JPH05261718A - グリーンシート積層体の異物除去装置 - Google Patents
グリーンシート積層体の異物除去装置Info
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- JPH05261718A JPH05261718A JP6415992A JP6415992A JPH05261718A JP H05261718 A JPH05261718 A JP H05261718A JP 6415992 A JP6415992 A JP 6415992A JP 6415992 A JP6415992 A JP 6415992A JP H05261718 A JPH05261718 A JP H05261718A
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- sheet laminate
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B11/00—Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
- B28B11/22—Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for cleaning
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- Structural Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】グリーンシート積層体を変形させることなく異
物を除去することができ、高率で良品を得ることができ
るグリーンシート積層体の異物除去装置を提供する。 【構成】異物除去装置１は、ＰＧＡ用グリーンシート積
層体（Ｐｉｎ ＧｒｉｄＡｒｒａｙ）２を支持して搬送
するコンベア３と、コンベア３にて搬送されるＰＧＡ用
グリーンシート積層体２に対向するように設けられた洗
浄水吐出装置４と、洗浄水吐出装置４の下流に隣接して
設けられた高圧エア吐出装置５、低圧エア吐出装置６及
び熱風吐出装置７とを有する。洗浄水吐出装置４及び高
圧エア吐出装置５は、枠体１１ａ、１１ｂにコンベア３
の搬送方向と直交するように軸支して取着されており、
図示しない駆動装置により、コンベア３の搬送方向に沿
って前後に揺動される。洗浄水吐出装置４は、洗浄水を
２〜８ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で吐出する。高圧エア吐出装
置５、低圧エア吐出装置６及び熱風吐出装置７はＰＧＡ
用グリーンシート積層体２にエアを吹きつけて乾燥す
る。
物を除去することができ、高率で良品を得ることができ
るグリーンシート積層体の異物除去装置を提供する。 【構成】異物除去装置１は、ＰＧＡ用グリーンシート積
層体（Ｐｉｎ ＧｒｉｄＡｒｒａｙ）２を支持して搬送
するコンベア３と、コンベア３にて搬送されるＰＧＡ用
グリーンシート積層体２に対向するように設けられた洗
浄水吐出装置４と、洗浄水吐出装置４の下流に隣接して
設けられた高圧エア吐出装置５、低圧エア吐出装置６及
び熱風吐出装置７とを有する。洗浄水吐出装置４及び高
圧エア吐出装置５は、枠体１１ａ、１１ｂにコンベア３
の搬送方向と直交するように軸支して取着されており、
図示しない駆動装置により、コンベア３の搬送方向に沿
って前後に揺動される。洗浄水吐出装置４は、洗浄水を
２〜８ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で吐出する。高圧エア吐出装
置５、低圧エア吐出装置６及び熱風吐出装置７はＰＧＡ
用グリーンシート積層体２にエアを吹きつけて乾燥す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焼成前のグリーンシー
ト積層体に付着している異物を除去するために使用され
るグリーンシート積層体の異物除去装置に関するもので
ある。
ト積層体に付着している異物を除去するために使用され
るグリーンシート積層体の異物除去装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置用セラミッ
クスパッケージのうちシート積層法によるものは、アル
ミナ粉末とバインダ等との混合物を成形してなる焼成前
のグリーンシートにタングステンまたはモリブデンを主
成分とする導体ペーストで導体印刷や層間スルーホール
印刷を施し、パンチングによりキャビティを設け、この
グリーンシートを必要に応じて複数枚重ね合わせて積層
した後、チップ毎に裁断し、このチップを雰囲気焼成炉
を用いて水蒸気及び水素を含む還元雰囲気中、１５００
〜１６００℃にてアルミナと導体とを同時に焼結し、セ
ラミック表面と内部とに配線を形成することにより製造
されている。
クスパッケージのうちシート積層法によるものは、アル
ミナ粉末とバインダ等との混合物を成形してなる焼成前
のグリーンシートにタングステンまたはモリブデンを主
成分とする導体ペーストで導体印刷や層間スルーホール
印刷を施し、パンチングによりキャビティを設け、この
グリーンシートを必要に応じて複数枚重ね合わせて積層
した後、チップ毎に裁断し、このチップを雰囲気焼成炉
を用いて水蒸気及び水素を含む還元雰囲気中、１５００
〜１６００℃にてアルミナと導体とを同時に焼結し、セ
ラミック表面と内部とに配線を形成することにより製造
されている。
【０００３】ところが、前記セラミックスパッケージで
は、前記複数枚積層されたグリーンシートをチップ毎に
裁断する際、キャビティ形成のためのパンチングの際、
或はこれらの操作の後のハンドリングに伴って発生する
グリーンシートの切片がチップに付着しやすい。このよ
うなグリーンシート積層体を焼成したときに、焼成後も
