JPH05285924A - セラミックシ−トの乾燥装置 - Google Patents

セラミックシ−トの乾燥装置

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JPH05285924A
JPH05285924A JP4087251A JP8725192A JPH05285924A JP H05285924 A JPH05285924 A JP H05285924A JP 4087251 A JP4087251 A JP 4087251A JP 8725192 A JP8725192 A JP 8725192A JP H05285924 A JPH05285924 A JP H05285924A
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JP
Japan
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chamber
duct
hot air
ceramic sheet
drying
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Pending
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JP4087251A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Ishida
孝夫 石田
Kuniaki Sasayama
邦明 笹山
Daisuke Horii
大輔 堀井
Katsuji Ikeda
勝治 池田
Tsuguhiro Tanaka
承博 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
Original Assignee
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 トランク室12内を上下に区切ってダクト1
6と乾燥室18を形成し、ダクト16内にヒータ30と
横断流形のファン装置32を設け、乾燥室18内に温風
吹出し口28と温風吸込み口26を設け、セラミックシ
―トSを搬送ベルト24によって搬送するものである。 【効果】 温風をトランク室の幅方向に沿って吹出すこ
とが可能であり、また、乾燥装置をコンパクト化するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックシートの乾
燥装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】コンピュータのIC基板や半導体のチッ
プなどに使用されるセラミックシートがある。
【0003】従来より、このセラミックシートの製造方
法としては、アルミナ,ジルコニアなどのセラミックを
溶剤で溶かして溶液とする。この溶液は、粘度が10,
000cpsから20,000cpsの比較的粘度が高
く、スラリーという。そして、スラリーをポリエステル
フィルムなどの合成樹脂シートのキャリアフィルムの上
に塗布し(以下、スラリーが塗布された状態のセラミッ
クをセラミック生シートという)、乾燥機において乾燥
させて柔軟なセラミックシートを形成する。そして、セ
ラミックシートをふたたび熱処理装置に於いて熱硬化さ
せて、IC基板等のセラミックとして使用する。
【0004】セラミック生シートを乾燥させる乾燥装置
としては、従来より図5及び図6に示すような乾燥装置
100がある。図5は、乾燥装置100の縦断面図であ
り、図6は、乾燥装置100の平面図である。
【0005】乾燥装置100は、トランク室102、ト
ランク室102内部に設けられた温風吹出し口104、
温風吸込み口106、トランク室102の上方に設けら
れたファン108、同じくトランク室102の上方に設
けられたヒータ110、温風吸込み口106とファン1
08とを連結する第一ダクト112及び温風吹出し口1
04とヒータ110とを連結する第二ダクト114とよ
りなる。セラミックシ―トSは、温風吹出し口104と
温風吸込み口106の下方を、搬送ベルトによって搬送
する。
【0006】温風吹出し口104からは、風速0.1m
/秒から1.0m/秒の微風速で、温度が40℃〜12
0℃の温風を吹出す。温風によりセラミック生シ―トS
に含まれている溶剤が蒸発し、セラミックシ―トSが形
成される。セラミック生シ―トSを乾燥した温風は、温
風吸込み口106から第一ダクト112を経てファン1
08に循環する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の乾燥装置1
