JPH0388389A - 多層セラミック基板の製造方法および装置 - Google Patents
多層セラミック基板の製造方法および装置Info
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- JPH0388389A JPH0388389A JP1224952A JP22495289A JPH0388389A JP H0388389 A JPH0388389 A JP H0388389A JP 1224952 A JP1224952 A JP 1224952A JP 22495289 A JP22495289 A JP 22495289A JP H0388389 A JPH0388389 A JP H0388389A
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Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多層セラミック基板の製造技術に関し、特に
シート積層法による製造工程に適用して有効な技術に関
する。
シート積層法による製造工程に適用して有効な技術に関
する。
たとえば、所望の電子回路などを構築するに際して、複
数の回路素子などの実装に用いられる配線基板の一種と
して、いわゆる多層セラミック基板がある。
数の回路素子などの実装に用いられる配線基板の一種と
して、いわゆる多層セラミック基板がある。
この多層セラミック基板の製造技術としては、たとえば
、特開昭62−124947号公報に開示されるような
シート積層法が知られている。
、特開昭62−124947号公報に開示されるような
シート積層法が知られている。
すなわち、焼成前の可塑性のグリーンシートをn縁状の
枠材に貼り付けることで所定の強度の付与および取り扱
いの容易化を図った後、厚さ方向に貫通するバイアホー
ルの穿設および当該バイアホールへの導体材料の充填、
さらには平面への所望の配線パターンの形成を行う。
枠材に貼り付けることで所定の強度の付与および取り扱
いの容易化を図った後、厚さ方向に貫通するバイアホー
ルの穿設および当該バイアホールへの導体材料の充填、
さらには平面への所望の配線パターンの形成を行う。
そして、上述のようにして得られた複数のグリーンシー
トを所定の順序で積層した状態で、枠材の内側に位置す
る要部を打ち抜き、さらに所定の温度での焼成を施すこ
とで、個々のグリーンシートに形成された配線パターン
がバイアホールに充填された導体を介して所望の接続状
態となるようにした多層セラミック基板を得るものであ
る。
トを所定の順序で積層した状態で、枠材の内側に位置す
る要部を打ち抜き、さらに所定の温度での焼成を施すこ
とで、個々のグリーンシートに形成された配線パターン
がバイアホールに充填された導体を介して所望の接続状
態となるようにした多層セラミック基板を得るものであ
る。
ところで、上述のような枠材を用いるシート積層法を用
いる多層セラミック基板の量産工程では、グリーンシー
トを打ち抜いた後のグリーンシート屑が付着した枠材が
多数発生することになり、枠材を再利用する場合には、
グリーンシート屑の除去作業が必須となる。
いる多層セラミック基板の量産工程では、グリーンシー
トを打ち抜いた後のグリーンシート屑が付着した枠材が
多数発生することになり、枠材を再利用する場合には、
グリーンシート屑の除去作業が必須となる。
ところが、上記の従来技術では、枠材に貼り付けられた
個々のグリーンシートの重ね合わせ精度の向上による断
線不良や短絡不良の防止には注意が払われているが、グ
リーンシート屑が付着した枠材の再利用については言及
していない。
個々のグリーンシートの重ね合わせ精度の向上による断
線不良や短絡不良の防止には注意が払われているが、グ
リーンシート屑が付着した枠材の再利用については言及
していない。
このため、たとえば、枠材を再利用すべく当該枠材に付
着したグリーンシート屑の除去作業を人手によって行う
場合には、多くの工数や時間を要するという問題があっ
た。
着したグリーンシート屑の除去作業を人手によって行う
場合には、多くの工数や時間を要するという問題があっ
た。
そこで、本発明の目的は、グリーンシートが貼り付けら
れる枠材を再利用することが可能な多層セラミック基板
の製造方法を提供することにある。
れる枠材を再利用することが可能な多層セラミック基板
の製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、枠材からのグリーンシート屑の除
去を自動的に行うことで、枠材の再利用を効率良く行う
ことが可能な多層セラミック基板の製造装置を提供する
ことにある。
去を自動的に行うことで、枠材の再利用を効率良く行う
ことが可能な多層セラミック基板の製造装置を提供する
ことにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明になる多層セラミック基板の製造方法
は、枠材にグリーンシートを貼り付ける第1の工程と、
グリーンシートに所望の加工を施す第2の工程と、個別
に枠材に保持された複数枚のグリーンシートを重ね合わ
せて要部を打ち抜く第3の工程と、打ち抜かれた積層状
態のグリーンシートを焼成する第4の工程と、枠材に残
存する異物を除去する第5の工程とからなるものである
。
は、枠材にグリーンシートを貼り付ける第1の工程と、
グリーンシートに所望の加工を施す第2の工程と、個別
に枠材に保持された複数枚のグリーンシートを重ね合わ
せて要部を打ち抜く第3の工程と、打ち抜かれた積層状
態のグリーンシートを焼成する第4の工程と、枠材に残
存する異物を除去する第5の工程とからなるものである
。
また、本発明になる多層セラミック基板の製造装置は、
異物が付着した枠材の受け入れを行うローダ部と、異物
が付着した枠材が浸漬される温液が貯留される温液槽と
、枠材に付着した異物を剥離する剥離手段と、剥離後の
枠材の洗浄および乾燥の少なくとも一方を行う仕上げ部
と、仕上げ後の枠材の払い出しを行うアンローダ部と、
ローダ部からアンローダ部に至る枠材の搬送動作を行う
搬送機構とからなるものである。
異物が付着した枠材の受け入れを行うローダ部と、異物
が付着した枠材が浸漬される温液が貯留される温液槽と
、枠材に付着した異物を剥離する剥離手段と、剥離後の
