JP2019163931A - 乾燥方法、セラミックス部品の製造方法、及び乾燥システム - Google Patents
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
Description
1以上のセラミックスグリーンシートを有し少なくとも一部が導電性ペーストで被覆されたグリーン構造体に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射して前記導電性ペーストを乾燥させる乾燥工程、
を含むものである。
T≧(−2/3)P+(596/3) 式(2)
1以上のセラミックスグリーンシートを有するグリーン構造体を用意する準備工程と、前記準備工程の後、前記グリーン構造体の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する被覆工程と、
前記被覆工程の後、前記グリーン構造体に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射して前記導電性ペーストを乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程の後、前記グリーン構造体を焼成してセラミックス部品を得る焼成工程と、
を含むものである。
1以上のセラミックスグリーンシートを有する直方体形状のグリーン構造体の上面の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する第1被覆装置と、
前記グリーン構造体の上面に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射する第1乾燥装置と、
前記グリーン構造体の上下を反転させる反転装置と、
前記グリーン構造体の前記反転後の上面の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する第2被覆装置と、
前記グリーン構造体の前記反転後の上面に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射する第2乾燥装置と、
前記第1印刷装置,前記第1乾燥装置,前記反転装置,前記第2印刷装置,前記第2乾燥装置にこの順で前記グリーン構造体を搬送する搬送装置と、
を備えたものである。
1以上のセラミックスグリーンシートを有するグリーン構造体109(後述する図5,9参照)を用意する準備工程と、
準備工程の後、グリーン構造体109の少なくとも一部を焼成後に側面導通部95となる導電性ペースト195(後述する図9,10参照)で被覆する被覆工程と、
被覆工程の後、グリーン構造体109に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射して導電性ペースト195を乾燥させる乾燥工程と、
乾燥工程の後、グリーン構造体109を焼成してセンサ素子101を得る焼成工程と、
を含む。
T≧(−2/3)P+(596/3) 式(2)
上述した実施形態の第1乾燥装置211を用いて本発明の乾燥方法を行い、出力P[W]と照射時間T[sec]とを表1に示すように種々変更した場合の導電性ペーストの乾燥状態を調べ、実験例1〜50とした。なお、排気ファン217による吸引の風速は排気ダクト215,216の吸引口で2m/secとした。乾燥時の保護板234とグリーン構造体109との上下方向の距離は、30mmとした。また、フィラメント223からの赤外線のピーク波長は約1μmであった。
T=(−2/3)P+(596/3) 式(B)
バッチ炉にグリーン構造体を搬入し、80℃の熱風で導電性ペーストの乾燥を行った点以外は、実験例1〜51と同様にして導電性ペーストを乾燥させた。実験例51では、乾燥が十分となるまでに20分と長時間を要した。
Claims (10)
- 1以上のセラミックスグリーンシートを有し少なくとも一部が導電性ペーストで被覆されたグリーン構造体に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射して前記導電性ペーストを乾燥させる乾燥工程、
を含む導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記乾燥工程では、前記赤外線を照射しながら冷却ガスにより前記グリーン構造体を冷却する、
請求項1に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記乾燥工程では、貫通孔を有する載置部材上に、前記グリーン構造体側からみて前記導電性ペーストの少なくとも一部が前記貫通孔が存在する領域と重複するように前記グリーン構造体を載置した状態で、前記赤外線を照射しながら前記貫通孔内に冷却ガスを流通させる、
請求項2に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記グリーン構造体は、長尺な直方体形状であり、
前記乾燥工程では、前記載置部材上に、複数の前記グリーン構造体が各々のグリーン構造体側からみて前記導電性ペーストの少なくとも一部が前記貫通孔が存在する領域と重複するように載置し且つ前記グリーン構造体の長手方向に垂直な方向に沿って該複数のグリーン構造体を隙間を空けて載置した状態で、前記赤外線を照射する、
請求項3に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記グリーン構造体は、複数のセラミックスグリーンシートの積層体を切断して切り出された長尺な直方体形状をしており、且つ切断面の少なくとも一部が前記導電性ペーストで被覆されている、
請求項3又は4に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記乾燥工程では、赤外線ヒーターを用い、該赤外線ヒーターの出力P[W]と赤外線の照射時間T[sec]とが下記式(1),(2)を共に満たすように前記赤外線を照射する、
T≧(−20/13)P+380 式(1)
T≧(−2/3)P+(596/3) 式(2)
請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記乾燥工程では、前記導電性ペーストを含む前記グリーン構造体の一部の領域に前記赤外線を照射する、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 前記乾燥工程では、前記導電性ペーストを密閉しない状態で、前記赤外線を照射する、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電性ペーストの乾燥方法。 - 1以上のセラミックスグリーンシートを有するグリーン構造体を用意する準備工程と、前記準備工程の後、前記グリーン構造体の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する被覆工程と、
前記被覆工程の後、前記グリーン構造体に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射して前記導電性ペーストを乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程の後、前記グリーン構造体を焼成してセラミックス部品を得る焼成工程と、
を含むセラミックス部品の製造方法。 - 1以上のセラミックスグリーンシートを有する直方体形状のグリーン構造体の上面の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する第1被覆装置と、
前記グリーン構造体の上面に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射する第1乾燥装置と、
前記グリーン構造体の上下を反転させる反転装置と、
前記グリーン構造体の前記反転後の上面の少なくとも一部を導電性ペーストで被覆する第2被覆装置と、
前記グリーン構造体の前記反転後の上面に対して、0.8μm〜4μmの波長領域にピーク波長を有する赤外線を照射する第2乾燥装置と、
前記第1印刷装置,前記第1乾燥装置,前記反転装置,前記第2印刷装置,前記第2乾燥装置にこの順で前記グリーン構造体を搬送する搬送装置と、
を備えた乾燥システム。
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