する当接力を所望の大きさに加減
しているので、剥離刀10が枠材１に対して過大な力で摺
接することがなく、枠材１の損傷を確実に防止すること
ができる。

また、剥離刀10をその移動方向に対して所定の傾斜角度
θだけ傾斜させているので、先行する側の刃先10aによ
って枠材１の反りが水平された後、刃先10aから当該刃
先10aよりも遅れて移動する後続の刃先10bに至る領域が
枠材１を移動することとなり、剥離刀10が額縁状の枠材
１に摺接して移動する間に当該枠材１の開口縁などと剥
離刀10の刃先とが噛み合うことが回避され、枠材１の損
傷が防止される。

こうして、グリーンシート屑2cを除去した後、剥離刀10
は上昇して枠材１から離れる。

その後、枠固定用ローラ22を回転させることにより、枠
材１は回転ブラシ11と12との間に送り込まれ、表面に残
留している和糊などの接着剤が確実に除去される。（第
７の工程） さらに、回転する搬送ローラ22aに上下から保持される
ことにより、枠材１は後段の仕上げスプレー13の間を通
過し、当該仕上げスプレー13からの洗浄水などの噴射を
受けて清浄化される。（第８の工程） その後、エアーブロー14の間を通過して液滴などが除去
されて乾燥される。（第９の工程） こうして、清浄にされた枠材１は、吸着ヘッド6bに保持
されてアンローダ部15のパレット７に積まれ、所定の枚
数になった時点で払い出され、前述の枠貼り工程に搬送
されて再利用される。

以上説明したように、本実施例の多層セラミック基板の
製造方法および装置によれば、一連の製造工程経た後の
用済の枠材１に付着したグリーンシート屑2cや接着剤な
どからなる異物を除去を行うことで、当該枠材１の枠貼
り工程での再利用を図ることができる。

また、枠材１に付着したグリーンシート屑2cや接着剤な
どの異物の除去作業が、人手に介在させることなく自動
的に行われるので、枠材１の再利用を大幅に効率化する
ことができる。

この結果、多層セラミック基板の製造工程における生産
性が向上する。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前述実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。

すなわち、本発明になる多層セラミック基板の製造方法
によれば、矩形の額縁状の枠材の一側面の４辺に、外形
寸法が前記枠材の内法寸法よりも大きく厚さが前記枠材
よりも小さな矩形のグリーンシートの４辺を接着剤を用
いて貼り付ける第１の工程と、前記グリーンシートに所
望の加工を施す第２の工程と、個別に前記枠材に保持さ
れた複数枚の前述グリーンシートの要部を個別に打ち抜
いた後に重ね合わせる第３の工程と、打ち抜かれた積層
状態の前記グリーンシートの前記要部を焼成する第４の
工程と、前記枠材に残存する接着接着剤およびグリーン
シート屑からなる異物を除去する第５の工程とからな
り、 前記第５の工程は、前記異物が付着した前記枠材を70℃
〜80℃の温度に加温された市水または工業用水からなる
温水に浸漬する第６の工程と、前記枠材における前記異
物の付着面に摺接する剥離刀および前記枠材の両面に摺
接する一対の回転ブラシを用いて前記異物を剥離する第
７の工程と、前記枠材に市水または工業用水からなる洗
浄液を噴射する第８の工程と、前記枠材に気体を吹き付
けて乾燥させる第９の工程とからなるので、グリーンシ
ート屑を確実に除去することができ、グリーンシート屑
などの異物が除去された枠材を第１の工程で再利用する
ことが可能となる。