枠材の洗浄および乾燥の少なくとも一方を行う仕上げ部
と、仕上げ後の枠材の払い出しを行うアンローダ部と、
ローダ部からアンローダ部に至る枠材の搬送動作を行う
搬送機構とからなるものである。
上記した本発明の多層セラミック基板の製造方法によれ
ば、たとえば、第5の工程を、グリーンシート屑などの
異物が付着した枠材を温液に浸漬し、当該枠材にグリー
ンシートを貼り付ける際に使用された接着剤などを温液
によって膨潤状態にする第6の工程と、枠材に剥離工具
を摺接させてグリーンシート屑を剥離する第7の工程と
、枠材に洗浄液を噴射する第8の工程と、枠材に気体を
吹き付けて乾燥させる第9の工程とで構成することによ
り、グリーンシート屑などからなる異物を確実に除去す
ることができ、枠材を第1の工程で再利用することが可
能となる。
ば、たとえば、第5の工程を、グリーンシート屑などの
異物が付着した枠材を温液に浸漬し、当該枠材にグリー
ンシートを貼り付ける際に使用された接着剤などを温液
によって膨潤状態にする第6の工程と、枠材に剥離工具
を摺接させてグリーンシート屑を剥離する第7の工程と
、枠材に洗浄液を噴射する第8の工程と、枠材に気体を
吹き付けて乾燥させる第9の工程とで構成することによ
り、グリーンシート屑などからなる異物を確実に除去す
ることができ、枠材を第1の工程で再利用することが可
能となる。
また、本発明にむる多層セラミック基板の製造装置によ
れば、枠材を温液に浸漬することによって、当該枠材に
グリーンシートを貼り付ける際に使用された接着剤など
を膨潤状態にする操作と、剥離手段を構成する剥離刀に
よるグリーンシート肩などの異物の除去と、回転ブラシ
による残留接着剤などの異物の除去と、その後の洗浄お
よび乾燥操作などからなる仕上げとからなる一連の処理
が、自動的に確実に行われる。
れば、枠材を温液に浸漬することによって、当該枠材に
グリーンシートを貼り付ける際に使用された接着剤など
を膨潤状態にする操作と、剥離手段を構成する剥離刀に
よるグリーンシート肩などの異物の除去と、回転ブラシ
による残留接着剤などの異物の除去と、その後の洗浄お
よび乾燥操作などからなる仕上げとからなる一連の処理
が、自動的に確実に行われる。
これにより、グリーンシート屑などの異物が付着した使
用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業者などが
介入することなく、当該枠材に付着していたグリーンシ
ート屑や接着剤などの異物が完全に除去された再利用可
能な状態の枠材がアンローダ部に得られるので、枠材の
再利用を効率良く行うことができる。
用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業者などが
介入することなく、当該枠材に付着していたグリーンシ
ート屑や接着剤などの異物が完全に除去された再利用可
能な状態の枠材がアンローダ部に得られるので、枠材の
再利用を効率良く行うことができる。
以下、本発明の一実施例である多層セラミック基板の製
造方法およびそれが実施される製造装置について図面を
参照しながら詳細に説明する。
造方法およびそれが実施される製造装置について図面を
参照しながら詳細に説明する。
第1図は、本発明の一実施例である多層セラミック基板
の製造装置の斜視図であり、第2図(A〉はその一部の
断面図、また同図(B)はその−部の平面図であり、同
図(C)は同図(A)において線Y−Yで示される部分
の断面図である。
の製造装置の斜視図であり、第2図(A〉はその一部の
断面図、また同図(B)はその−部の平面図であり、同
図(C)は同図(A)において線Y−Yで示される部分
の断面図である。
また、第3図および第4図は、同じくその一部を取り出
して示す側面図および斜視図であり、第5図(A)〜(
G)は、シート積層法による多層セラミック基板の製造
工程の概略を示す説明図である。
して示す側面図および斜視図であり、第5図(A)〜(
G)は、シート積層法による多層セラミック基板の製造
工程の概略を示す説明図である。
まず、本実施例の多層セラミック基板の製造方法および
装置の一例についての説明に先立って、多層セラミック
基板の一般的な製造方法の一例について、第5図を参照
しながら説明する。
装置の一例についての説明に先立って、多層セラミック
基板の一般的な製造方法の一例について、第5図を参照
しながら説明する。
最初の枠貼り工程(第1の工程)においては、たとえば
、和糊などの接着剤を用いてステンレス調などからなる
枠材1に対して、グリーンシート2の貼り付けを行う。
、和糊などの接着剤を用いてステンレス調などからなる
枠材1に対して、グリーンシート2の貼り付けを行う。
これは、焼成前のグリーンシート2は可塑性であるため
、平面形状が安定に維持されるように強度を付与して、
以降の工程における取り扱いを容易にするためである。
、平面形状が安定に維持されるように強度を付与して、
以降の工程における取り扱いを容易にするためである。
次の穴明は工程(第2の工程〉においては、枠材1に固
定されたグリーンシート2に対して、厚さ方向に貫通す
る複数の接続孔2aを所定の位置に精密に穿設する。
定されたグリーンシート2に対して、厚さ方向に貫通す
る複数の接続孔2aを所定の位置に精密に穿設する。
その後、穴埋め工程(第2の工程)において、グリーン
シート2に穿設されている接続孔2aに対して、図示し
ない導電性のペーストを充填する。
シート2に穿設されている接続孔2aに対して、図示し
ない導電性のペーストを充填する。
さらに、印刷工程(第2の工程)においては、グリーン
シート2に対して、導電性ペーストが充填されている接
続孔2aを所定の状態に接続するような配線パターン2
bの印刷を行う。
シート2に対して、導電性ペーストが充填されている接
続孔2aを所定の状態に接続するような配線パターン2
bの印刷を行う。
上述のような枠貼り工程〜印刷工程を繰り返すことによ
って、複数のグリーンシート2の各々には、当該グリー
ンシート2の後述の積層位置による固有の接続孔2aの
配置および配線パターン2bの形成が行われる。
って、複数のグリーンシート2の各々には、当該グリー
ンシート2の後述の積層位置による固有の接続孔2aの
配置および配線パターン2bの形成が行われる。
こうして得られた複数のグリーンシート2は、積層工程
(第3の工程〉において、当該グリーンシート2に穿設