00において、セラミックシ―トSをまんべんなく乾燥
させるために温風吹出し口104と温風吸込み口106
とは、トランク室102の幅方向に沿って幅広く設ける
必要がある。そして、これら幅広の吹出し口等から温風
を吹出すために、第一ダクト112と第二ダクト114
とには、図6に示すように整流板116,118を設け
ている。
【0008】第一ダクト112内部に設けられた整流板
116は、温風吸込み口106から吹込まれた温風がト
ランク室102の幅方向に幅広く分布しているため、そ
れを集めてファン108に送るためのものである。
【0009】第二ダクト114内部に設けられた整流板
118は、ファン108から吹出された風をトランク室
102の幅方向に沿って幅広く設けられたヒータ112
にまんべんなく送るために設けられたものである。
【0010】このように、整流板116,118をダク
ト112,114内部に設ける必要があるため、第一ダ
クト112及び第二ダクト114の構造が複雑になると
いう問題点があった。また、ファン108とヒータ11
0は、トランク室102の上方に別に設ける必要があ
る。さらに、整流板116,118だけでは、風の流れ
を幅方向に均一に配分したり整流するような調整がむづ
かしく、特に整流板118,116が固定されているた
めその微調整は困難である。
【0011】
【発明の目的】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、セ
ラミックシートの乾燥工程において、温風を微風速にて
吹出しかつ幅広に均一に流すことができる乾燥装置を提
供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1のセラ
ミックシートの乾燥装置は、トランク室内を走行するセ
ラミックシ−トへ温風を吹付けて乾燥させる乾燥装置に
おいて、トランク室内を上下に区画することによりトラ
ンク室内の上部にダクトを形成し、その下部に乾燥室を
形成し、ダクト内にトランク室の幅方向に沿って気体を
加熱するヒ−タを設け、ダクト内にトランク室の幅方向
に沿って横断流形のファン装置を設け、乾燥室内のセラ
ミックシ−ト搬出口付近にダクトと連結された温風吹出
し口をトランク室の幅方向に沿って設け、乾燥室内のセ
ラミックシ−ト搬入口付近にダクトと連結された温風吸
込み口をトランク室の幅方向に沿って設け、乾燥室内の
温風吸込み口及び温風吹出し口の下方にセラミックシ−
トを搬送する搬送ベルトを設けたものである。
【0013】本発明の請求項2のセラミックシートの乾
燥装置は、トランク室内を走行するセラミックシ−トへ
温風を吹付けて乾燥させる乾燥装置において、トランク
室内を上下に区画することによりトランク室内の上部に
ダクトを形成し、その下部に乾燥室を形成し、ダクト内
にトランク室の幅方向に沿って気体を加熱するヒ−タを
設け、乾燥室内のセラミックシ−ト搬出口付近にダクト
と連結された温風吹出し口をトランク室の幅方向に沿っ
て設け、乾燥室内のセラミックシ−ト搬入口付近にダク
トと連結された温風吸込み口をトランク室の幅方向に沿
って設け、ダクト内の温風吹出し口付近にトランク室の
幅方向に沿って横断流形の第1ファン装置を設け、ダク
ト内の温風吸込み口付近にトランク室の幅方向に沿って
横断流形の第2ファン装置を設け、ダクト内の気体を排
出するための排気ダクトを設け、乾燥室内の温風吸込み
口及び温風吹出し口の下方にセラミックシ−トを搬送す
る搬送ベルトを設けたものである。
【0014】
【作 用】上記構成の請求項1のセラミックシートの乾
燥装置を用いた場合の乾燥工程について説明する。
【0015】セラミックシートは、搬送ベルトによっ
て、乾燥室のセラミックシート搬入口から搬送され乾燥
室内部を通ってセラミックシート搬出口に至る。また、
ヒータによって加熱された温風は、ファン装置によって
トランク室の幅方向に沿って幅広に温風吹出し口から吹
出される。温風によってセラミック生シートが乾燥され
セラミックシートが形成される。この後、温風は、トラ
ンク室の幅方向に沿って設けられた温風吸込み口に入
り、ふたたびヒータ及びファン装置を経て温風吹出し口
から吹出される。
【0016】上記構成の請求項2のセラミックシートの
乾燥装置を用いた場合の乾燥工程について説明する。
【0017】セラミックシートは、搬送ベルトによっ
て、乾燥室のセラミックシート搬入口から搬送され乾燥
室内部を通ってセラミックシート搬出口に至る。また、
ヒータによって加熱された温風は、第1ファン装置によ
ってトランク室の幅方向に沿って幅広に温風吹出し口か
ら吹出される。温風によってセラミック生シートが乾燥
