KR101214730B1 - 세라믹 그린시트 제조장치 - Google Patents

세라믹 그린시트 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 세라믹 그린시트 제조장치를 개시하고 있다. 세라믹 그린시트 제조장치는 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단; 상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 및 상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치된 상기 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 포함할 수 있다.

Description

세라믹 그린시트 제조장치{Apparatus for manufacuring ceramic green sheet casting}
본 발명은 세라믹 그린시트 제조장치에 관한 것으로, 슬러리 도포수단에서 건조수단의 사이에 배치된 건조방지챔버를 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치에 관한 것이다.
초고용량 적층형 세라믹 콘덴서를 개발하기 위해서, 세라믹 그린시트의 박막화 및 고적층화가 요구된다. 그러나, 세라믹 그리시트의 두께의 감소와 세라믹 그린시트 적층수의 증가는 칩의 전기적 쇼트율을 증가시키는 요인이 되었다. 이는 세라믹 그린시트가 박막화될 수록 세라믹 그린시트상의 작은 결함에도 전기적 쇼트가 발생하기 쉽기 때문이다.
이에 따라, 초고용량 적층형 세라믹 콘덴서를 제조하기 위해서, 박막의 무결점 세라믹 그린시트를 제조하는 것이 필수적인 요소가 될 수 있다.
한편, 세라믹 그린시트의 제조를 위한 제조장치는 세라믹 분말, 바인더 수지 및 용제를 포함하는 슬러리를 필름상에 도포하는 도포수단과 도포된 슬러리를 건조하기 위한 건조수단을 포함할 수 있다.
여기서, 박형, 즉 1um이하의 세라믹 그린시트를 제조하게 될 경우, 필름상에 도포된 슬러리에 포함된 용제의 양도 적어지므로, 도포장치에서 슬러리가 도포된 시점부터 건조장치까지 이동하는 동안에 슬러리가 급격하게 건조될 수 있다. 여기서, 슬러리의 급격한 건조는 세라믹 그린시트의 내부에 많은 결점을 발생시킬 수 있다.
더욱이, 도포수단에서 건조수단까지의 거리가 길기 때문에, 슬러리의 급격한 건조는 더욱 심해질 수 있어, 박형의 세라믹 그린시트의 결점 발생은 더욱 심화될 수 있다.
또한, 슬러리가 도포된 필름이 도포수단에서 건조수단까지 이동하는 동안에 외부의 이물에 의해 오염될 수 있을 뿐만 아니라, 외부 바람에 의해 도포된 슬러리의 표면물성이 안 좋아질 수 있다.
또한, 슬러리로부터 휘발된 용제가 작업실내에 잔존하게 되어, 작업환경을 저화시키는 요인이 될 수 있다.
따라서, 본 발명은 세라믹 그린시트 제조장치에서 발생될 수 있는 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 구체적으로 슬러리 도포수단에서 건조수단의 사이에 배치된 건조방지챔버를 포함하여 박형의 무결점 세라믹 그린 시트를 제조할 수 있는 세라믹 그린시트 제조장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 세라믹 그린시트 제조장치를 제공하는 것이다. 상기 세라믹 그린시트 제조장치는 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단; 상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 및 상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치된 상기 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 건조방지 챔버의 내부는 증기압을 대기압보다 높게 유지할 수 있다.
또한, 상기 건조방지 챔버의 내부는 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 또는 폭발 하한치 이하를 유지할 수 있다.
또한, 상기 건조 수단은 상기 필름의 이동방향에 따라 배치된 배기부와 흡기부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 건조방지 챔버 내부에 배치된 진공롤을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 목적은 세라믹 그린시트 제조장치를 제공하는 것이다. 상기 세라믹 그린시트 제조장치는 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단; 상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 및 상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치되며, 내부로 외부기체를 제공하는 흡입구와 외부로 내부기체를 배출하는 배기구를 포함하는 건조방지 챔버;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 흡입구와 상기 배기구의 개폐를 각각 조절할 수 있는 밸브를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 배기구와 상기 흡입구의 배치 순서는 상기 슬러리가 도포된 필름의 이동방향으로 순차적으로 상기 건조방지 챔버의 상단에 배치될 수 있다.
또한, 상기 외부기체는 불활성 기체를 사용할 수 있다.