されている接続孔2aの位置および配線パターン2bの
形状などに応じて、所定の順序で精密に積み重ねられた
後、所定の加圧力を受けながら、所定の図示しないプレ
ス機構などによって枠材lの内側の要部が打ち抜かれる
。
(第3の工程〉において、当該グリーンシート2に穿設
されている接続孔2aの位置および配線パターン2bの
形状などに応じて、所定の順序で精密に積み重ねられた
後、所定の加圧力を受けながら、所定の図示しないプレ
ス機構などによって枠材lの内側の要部が打ち抜かれる
。
なお、この積層工程においては、複数のグリーンシート
2は、当該グリーンシート2を保持する枠材1を上側に
した状態で積層される。
2は、当該グリーンシート2を保持する枠材1を上側に
した状態で積層される。
そして、積層状態で打ち抜かれた複数のグリーンシート
2は、図示しない接着および焼成工程などを経ることに
より、接続孔2aに充填されていた導電性ペーストが焼
成されて(第4の工程〉形成される導体によって、個々
のグリーンシート2に形成されていた配線パターン2b
が所望の状態に電気的に接続されるとともに、積層され
た複数枚のグリーンシート2が焼成によって一体の高強
度のセラミックス板となった多層セラミック基板が形成
される。
2は、図示しない接着および焼成工程などを経ることに
より、接続孔2aに充填されていた導電性ペーストが焼
成されて(第4の工程〉形成される導体によって、個々
のグリーンシート2に形成されていた配線パターン2b
が所望の状態に電気的に接続されるとともに、積層され
た複数枚のグリーンシート2が焼成によって一体の高強
度のセラミックス板となった多層セラミック基板が形成
される。
一方、前述の積層工程においてグリーンシート2の要部
が打ち抜かれた用済の枠材lには、第5図(F)および
(G)に示されるように、グリーンシート屑2Cなどの
異物が額縁状に残存した状態となる。
が打ち抜かれた用済の枠材lには、第5図(F)および
(G)に示されるように、グリーンシート屑2Cなどの
異物が額縁状に残存した状態となる。
以下に示す本実施例の多層セラミック基板の製造方法お
よび装置は、この打ち抜き後の用済の枠材1に付着した
グリーンシート屑2Cを除去(第5の工程)を自動的に
行って、当該枠材lの枠貼り工程における再利用を図る
とともに、再利用の効率化を実現するものである。
よび装置は、この打ち抜き後の用済の枠材1に付着した
グリーンシート屑2Cを除去(第5の工程)を自動的に
行って、当該枠材lの枠貼り工程における再利用を図る
とともに、再利用の効率化を実現するものである。
すなわち、第1図に示されるように、本実施例の多層セ
ラミック基板の製造装置は、大別して、剥離・洗浄部4
と、この剥離・洗浄部4を挟む位置に設けられたローダ
部5およびアンローダ部15とで構成されている。
ラミック基板の製造装置は、大別して、剥離・洗浄部4
と、この剥離・洗浄部4を挟む位置に設けられたローダ
部5およびアンローダ部15とで構成されている。
ローダ部5は、パレット7などの搬送治具に投げ積みさ
れて到来する、グリーンシート屑2Cが付着した複数の
枠材1の受入作業を行うものであり、パレット7に載置
された複数の枠材1を個別に保持して、剥離・洗浄部4
の側に搬送する動作を行う吸着ヘッド6aと、当該吸着
ヘッド6aの直下にパレット7を搬送する搬送レール5
aなどで構成されている。
れて到来する、グリーンシート屑2Cが付着した複数の
枠材1の受入作業を行うものであり、パレット7に載置
された複数の枠材1を個別に保持して、剥離・洗浄部4
の側に搬送する動作を行う吸着ヘッド6aと、当該吸着
ヘッド6aの直下にパレット7を搬送する搬送レール5
aなどで構成されている。
また、アンローダll515は、剥離・洗浄11B4に
おいて清浄にされ、再利用可能にされて到来する枠材1
を、所定の枚数毎にパレット7に積み重ねて払い出す作
業を行うものであり、枠材lを保持してパレット7に順
次積み重ねる動作を行う吸着ヘッド6bと、当該吸着へ
ラド6bの直下へのパレット7の搬送動作などを行う搬
送レール15aとを備えている。
おいて清浄にされ、再利用可能にされて到来する枠材1
を、所定の枚数毎にパレット7に積み重ねて払い出す作
業を行うものであり、枠材lを保持してパレット7に順
次積み重ねる動作を行う吸着ヘッド6bと、当該吸着へ
ラド6bの直下へのパレット7の搬送動作などを行う搬
送レール15aとを備えている。
一方、剥離・洗浄部4には、複数の第1温水槽16と第
2温水槽17とが設けられており、両者は、底部側面に
形成されたスリット部17aを介して連通している。
2温水槽17とが設けられており、両者は、底部側面に
形成されたスリット部17aを介して連通している。
また、第1温水槽16および第2温水槽17には、第1
温水槽16の側に設けられたヒータ18によって所定の
温度に加温された温水Wが貯留されている。
温水槽16の側に設けられたヒータ18によって所定の
温度に加温された温水Wが貯留されている。
第1温水槽16および第2温水槽17の各々の内部には
、複数組の搬送チェーン20aおよび搬送チェーン20
bと、前記スリット部17aの高さに設けられた複数の
搬送ローラ21とが設けられている。
、複数組の搬送チェーン20aおよび搬送チェーン20
bと、前記スリット部17aの高さに設けられた複数の
搬送ローラ21とが設けられている。
搬送チェーン20aおよび20bの各々の外周部には、
複数のガイド19が突設されており、同一の高さに突設
された複数のガイド19によって枠材1を水平な姿勢で
個別に支持し、その状態で、第1温水槽16の側の搬送
チェーン20aは降下動作を行い、第2温水槽17の側
の搬送チェーン20bは上昇動作を行うようになってい
る。
複数のガイド19が突設されており、同一の高さに突設
された複数のガイド19によって枠材1を水平な姿勢で
個別に支持し、その状態で、第1温水槽16の側の搬送
チェーン20aは降下動作を行い、第2温水槽17の側
の搬送チェーン20bは上昇動作を行うようになってい
る。
また、複数の搬送ローラ21は、搬送チェーン20aに
よって第1温水槽16の内部をスリット部17aの高さ
まで降下した枠材1を挟持して、第2温水槽17の搬送
チェーン20bの側に水平に移動させる動作を行うもの
である。
よって第1温水槽16の内部をスリット部17aの高さ