前記グリーンシートの切片などの異物が付着したままで
あると、得られたセラミックスパッケージに半導体を搭
載する際のボンディング不良や外観不良の原因となる。
は、前記複数枚積層されたグリーンシートをチップ毎に
裁断する際、キャビティ形成のためのパンチングの際、
或はこれらの操作の後のハンドリングに伴って発生する
グリーンシートの切片がチップに付着しやすい。このよ
うなグリーンシート積層体を焼成したときに、焼成後も
前記グリーンシートの切片などの異物が付着したままで
あると、得られたセラミックスパッケージに半導体を搭
載する際のボンディング不良や外観不良の原因となる。
【０００４】そこで、従来は、裁断後のグリーンシート
積層体を作業者が手で把持してそのグリーンシート積層
体を刷毛で掃きながらエアを吹きつけて前記異物を除去
することが行われている。
積層体を作業者が手で把持してそのグリーンシート積層
体を刷毛で掃きながらエアを吹きつけて前記異物を除去
することが行われている。
【０００５】すなわち、エアを吹きつけただけで、前記
異物を除去しようとすると、エアの吹き付け圧を強くす
る必要があるが、異物を除去できる程度にまで強くする
と製品が変形してしまう。また、たとえエアによって前
記異物を一旦除去できたとしても、エアだけだと一旦舞
い上がった異物を運搬する能力が低いので、再びグリー
ンシート積層体に付着する。従って、従来においては、
エアだけでなく、刷毛をも用いていた。
異物を除去しようとすると、エアの吹き付け圧を強くす
る必要があるが、異物を除去できる程度にまで強くする
と製品が変形してしまう。また、たとえエアによって前
記異物を一旦除去できたとしても、エアだけだと一旦舞
い上がった異物を運搬する能力が低いので、再びグリー
ンシート積層体に付着する。従って、従来においては、
エアだけでなく、刷毛をも用いていた。
【０００６】しかしながら、この方法は手作業だから、
手間がかかる上に刷毛払いを強くすると、導体やグリー
ンシートにキズが生じ、導体が断線する等の問題があっ
た。さらに、グリーンシート積層体のキャビティの周辺
部には段差が存在するから死角が生じやすく、従来のエ
アと刷毛による方法では、段差部分の異物を十分に除去
することは困難であり、良品率が低いという問題があっ
た。
手間がかかる上に刷毛払いを強くすると、導体やグリー
ンシートにキズが生じ、導体が断線する等の問題があっ
た。さらに、グリーンシート積層体のキャビティの周辺
部には段差が存在するから死角が生じやすく、従来のエ
アと刷毛による方法では、段差部分の異物を十分に除去
することは困難であり、良品率が低いという問題があっ
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる不都
合を解消して、グリーンシート積層体に変形や断線など
を生じさせることなくグリーンシート積層体に付着して
いる異物を能率よく除去することができると共に、高率
で良品を得ることができるグリーンシート積層体の異物
除去装置を提供することを目的とする。
合を解消して、グリーンシート積層体に変形や断線など
を生じさせることなくグリーンシート積層体に付着して
いる異物を能率よく除去することができると共に、高率
で良品を得ることができるグリーンシート積層体の異物
除去装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記焼成前のグリーンシ
ート積層体は、従来、水と接触させるとバインダが膨潤
して変形したり、水により導体が酸化されるなどして不
良の原因になるため、水洗することは禁忌と考えられて
いた。ところが、本発明者らの検討によれば、前記グリ
ーンシート積層体は、水と接触させたのち直ちに乾燥さ
せることによりバインダの膨潤及び導体の酸化を避ける
ことができることが判明した。
ート積層体は、従来、水と接触させるとバインダが膨潤
して変形したり、水により導体が酸化されるなどして不
良の原因になるため、水洗することは禁忌と考えられて
いた。ところが、本発明者らの検討によれば、前記グリ
ーンシート積層体は、水と接触させたのち直ちに乾燥さ
せることによりバインダの膨潤及び導体の酸化を避ける
ことができることが判明した。
【０００９】本発明は前記知見に基づいて為されたもの
であり、本発明のグリーンシート積層体の異物除去装置
は、グリーンシート積層体を支持して搬送する搬送手段
と、該搬送手段に支持されるグリーンシート積層体と対
向して揺動自在に設けられ洗浄水を吐出する水洗手段
と、該搬送手段の搬送方向に沿って該水洗手段の下流に
隣接して設けられ水洗後のグリーンシート積層体を乾燥
する乾燥手段とを有することを特徴とする。
であり、本発明のグリーンシート積層体の異物除去装置
は、グリーンシート積層体を支持して搬送する搬送手段
と、該搬送手段に支持されるグリーンシート積層体と対
向して揺動自在に設けられ洗浄水を吐出する水洗手段
と、該搬送手段の搬送方向に沿って該水洗手段の下流に
隣接して設けられ水洗後のグリーンシート積層体を乾燥
する乾燥手段とを有することを特徴とする。
【００１０】前記水洗手段は、洗浄水を２〜８ｋｇ／ｃ
ｍ2 の範囲の圧力で吐出する水洗手段であることが好ま
しい。洗浄水の吐出圧が２ｋｇ／ｃｍ2 以下のときには
グリーンシートの切片等の異物を十分に除去できないこ
とがあり、８ｋｇ／ｃｍ2 以上のときには水圧によりグ
リーンシート積層体が変形することがある。
ｍ2 の範囲の圧力で吐出する水洗手段であることが好ま
しい。洗浄水の吐出圧が２ｋｇ／ｃｍ2 以下のときには
グリーンシートの切片等の異物を十分に除去できないこ
とがあり、８ｋｇ／ｃｍ2 以上のときには水圧によりグ
リーンシート積層体が変形することがある。
【００１１】前記水洗手段は、グリーンシート積層体に
対して死角ができないように洗浄水を吐出するために、