또한, 상기 건조방지 챔버의 내부에서 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치를 유지할 수 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 세라믹 그린시트 제조장치를 제공하는 것이다. 상기 세라믹 그린시트 제조장치는 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단; 상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치되며, 적어도 일면에 개구부를 구비하고, 상기 슬러리의 건조를 방지하는 건조방지 챔버; 및 상기 개구부의 개폐를 조절하여, 상기 건조방지 챔버 내부의 증기압을 대기압보다 높게 유지시키기 위한 증기압 조절 제어수단;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 증기압 조절 제어수단은 타원형의 롤 형태를 가지며, 다수의 슬릿을 구비하는 슬릿부와 상기 슬릿부와 연결된 차단부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 증기압 조절 제어수단의 양측 내부에 배치되어 상기 증기압 조절 제어수단의 회전을 통해 상기 개구부의 개폐를 조절하는 구동롤러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 증기압 조절 제어수단은 다수의 제 1 슬릿을 구비하는 제 1 슬릿부; 및 상기 제 1 슬릿과 대응된 제 2 슬릿을 구비하며, 상기 제 1 슬릿부상에서 좌우로 이동하여 상기 제 1 슬릿을 커버하거나 오픈할 수 있는 제 2 슬릿부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 건조방지 챔버의 내부에서 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치를 유지할 수 있다.
본 발명의 세라믹 그린시트 제조장치는 도포수단과 건조수단사이에 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 구비함으로써, 무결점의 박형 그린시트의 제조가 가능할 수 있다.
또한, 세라믹 그린시트 제조장치는 건조방지 챔버를 구비함으로써, 슬러리가 외부 이물질로부터 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 세라믹 그린시트 제조장치는 건조방지 챔버를 구비함으로써, 슬러리로부터 휘발된 용제로 인해 작업실 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 건조방지 챔버는 증기압 조절 제어수단을 구비함으로써, 용제로부터의 연소 또는 폭발을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치의 일부 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치에 구비된 건조방지 챔버의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치에 구비된 건조방지 챔버의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치에 구비된 건조방지 챔버의 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 세라믹 그린시트 제조장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치의 일부 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치는 도포수단(110), 건조수단(120) 및 도포수단(110)과 건조수단(120)사이에 배치된 건조방지 챔버(130)를 포함할 수 있다.
도포수단(110)은 필름(F)상에 세라믹 분말, 바인더 수지 및 용제를 포함하는 슬러리(S)를 도포하는 역할을 할 수 있다. 여기서, 세라믹 분말, 바인더 수지 및 용제는 통상적으로 그린시트를 형성하는 재질이면 어떤 것이든 이용될 수 있다. 또한, 필름(F) 재질의 예로서는 PET일 수 있으나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니다.
도포수단(110)은 필름(F)상에 슬러리(S)를 분사하여 도포할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니며, 예컨대 도포수단(110)은 닥터 블레이드 장치, 롤 코팅 장치, 리버스 코팅 장치, 슬릿다이 코팅장치등일 수 있다.
여기서, 필름(F)상에 도포된 슬러리(S)는 박형, 예컨데 1um이하의 두께로 형성될 수 있다.
슬러리(S)의 도포는 지면에 대해 수직한 필름(F)상에 수행될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니다.
슬러리(S)가 도포된 필름(F)은 진공롤(140)을 통해 건조수단(120)으로 이동할 수 있다. 여기서, 진공롤(140)은 다수의 진공홀을 구비할 수 있다. 이때, 진공홀을 통해 진공을 인가한 후, 진공롤(140)의 회전에 의해, 진공롤(140)에 슬러리(S)가 도포된 필름(F)은 수직 또는 경사진 상태에서 수평한 상태로 건조수단(120)으로 이동될 수 있다.
건조수단(120)은 필름(F)상에 도포된 슬러리(S)를 건조하여 세라믹 그린시트(G)를 형성할 수 있다. 이때, 건조수단(120)은 슬러리를 건조하기 위한 가열수단을 구비할 수 있다.
또한, 건조수단(120)은 필름(F)의 이동방향 순서에 따라 순차적으로 배치된 배기부(121)와 흡기부(122)를 구비할 수 있다. 즉, 배기부(121)는 필름(F)의 투입을 위한 투입구(123)와 가깝게 배치되며, 흡기부(122)는 필름(F)의 배출을 위한 배출구(124)와 가깝게 배치될 수 있다. 이에 따라, 건조수단(120)의 내부는 필름의 이동방향과 반대방향의 기류를 발생시킬 수 있어, 건조수단(120) 내부의 용제의 농도는 영역별로 일정해질 수 있다. 이는 슬러리(S)로부터 휘발된 용제의 농도는 건조수단(120)의 배출구(124)에서보다 투입구(123)에서 더욱 높아질 수 있기 때문에, 그린시트에 결함이 발생할 수 있기 때문이다.
여기서, 건조수단(120)은 하나의 건조실로 이루어진 것으로 도시하였으나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니며, 예컨대, 건조수단은 2개 이상의 건조실을 구비할 수 있다.