まで降下した枠材1を挟持して、第2温水槽17の搬送
チェーン20bの側に水平に移動させる動作を行うもの
である。
これにより、枠材lは、第1温水槽16の内部を降下し
、底部側面のスリット部17aを通過して第2温水槽1
7の側に水平に移動し、さらに当該第2温水槽17の内
部を上昇するという経路を辿って移動することになり、
たとえば単に温水Wの中を水平方向に移動させる場合な
どに比較して第1温水槽16および第2温水槽17の設
置床面積を必要以上に大きくすることなく、枠材1が、
第1温水櫂16および第2温水槽17に貯留されている
温水Wに浸漬される時間が充分に確保されるものである
。
、底部側面のスリット部17aを通過して第2温水槽1
7の側に水平に移動し、さらに当該第2温水槽17の内
部を上昇するという経路を辿って移動することになり、
たとえば単に温水Wの中を水平方向に移動させる場合な
どに比較して第1温水槽16および第2温水槽17の設
置床面積を必要以上に大きくすることなく、枠材1が、
第1温水櫂16および第2温水槽17に貯留されている
温水Wに浸漬される時間が充分に確保されるものである
。
第1温水槽16の直上部には、複数の吸着パッド8を備
えた反転機構9が設けられており、ローダB5の側から
吸着ヘッド6aに保持されて個別に搬送されて来る個々
の枠材1の姿勢を反転させた後に搬送チェーン20aに
保持させる動作を行うようになっている。
えた反転機構9が設けられており、ローダB5の側から
吸着ヘッド6aに保持されて個別に搬送されて来る個々
の枠材1の姿勢を反転させた後に搬送チェーン20aに
保持させる動作を行うようになっている。
すなわち、前述のように、積層工程においては、グリー
ンシート2は、当該グリーンシート2を保持する枠材l
を上にした状態で積み重ねられるので、当該積層工程を
経た後の複数の枠材1は、5咳枠材lの下面にグリーン
シート屑2Cが付着した状態で、パレット7に投げ積み
されてローダ部5に到来することになるが、本実施例の
後述のような剥離作業においてはグリーンシート屑2C
が付着した面が上になるほうが都合がよいので、反転機
構9による枠材1の反転動作を行わせるものである。
ンシート2は、当該グリーンシート2を保持する枠材l
を上にした状態で積み重ねられるので、当該積層工程を
経た後の複数の枠材1は、5咳枠材lの下面にグリーン
シート屑2Cが付着した状態で、パレット7に投げ積み
されてローダ部5に到来することになるが、本実施例の
後述のような剥離作業においてはグリーンシート屑2C
が付着した面が上になるほうが都合がよいので、反転機
構9による枠材1の反転動作を行わせるものである。
搬送チ1−ン20bによって枠材lが温水Wから取り出
される第2温水槽17の直上部には、5咳枠材1を上側
から支持するように配列された複数の枠固定用ローラ2
2と、回動軸23a(24a)を軸とする回動動作によ
って枠材1の下側を四方から押圧することにより、当該
枠材1を枠固定用ローラ、22との間に挟圧して保持す
る一対の枠固定ガイド23および一対の枠固定ガイド2
4とが設けられている。
される第2温水槽17の直上部には、5咳枠材1を上側
から支持するように配列された複数の枠固定用ローラ2
2と、回動軸23a(24a)を軸とする回動動作によ
って枠材1の下側を四方から押圧することにより、当該
枠材1を枠固定用ローラ、22との間に挟圧して保持す
る一対の枠固定ガイド23および一対の枠固定ガイド2
4とが設けられている。
さらに、この枠固定用ローラ22および枠固定ガイド2
3.24の直上部には、剥離刀lOが設けられている。
3.24の直上部には、剥離刀lOが設けられている。
この剥離刀lOは、第3図に示されるように、中央部に
係合され、当該剥離刀lOを枠材1に押圧する方向の摺
接力25を発生するエアーシリンダ26によって上下動
するとともに、当該エアーシリンダ26を介して支持さ
れる剥離刀駆動機構34によって水平方向における移動
動作を行うようになっている。
係合され、当該剥離刀lOを枠材1に押圧する方向の摺
接力25を発生するエアーシリンダ26によって上下動
するとともに、当該エアーシリンダ26を介して支持さ
れる剥離刀駆動機構34によって水平方向における移動
動作を行うようになっている。
この場合、剥離刀10の両端部は、シャフト27を介し
て剥離刀駆動機構34に支持されている。
て剥離刀駆動機構34に支持されている。
すなわち、このシャフト27は、剥離刀駆動機構34の
側に固定されたべ一アリング28に挿通されることによ
って軸方向に滑動自在に案内されるとともに、一端に螺
着された調整ナツト30を介して同軸に挿通されるスプ
リング29に係合されており、このスプリング29から
発生する、前記摺接力25とは逆方向の反摺接力32を
剥離刀10に作用させている。
側に固定されたべ一アリング28に挿通されることによ
って軸方向に滑動自在に案内されるとともに、一端に螺
着された調整ナツト30を介して同軸に挿通されるスプ
リング29に係合されており、このスプリング29から
発生する、前記摺接力25とは逆方向の反摺接力32を
剥離刀10に作用させている。
この摺接力25に抗する反1M接力32は、シャフト2
7に螺着された調整ナツト30の当該シャフト27に対
する螺着位置を変化させることによって所望の値に設定
可能であるとともに、設定後は5咳調整ナツト30とと
もに螺着されているロックナツト31によって安定に維
持される構造となっている。すなわち、調整ナツト30
をベアリング28に接近させる方向に締め込むことによ
り、摺接力25に抗する反摺接力32が大きくなるよう
になっている。
7に螺着された調整ナツト30の当該シャフト27に対
する螺着位置を変化させることによって所望の値に設定
可能であるとともに、設定後は5咳調整ナツト30とと
もに螺着されているロックナツト31によって安定に維
持される構造となっている。すなわち、調整ナツト30
をベアリング28に接近させる方向に締め込むことによ
り、摺接力25に抗する反摺接力32が大きくなるよう
になっている。
これにより、後述のようなグリーンシート屑2Cの剥離
作業において、剥離刀10を枠材1に対して摺接させる
際に、エアーシリンダ26から剥離刀lOに作用する摺
接力25を予め最適な大きさに設定して、枠材1の損傷
などを防止するものである。
作業において、剥離刀10を枠材1に対して摺接させる