前記グリーンシート積層体に対して揺動自在となってい
ることが好ましく、その揺動角は鉛直方向を中心とし
て、５〜６０°の範囲であることが好ましい。揺動角が
５°以下のときにはキャビティ周辺の段差部分を十分洗
浄することが困難である。また、６０°以上のときに
は、グリーンシート積層体の外にも洗浄水が当たるよう
になり、洗浄水が無駄になることがある。
対して死角ができないように洗浄水を吐出するために、
前記グリーンシート積層体に対して揺動自在となってい
ることが好ましく、その揺動角は鉛直方向を中心とし
て、５〜６０°の範囲であることが好ましい。揺動角が
５°以下のときにはキャビティ周辺の段差部分を十分洗
浄することが困難である。また、６０°以上のときに
は、グリーンシート積層体の外にも洗浄水が当たるよう
になり、洗浄水が無駄になることがある。
【００１２】前記乾燥手段は、前記洗浄水を飛散させる
ことができるよう、水洗後のグリーンシート積層体にエ
アを吹きつけて乾燥する乾燥手段が適している。
ことができるよう、水洗後のグリーンシート積層体にエ
アを吹きつけて乾燥する乾燥手段が適している。
【００１３】前記乾燥手段は、例えば、２〜８ｋｇ／ｃ
ｍ2 の範囲の圧力の高圧エア、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の範
囲の圧力の低圧エア及び８０〜９０℃の熱風を順次吹き
つけるように構成されている。このようにすることによ
り、まず高圧エアにより洗浄水が飛散されて大略除去さ
れ、次いで低圧エアにより残余の水分が除去される。そ
して、熱風により加熱乾燥することにより、バインダの
膨潤によるグリーンシート積層体の変形を防止しつつ、
洗浄水による導体の酸化を防止して乾燥することができ
るので好ましい。
ｍ2 の範囲の圧力の高圧エア、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の範
囲の圧力の低圧エア及び８０〜９０℃の熱風を順次吹き
つけるように構成されている。このようにすることによ
り、まず高圧エアにより洗浄水が飛散されて大略除去さ
れ、次いで低圧エアにより残余の水分が除去される。そ
して、熱風により加熱乾燥することにより、バインダの
膨潤によるグリーンシート積層体の変形を防止しつつ、
洗浄水による導体の酸化を防止して乾燥することができ
るので好ましい。
【００１４】
【作用】かかる手段によれば、前記搬送手段に支持され
て搬送されるグリーンシート積層体は、まず、水洗手段
から吐出される洗浄水によりグリーンシートの切片など
の異物が除去される。該異物は前記洗浄水により洗い流
されるので、前記グリーンシート積層体に再付着するこ
とがない。このとき、前記水洗手段は揺動自在に構成さ
れているので、前記グリーンシート積層体に対して死角
がなくなるように洗浄水が吐出され、キャビティの設け
られた部分の各シートの段差部分に付着した前記異物も
除去される。
て搬送されるグリーンシート積層体は、まず、水洗手段
から吐出される洗浄水によりグリーンシートの切片など
の異物が除去される。該異物は前記洗浄水により洗い流
されるので、前記グリーンシート積層体に再付着するこ
とがない。このとき、前記水洗手段は揺動自在に構成さ
れているので、前記グリーンシート積層体に対して死角
がなくなるように洗浄水が吐出され、キャビティの設け
られた部分の各シートの段差部分に付着した前記異物も
除去される。
【００１５】次いで、前記グリーンシート積層体は、前
記水洗手段の下流に隣接して設けられている乾燥手段に
より水洗後直ちに乾燥される。この結果、バインダが膨
潤せずグリーンシート積層体の変形が避けられるととも
に、洗浄水による導体の酸化が避けられる。
記水洗手段の下流に隣接して設けられている乾燥手段に
より水洗後直ちに乾燥される。この結果、バインダが膨
潤せずグリーンシート積層体の変形が避けられるととも
に、洗浄水による導体の酸化が避けられる。
【００１６】
【実施例】次に、添付の図面を参照しながら本発明の一
実施例であるグリーンシート積層体の異物除去装置につ
いてさらに詳しく説明する。図１は本実施例の異物除去
装置の構成を一部切欠いて示す斜視図、図２は図１のＩ
Ｉ−ＩＩ線で切る説明的断面図である。
実施例であるグリーンシート積層体の異物除去装置につ
いてさらに詳しく説明する。図１は本実施例の異物除去
装置の構成を一部切欠いて示す斜視図、図２は図１のＩ
Ｉ−ＩＩ線で切る説明的断面図である。
【００１７】図１に示すように、本実施例の異物除去装
置１は、２段のＰＧＡ（Ｐｉｎ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａ
ｙ）用グリーンシート積層体２を支持して搬送するコン
ベア３と、コンベア３の上下に設けられた洗浄水吐出装
置４と、洗浄水吐出装置４の下流に隣接してコンベア３
の上下に設けられた高圧エア吐出装置５、コンベア３の
上方に設けられた低圧エア吐出装置６及びコンベア３の
上下に設けられた熱風吐出装置７とを有する。
置１は、２段のＰＧＡ（Ｐｉｎ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａ
ｙ）用グリーンシート積層体２を支持して搬送するコン
ベア３と、コンベア３の上下に設けられた洗浄水吐出装
置４と、洗浄水吐出装置４の下流に隣接してコンベア３
の上下に設けられた高圧エア吐出装置５、コンベア３の
上方に設けられた低圧エア吐出装置６及びコンベア３の
上下に設けられた熱風吐出装置７とを有する。
【００１８】コンベア３は無端のケプラー製ネット８が
スプロケット９、１０により、間欠的に駆動される構成
となっている。ケプラー製ネット８は３メッシュの網目
を有し、その上にＰＧＡ用グリーンシート積層体２を８
個ずつ、コンベア３の搬送方向と直交するように配置し
て支持し、搬送する。
スプロケット９、１０により、間欠的に駆動される構成
