JP2012111223A - セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシートの乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基材上にセラミックスラリーを塗布し、セラミックグリーンシートを形成する段階と、複数の乾燥ゾーンを通過させることで前記セラミックグリーンシートを乾燥させる段階と、を含み、前記複数の乾燥ゾーンのうち後段に位置した少なくとも一部の乾燥ゾーンには、正の内部差圧が適用されるセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。ここで、前記内部差圧は、各乾燥ゾーンの流入圧(Pin)からその排出圧(Pout)を減ずる圧力値で定義される。
【選択図】図2
Description
<実施例>
<比較例>
Claims (12)
- 支持基材上にセラミックスラリーを塗布し、セラミックグリーンシートを形成する段階と、
複数の乾燥ゾーンを通過させることで、前記セラミックグリーンシートを乾燥させる段階と、を含み、
前記複数の乾燥ゾーンのうち前段に位置した少なくとも一部の乾燥ゾーンに正の内部差圧が適用され、ここで、前記内部差圧は、各乾燥ゾーンの流入圧からその排出圧を減ずる圧力値で定義されるセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記複数の乾燥ゾーンの前段の乾燥ゾーンの入口に、負の内部差圧が適用される空気遮断部が位置することを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートは、約2μm以下の厚さであることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記複数の乾燥ゾーンのうち後段に位置した少なくとも一つの乾燥ゾーンは、0又は負の内部差圧が適用されることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記複数の乾燥ゾーンは、五つ以上であり、
前記複数の乾燥ゾーンのうち前段に位置し正の内部差圧が適用される乾燥ゾーンの個数は、後段に位置し0又は負の内部差圧が適用される乾燥ゾーンの個数より多いことを特徴とする請求項4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記前段に位置した乾燥ゾーンの入口と、前記後段に位置した乾燥ゾーンの出口のうち少なくとも一つには、各乾燥ゾーンの内部のガスが外部に放出されないように、気流が適用されることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- セラミックスラリーから成形されたセラミックグリーンシートを移動させる支持基材と、
前記支持基材の移動経路に沿って配列された複数の乾燥ゾーンと、を含み、
前記複数の乾燥ゾーンのうち前段に位置した少なくとも一部の乾燥ゾーンは、正の内部差圧が適用され、ここで、前記内部差圧は、各乾燥ゾーンの流入圧からその排出圧を減ずる圧力値で定義されるセラミックグリーンシートの乾燥装置。 - 前記複数の乾燥ゾーンの前段の乾燥ゾーンの入口に位置し、負の内部差圧が適用される空気遮断部をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載のセラミックグリーンシートの乾燥装置。
- 前記セラミックグリーンシートは、約2μm以下の厚さであることを特徴とする請求項7に記載のセラミックグリーンシートの乾燥装置。
- 前記複数の乾燥ゾーンのうち後段に位置した少なくとも一つの乾燥ゾーンは、0又は負の内部差圧が適用されることを特徴とする請求項7に記載のセラミックグリーンシートの乾燥装置。
- 前記複数の乾燥ゾーンは、五つ以上であり、
前記複数の乾燥ゾーンのうち前段に位置し正の内部差圧が適用される乾燥ゾーンの個数は、後段に位置し0又は負の内部差圧が適用される乾燥ゾーンの個数より多いことを特徴とする請求項10に記載のセラミックグリーンシートの乾燥装置。 - 前記前段に位置した乾燥ゾーンの入口と、前記後段に位置した乾燥ゾーンの出口のうち少なくとも一つには、各乾燥ゾーンの内部のガスが外部に放出されないように、気流が適用されることを特徴とする請求項7に記載のセラミックグリーンシートの乾燥装置。
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