際に、エアーシリンダ26から剥離刀lOに作用する摺
接力25を予め最適な大きさに設定して、枠材1の損傷
などを防止するものである。
また、本実施例の場合には、第4図に示されるように、
剥離刀10は、剥離刀駆動機構34による枠材lに対す
る移動方向に対して直交する方向から所定の傾斜角度θ
だけ傾斜した姿勢で、すなわち矩形の枠材lの一辺に平
行な方向に対して所定の傾斜角度θだけ傾斜した姿勢で
当該剥離刀駆動機構34に支持されている。
剥離刀10は、剥離刀駆動機構34による枠材lに対す
る移動方向に対して直交する方向から所定の傾斜角度θ
だけ傾斜した姿勢で、すなわち矩形の枠材lの一辺に平
行な方向に対して所定の傾斜角度θだけ傾斜した姿勢で
当該剥離刀駆動機構34に支持されている。
これにより、IMfi刀10刀先0する側の刃先lOa
の通過によって枠材10反りが水平にされた後、当該刃
先10aに遅れて移動する刃先10bに至る領域が枠材
1の上を通過することとなり、枠材1の内側の開口縁と
剥離刀10の刃先が噛み合うことが回避され、枠材lの
損傷が防止されるものである。
の通過によって枠材10反りが水平にされた後、当該刃
先10aに遅れて移動する刃先10bに至る領域が枠材
1の上を通過することとなり、枠材1の内側の開口縁と
剥離刀10の刃先が噛み合うことが回避され、枠材lの
損傷が防止されるものである。
また、剥離刀10の材質としては、枠材1よりも硬度の
小さい樹脂や金属が用いられる。
小さい樹脂や金属が用いられる。
一方、枠材1を支持する枠固定用ローラ22とアンロー
ダ部15との間には、上下方向から枠材1を挟持するよ
うに配置された複数対の搬送ローラ22aが、枠固定用
ローラ22とほぼ同じ高さに配列されている。
ダ部15との間には、上下方向から枠材1を挟持するよ
うに配置された複数対の搬送ローラ22aが、枠固定用
ローラ22とほぼ同じ高さに配列されている。
そして、この搬送ローラ22aの配列方向には、枠材1
の上下両面に対してm接するように配置された一対の回
転ブラシ111回転ブラシ12と、この回転ブラシ11
および12と枠材lとの摺接部に対して上下両側から洗
浄液を噴射する洗浄ノズルllaおよび洗浄ノズル12
aと、枠材1の上下両面に対して仕上げの洗浄を施す仕
上げスプレー13と、枠材1に付着した液滴を吹き飛ば
して乾燥させる操作を行うエアーブロー14とが順に配
置されている。
の上下両面に対してm接するように配置された一対の回
転ブラシ111回転ブラシ12と、この回転ブラシ11
および12と枠材lとの摺接部に対して上下両側から洗
浄液を噴射する洗浄ノズルllaおよび洗浄ノズル12
aと、枠材1の上下両面に対して仕上げの洗浄を施す仕
上げスプレー13と、枠材1に付着した液滴を吹き飛ば
して乾燥させる操作を行うエアーブロー14とが順に配
置されている。
以下、本実施例の多層セラミック基板の製造方法および
装置の作用の一例を説明する。
装置の作用の一例を説明する。
まず、前述の積層工程において、グリーンシート2の打
ち抜き後に生じた、グリーンシート屑2Cが付着した複
数の枠材1は、当該グリーンシート屑2Cが付着した面
を下にしたままパレット7に投げ積みされ、当該パレッ
ト7とともにローダ部5に搬送される。
ち抜き後に生じた、グリーンシート屑2Cが付着した複
数の枠材1は、当該グリーンシート屑2Cが付着した面
を下にしたままパレット7に投げ積みされ、当該パレッ
ト7とともにローダ部5に搬送される。
ローダ部5においては、搬送レール5aの動作によって
、枠材1が投げ積みされているパレット7を吸着ヘッド
6aの直下に移動させる。
、枠材1が投げ積みされているパレット7を吸着ヘッド
6aの直下に移動させる。
その後、吸着ヘッド6aは、パレット7の最上部の一枚
の枠材1を吸着して保持し、第1温水槽16の上部に位
置する反転機構9の吸着パッド8に移動させる。
の枠材1を吸着して保持し、第1温水槽16の上部に位
置する反転機構9の吸着パッド8に移動させる。
反転機構9は、吸着パッド8によって枠材1を保持した
状態で半回転することにより、枠材1を反転させ、グリ
ーンシート屑2Cが付着した面が上向きになるようして
、直下に位置する搬送チェーン20aのガイド19に枠
材1を載置する。
状態で半回転することにより、枠材1を反転させ、グリ
ーンシート屑2Cが付着した面が上向きになるようして
、直下に位置する搬送チェーン20aのガイド19に枠
材1を載置する。
その後、搬送チェーン20aの降下動作により、第1温
水槽16の内部に貯留されている温水Wの内部に枠材1
の全体が浸漬され、この状態で、枠材1は、第1温水槽
16の底部に達した後、搬送ローラ21による搬送動作
によって、スリット部17aを通過して第2温水槽17
の側の搬送チェーン20bに移動する。
水槽16の内部に貯留されている温水Wの内部に枠材1
の全体が浸漬され、この状態で、枠材1は、第1温水槽
16の底部に達した後、搬送ローラ21による搬送動作
によって、スリット部17aを通過して第2温水槽17
の側の搬送チェーン20bに移動する。
さらに搬送チェーン20bの上昇動作によって枠材lは
、第2温水槽17の温水Wに浸漬された状態で上昇する
。
、第2温水槽17の温水Wに浸漬された状態で上昇する
。
この第1温水槽16および第2温水槽17の温水Wを通
過する間に、枠材1にグリーンシート屑2Cを固着させ
ている和糊などの接着剤の膨潤が充分に促進され、グリ
ーンシート屑2Cは枠材1から剥離しやすい状態となる
。(第6の工程)そして、第2温水槽17の内部を上昇
する枠材1は、温水Wの液面上に出た後、複数対の枠固
定ガイド23および24の90度回転などによる保持動
作によって直上部に位置する枠固定用ローラ22に下側
から押圧されて固定される。
過する間に、枠材1にグリーンシート屑2Cを固着させ
ている和糊などの接着剤の膨潤が充分に促進され、グリ
ーンシート屑2Cは枠材1から剥離しやすい状態となる
。(第6の工程)そして、第2温水槽17の内部を上昇
する枠材1は、温水Wの液面上に出た後、複数対の枠固
定ガイド23および24の90度回転などによる保持動
作によって直上部に位置する枠固定用ローラ22に下側
から押圧されて固定される。
次に、エアーシリンダ26による摺接力25と、シャフ
ト27を介してスプリング29から作用する反摺接力3
2の差だけの押圧力によって剥離刀lOは降下して枠材