건조방지 챔버(130)는 도포수단(110)과 건조수단(120)사이에 배치시킬 수 있다. 건조방지 챔버(130)는 슬러리(S)의 불안정한 건조를 방지하기 위해 건조방지 챔버(130)의 내부는 대기압보다 높은 증기압을 가질 수 있다. 이때, 증기압은 슬러리(S)로부터 휘발된 용제의 농도 조절을 통해 높일 수 있다. 즉, 증기압은 용제의 농도의 증가에 따라 상승시킬 수 있다.
이에 따라, 필름(F)상에 도포된 슬러리(S)의 두께가 작기 때문에 발생하는 슬러리(S)의 급격한 건조를 방지할 수 있다. 즉, 필름(F)상에 도포된 슬러리(S)는 건조수단(120)에서만 건조가 이루어지도록 할 수 있어, 슬러리(S)의 건조 제어가 가능해져, 무결점의 박형 세라믹 그린시트를 제조할 수 있다.
이에 더하여, 건조방지 챔버(130)의 내부에서 슬러리(S)로부터 휘발된 용제의 농도가 계속적으로 증가하게 될 경우, 연소 및 폭발이 쉽게 발생할 수 있다. 이에 따라, 연소 및 폭발을 방지하기 위해, 건조방지 챔버의 내부 용제 농도는 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치 이하로 유지될 수 있다. 이때, 용제의 종류에 따라 용제 농도의 연소 하한치 또는 폭발 하한치가 달라질 수 있다. 예컨대, 용제가 톨루엔의 무게비와 에탄올의 무게비가 1:1일 경우, 용제의 폭발 하한치는 2.25vol%일 수 있으므로, 건조방지 챔버(130)의 내부는 2.25vol%이하로 유지할 수 있다. 이때, 폭발을 안정적으로 방지하기 위해, 건조방지 챔버(130) 내부의 용제 농도는 용제의 폭발 하한치의 50%이하, 즉 1.13vol%이하로 유지될 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에서와 같이, 슬러리 도포수단과 슬러리 건조수단사이에 배치되어 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 구비함으로써, 도포수단에서 건조수단사이에서 외부의 이물과 바람에 의해 초기 건조 불안전성을 억제시킬 수 있다. 즉, 본 발명의 제 1 실시예를 통한 세라믹 그린시트 제조장치를 통해, 무결점의 박형 그린시트의 제조가 가능할 수 있다.
이하, 도 2를 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조장치에 대해서 설명하기로 한다. 여기서, 배기구와 흡기구를 구비한 건조방지 챔버를 제외하고 앞서 설명한 제 1 실시예와 동일한 구성을 가지므로, 반복된 설명은 생략하기로 하며, 도 2에 있어서, 건조방지 챔버만을 도시하도록 한다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치에 구비된 건조방지 챔버의 개략도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치는 슬러리(S)를 도포하는 도포수단(110)과 슬러리(S)를 건조하는 건조수단(120)사이에서 슬러리(S)의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버(230)를 포함할 수 있다.
건조방지 챔버(230)는 내부의 증기압을 대기압보다 높게 유지시킴으로써, 건조방지 챔버(230) 내에서 슬러리(S)의 건조를 방지할 수 있다.
증기압의 조절은 슬러리(S)로부터 휘발된 용제의 농도를 통해 조절될 수 있다. 그러나, 증기압은 용제의 농도를 통해서만 조절할 경우, 건조방지 챔버 내부의 증기압의 제어가 용이하지 않을 뿐만 아니라, 증기압을 높이기 위하여 많은 시간이 소요될 수 있다.
이를 해결하기 위해, 건조방지 챔버(230)는 흡입구(231)를 구비할 수 있다. 흡입구(231)는 건조방지 챔버(230) 내부로 증기압을 높이기 위한 기체를 투입하여, 건조방지 챔버(230) 내부의 증기압을 용이하게 대기압보다 높일 수 있다. 여기서, 기체는 슬러리에 화학적으로 영향을 미치지 않는 불활성 기체, 예컨대 질소, 아르곤, 헬륨, 및 네온등을 이용할 수 있다.
이에 더하여, 건조방지 챔버(230)의 내부에서 용제의 농도가 일정 이상일 경우, 연소 또는 폭발이 발생할 수 있다. 이때, 건조방지 챔버(230)의 내부의 용제 농도는 더욱 안정적인 관리를 위해 연소 하한치 또는 폭발 하한치에 대하여 50% 이하로 유지할 수 있다.
