JP2014119226A - 平板ディスプレイパネル乾燥装置 - Google Patents

Abstract

【課題】低い噴射圧力の圧縮空気を用いながらも平板ディスプレイパネルの様々な領域を部分的に乾燥するか、１つの乾燥装置で様々なサイズの平板ディスプレイパネルを乾燥させることができる平板ディスプレイパネル乾燥装置を提供する。
【解決手段】平板ディスプレイパネル乾燥装置は、上面が露出した状態で平板ディスプレイパネルを一定方向に移送させるパネル移送部１０と、前記パネル移送部の上側に設けられ、前記平板ディスプレイパネル方向に圧縮空気を噴射する圧縮空気噴射部と、前記圧縮空気噴射部に設けられ、前記平板ディスプレイパネルとその上側空間を加熱する加熱ランプ４０と、前記加熱ランプの下側に設けられ、前記加熱ランプで照射される光の照射領域を調節する照射領域調節部５０と、を含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、平板ディスプレイパネル乾燥装置に関し、特に、低い噴射圧力の圧縮空気を用いながらも、平板ディスプレイパネルの様々な領域を部分的に乾燥するか、１つの乾燥装置で様々なサイズの平板ディスプレイパネルを乾燥させることができる平板ディスプレイパネル乾燥装置に関する。

一般に、平板ディスプレイパネル（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）とは、ＬＣＤ，ＰＤＰ、ＯＬＥＤ、ＦＥＤなどのように、平面状に製造して映像をディスプレイするパネルを言う。このような平板ディスプレイパネルは、情報化時代への急速な進行により、その需要が幾何級数的に増加しており、自動生産ラインで様々な工程を経ながらガラス基板などのパネル上に素子を構成して製造される。

平板ディスプレイパネルは、様々な製造工程を経るが、必ず基板を洗浄する工程が行われる。そして、洗浄工程が完了した後には洗浄に使用された純水（Ｄｅｉｏｎｉｚｅｄ Ｗａｔｅｒ）を完全に乾燥させて除去する乾燥工程が行われる。

従来は、このような平板ディスプレイパネルの乾燥過程にエアーナイフ（Ａｉｒ ｋｎｉｆｅ）のように高温高圧の圧縮空気を平板ディスプレイパネルの表面に直接噴射して水分を迅速に除去する平板ディスプレイパネル乾燥装置が多用されている。しかしながら、このようなエアーナイフは、高圧の圧縮空気を用いるので、０.７ｍｍのガラス基板には使用が可能であるが、より薄いガラス基板などには使用できないという限界がある。

なお、最近は平板ディスプレイパネル内に形成されるパターンの間隔が非常に狭くなりながら、洗浄過程でパターンとパターンとの間に存在する水分のサイズも非常に小さくなる傾向がある。このような小さいサイズの水分は既存のエアーナイフでは除去が容易ではないという問題がある。

これにより、最近開発された乾燥装置は、加熱ランプをさらに備えて従来のエアーナイフより低い圧力の圧縮空気を用いながらも、微細パターン間の水分も除去できるようにその使用範囲を拡大した。

しかしながら、このような従来の乾燥装置は、特定の平板ディスプレイパネルの特定の領域のみを選択的に乾燥するか、様々な平板ディスプレイパネルに対応して使用できない問題点がある。

本発明が解決しようとする技術的課題は、低い噴射圧力の圧縮空気を用いながらも、平板ディスプレイパネルの様々な領域を部分的に選択して乾燥するか、１つの乾燥装置を用いて様々なサイズの平板ディスプレイパネルを乾燥させることができる平板ディスプレイパネル乾燥装置を提供することである。

上述の技術的課題を解決するための本発明に係る平板ディスプレイパネル乾燥装置は、上面が露出した状態で平板ディスプレイパネルを一定方向に移送させるパネル移送部と、前記パネル移送部の上側に設けられ、前記平板ディスプレイパネル方向に圧縮空気を噴射する圧縮空気噴射部と、前記圧縮空気噴射部に設けられ、前記平板ディスプレイパネルとその上側空間を加熱する加熱ランプと、前記加熱ランプの下側に設けられ、前記加熱ランプで照射される光の照射領域を調節する照射領域調節部と、を含む。

そして前記圧縮空気噴射部には、中央部に前記加熱ランプが安着するランプ安着溝が形成されることが望ましい。

なお、本発明の平板ディスプレイパネル乾燥装置には、前記圧縮空気噴射部に隣接するように設けられ、前記圧縮空気噴射部で噴射される圧縮空気を吸入して排気する排気部がさらに備えられることが望ましい。