1の一端側に押圧され、その状態で剥離刀駆動機構34
によって他端側(アンローダ115の側)に水平に剥離
刀lOを移動することにより、枠材lに付着していたグ
リーンシート屑2Cを除去する。(第7の工程)このグ
リーンシート屑2Cの剥離動作に際して、本実施例の場
合には、前述のように、摺接力調整機構33によって剥
離刀lOの枠材lに対する当接力を所望の大きさに加減
しているので、剥離刀10が枠材1に対して過大な力で
摺接することがなく、枠材1の損傷を確実に防止するこ
とができる。
ト27を介してスプリング29から作用する反摺接力3
2の差だけの押圧力によって剥離刀lOは降下して枠材
1の一端側に押圧され、その状態で剥離刀駆動機構34
によって他端側(アンローダ115の側)に水平に剥離
刀lOを移動することにより、枠材lに付着していたグ
リーンシート屑2Cを除去する。(第7の工程)このグ
リーンシート屑2Cの剥離動作に際して、本実施例の場
合には、前述のように、摺接力調整機構33によって剥
離刀lOの枠材lに対する当接力を所望の大きさに加減
しているので、剥離刀10が枠材1に対して過大な力で
摺接することがなく、枠材1の損傷を確実に防止するこ
とができる。
また、剥離刀10をその移動方向に対して所定の傾斜角
度θだけ傾斜させているので、先行する側の刃先10a
によって枠材lの反りが水平された後、刃先10aから
当該刃先10aよりも遅れて移動する後続の刃先10b
に至る領域が枠材1を移動することとなり、剥離刀10
が額縁状の枠材1に摺接して移動する間に5咳枠材1の
開口縁などと剥離刀10の刃先とが噛み合うことが回避
され、枠材1の損傷が防止される。
度θだけ傾斜させているので、先行する側の刃先10a
によって枠材lの反りが水平された後、刃先10aから
当該刃先10aよりも遅れて移動する後続の刃先10b
に至る領域が枠材1を移動することとなり、剥離刀10
が額縁状の枠材1に摺接して移動する間に5咳枠材1の
開口縁などと剥離刀10の刃先とが噛み合うことが回避
され、枠材1の損傷が防止される。
こうして、グリーンシート屑2Cを除去した後、剥離刀
10は上昇して枠材lから離れる。
10は上昇して枠材lから離れる。
その後、枠固定用ローラ22を回転させることにより、
枠材lは回転ブラシ11と12との間に送り込まれ、表
面に残留している和糊などの接着剤が確実に除去される
。(9J7の工程)さらに、回転する搬送ローラ22a
に上下から保持されることにより、枠材lは後段の仕上
げスプレー13の間を通過し、当該仕上げスプレー13
からの洗浄水などの噴射を受けて清浄化される。
枠材lは回転ブラシ11と12との間に送り込まれ、表
面に残留している和糊などの接着剤が確実に除去される
。(9J7の工程)さらに、回転する搬送ローラ22a
に上下から保持されることにより、枠材lは後段の仕上
げスプレー13の間を通過し、当該仕上げスプレー13
からの洗浄水などの噴射を受けて清浄化される。
(第8の工程)
その後、エアープロー14の間を通過して液滴などが除
去されて乾燥される。(第9の工程)こうして、清浄に
された枠材1は、吸着ヘッド6bに保持されてアンロー
ダ部15のパレット7に積まれ、所定の枚数になった時
点で払い出され、前述の枠貼り工程に搬送されて再利用
される。
去されて乾燥される。(第9の工程)こうして、清浄に
された枠材1は、吸着ヘッド6bに保持されてアンロー
ダ部15のパレット7に積まれ、所定の枚数になった時
点で払い出され、前述の枠貼り工程に搬送されて再利用
される。
以上説明したように、本実施例の多層セラミック基板の
製造方法および装置によれば、一連の製造工程経た後の
用済の枠材1に付着したグリーンシート屑2Cや接着剤
などからなる異物の除去を行うことで、5駿枠材1の枠
貼り工程での再利用を図ることができる。
製造方法および装置によれば、一連の製造工程経た後の
用済の枠材1に付着したグリーンシート屑2Cや接着剤
などからなる異物の除去を行うことで、5駿枠材1の枠
貼り工程での再利用を図ることができる。
また、枠材lに付着したグリーンシート屑2Cや接着剤
などの異物の除去作業が、人手を介在させることなく自
動的に行われるので、枠材1の再利用を大幅に効率化す
ることができる。
などの異物の除去作業が、人手を介在させることなく自
動的に行われるので、枠材1の再利用を大幅に効率化す
ることができる。
この結果、多層セラミック基板の製造工程における生産
性が向上する。
性が向上する。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。
すなわち、本発明になる多層セラミック基板の製造方法
によれば、枠材にグリーンシートを貼り付ける第1の工
程と、前記グリーンシートに所望の加工を施す第2の工
程と、個別に前記枠材に保持された複数枚の前記グリー
ンシートを重ね合わせて要部を打ち抜く第3の工程と、
打ち抜かれた積層状態の前記グリーンシートを焼成する
第4の工程と、前記枠材に残存する異物を除去する第5
の工程とからなるので、たとえば、第5の工程を、グリ
ーンシート屑などの異物が付着した枠材を温液に浸漬し
、当該枠材にグリーンシートを貼り付ける際に使用され
た接着剤などを温液によって膨潤状態にする第6の工程
と、枠材に剥離工具を摺接させてグリーンシート屑を剥
離する第7の工程と、枠材に洗浄液を噴射する第8の工
程と、枠材に気体を吹き付けて乾燥させる第9の工程と
で構成することにより、グリーンシート屑を確実に除去
することができ、グリーンシート屑などの異物が除去さ
れた枠材を第1の工程で再利用することが可能となる。
によれば、枠材にグリーンシートを貼り付ける第1の工
程と、前記グリーンシートに所望の加工を施す第2の工
程と、個別に前記枠材に保持された複数枚の前記グリー
ンシートを重ね合わせて要部を打ち抜く第3の工程と、
打ち抜かれた積層状態の前記グリーンシートを焼成する
第4の工程と、前記枠材に残存する異物を除去する第5
の工程とからなるので、たとえば、第5の工程を、グリ
ーンシート屑などの異物が付着した枠材を温液に浸漬し
、当該枠材にグリーンシートを貼り付ける際に使用され
た接着剤などを温液によって膨潤状態にする第6の工程
と、枠材に剥離工具を摺接させてグリーンシート屑を剥
離する第7の工程と、枠材に洗浄液を噴射する第8の工
程と、枠材に気体を吹き付けて乾燥させる第9の工程と
