KR101228729B1 - 세라믹 그린시트 제조방법 및 세라믹 그린시트 건조장치 - Google Patents

세라믹 그린시트 제조방법 및 세라믹 그린시트 건조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 측면은, 지지 기재 상에 세라믹 슬러리를 도포하여 세라믹 그린시트를 형성하는 단계와 복수의 건조존을 통과시킴으로써 상기 세라믹 그린시트를 건조시키는 단계를 포함하며, 상기 복수의 건조존 중 후단에 위치한 적어도 일부의 건조존에는 양의 내부 차압이 적용되는 세라믹 그린시트 제조방법을 제공한다. 여기서, 상기 내부 차압은 각 건조존의 유입압(Pin)에서 그 배출압(Pout)을 감하는 압력치로 정의된다.

Description

세라믹 그린시트 제조방법 및 세라믹 그린시트 건조장치 {METHOD OF FABRICATING CERAMIC GREEN SHEET AND APPARATUS FOR DRYING CERAMIC GREEN SHEET}
본 발명은 세라믹 그린시트 제조에 관한 것으로서, 특히 세라믹 그린시트로부터 용제를 제거하기 위한 건조장치 및 이를 이용한 세라믹 그린시트 제조방법에 관한 것이다.
정보산업의 비약적인 발전에 따라 전자기기들이 소형화/경량화되는 요구가 뚜렷하게 나타나고 있다. 이러한 요구에 따라 전자 기기에 사용되는 다양한 전자부품도 체적 또는 두께를 감소시키거나 단위 사이즈당 기능을 향상시키는 것이 크게 요구되고 있다.
이러한 경향은 적층 세라믹 캐패시터와 같은 세라믹 전자 부품에서도 마찬가지이며, 다양한 방안이 강구되고 있다. 예를 들어, 적층 세라믹 캐패시터의 경우에, 사이즈를 감소시키면서도 용량을 높이기 위한 방안으로, 적층 세라믹 캐패시터를 구성하는 유전체층을 박막화하는 시도가 고려될 수 있다.
하지만, 유전체층의 두께가 얇아질 경우에 전기적 쇼트가 발생하게 되거나, 파괴전압이 감소하는 등 전기적 신뢰성이 저하되는 문제가 있다. 이러한 유전체층의 박막화에 따른 문제를 해결하기 위해서, 결함이 없는 유전체층을 제조할 필요가 있다. 특히, 유전체층의 두께가 아주 얇은 경우에는 아주 작은 결함에도 적층세라믹 캐패시터의 전기적 특성이 크게 저하될 수 있다.
이러한 결함을 방지하기 위해서는 소성 전의 세라믹 그린 시트 단계에서부터 결함이 없는 상태로 유지가 될 필요가 있다. 따라서, 초고용량 적층 세라믹 캐패시터를 제조하는데 있어서 결함이 없는 초박형 세라믹 그린시트의 제조기술을 개발하는 것이 매우 중요하다.
즉, 유전체층을 위한 세라믹 그린시트의 밀도를 극대화시키고 두께의 감소에 의해 발생하는 결함의 증가 및 강도의 저하 등을 최소화시키지 않으면 적층 세라믹 콘덴서의 전기적 특성을 구현시킬 수 없다.
본 발명의 목적 중 하나는 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 건조방식을 개선함으로써 결함이 없는 세라믹 그린시트의 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 결함이 없는 세라믹 그린시트를 제조하기 위한 세라믹 그린시트 건조장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 측면은, 지지 기재 상에 세라믹 슬러리를 도포하여 세라믹 그린시트를 형성하는 단계와 복수의 건조존을 통과시킴으로써 상기 세라믹 그린시트를 건조시키는 단계를 포함하며, 상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 적어도 일부의 건조존에 양의 내부 차압이 적용되는 세라믹 그린시트 제조방법을 제공한다. 여기서, 상기 내부 차압은 각 건조존의 유입압(Pin)에서 그 배출압(Pout)을 감하는 압력치로 정의된다.
상기 복수의 건조존의 전단 건조존의 입구에는 음의 내부 차압이 적용되는 공기 차단부가 더 위치할 수 있다.
본 방법은 2㎛ 이하의 두께, 바람직하게 1㎛ 이하의 두께의 세라믹 그린시트를 제조하는데 유익하게 적용될 수 있다.
일 실시형태에서, 후단에 위치한 적어도 하나의 건조존은 0 또는 음의 내부 차압이 적용될 수 있다. 특정 예에서는, 상기 복수의 건조존은 5개 이상일 수 있으며, 이 경우에, 상기 복수의 건조존 중 전단에 위치하며 양의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수는 상기 복수의 건조존 중 후단에 위치하며 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수보다 크다.