이에 따라, 건조방지 챔버(230) 내부의 용제 농도를 일정 이상 증가했을 때, 내부의 기체를 외부로 배출하기 위한 배기구(232)를 구비할 수 있다. 이에 더하여, 흡입구(231)를 통해 투입된 기체를 통해, 용제의 농도를 희석시키며, 대기압보다 높은 증기압을 유지할 수 있다.
여기서, 흡입구(231)와 배기구(232)의 개폐를 조절할 수 있는 밸브(233)를 각각 구비할 수 있다. 이에 따라, 밸브(233)의 조작에 의해, 건조방지 챔버(230) 내부의 용제 농도를 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 배기구(232)와 흡입구(231)는 슬러리(S)가 도포된 필름(F)의 이동방향으로 순차적으로 건조방지 챔버(230)의 상단에 배치될 수 있다. 여기서, 배기구(232)와 흡입구(231)를 통한 기체의 흐름방향은 슬러리(S)가 도포된 필름(F)의 이동방향과 반대방향을 가질 수 있다. 이로써, 건조방지 챔버(230) 내부에서 영역별로 발생하는 용제의 농도 구배를 줄일 수 있어, 초기 도포된 슬러리(S)의 안정성을 확보할 수 있다. 이는, 건조방지 챔버(230) 내부의 용제 농도는 필름(F)의 투입구(234)가 배출구(235)보다 더 높을 수 있기 때문이다.
따라서, 본 발명의 제 2 실시예에서와 같이, 건조방지 챔버는 불활성 기체의 투입을 위한 흡입구 및 배기구를 구비하여, 건조방지 챔버 내부의 증기압을 용이하게 제어할 뿐만 아니라, 휘발된 용제에 의한 연소 또는 폭발을 효과적으로 방지할 수 있다.
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이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조장치에 대해서 설명하기로 한다. 여기서, 증기압 조절 제어수단을 제외하고 앞서 설명한 제 3 실시예와 동일한 구성을 가지므로, 반복된 설명은 생략하기로 하며, 도 4에 있어서, 건조방지 챔버만을 도시하도록 한다.
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치에 구비된 건조방지 챔버의 개략도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 세라믹 그린시트 제조 장치는 도포수단(110), 건조수단(120) 및 도포수단(110)과 건조수단(120) 사이에 배치된 건조방지 챔버(430)를 포함할 수 있다.
건조방지 챔버(430)의 개구부(431)에 내부의 증기압을 조절하는 증기압 조절 제어수단(436)이 배치될 수 있다.
증기압 조절 제어수단(436)은 다수의 제 1 슬릿(433)을 구비하는 제 1 슬릿부(432)와 제 1 슬릿(433)과 대응된 제 2 슬릿(435)을 다수개 구비하는 제 2 슬릿부(434)를 구비할 수 있다. 제 1 슬릿부(432)와 제 2 슬릿부(434)는 평탄한 기판의 형태를 가질 수 있다. 제 1 슬릿부(432)와 제 2 슬릿부(434)는 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 여기서, 제 2 슬릿부(434)는 제 1 슬릿부(432)상을 좌우로 이동할 수 있다. 이때, 제 1 슬릿부(432)의 제 1 슬릿(433)은 제 2 슬릿부(434)의 이동으로 커버되거나 오픈될 수 있다.
여기서, 증기압 조절 제어수단(436)은 제 1 슬릿(433)의 개폐를 조절하여, 건조방지 챔버(430) 내부의 증기압을 제어할 수 있다. 예컨대, 건조방지 챔버(430) 내부에서 증기압이 대기압보다 낮을 경우, 제 2 슬릿부(434)는 이동하여 제 1 슬릿(433)을 커버할 수 있다. 이에 따라, 건조방지 챔버(430)의 개구부는 외부로부터 차단되어, 슬러리(S)로부터 휘발된 용제에 의해, 건조방지 챔버(430) 내부의 증기압은 상승하게 될 수 있다. 반면, 건조방지 챔버(430) 내부에서, 슬러리(S)부터 휘발된 용제의 농도가 일정 이상일 경우, 제 2 슬릿부(434)는 이동하여 제 1 슬릿(433)과 제 2 슬릿(435)을 서로 중첩되도록 하여 제 1 슬릿(433)을 오픈할 수 있다. 이에 따라, 건조방지 챔버(430) 내부의 용제는 제 1 및 제 2 슬릿(433, 435)을 통해 외부로 배출되어, 용제에 의한 연소 또는 폭발을 방지할 수 있다. 이때, 용제를 외부로 배출할 때, 제 1 슬릿(433)의 개폐정도를 조절하여 용제의 배출속도를 제어할 수 있다.