また、本発明になる多層セラミック基板の製造装置によ
れば、一側面の４辺に接着剤およびグリーンシート屑か
らなる異物が付着した矩形の額縁状の枠材の受け入れを
行うローダ部と、 前記枠材を前記異物の付着面が上向きとなるように反転
させる反転機構と、前記異物が付着した枠材が浸漬され
る70℃〜80℃の温度に加温された市水または工業用水か
らなる温水が貯留される温水槽と、前記枠材に付着した
前記異物を剥離する剥離手段と、前記剥離手段から到来
する前記枠材に市水または工業用水からなる洗浄液を吹
き付ける洗浄ノズルとからなる剥離・洗浄部と、 前記枠材に対して市水または工業用水からなる洗浄液を
吹き付ける仕上げスプレーおよび前記枠材に対して空気
を吹き付けるエアーブローからなり、剥離後の前記枠材
の洗浄および乾燥を行う仕上げ部と、 仕上げ後の前記枠材の払い出しを行うアンローダ部と、 前記ローダ部から前記アンローダ部に至る前記枠材の搬
送動作を行う搬送機構とからなり、 前記温水槽は、底部側面が連通する第１温水槽および第
２温水槽からなり、前記第１温水槽に搬入される前記枠
材を前記連通部を通じて第２温水槽から取り出す構成を
有し、 前記剥離手段は、前記枠材における前記グリーンシート
屑および接着剤からなる異物の付着面に摺接して剥離動
作を行う剥離刀と、前記枠材の両面に摺接する一対の回
転ブラシとからなり、 前記搬送機構は、前記ローダ部から前記反転機構へと前
記枠材を受け渡す吸着ヘッドと、前記反転機構において
反転された前記枠材を前記第１温水槽の内部を降下させ
る搬送チェーンと、前記第１温水槽の底部から前記第２
温水槽の底部へと前記枠材を移動させる搬送ローラと、
前記搬送ローラから到来する前記枠材を前記第２温水槽
の内部において上昇させる搬送チェーンと、前記剥離刀
に対する前記枠材に摺接時に当該枠材を固定する動作お
よび前記枠材を前記一対の回転ブラシの間に送り込む動
作を行う枠固定ローラと、前記一対の回転ブラシの間か
ら到来する前記枠材を、前記仕上げ部を通過させて前記
アンローダ部に送り込む搬送ローラとからなるので、枠
材を温水に浸漬することによって、当該枠材にグリーン
シートを貼り付ける際に使用された接着剤などを膨潤状
態にする操作と、剥離手段を構成する剥離刀によるグリ
ーンシート屑の除去と、回転ブラシによる残留接着剤な
どの除去と、その後の洗浄および乾燥操作などからなる
仕上げとからなる一連の処理を自動的に行うことができ
る。