となっている。ケプラー製ネット８は３メッシュの網目
を有し、その上にＰＧＡ用グリーンシート積層体２を８
個ずつ、コンベア３の搬送方向と直交するように配置し
て支持し、搬送する。
【００１９】コンベア３の上方に設けられた洗浄水吐出
装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア吐出装置６
は、枠体１１ａに等間隔を存して、コンベア３の搬送方
向と直交するように取着されている。枠体１１ａはロッ
ド１２を介して図示しない駆動装置により上下動自在に
なっており、枠体１１ａの下面には３メッシュの網目を
有するケプラー製ネット１３が張設されている。一方、
コンベア３の下方に設けられた洗浄水吐出装置４及び高
圧エア吐出装置５は固定された枠体１１ｂに取着されて
おり、前記コンベア３の上方に設けられた洗浄水吐出装
置４及び高圧エア吐出装置５に対応する位置に取着され
ている。
装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア吐出装置６
は、枠体１１ａに等間隔を存して、コンベア３の搬送方
向と直交するように取着されている。枠体１１ａはロッ
ド１２を介して図示しない駆動装置により上下動自在に
なっており、枠体１１ａの下面には３メッシュの網目を
有するケプラー製ネット１３が張設されている。一方、
コンベア３の下方に設けられた洗浄水吐出装置４及び高
圧エア吐出装置５は固定された枠体１１ｂに取着されて
おり、前記コンベア３の上方に設けられた洗浄水吐出装
置４及び高圧エア吐出装置５に対応する位置に取着され
ている。
【００２０】洗浄水吐出装置４は、コンベア３にて搬送
されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８本
のノズル４ａを備え、ノズル４ａから５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧力で洗浄水をＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向け
て噴射する。洗浄水吐出装置４は、枠体１１ａ、１１ｂ
に軸支されており、図示しない駆動装置により、１秒当
たり１往復の周期でコンベア３の搬送方向に沿って前後
に揺動される。洗浄水吐出装置４は、図２に示すよう
に、鉛直方向を中心とし前後５〜６０°の範囲の揺動角
αで揺動される。
されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８本
のノズル４ａを備え、ノズル４ａから５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧力で洗浄水をＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向け
て噴射する。洗浄水吐出装置４は、枠体１１ａ、１１ｂ
に軸支されており、図示しない駆動装置により、１秒当
たり１往復の周期でコンベア３の搬送方向に沿って前後
に揺動される。洗浄水吐出装置４は、図２に示すよう
に、鉛直方向を中心とし前後５〜６０°の範囲の揺動角
αで揺動される。
【００２１】高圧エア吐出装置５は、コンベア３にて搬
送されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８
本のノズル５ａを備え、ノズル５ａから５ｋｇ／ｃｍ2
の圧力でエアをＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向け
て吹きつける。高圧エア吐出装置５は、枠体１１ａ、１
１ｂに軸支されており、図示しない駆動装置により、１
秒当たり１往復の周期でコンベア３の搬送方向に沿って
前後に揺動される。高圧エア吐出装置５は、図２に示す
ように、鉛直方向から３５°、コンベア３の上流方向に
傾いた方向を中心とし前後５〜６５°の範囲の揺動角β
で揺動される。揺動角βの中心をコンベア３の上流方向
に傾けることにより、ネット１３により阻害されて死角
となる部分を少なくすることができると共に、洗浄水が
コンベア３の下流方向に飛散するのを抑制することがで
きる。揺動角βが５°以下のときにはＰＧＡ用グリーン
シート積層体２に対する死角が大きくなったり、ＰＧＡ
用グリーンシート積層体２の狭い範囲に高圧エアが集中
する傾向がある。また、揺動角βが６５°以上になると
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２にエアが当たらず洗浄
水を飛散させる効果が十分に得られないことがある。
送されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８
本のノズル５ａを備え、ノズル５ａから５ｋｇ／ｃｍ2
の圧力でエアをＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向け
て吹きつける。高圧エア吐出装置５は、枠体１１ａ、１
１ｂに軸支されており、図示しない駆動装置により、１
秒当たり１往復の周期でコンベア３の搬送方向に沿って
前後に揺動される。高圧エア吐出装置５は、図２に示す
ように、鉛直方向から３５°、コンベア３の上流方向に
傾いた方向を中心とし前後５〜６５°の範囲の揺動角β
で揺動される。揺動角βの中心をコンベア３の上流方向
に傾けることにより、ネット１３により阻害されて死角
となる部分を少なくすることができると共に、洗浄水が
コンベア３の下流方向に飛散するのを抑制することがで
きる。揺動角βが５°以下のときにはＰＧＡ用グリーン
シート積層体２に対する死角が大きくなったり、ＰＧＡ
用グリーンシート積層体２の狭い範囲に高圧エアが集中
する傾向がある。また、揺動角βが６５°以上になると