されセラミックシートが形成される。この後、温風は、
第2ファン装置によってトランク室の幅方向に沿って設
けられた温風吸込み口に入り、ふたたびヒータ及びファ
ン装置を経て温風吹出し口から吹出される。また、その
温風の一部は、排気ダクトから排出される。
【0018】
【実施例】以下、本発明の第1の実施例の乾燥装置10
について説明する。
【0019】符号12はトランク室である。トランク室
12の天井面近くには隔壁14が水平方向に設けられ、
トランク室12内部を上下に区画している。そして、ト
ランク室12の上部の区画部をダクト16とし、下部の
区画部を乾燥室18としている。乾燥室18には、セラ
ミックシ―トSの搬入口20と搬出口22が設けられて
いる。
【0020】符号24は、セラミックシ―トSを搬送す
るための搬送ベルトである。
【0021】符号26は、搬入口20付近のダクト16
から垂設された温風吸込み口である。温風吸込み口26
は、トランク室12と幅方向に沿って幅広に設けられ、
かつその吸込み方向は乾燥室18内部に向って形成され
ている。
【0022】符号28は、搬出口22の付近にあるダク
ト16から垂設された温風吹出し口である。温風吹出し
口28は、トランク室12の幅方向に沿って幅広に設け
られ、かつ、その吹出し方向は乾燥室18内部に向って
形成されている。すなわち、温風吸込み口26と温風吹
出し口28は、相対向するように設けられている。
【0023】符号30は、ダクト16内部にトランク室
12の幅方向に沿って幅広に設けられたヒータであっ
て、搬出口22付近に設けられている。
【0024】符号32は、横断流形のファン装置であ
る。ファン装置32は、トランク室12の幅方向に沿っ
て幅広に設けられ、図3及び図4に示すように、温風の
吸込み口はファン装置32の上面32aにあり、吹出し
口は側面32bにある。ファン装置32は、モータ34
によって、ファンロータ36を回転させることによって
風を起こす。また、モータ34は、インバータ回路を含
んだ制御装置36によって、回転数が調整され、側面3
2bから吹出される風の風速を微調整できる。ファン装
置32から起こされた風は、側面32bの幅方向に沿っ
て幅広に均等に吹き出される。
【0025】上記構成の乾燥装置10を使用した場合の
セラミックシ―トSの乾燥工程について以下説明する。
【0026】セラミックシ―トSは、搬送ベルト24の
上の乗せて乾燥室18の搬入口20から搬出口22に向
って搬送させる。
【0027】ファン装置32を駆動させてヒータ30に
よって加熱された空気を温風吹出し口28から乾燥室1
8内に吹出す。この場合に温風吹出し口28は、トラン
ク室12の幅方向に沿って開口しているため、走行する
セラミックシ―トSの幅方向に渡って均一に温風が当た
る。これによりセラミック生シ―トSの溶剤が蒸発し、
セラミックシ―トSが形成される。温風は、乾燥室18
内部を搬送ベルト24の進行方向とは逆方向にトランク
室12の幅方向に沿って幅広に流れ、温風吸込み口26
に至る。温風吸込み口26は幅方向に沿って開口してい
るため、温風をこのままダクト16内部に吸い込む。ダ
クト16内の温風は、再びヒータ30によって加熱さ
れ、ファン装置32によって温風吹出し口28から吹出
される。
【0028】ファン装置32は、前記したように幅方向
に沿って幅広に温風を吹出す構造であるため、従来のよ
うに整流板等を必要とせずに幅方向の整流化が行なえ
る。また、風速は、モータ34を制御する制御装置36
によって微調整が行なえるため、状況に応じて風速の増
減をすることができ、セラミックシ―トSを均一にかつ
幅方向にまんべんなく乾燥させることができる。
【0029】また、ダクト16内部に、ヒータ30及び
ファン装置32を取り付ける構造であるため、従来の乾
燥装置100のように大型になることなくコンパクトに
乾燥装置10を形成することができる。
【0030】以下、本発明の第2の実施例の乾燥装置1
0について図5及び図6に基づいて説明する。
【0031】第2の実施例の乾燥装置40と第1の実施
例の乾燥装置10と異なる点は、温風吸込み口26に温
風吸込み用の横断流形ファン装置42を設けた点、幅方
向に排気口ダクト44をトランク室12の天井面に設け
た点及びフレシュエア―の吸気口46をトランク室12
の天井面に設けた点にある。
【0032】また、排気口ダクト44とダクト16の分
岐路には、可変ダンパ48を設け、温風を排出できるよ
うにしている。これは、乾燥の初期には、溶剤の蒸発が
多くなるため、その溶剤を含んだ温風を排出する必要が
あるからである。吸気口46の内部にもダンパ47を有
し、排気の分だけトランク室12内部にフレシュエア―