상기 전단에 위치한 건조존의 입구와 상기 후단에 위치한 건조존의 출구 중 적어도 하나에는 각 건조존의 내부의 가스가 외부로 방출되지 않도록 에어 플로우가 적용될 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 세라믹 슬러리로부터 성형된 세라믹 그린 시트를 이동시키는 지지 기재와, 상기 지지 기재의 이동 경로를 따라 배열된 복수의 건조존을 포함하며,상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 적어도 일부의 건조존에는 양의 내부 차압이 적용되는 세라믹 그린시트 건조장치를 제공할 수 있다.
건조존 내부의 차압을 0 또는 음의 값에서 양의 값으로 변경함으로써 건조존 내부의 가스 농도를 높일 수가 있다. 건조존 내부의 가스 농도가 높아지면 세라믹 그린 시트의 표면에서의 건조 속도가 느려지므로, 결함이 없는 고밀도 세라믹 그린시트를 제조할 수 있다.
슬러리 표면에서 증발되는 용제의 건조 속도를 천천히 제어함으로써 고밀도의 초박막 세라믹 그린시트를 제조할 수 있다. 특히, 증발된 용제를 이용하여 건조존 내부의 가스 농도를 양의 값으로 조절함으로써 건조존 내부의 클린도를 높은 수준으로 유지할 수 있다.
도1은 본 발명에서 채용될 수 있는 세라믹 그린시트 제조공정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 세라믹 건조장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도3은 본 발명에 따른 일 실시예와 비교예에 따라 얻어진 세라믹 그린시트의 단면을 촬영한 주사전자현미경(SEM) 사진이다.
도4는 본 발명에 따른 일 실시예와 비교예에서 건조존의 압력조건에 따른 가스검출농도를 비교하는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 보다 상세히 설명하기로 한다.
도1은 본 발명에서 채용될 수 있는 세라믹 그린시트 제조공정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도1을 참조하면, 세라믹 그린시트 제조공정은 세라믹 분말과 바인더와 유기 용제를 혼합하여 세라믹 슬러리를 형성하는 단계(S12)로 시작된다.
적층 세라믹 캐패시터를 위한 세라믹 슬러리를 마련한 경우에, 세라믹 분말은 고유전율 재료일 수 있다. 바인더로는 폴리비날 부티랄(PVB)과 같은 물질이 사용될 수 있다. 유기 용제는 알콜이 사용될 수 있다.
다음으로, 세라믹 슬러리에서 기포를 제거하기 위한 탈포공정(S14)을 실시한다. 이러한 탈포공정은 세라믹 슬러리에 진공상태를 적용함으로써 이루어질 수 있다. 예를 들어, 본 공정은 세라믹 슬러리를 진공 또는 유사진공상태에서 교반과정을 이용하여 실행될 수 있다. 본 공정에서 슬러리를 목적하는 점도범위에 유지되도록 관리할 수 있다.
이어, 세라믹 슬러리를 시트상으로 성형하는 공정(S16)을 실시한다. 이러한 시트 성형공정은 지지 기재 상에 닥터 블레이드법과 같은 공지된 공정을 이용하여 원하는 두께로 형성될 수 있다.
다음으로, 성형된 세라믹 그린 시트를 건조하는 공정을 실시한다. 이러한 건조공정을 통해서, 세라믹 그린시트로부터 용제가 증발되고 세라믹 전자부품을 제조하는데 사용될 수 있는 세라믹 그린 시트를 제공할 수 있다.
후막의 세라믹 그린시트(예, 2㎛ 초과)를 성형하기 위해서는 성형공정에서 도포되는 슬러리의 양은 많아질 것이다. 즉, 동일한 고형분의 슬러리일 경우에, 건조 후에도 큰 두께의 세라믹 그린시트를 성형하기 위해서는 도포되는 양이 많을 것이다.
이와 같이, 시트를 형성하기 위해서 도포되는 슬러리의 양이 클 경우에 그 슬러리에 포함된 용제의 양도 그 양에 비례하여 많아지며, 이는 건조공정에서 제거해야 할 용제의 양이 증가하는 것을 의미한다.
이러한 후막인 경우에는 각 건조장치의 건조존(drying zone)에서는 외부에서 유입되는 공기보다 배출되는 공기를 많게 유지하는 것이 세라믹 그린시트를 충분히 건조하는데 유리할 수 있다. 즉, 각 건조존의 유입압(Pin)에서 그 배출압(Pout)을 감하는 압력치를 내부 차압으로 정의할 때에, 후막 공정에서는 건조존 내부의 차압을 음압(-P) 또는 0에 가까운 압력 (+/-P)으로 유지시키는 것이 적합할 수 있다.