이에 따라, 증기압 조절 제어수단(436)은 건조방지 챔버(430) 내부의 증기압을 대기압보다 높게 유지하도록 조절하여, 건조방지 챔버(430) 내부에서 슬러리의 건조를 방지하는 역할을 할 수 있다. 또한, 증기압 조절 제어수단(436)은 건조방지 챔버(430) 내부에서 슬러리로부터 휘발된 용제의 농도를 연소 하한치 또는 폭발 하한치 이하로 유지하여, 용제에 의한 연소 또는 폭발을 방지하는 역할을 할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 제 2 슬릿부(434)가 이동하여 제 1 슬릿(433)의 개폐를 조절하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제 2 슬릿부(434)가 고정되고 제 1 슬릿부(432)가 이동하거나, 제 1 및 제 2 슬릿부(432, 434)가 모두 이동할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에서와 같이, 건조방지 챔버는 증기압 조절 제어수단을 구비함으로써, 슬러리의 불안정한 초기 건조를 방지하여, 양질의 그린시트를 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 건조방지 챔버 내에서 발생할 수 있는 연소 또는 폭발을 방지할 수 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 건조방지챔버의 유무에 따른 세라믹 그린시트의 표면을 관찰하고자 한다.
도 5는 건조방지 챔버를 구비하지 않은 세라믹 그린시트 제조장치로부터 제조된 비교예에 따른 세라믹 그린시트의 사진이다.
도 6은 건조방지 챔버를 구비한 세라믹 그린시트 제조장치로부터 제조된 본발명의 세라믹 그린시트의 사진이다.
여기서, 건조방지 챔버 내부의 용제 농도는 0.23vol%를 유지하였다.
도 5 및 도 6에서와 같이, 비교예에 따른 세라믹 그린시트의 표면에서 본발명에 따른 세라믹 그린시트에 비해 많은 결함이 나타나는 것을 확인할 수 있었다.
본 발명의 세라믹 그린시트 제조장치에서와 같이, 도포수단과 건조수단사이에 배치되어 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 구비함으로써, 무결점의 박형 그린시트를 제조할 수 있었다.
110 : 도포수단
120 : 건조수단
130, 230, 330, 430 : 건조방지 챔버
231: 흡입구
232 : 배기구
335, 436 : 증기압 조절 제어 수단
332 : 슬릿부
334 : 차단부
432 : 제 1 슬릿부
434 : 제 2 슬릿부

Claims (15)

  1. 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단;
    상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 및
    상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치된 상기 슬러리의 건조를 방지하기 위한 건조방지 챔버를 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 건조방지 챔버의 내부는 증기압을 대기압보다 높게 유지하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 건조방지 챔버의 내부는 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치를 유지하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 건조 수단은 상기 필름의 이동방향에 따라 배치된 배기부와 흡기부를 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 건조방지 챔버 내부에 배치된 진공롤을 더 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  6. 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단;
    상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단; 및
    상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치되며, 내부로 외부기체를 제공하는 흡입구와 외부로 내부기체를 배출하는 배기구를 포함하는 건조방지 챔버;
    를 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡입구와 상기 배기구의 개폐를 각각 조절할 수 있는 밸브를 더 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 배기구와 상기 흡입구의 배치 순서는 상기 슬러리가 도포된 필름의 이동방향으로 순차적으로 상기 건조방지 챔버의 상단에 배치되는 세라믹 그린시트 제조장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 외부기체는 불활성 기체를 사용하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 건조방지 챔버의 내부에서 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치를 유지하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  11. 필름상에 슬러리를 도포하는 도포수단;
    상기 필름상에 도포된 슬러리를 건조하는 건조수단;
    상기 도포수단과 상기 건조수단사이에 배치되며, 적어도 일면에 개구부를 구비하고, 상기 슬러리의 건조를 방지하는 건조방지 챔버; 및
    상기 개구부의 개폐를 조절하여, 상기 건조방지 챔버 내부의 증기압을 대기압보다 높게 유지시키기 위한 증기압 조절 제어수단;
    을 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 증기압 조절 제어 수단은
    다수의 제 1 슬릿을 구비하는 제 1 슬릿부; 및
    상기 제 1 슬릿과 대응된 제 2 슬릿을 구비하며, 상기 제 1 슬릿부상에서 좌우로 이동하여 상기 제 1 슬릿을 커버하거나 오픈할 수 있는 제 2 슬릿부;
    를 포함하는 세라믹 그린시트 제조장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 건조방지 챔버의 내부에서 상기 슬러리부터 휘발된 용제의 농도가 상기 용제의 연소 하한치 또는 폭발 하한치를 유지하는 세라믹 그린시트 제조장치.
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