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２にエアが当たらず洗浄
水を飛散させる効果が十分に得られないことがある。
【００２２】低圧エア吐出装置６は、コンベア３にて搬
送されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８
本のノズル６ａを備え、ノズル６ａから１〜３ｋｇ／ｃ
ｍ2の圧力でエアをＰＧＡ用グリーンシート積層体２に
向けて吹きつける。低圧エア吐出装置６は、ノズル６ａ
が鉛直下方に指向されてＰＧＡ用グリーンシート積層体
２に対向するように、枠体１１ａに固定されている。
送されるＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向する８
本のノズル６ａを備え、ノズル６ａから１〜３ｋｇ／ｃ
ｍ2の圧力でエアをＰＧＡ用グリーンシート積層体２に
向けて吹きつける。低圧エア吐出装置６は、ノズル６ａ
が鉛直下方に指向されてＰＧＡ用グリーンシート積層体
２に対向するように、枠体１１ａに固定されている。
【００２３】熱風吐出装置７は、枠体１１ａ、１１ｂ下
流のコンベア３の上下に固定された乾燥室１４内に、コ
ンベア３の搬送方向と直交するように取着されている。
熱風吐出装置７は、コンベア３にて搬送されるＰＧＡ用
グリーンシート積層体２に対向する８本のノズル７ａを
備え、ノズル７ａから８０〜９０℃の温度範囲の熱風を
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向けて吹きつける。
熱風吐出装置７は、ノズル７ａが鉛直方向に指向されて
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向するように、乾
燥室１４に固定されている。
流のコンベア３の上下に固定された乾燥室１４内に、コ
ンベア３の搬送方向と直交するように取着されている。
熱風吐出装置７は、コンベア３にて搬送されるＰＧＡ用
グリーンシート積層体２に対向する８本のノズル７ａを
備え、ノズル７ａから８０〜９０℃の温度範囲の熱風を
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２に向けて吹きつける。
熱風吐出装置７は、ノズル７ａが鉛直方向に指向されて
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対向するように、乾
燥室１４に固定されている。
【００２４】次に、本実施例の異物除去装置１の動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２５】まず、前工程にて所定の大きさに裁断され
たＰＧＡ用グリーンシート積層体２が、図示しない移載
装置により８個ずつコンベア３の搬送方向と直交するよ
うに配置されて、ケプラー製ネット８上に載置される。
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２は、前記移載装置によ
り洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア
吐出装置６の間隔と等しい間隔を存して、連続的にケプ
ラー製ネット８上に載置される。
たＰＧＡ用グリーンシート積層体２が、図示しない移載
装置により８個ずつコンベア３の搬送方向と直交するよ
うに配置されて、ケプラー製ネット８上に載置される。
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２は、前記移載装置によ
り洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア
吐出装置６の間隔と等しい間隔を存して、連続的にケプ
ラー製ネット８上に載置される。
【００２６】次に、コンベア３が駆動され、ＰＧＡ用グ
リーンシート積層体２を上下の洗浄水吐出装置４に挟ま
れる位置に搬送して８〜１３秒間停止する。枠体１１ａ
は、コンベア３によってＰＧＡ用グリーンシート積層体
２が搬送されてくると、ＰＧＡ用グリーンシート積層体
２の直上に下降する。
リーンシート積層体２を上下の洗浄水吐出装置４に挟ま
れる位置に搬送して８〜１３秒間停止する。枠体１１ａ
は、コンベア３によってＰＧＡ用グリーンシート積層体
２が搬送されてくると、ＰＧＡ用グリーンシート積層体
２の直上に下降する。
【００２７】このとき、図２に示すように、ＰＧＡ用グ
リーンシート積層体２はコンベア３のケプラー製ネット
８と枠体１１ａの下面に張設されたケプラー製ネット１
３とにより挟持される。そして、洗浄水吐出装置４が揺
動角αが５〜６０°となる範囲でコンベア３の搬送方向
に沿って前後に揺動しながら、ノズル４ａから洗浄水を
５ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＰＧＡ用グリーンシート積層体
２に噴射する。
リーンシート積層体２はコンベア３のケプラー製ネット
８と枠体１１ａの下面に張設されたケプラー製ネット１
３とにより挟持される。そして、洗浄水吐出装置４が揺
動角αが５〜６０°となる範囲でコンベア３の搬送方向
に沿って前後に揺動しながら、ノズル４ａから洗浄水を
５ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＰＧＡ用グリーンシート積層体
２に噴射する。
【００２８】ＰＧＡ用グリーンシート積層体２のキャビ
ティ孔１５では、図２に模式的に示すように、複数枚の
グリーンシートが積層されて階段状の段差１６を形成し
ており、段差１６の奥部に付着したグリーンシートの切
片等の異物が除去されにくい傾向がある。しかし、異物
除去装置１では前述のように洗浄水吐出装置４が前記範
囲の揺動角αで前後に揺動しながら洗浄水を噴射するの
で、矢示するように水流の当たらない死角が無くなり、