を吸込む構造となっている。
【0033】さらに、ファン装置42も制御装置43で
制御できる。
【0034】以下、本発明の第3の実施例の乾燥装置5
0について図7及び図8に基づいて説明する。
【0035】第3の実施例の乾燥装置50と第2の実施
例の乾燥装置40と異なる点は、可変ダンパ48の代り
に分岐ダクト52を設け、排気口ダクト44の中にダン
パ54を設けた点にある。
【0036】
【発明の効果】以上により、本発明のセラミックシ―ト
の乾燥装置であると、トランク室の幅方向に沿って温風
を吹出すことができる。
【0037】また、ダクト内部にヒータ及びファン装置
を取付ける構造であるため、乾燥装置全体をコンパクト
化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す乾燥装置の縦断面
図である。
【図2】同じく乾燥装置の平面図である。
【図3】ファン装置の正面図である。
【図4】ファン装置の縦断面図である。
【図5】本発明の第2の実施例を示す乾燥装置の縦断面
図である。
【図6】同じく乾燥装置の平面図である。
【図7】本発明の第3の実施例を示す乾燥装置の縦断面
図である。
【図8】同じく乾燥装置の平面図である。
【図9】従来の乾燥装置の縦断面図である。
【図10】同じく乾燥装置の平面図である。
【符号の説明】
10……乾燥室 12……トランク室 14……隔壁 16……ダクト 18……乾燥室 20……搬入口 22……搬出口 24……搬送ベルト 26……温風吸込み口 28……温風吹出し口 30……ヒータ 32……ファン装置 34……モータ 36……制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀井 大輔 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の 1 株式会社ヒラノテクシ−ド内 (72)発明者 池田 勝治 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の 1 株式会社ヒラノテクシ−ド内 (72)発明者 田中 承博 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の 1 株式会社ヒラノテクシ−ド内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】トランク室内を走行するセラミックシ−ト
    へ温風を吹付けて乾燥させる乾燥装置において、 トランク室内を上下に区画することによりトランク室内
    の上部にダクトを形成し、その下部に乾燥室を形成し、 ダクト内にトランク室の幅方向に沿って気体を加熱する
    ヒ−タを設け、 ダクト内にトランク室の幅方向に沿って横断流形のファ
    ン装置を設け、 乾燥室内のセラミックシ−ト搬出口付近にダクトと連結
    された温風吹出し口をトランク室の幅方向に沿って設
    け、 乾燥室内のセラミックシ−ト搬入口付近にダクトと連結
    された温風吸込み口をトランク室の幅方向に沿って設
    け、 乾燥室内の温風吸込み口及び温風吹出し口の下方にセラ
    ミックシ−トを搬送する搬送ベルトを設けたことを特徴
    とするセラミックシ−トの乾燥装置。
  2. 【請求項2】トランク室内を走行するセラミックシ−ト
    へ温風を吹付けて乾燥させる乾燥装置において、 トランク室内を上下に区画することによりトランク室内
    の上部にダクトを形成し、その下部に乾燥室を形成し、 ダクト内にトランク室の幅方向に沿って気体を加熱する
    ヒ−タを設け、 乾燥室内のセラミックシ−ト搬出口付近にダクトと連結
    された温風吹出し口をトランク室の幅方向に沿って設
    け、 乾燥室内のセラミックシ−ト搬入口付近にダクトと連結
    された温風吸込み口をトランク室の幅方向に沿って設
    け、 ダクト内の温風吹出し口付近にトランク室の幅方向に沿
    って横断流形の第1ファン装置を設け、 ダクト内の温風吸込み口付近にトランク室の幅方向に沿
    って横断流形の第2ファン装置を設け、 ダクト内の気体を排出するための排気ダクトを設け、 乾燥室内の温風吸込み口及び温風吹出し口の下方にセラ
    ミックシ−トを搬送する搬送ベルトを設けたことを特徴
    とするセラミックシ−トの乾燥装置。
JP4087251A 1992-04-08 1992-04-08 セラミックシ−トの乾燥装置 Pending JPH05285924A (ja)

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