이와 달리, 세라믹 그린시트을 박막(예, 2㎛ 이하)으로 성형하기 위해서는 도포되는 슬러리의 부피가 적으므로, 슬러리에 함유된 용제의 양은 세라믹 그린시트가 후막으로 도포된 경우에 비해서 매우 적을 것이다. 따라서, 슬러리에 포함된 용제의 양이 임계 양보다 적은 경우에는 슬러리에 포함된 세라믹 및 유기물(바인더 등)의 재배열 없이 건조가 마무리될 수 있다.
한편, 이 경우에, 건조존 내부에 존재하는 가스 농도가 작기 때문에 건조 속도가 더 급격하게 증가할 수 있다. 이로 인해, 건조 과정에서 심각하게 결함이 발생될 수 있으며, 세라믹 전자부품에 채용될 경우에는 쇼트 불량과 같은 전기적 신뢰성의 저하를 초래할 수 있다.
이러한 문제점을 감안하여, 본 세라믹 그린시트 제조방법에서는, 상대적으로 적은 양의 융제를 함유한 세라믹 그린시트, 대표적으로 초박막의 세라믹 그린 시트 공정에서 매우 유용하도록 용제의 증발 속도를 늦추고, 동시에 건조존의 가스검출농도를 적절한 수준으로 유지될 수 있는 조건으로 건조하는 방안을 제안하고 있다.
이를 위해서, 전체의 건조존에서 통상 효과적인 건조를 위해서 음압(-P) 또는 0에 가까운 내부 압력(유입압(Pin)-배출압(Pout))이 적용되는 것과 달리, 복수의 건조존 중 전단에 위치한 적어도 일부의 건조존에서 양의 내부차압을 적용한다.
이로써, 적은 양의 융제의 증발속도를 적절히 제어하고, 충분한 세라믹 입자의 재배열시간을 확보함으로써 초저결함의 세라믹 그린시트를 제조할 수 있다.
또한, 건조존이 양의 내부차압, 즉 배출압(Pout)보다 유입압(Pin)이 큰 조건이므로, 외부의 이물들이 건조존의 내부영역으로 흡입되는 것이 효과적으로 억제되어 높은 클린도를 유지할 수 있는 장점도 제공한다.
상기한 방안에 적용되는 본 발명에 따른 세라믹 그린시트 건조장치의 일 예가 도2에 도시되어 있다. 도2를 참조하여, 본 실시형태에 따른 세라믹 그린시트의 건조장치와 함께 이를 이용한 세라믹 그린시트 제조방법에 대해서 설명하기 위한 개략도이다.
도2에 도시된 세라믹 그린 시트 건조장치는, 세라믹 그린 시트(26)를 이동시키는 지지 기재(25)와, 상기 지지 기재(25)의 이동 경로를 따라 배열된 복수의 건조존(20)을 포함한다. 본 실시형태에서 건조존(20)은 5개(20a-20e)로 예시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도2에 도시된 바와 같이, 복수의 건조존(20a-20e) 전단에 공기차단부(22)를 설치할 수 있다. 상기 공기차단부(22)는 강한 음압력(-P)을 유지하여 외부 공기가 건조존(20) 내부로 유입되는 것을 막는 동시에, 슬러리에서 증발된 유해성 유기 용제가 외부로 빠져나가는 것을 방지할 수 있다.
복수의 건조존(20) 중에서 세라믹 그린시트(26)가 진입하는 전단에 위치한 건조존(20a-20c)에 대해서는 비교적 강한 양의 내부 차압을 유지한다.
본 실시형태와 같이, 필요에 따라서, 후단에 위치한 일부 건조존(20d-20e)에는 0 또는 음의 내부 차압을 적용함으로써 세라믹 입자의 충분한 재배열 후에 잔류한 용제를 증발시킬 수 있다. 또한, 잔류 융제의 증발 전에 충분한 재배열을 보장하기 위해서, 양의 내부 차압이 적용되는 전단의 건조존(20a-20c) 개수는 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 후단의 건조존(20d-20e) 개수를 많게 설계할 수 있다.
보다 구체적으로, 제1 건조존(20a)부터 시트이동방향에 따른 순서대로, 제2 및 제3 건조존(20b,20c)까지 강한 양의 내부차압을 유지할 수 있다. 바람직하게, 제1 내지 제3 건조존의 내부 차압은 5Pa 이상으로 유지할 수 있다. 2㎛이하, 특히 1㎛이하의 초박막으로 도포된 세라믹 그린시트의 건조 속도를 늦춤으로써 세라믹 및 유기 바인더의 충분한 재배열할 시간을 확보할 수 있다.