前記異物が残らず除去され、洗浄水に伴われて洗い流さ
れる。洗浄水吐出装置４は前記コンベア３が停止してい
る時間だけ洗浄水をＰＧＡ用グリーンシート積層体２に
噴射すると洗浄水の吐出を停止し、枠体１１ａが上方に
移動される。
ティ孔１５では、図２に模式的に示すように、複数枚の
グリーンシートが積層されて階段状の段差１６を形成し
ており、段差１６の奥部に付着したグリーンシートの切
片等の異物が除去されにくい傾向がある。しかし、異物
除去装置１では前述のように洗浄水吐出装置４が前記範
囲の揺動角αで前後に揺動しながら洗浄水を噴射するの
で、矢示するように水流の当たらない死角が無くなり、
前記異物が残らず除去され、洗浄水に伴われて洗い流さ
れる。洗浄水吐出装置４は前記コンベア３が停止してい
る時間だけ洗浄水をＰＧＡ用グリーンシート積層体２に
噴射すると洗浄水の吐出を停止し、枠体１１ａが上方に
移動される。
【００２９】次に、再びコンベア３が駆動され、洗浄さ
れたＰＧＡ用グリーンシート積層体２を上下の高圧エア
吐出装置５に挟まれる位置に搬送して８〜１３秒間停止
する。次いで、枠体１１ａがＰＧＡ用グリーンシート積
層体２の直上に下降し、ケプラー製ネット８とケプラー
製ネット１３とによりＰＧＡ用グリーンシート積層体２
を挟持する。そして、高圧エア吐出装置５が揺動角βが
５〜６５°となる範囲でコンベア３の搬送方向に沿って
前後に揺動しながら、ノズル５ａから５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧力でエアを吹きつける。この結果、ＰＧＡ用グリーン
シート積層体２に付着している洗浄水は、前記エアによ
り飛散され大略除去されるが、ＰＧＡ用グリーンシート
積層体２を挟持している両ネット８、１３に阻害されて
前記エアが当たりにくい箇所には若干の水分が残され
る。
れたＰＧＡ用グリーンシート積層体２を上下の高圧エア
吐出装置５に挟まれる位置に搬送して８〜１３秒間停止
する。次いで、枠体１１ａがＰＧＡ用グリーンシート積
層体２の直上に下降し、ケプラー製ネット８とケプラー
製ネット１３とによりＰＧＡ用グリーンシート積層体２
を挟持する。そして、高圧エア吐出装置５が揺動角βが
５〜６５°となる範囲でコンベア３の搬送方向に沿って
前後に揺動しながら、ノズル５ａから５ｋｇ／ｃｍ2 の
圧力でエアを吹きつける。この結果、ＰＧＡ用グリーン
シート積層体２に付着している洗浄水は、前記エアによ
り飛散され大略除去されるが、ＰＧＡ用グリーンシート
積層体２を挟持している両ネット８、１３に阻害されて
前記エアが当たりにくい箇所には若干の水分が残され
る。
【００３０】そこで、前記コンベア３の停止時間後に枠
体１１ａが上方に移動されると、再びコンベア３が駆動
され、高圧エアで洗浄水が大略除去されたＰＧＡ用グリ
ーンシート積層体２を低圧エア吐出装置６の下方に搬送
して８〜１３秒間停止する。そして、枠体１１ａがＰＧ
Ａ用グリーンシート積層体２の直上に下降し、ケプラー
製ネット８とケプラー製ネット１３とにより挟持された
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２にノズル６ａから１〜
３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でエアが吹きつけられ、残余の水
分が除去される。なお、このノズル６ａによって吹きつ
けられるエアは、洗浄水がコンベア３の下流側に飛散す
るのを防止するエアカーテンの役割も果たしている。
体１１ａが上方に移動されると、再びコンベア３が駆動
され、高圧エアで洗浄水が大略除去されたＰＧＡ用グリ
ーンシート積層体２を低圧エア吐出装置６の下方に搬送
して８〜１３秒間停止する。そして、枠体１１ａがＰＧ
Ａ用グリーンシート積層体２の直上に下降し、ケプラー
製ネット８とケプラー製ネット１３とにより挟持された
ＰＧＡ用グリーンシート積層体２にノズル６ａから１〜
３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でエアが吹きつけられ、残余の水
分が除去される。なお、このノズル６ａによって吹きつ
けられるエアは、洗浄水がコンベア３の下流側に飛散す
るのを防止するエアカーテンの役割も果たしている。
【００３１】さらに、前記コンベア３の停止時間後に枠
体１１ａが上方に移動されると、再びコンベア３が駆動
され、ＰＧＡ用グリーンシート積層体２を乾燥室１４内
に搬送する。乾燥室１４内は、熱風吐出装置７のノズル
７ａから吹き出される前記温度範囲の熱風により均一に
加熱されており、ＰＧＡ用グリーンシート積層体２は乾
燥室１４内で均一に乾燥される。
体１１ａが上方に移動されると、再びコンベア３が駆動
され、ＰＧＡ用グリーンシート積層体２を乾燥室１４内
に搬送する。乾燥室１４内は、熱風吐出装置７のノズル
７ａから吹き出される前記温度範囲の熱風により均一に
加熱されており、ＰＧＡ用グリーンシート積層体２は乾
燥室１４内で均一に乾燥される。
【００３２】洗浄及び乾燥が完了したＰＧＡ用グリーン
シート積層体２は、コンベア３の末端部から図示しない
搬出装置により搬出される。
シート積層体２は、コンベア３の末端部から図示しない
搬出装置により搬出される。
【００３３】尚、異物除去装置１では、前述のようにＰ
ＧＡ用グリーンシート積層体２は、前記移載装置により
洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア吐
出装置６の間隔と等しい間隔を存して、連続的にケプラ
ー製ネット８上に載置されており、コンベア３の停止時
間は、洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧
エア吐出装置６の各装置に対して等しく設定されてい
る。従って、コンベア３が間欠的に駆動されるにつれ