これにより、グリーンシート屑や接着剤などの異物が付
着した使用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業
者などが介入することなく、当該枠材に付着していたグ
リーンシート屑や接着剤などの異物が完全に除去された
再利用可能な状態の枠材がアンローダ部に得られるの
で、枠材の再利用を効率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である多層セラミック基板
の製造装置の斜視図、 第２図（Ａ）〜（Ｃ）は、その一部の断面図および平面
図、 第３図は、同じくその一部を取り出して示す側面図、 第４図は、同じくその一部を取り出して示す斜視図、 第５図（Ａ）〜（Ｃ）は、シート積層法による多層セラ
ミック基板の製造工程の概略を示す説明図である。 １……枠材、２……グリーンシート、2a……接続孔、2b
……配線パターン、2c……グリーンシート屑（異物）、
４……剥離・洗浄部、５……ローダ部、5a……搬送レー
ル、6a……吸着ヘッド、6b……吸着ヘッド、７……パレ
ット、８……吸着パッド、９……反転機構、10……剥離
刀、10a,10b……刃先、θ……刃先の傾斜角度、11……
回転ブラシ、11a……洗浄ノズル、12……回転ブラシ、1
2a……洗浄ノズル、13……仕上げスプレー、14……エア
ーブロー、15……アンローダ部、15a……搬送レール、1
6……第１温水槽、17……第２温水槽、17a……スリット
部、Ｗ……温水、18……ヒータ、19……ガイド、20a…
…搬送チェーン、20b……搬送チェーン、21……搬送ロ
ーラ、22……枠固定用ローラ、22a……搬送ローラ、23,
24……枠固定ガイド、23a,24a……回動軸、25……摺接
力、26……エアーシリンダ、27……シャフト、28……ベ
アリング、29……スプリング、30……調整ナット、31…
…ロックナット、32……反摺接力、33……摺接力調整機
構、34……剥離刀駆動機構。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形の額縁状の枠材の一側面の４辺に、外
   形寸法が前記枠材の内法寸法よりも大きく厚さが前記枠
   材よりも小さな矩形のグリーンシートの４辺を接着剤を
   用いて貼り付ける第１の工程と、前記グリーンシートに
   所望の加工を施す第２の工程と、個別に前記枠材に保持
   された複数枚の前記グリーンシートの要部を個別に打ち
   抜いた後に重ね合わせる第３の工程と、打ち抜かれた積
   層状態の前記グリーンシートの前記要部を焼成する第４
   の工程と、前記枠材に残存する前記接着剤およびグリー
   ンシート屑からなる異物を除去する第５の工程とからな
   り、 前記第５の工程は、前記異物が付着した前記枠材を70℃
   〜80℃の温度に加温された市水または工業用水からなる
   温水に浸漬する第６の工程と、前記枠材における前記異
   物の付着面に摺接する剥離刀および前記枠材の両面に摺
   接する一対の回転ブラシを用いて前記異物を剥離する第
   ７の工程と、前記枠材に市水または工業用水からなる洗
   浄液を噴射する第８の工程と、前記枠材に気体を吹き付
   けて乾燥させる第９の工程とからなることを特徴とする
   多層セラミック基板の製造方法。
2. 【請求項２】一側面の４辺に接着剤およびグリーンシー
   ト屑からなる異物が付着した矩形の額縁状の枠材の受け
   入れを行うローダ部と、 前記枠材を前記異物の付着面が上向きとなるように反転
   させる反転機構と、前記異物が付着した枠材が浸漬され
   る70℃〜80℃の温度に加温された市水または工業用水か
   らなる温水が貯留される温水槽と、前記枠材に付着した
   前記異物を剥離する剥離手段と、前記剥離手段から到来
   する前記枠材に市水または工業用水からなる洗浄液を吹
   き付ける洗浄ノズルとからなる剥離・洗浄部と、 前記枠材に対して市水または工業用水からなる洗浄液を
   吹き付ける仕上げスプレーおよび前記枠材に対して空気
   を吹き付けるエアーブローからなり、剥離後の前記枠材
   の洗浄および乾燥を行う仕上げ部と、 仕上げ後の前記枠材の払い出しを行うアンローダ部と、 前記ローダ部から前記アンローダ部に至る前記枠材の搬
   送動作を行う搬送機構とからなり、 前記温水槽は、底部側面が連通する第１温水槽および第
   ２温水槽からなり、前記第１温水槽に搬入される前記枠
   材を前記連通部を通じて第２温水槽から取り出す構成を
   有し、 前記剥離手段は、前記枠材における前記グリーンシート
   屑および接着剤からなる異物の付着面に摺接して剥離動
   作を行う剥離刀と、前記枠材の両面に摺接する一対の回
   転ブラシとからなり、 前記搬送機構は、前記ローダ部から前記反転機構へと前
   記枠材を受け渡す吸着ヘッドと、前記反転機構において
   反転された前記枠材を前記第１温水槽の内部を降下させ
   る搬送チェーンと、前記第１温水槽の底部から前記第２
   温水槽の底部へと前記枠材を移動させる搬送ローラと、
   前記搬送ローラから到来する前記枠材を前記第２温水槽
   の内部において上昇させる搬送チェーンと、前記剥離刀
   に対する前記枠材に摺接時に当該枠材を固定する動作お
   よび前記枠材を前記一対の回転ブラシの間に送り込む動
   作を行う枠固定ローラと、前記一対の回転ブラシの間か
   ら到来する前記枠材を、前記仕上げ部を通過させて前記
   アンローダ部に送り込む搬送ローラとからなることを特
   徴とする多層セラミック基板の製造装置。
3. 【請求項３】前記剥離刀は、当該剥離刀の中央部に傾動
   自在に係合して前記枠材に対する摺接圧を発生させるエ
   アーシリンダと、当該剥離刀の両端部に係合され、ばね
   によって可変な反摺接力を前記エアーシリンダによる前
   記摺接圧に抗して前記剥離刀に作用させることにより、
   当該剥離刀に作用する前記摺接圧を調節する可動支持手
   段とからなる摺接圧調整機構を備えたことを特徴とする
   請求項２記載の多層セラミック基板の製造装置。
4. 【請求項４】前記剥離刀の前記枠材に対する摺接時の相
   対的な移動方向に対して、当該剥離力の長手方向を所定
   の角度だけ傾斜させるようにしたことを特徴とする請求
   項２または３記載の多層セラミック基板の製造装置。
5. 【請求項５】前記枠材に摺接する前記剥離手段を構成す
   る材料の硬度が当該枠材よりも小さくなるようにしたこ
   とを特徴とする請求項２記載の多層セラミック基板の製
   造装置。