슬러리 조건 및 다른 건조조건에 따라, 채용하지 않거나, 그 수를 달리 할 수 있으나, 본 실시형태에서는, 후단에 위치한 제4 및 제5 건조존은 0 또는 강한 음의 내부 차압(예를 들어, -5Pa 이하의 강한 내부차압)을 유지함으로써, 재배열 후에 잔류한 용제를 확실하게 증발시킬 수 있다. 또한, 세라믹 그린시트가 건조되는 건조존(특히, 양의 내부차압 영역)에 외부의 공기가 유입되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태에 따른 건조존은 주된 영역에서 양의 내부 차압으로 유지되면서도 공기 차단부와 함께 이를 대비한 후단에 위치한 음의 내부 차압을 채용함으로써 전체 건조존 내부의 클린도가 매우 높게 유지할 수 있다. 동시에 박막건조시에 급속한 증발로 인해서 발생되는 세라믹 그린시트의 결함을 방지할 수가 있으며 최종 잔류한 용제를 확실히 제거해 줌으로써 세라믹 그린시트의 품질을 향상시킬 수 있다.
본 실시형태와 같이, 외부 대기의 건조존으로의 유입을 보다 효과적으로 차단하는 동시에, 유해성 유기 용제가 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해서, 그린시트의 유입구와 배출구 중 적어도 한 곳에 각각 에어 플로우(air flow)를 적용할 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 참조하여 본 발명의 작용과 효과를 구체적으로 설명히기로 한다.
< 실시예 >
세라믹 분말을 바인더와 유기 용제를 혼합하여 세라믹 슬러리를 마련한 후에, 0.4㎛의 초박막 세라믹 그린시트를 성형하였다.
성형된 초박막 세라믹 그린시트를 도2에 도시된 형태와 유사하게 5개의 건조존을 갖는 건조장치를 이용하여 건조하였다. 여기서, 각 건조존의 내부 차압의 조건은 아래의 표1과 같이 제1 내지 제3 건조존은 양의 내부 차압을 적용하고, 제4 및 제5 건조존은 음의 내부 차압을 적용하였다.
< 비교예 >
실시예와 동일한 조건으로, 세라믹 분말을 바인더와 유기 용제를 혼합하여 세라믹 슬러리를 마련한 후에, 0.4㎛의 초박막 세라믹 그린시트를 성형하였다.
성형된 초박막 세라믹 그린시트를 실시예에 사용되는 건조장치를 이용하여 건조하되, 건조조건은 아래의 표1과 같이 제1 내지 제5 건조존을 모두 음의 내부 차압을 적용하였다.
구분 제1 건조존 제2 건조존 제3 건조존 제4 건조존 제5 건조존
실시예 +5Pa 이상 +5Pa 이상 +5Pa 이상 -5Pa 이하 -5Pa 이하
비교예 -5Pa 이하 -5Pa 이하 -5Pa 이하 -5Pa 이하 -5Pa 이하
결함 발생 정도를 확인하기 위해서 실시예 및 비교예에 따라 제조된 세라믹 그린시트에 대해서 각각 단면을 SEM으로 촬영하였다. 그 촬영된 사진은 도4에서 확인할 수 있다.
우선, 비교예에 따라 얻어진 세라믹 그린시트는 도3a에 나타난 바와 같이, 유전체영역에 많은 결함(검게 나타남)이 발생된 것을 확인할 수 있다. 이에 반해, 실시예에 따라 얻어진 세라믹 그린 시트는 도3b에 나타난 바와 같이, 결함의 수와 크기가 매우 작으며, 초박막인 고밀도 그린 시트의 두께도 균일하게 유지된 것을 확인할 수 잇다.
이는 앞서 설명한 바와 같이, 비교예에서 건조존 내부에 강한 음의 내부차압이 적용되므로, 증기압이 매우 낮게 형성되어 슬러리의 건조속도가 매우 빠르다. 이로 인해, 재배열할 시간이 충분치 않기 때문에 결함이 많고 밀도가 낮은 그린시트가 마련되는데 반면에, 실시예의 조건에서는 건조존 내부에 강한 양의 내부 차압이 적용되므로, 내부 증기압이 매우 높게 형성되어 슬러리의 건조속도가 매우 느리고, 이로 인해, 재배열할 시간이 충분하므로, 결함이 없고 밀도가 높은 그린시트를 제조할 수 있다.
이와 함께, 각 실시예 및 비교예에 따른 조건에 의해 그린시트의 건조공정을 완료한 후에, 각 건조존 내부에서 이물 개수를 검출하여 클린도를 측정하였다. 그 결과를 표2에 나타냈다.