て、先のＰＧＡ用グリーンシート積層体２が上下の洗浄
水吐出装置４に挟まれる位置から上下の高圧エア吐出装
置５に挟まれる位置に進むと、同時に次のＰＧＡ用グリ
ーンシート積層体２が上下の洗浄水吐出装置４に挟まれ
る位置に供給されるというように、洗浄及び乾燥が順次
連続的に行われ効率よく処理される。
ＧＡ用グリーンシート積層体２は、前記移載装置により
洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧エア吐
出装置６の間隔と等しい間隔を存して、連続的にケプラ
ー製ネット８上に載置されており、コンベア３の停止時
間は、洗浄水吐出装置４、高圧エア吐出装置５及び低圧
エア吐出装置６の各装置に対して等しく設定されてい
る。従って、コンベア３が間欠的に駆動されるにつれ
て、先のＰＧＡ用グリーンシート積層体２が上下の洗浄
水吐出装置４に挟まれる位置から上下の高圧エア吐出装
置５に挟まれる位置に進むと、同時に次のＰＧＡ用グリ
ーンシート積層体２が上下の洗浄水吐出装置４に挟まれ
る位置に供給されるというように、洗浄及び乾燥が順次
連続的に行われ効率よく処理される。
【００３４】本実施例の異物除去装置によれば、従来１
００個中７０個程度しか得られなかった良品が、１００
個中９６〜９８個得られるようになり、良品率が向上さ
れた。
００個中７０個程度しか得られなかった良品が、１００
個中９６〜９８個得られるようになり、良品率が向上さ
れた。
【００３５】本実施例では、グリーンシート積層体とし
てＰＧＡ用グリーンシート積層体を例にとって説明して
いるが、本発明の異物除去装置はＰＧＡに限られること
なく、ＬＤＣＣ（Ｌｅａｄｅｄ Ｃｈｉｐ Ｃａｒｒｉ
ｅｒ）、ＱＦＰ（ＱｕａｄＦｌａｔ Ｐａｃｋａｇ
ｅ）、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇ
ｅ）等の半導体装置用パッケージ、多層セラミックス基
板等のグリーンシート積層体にも適用することができ
る。
てＰＧＡ用グリーンシート積層体を例にとって説明して
いるが、本発明の異物除去装置はＰＧＡに限られること
なく、ＬＤＣＣ（Ｌｅａｄｅｄ Ｃｈｉｐ Ｃａｒｒｉ
ｅｒ）、ＱＦＰ（ＱｕａｄＦｌａｔ Ｐａｃｋａｇ
ｅ）、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇ
ｅ）等の半導体装置用パッケージ、多層セラミックス基
板等のグリーンシート積層体にも適用することができ
る。
【００３６】前記実施例では、乾燥手段として、高圧エ
ア吐出装置５の後方に低圧エア吐出装置６を設けている
が、グリーンシート積層体に設けられたキャビティが深
い場合には、低圧エア吐出装置６の代わりに高圧エア吐
出装置を備え、高圧エア吐出装置を２段に設けてもよ
い。
ア吐出装置５の後方に低圧エア吐出装置６を設けている
が、グリーンシート積層体に設けられたキャビティが深
い場合には、低圧エア吐出装置６の代わりに高圧エア吐
出装置を備え、高圧エア吐出装置を２段に設けてもよ
い。
【００３７】また、前記実施例では洗浄水吐出装置４及
び高圧エア吐出装置５を揺動させて、洗浄水及び高圧エ
アのＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対する死角を無
くすようにしているが、洗浄されるグリーンシート積層
体またはその支持体を揺動させるようにしてもよい。
び高圧エア吐出装置５を揺動させて、洗浄水及び高圧エ
アのＰＧＡ用グリーンシート積層体２に対する死角を無
くすようにしているが、洗浄されるグリーンシート積層
体またはその支持体を揺動させるようにしてもよい。
【００３８】
【発明の効果】以上のことから明らかなように、本発明
の異物除去装置によれば、グリーンシート積層体に付着
したグリーンシートの切片などの異物を、効率的に除去
することができる。前記グリーンシートの切片などの異
物の除去は水洗によって行われ、グリーンシート積層体
が刷毛などの硬質のものと接触することがないので、該
グリーンシートに印刷された導体等を傷つけることなく
行うことができる。
の異物除去装置によれば、グリーンシート積層体に付着
したグリーンシートの切片などの異物を、効率的に除去
することができる。前記グリーンシートの切片などの異
物の除去は水洗によって行われ、グリーンシート積層体
が刷毛などの硬質のものと接触することがないので、該
グリーンシートに印刷された導体等を傷つけることなく
行うことができる。
【００３９】また、前記グリーンシートの切片などの異
物が水洗除去されたグリーンシート積層体を、水洗手段
の下流に隣接して設けられている乾燥手段により水洗後
直ちに乾燥するので、バインダが膨潤せずグリーンシー
ト積層体の変形を避けることができると共に、導体の酸
化を避けることができる。
物が水洗除去されたグリーンシート積層体を、水洗手段
の下流に隣接して設けられている乾燥手段により水洗後
直ちに乾燥するので、バインダが膨潤せずグリーンシー
ト積層体の変形を避けることができると共に、導体の酸
化を避けることができる。
【図１】本発明に係わる異物除去装置の一実施例の構成
を一部切欠いて示す斜視図。
を一部切欠いて示す斜視図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線で切る説明的断面図。
１…異物除去装置、 ２…グリーンシート積層体、 ３
…コンベア、４…洗浄水吐出装置、 ５…高圧エア吐出
装置、 ６…低圧エア吐出装置、７…熱風吐出装置。
…コンベア、４…洗浄水吐出装置、 ５…高圧エア吐出
装置、 ６…低圧エア吐出装置、７…熱風吐出装置。
Claims (3)
- 【請求項１】グリーンシート積層体を支持して搬送する
搬送手段と、該搬送手段に支持されるグリーンシート積
層体と対向して揺動自在に設けられ洗浄水を吐出する水
洗手段と、該搬送手段の搬送方向に沿って該水洗手段の