で構成することにより、グリーンシート屑を確実に除去
することができ、グリーンシート屑などの異物が除去さ
れた枠材を第1の工程で再利用することが可能となる。
また、本発明になる多層セラミック基板の製造装置によ
れば、異物が付着した枠材の受け入れを行うローダ部と
、前記異物が付着した枠材が浸漬される温液が貯留され
る温液槽と、前記枠材に付着した前記異物を剥離する剥
離手段と、剥離後の前記枠材の洗浄および乾燥の少なく
とも一方を行う仕上げ部と、仕上げ後の前記枠材の払い
出しを行うアンローダ部と、前記ローダ部から前記アン
ローダ部に至る前記枠材の搬送動作を行う搬送機構とか
らなるので、枠材を温液に浸漬することによって、当該
枠材にグリーンシートを貼り付ける際に使用された接着
剤などを膨潤状態にする操作と、剥離手段を構成する剥
離刀によるグリーンシ−ト屑の除去と、回転ブラシによ
る残留接着剤などの除去と、その後の洗浄および乾燥操
作などからなる仕上げとからなる一連の処理を自動的に
行うことができる。
れば、異物が付着した枠材の受け入れを行うローダ部と
、前記異物が付着した枠材が浸漬される温液が貯留され
る温液槽と、前記枠材に付着した前記異物を剥離する剥
離手段と、剥離後の前記枠材の洗浄および乾燥の少なく
とも一方を行う仕上げ部と、仕上げ後の前記枠材の払い
出しを行うアンローダ部と、前記ローダ部から前記アン
ローダ部に至る前記枠材の搬送動作を行う搬送機構とか
らなるので、枠材を温液に浸漬することによって、当該
枠材にグリーンシートを貼り付ける際に使用された接着
剤などを膨潤状態にする操作と、剥離手段を構成する剥
離刀によるグリーンシ−ト屑の除去と、回転ブラシによ
る残留接着剤などの除去と、その後の洗浄および乾燥操
作などからなる仕上げとからなる一連の処理を自動的に
行うことができる。
これにより、グリーンシート屑や接着剤などの異物が付
着した使用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業
者などが介入することなく、当該枠材に付着していたグ
リーンシート屑や接着剤などの異物が完全に除去された
再利用可能な状態の枠材がアンローダ部に得られるので
、枠材の再利用を効率良く行うことができる。
着した使用済の枠材をローダ部に載置するだけで、作業
者などが介入することなく、当該枠材に付着していたグ
リーンシート屑や接着剤などの異物が完全に除去された
再利用可能な状態の枠材がアンローダ部に得られるので
、枠材の再利用を効率良く行うことができる。
第1図は、本発明の一実施例である多層セラミック基板
の製造装置の斜視図、 第2図(A)〜(C)は、その一部の断面図および平面
図、 第3図は、同じくその一部を取り出して示す側面図、 第4図は、同じくその一部を取り出して示す斜視図、 第5図(A)〜(G)は、シート積層法による多層セラ
ミック基板の製造工程の概略を示す説明図である。 1・・・枠材、2・・・グリーンシート、2a・・・接
続孔、2b・・・配線パターン、2C・・・グリーンシ
ート屑(異物)、4・・・剥離・洗浄部、5・・・ロー
ダ部、5a・・・搬送レール、6a・・・吸着ヘッド、
6b・・・吸着ヘッド、7・・・パレット、8・・・吸
着パッド、9・・・反転機構、10・・・剥離刀、10
a、10b・・・刃先、θ・・・刃先の傾斜角度、11
・・・回転ブラシ、11a・・・洗浄ノズル、12・・
・回転ブラシ、12a・・・洗浄ノズル、13・・・仕
上げスプレー 14・・・エアープロー 15・・・ア
ンローダ部、15a・・・搬送レール、16・・・第1
温水槽、17・・・第2温水槽、17a・・・スリット
部、W・・・温水、18・・・ヒータ、19・・・ガイ
ド、20a・・・搬送チェーン、20b・・・搬送チェ
ーン、21・・・搬送ローラ、22・・・枠同志用ロー
ラ、22a ・・ ・搬送ローラ、23.24・・・枠
同志ガイド、23a、24a・・・回動軸、25・・・
摺接力、26・・・エアーシリンダ、27・、・・シャ
フト、28・・・ベアリンク、29・・・スプリング、
30・・・調整ナツト、31・・・ロックナツト、32
・・・反摺接力、33・・・摺接力調整機構、34・・
・剥離刀駆動機構。
の製造装置の斜視図、 第2図(A)〜(C)は、その一部の断面図および平面
図、 第3図は、同じくその一部を取り出して示す側面図、 第4図は、同じくその一部を取り出して示す斜視図、 第5図(A)〜(G)は、シート積層法による多層セラ
ミック基板の製造工程の概略を示す説明図である。 1・・・枠材、2・・・グリーンシート、2a・・・接
続孔、2b・・・配線パターン、2C・・・グリーンシ
ート屑(異物)、4・・・剥離・洗浄部、5・・・ロー
ダ部、5a・・・搬送レール、6a・・・吸着ヘッド、
6b・・・吸着ヘッド、7・・・パレット、8・・・吸
着パッド、9・・・反転機構、10・・・剥離刀、10
a、10b・・・刃先、θ・・・刃先の傾斜角度、11
・・・回転ブラシ、11a・・・洗浄ノズル、12・・
・回転ブラシ、12a・・・洗浄ノズル、13・・・仕
上げスプレー 14・・・エアープロー 15・・・ア
ンローダ部、15a・・・搬送レール、16・・・第1
温水槽、17・・・第2温水槽、17a・・・スリット
部、W・・・温水、18・・・ヒータ、19・・・ガイ
ド、20a・・・搬送チェーン、20b・・・搬送チェ
ーン、21・・・搬送ローラ、22・・・枠同志用ロー
ラ、22a ・・ ・搬送ローラ、23.24・・・枠
同志ガイド、23a、24a・・・回動軸、25・・・
摺接力、26・・・エアーシリンダ、27・、・・シャ
フト、28・・・ベアリンク、29・・・スプリング、
30・・・調整ナツト、31・・・ロックナツト、32
・・・反摺接力、33・・・摺接力調整機構、34・・
・剥離刀駆動機構。
Claims (8)
- 1. 枠材にグリーンシートを貼り付ける第1の工程と
、前記グリーンシートに所望の加工を施す第2の工程と
、個別に前記枠材に保持された複数枚の前記グリーンシ
ートを重ね合わせて要部を打ち抜く第3の工程と、打ち
抜かれた積層状態の前記グリーンシートを焼成する第4
の工程と、前記枠材に残存する異物を除去する第5の工
程とからなる多層セラミック基板の製造方法。 - 2. 前記第5の工程は、前記異物が付着した前記枠材
を温液に浸漬する第6の工程と、前記枠材に剥離工具を
摺接させてグリーンシート層および接着剤からなる異物