구분
 0.3㎛ 이상의 이물개수 0.5㎛ 이상의 이물개수
실시예 비교예 실시예 비교예
제1 건조존 13 99 1 35
제2 건조존 3 95 2 24
제3 건조존 32 121 5 31
제4 건조존 25 85 3 10
제5 건조존 42 82 8 11
표2는 건조존의 내부 차압에 따른 건조존 내부에서의 이물의 개수를 나타낸다. 실시예와 비교예에 따른 건조존 내부의 이물 개수를 보면 실시예에 비하여 비교예의 이물 개수가 크게 많은 것을 확인할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 실시예가 비교예에 비해 세라믹 그린시트를 성형하기 위해 높은 클린도를 보장할 수 있었다.
이는 건조존 내부의 압력을 주되게 양의 내부 차압으로 유지시킴으로써 건조존 내부로 불순물이 유입되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 건조존 내부에 존재하던 불순물을 건조존 외부로 자연스럽게 빠져 나가므로, 높은 클린도를 보장할 수 있는 것을 확인할 수 있었다.
한편, 건조 완료 후에 각 실시예 및 비교예에 따른 건조장치의 각 건조존에 대해서 가스검출농도를 측정하였다. 가스검출농도는 세라믹 그린시트 건조장치에서 중요한 관리사항 중 하나로서, 그 측정된 결과를 위험수준인 가스폭발의 하한치를 100 %라 할 때에 각 건조존의 가스검출농도를 도4의 그래프로 나타내었다.
도4에 나타난 바와 같이, 비교예(ⓑ)의 경우에, 전단부에서 높은 가스 검출 농도를 갖고 있는 반면에, 실시예(ⓐ)에서는 전단부뿐만 아니라, 잔류 용제를 증발시키기 위해 음의 내부 차압이 적용되는 제4 및 제5 건조존에서도 낮은 가스검출농도를 유지할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 이와 같은 결과는, 실시예에 따른 세라믹 건조장치에서의 가스에 따른 위험도 관리측면에서 유익하다는 것으로 이해될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.

Claims (12)

  1. 지지 기재 상에 세라믹 슬러리를 도포하여 세라믹 그린시트를 형성하는 단계; 및
    복수의 건조존을 통과시킴으로써 상기 세라믹 그린시트를 건조시키는 단계를 포함하며,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 적어도 일부의 건조존에 양의 내부 차압이 적용되며, 여기서, 상기 내부 차압은 각 건조존의 유입압(Pin)에서 그 배출압(Pout)을 감하는 압력치로 정의되는 세라믹 그린시트 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 건조존의 전단 건조존의 입구에 음의 내부 차압이 적용되는 공기 차단부가 위치하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 제조방법.
  3. 제1항에 있어서
    상기 세라믹 그린시트는 2㎛ 이하의 두께인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 건조존 중 후단에 위치한 적어도 하나의 건조존은 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 건조존은 5개 이상이며,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치하여 양의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수는 후단에 위치하여 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수보다 많은 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 건조존의 입구와 상기 복수의 건조존 중 후단에 위치한 건조존의 출구 중 적어도 하나에는 각 건조존의 내부의 가스가 외부로 방출되지 않도록 에어 플로우가 적용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 제조방법.
  7. 세라믹 슬러리로부터 성형된 세라믹 그린 시트를 이동시키는 지지 기재; 및
    상기 지지 기재의 이동 경로를 따라 배열된 복수의 건조존을 포함하며,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 적어도 일부의 건조존은 양의 내부 차압이 적용되며, 여기서, 상기 내부 차압은 각 건조존의 유입압(Pin)에서 그 배출압(Pout)을 감하는 압력치로 정의되는 세라믹 그린시트 건조장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 건조존의 전단 건조존의 입구에 위치하며, 음의 내부 차압이 적용되는 공기 차단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 건조장치.
  9. 제7항에 있어서
    상기 세라믹 그린시트는 2㎛ 이하의 두께인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 건조장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 건조존 중 후단에 위치한 적어도 하나의 건조존은 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 건조장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 건조존은 5개 이상이며,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치하여 양의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수는 후단에 위치하여 0 또는 음의 내부 차압이 적용되는 건조존의 개수보다 많은 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 건조장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 건조존 중 전단에 위치한 건조존의 입구와 상기 복수의 건조존 중 후단에 위치한 건조존의 출구 중 적어도 하나에는 각 건조존의 내부의 가스가 외부로 방출되지 않도록 에어 플로우가 적용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 건조장치.
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