下流に隣接して設けられ水洗後のグリーンシート積層体
を乾燥する乾燥手段とを有することを特徴とするグリー
ンシート積層体の異物除去装置。 - 【請求項２】前記乾燥手段は、水洗後のグリーンシート
積層体にエアを吹きつけて乾燥する乾燥手段であること
を特徴とする請求項１記載のグリーンシート積層体の異
物除去装置。 - 【請求項３】前記水洗手段は、洗浄水を２〜８ｋｇ／ｃ
ｍ2 の範囲の圧力で吐出する水洗手段であることを特徴
とする請求項１記載のグリーンシート積層体の異物除去
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6415992A JPH05261718A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | グリーンシート積層体の異物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6415992A JPH05261718A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | グリーンシート積層体の異物除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05261718A true JPH05261718A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=13250015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6415992A Pending JPH05261718A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | グリーンシート積層体の異物除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05261718A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07290417A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-07 | Shiyotsukubeton Japan:Kk | 仕上げ材先付けｐｃパネルの製造方法及びその装置 |
| WO2001013688A1 (fr) * | 1999-08-13 | 2001-02-22 | Kabushiki Kaisha Daishodenshi | Procede et appareil de fabrication d'une carte a circuit imprime multicouche |
| JP2018107466A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板乾燥装置 |
| JP2019163931A (ja) * | 2015-03-26 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | 乾燥方法、セラミックス部品の製造方法、及び乾燥システム |
| JP2020057705A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 |
| CN111701840A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 陕西汇丰高性能粉体材料有限公司 | 一种混凝土砂石筛分处理装置 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6415992A patent/JPH05261718A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07290417A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-07 | Shiyotsukubeton Japan:Kk | 仕上げ材先付けｐｃパネルの製造方法及びその装置 |
| WO2001013688A1 (fr) * | 1999-08-13 | 2001-02-22 | Kabushiki Kaisha Daishodenshi | Procede et appareil de fabrication d'une carte a circuit imprime multicouche |
| US7185421B1 (en) | 1999-08-13 | 2007-03-06 | Tadahiro Ohmi | Method and apparatus for manufacturing multilayer printed wiring board |
| JP2019163931A (ja) * | 2015-03-26 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | 乾燥方法、セラミックス部品の製造方法、及び乾燥システム |
| JP2018107466A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板乾燥装置 |
| JP2020057705A (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 |
| CN111701840A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-09-25 | 陕西汇丰高性能粉体材料有限公司 | 一种混凝土砂石筛分处理装置 |
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