を剥離する第7の工程と、前記枠材に洗浄液を噴射する
第8の工程と、前記枠材に気体を吹き付けて乾燥させる
第9の工程とからなることを特徴とする請求項1記載の
多層セラミック基板の製造方法。 - 3. 異物が付着した枠材の受け入れを行うローダ部と
、前記異物が付着した枠材が浸漬される温液が貯留され
る温液槽と、前記枠材に付着した前記異物を剥離する剥
離手段と、剥離後の前記枠材の洗浄および乾燥の少なく
とも一方を行う仕上げ部と、仕上げ後の前記枠材の払い
出しを行うアンローダ部と、前記ローダ部から前記アン
ローダ部に至る前記枠材の搬送動作を行う搬送機構とか
らなる多層セラミック基板の製造装置。 - 4. 前記温液槽は、底部側面が連通する第1温液槽お
よび第2温液槽からなり、前記第1温液槽に搬入される
前記枠材を前記連通部を通じて第2温液槽から取り出す
ようにしたことを特徴とする請求項3記載の多層セラミ
ック基板の製造装置。 - 5. 前記剥離手段は、前記枠材における前記グリーン
シート層および接着剤からなる異物の付着面に摺接して
剥離動作を行う剥離刀と、前記枠材の両面に摺接する一
対の回転ブラシとからなることを特徴とする請求項3ま
たは4記載の多層セラミック基板の製造装置。 - 6. 前記剥離刀は、当該剥離刀の中央部に傾動自在に
係合して前記枠材に対する摺接圧を発生させるエアーシ
リンダと、当該剥離刀の両端部に係合され、ばねによっ
て可変な反摺接力を前記エアーシリンダによる前記摺接
圧に抗して前記剥離刀に作用させることにより、当該剥
離刀に作用する前記摺接圧を調節する可動支持手段とか
らなる摺接圧調整機構を備えたことを特徴とする請求項
3,4または5記載の多層セラミック基板の製造装置。 - 7. 前記剥離刀の前記枠材に対する摺接時の相対的な
移動方向に対して、当該剥離刀の長手方向を所定の角度
だけ傾斜させるようにしたことを特徴とする請求項3,
4,5または6記載の多層セラミック基板の製造装置。 - 8. 前記枠材に摺接する前記剥離手段を構成する材料
の硬度が当該枠材よりも小さくなるようにしたことを特
徴とする請求項3,4,5,6または7記載の多層セラ
ミック基板の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1224952A JPH071829B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 多層セラミック基板の製造方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1224952A JPH071829B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 多層セラミック基板の製造方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0388389A true JPH0388389A (ja) | 1991-04-12 |
JPH071829B2 JPH071829B2 (ja) | 1995-01-11 |
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ID=16821766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1224952A Expired - Lifetime JPH071829B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 多層セラミック基板の製造方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH071829B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6607620B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-08-19 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
JP2015005644A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 凸版印刷株式会社 | コアレス配線基板の製造方法、治具および剥離装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62124947A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-06 | 株式会社日立製作所 | 積層装置 |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP1224952A patent/JPH071829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62124947A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-06 | 株式会社日立製作所 | 積層装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6607620B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-08-19 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
US6790515B2 (en) | 2001-01-08 | 2004-09-14 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
JP2015005644A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 凸版印刷株式会社 | コアレス配線基板の製造方法、治具および剥離装置 |
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JPH071829B2 (ja) | 1995-01-11 |
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