ここで、前記圧縮空気噴射部は、前記排気部方向に傾斜するように圧縮空気を噴射する複数の噴射ノズルを備えることが望ましい。

そして、前記照射領域調節部は、前記圧縮空気噴射部の下端に設けられ、前記ランプ安着溝の一部又は全部を覆うことができるシャッターと、前記シャッターを前記ランプ安着溝方向に前進又は後進させるシャッター駆動手段と、を含むことが望ましい。

そして、前記シャッターは複数片に分離され、前記シャッター駆動手段は各シャッター片を分離して駆動することが望ましい。

本発明によると、複数の加熱ランプを用いるので、圧縮空気の圧力を低く調整しながらも、微細パターンに残存する水分も除去することができ、照射領域調節部を備えて１つの平板ディスプレイパネルに対し特定領域のみを選択的に乾燥するか、特定の領域に対する近赤外線の照射を遮断できる利点がある。

なお、前記照射領域調節部を複数片に分離して様々なサイズの平板ディスプレイパネルに対応して使用でき、前記シャッターの特定領域に開口部を構成し、この開口部を移動させることができるので、平板ディスプレイパネルに対して様々な形態の乾燥作業を進めることができる利点がある。

本発明の一実施例に係る平板ディスプレイパネル乾燥装置の構造を示す断面図である。 本発明の一実施例に係る照射領域調節部の構造および作動状態を示す底面図である。

以下、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。

本実施例に係る平板ディスプレイパネル乾燥装置は、図１及び図２に示すように、パネル移送部１０、圧縮空気噴射部２０、加熱ランプ３０、照射領域調節部４０及び排気部５０を含んで構成する。

先ず、前記パネル移送部１０は、製造中の平板ディスプレイパネル（Ｐ）を水平方向に移送させる構成要素である。このパネル移送部１０は図１に示すように、コンベヤ、ローラーなど様々な構造を有することができる。

本実施例において、前記パネル移送部１０によって移送される平板ディスプレイパネル（Ｐ）は、図１に示すように、上面が上側に露出した状態で移送される。これは、前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）を一定の速度で移送させながら露出した面を乾燥させるためである。

次に、前記圧縮空気噴射部２０は、図１に示すように、前記パネル移送部１０の上側に設けられ、前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）方向に圧縮空気を噴射する構成要素である。この圧縮空気噴射部２０は、外部に設けられている圧縮空気供給源（図示せず）と連結される圧縮空気供給管２８と連結される。そして前記圧縮空気供給源は一般的に圧縮空気を供給するコンプレッサ等で構成され、供給される圧縮空気を加熱するためのヒータ（図示せず）を圧縮空気供給管２８の中間部分にさらに備えることができる。

一方、本実施例では、前記圧縮空気噴射部２０に後述する加熱ランプ３０が設けられる。これにより、前記圧縮空気噴射部２０には、図１に示すように、その下側の中央部にランプ安着溝２２が形成される。このランプ安着溝２２は設けられる加熱ランプ３０の数に比例してその面積が大きくなることになる。

そして前記圧縮空気噴射部２０において前記ランプ安着溝２２の左右側部には、図１に示すように、圧縮空気を平板ディスプレイパネルに噴射する噴射ノズル２４が形成される。前記噴射ノズル２４は前記圧縮空気供給管２８と連結される圧縮空気移動路２１と連通されて形成される。この際、前記圧縮空気移動路２１上には供給された圧縮空気を均一に噴射するための拡散部材２６がさらに備えられることが望ましい。一方、本実施例において、図１に示すように、前記噴射ノズル２４は、後述する排気部５０方向に傾斜するように圧縮空気を噴射するように形成されることが望ましい。このように排気部５０方向に傾斜するように圧縮空気を噴射すると、排気部５０による排気作業が容易であり、水分、パーティクルなどを効果的に排出できるという利点がある。

次に、本実施例に係る平板ディスプレイパネル乾燥装置には、図１に示すように、前記圧縮空気噴射部２０で噴射される圧縮空気を吸入して排気する排気部５０がさらに備えられることが望ましい。この排気部５０は、前記圧縮空気噴射部２０に隣接するように設けられ、前記圧縮空気噴射部２０周辺の空気を吸入して排出する。

前記平板ディスプレイパネル乾燥装置によって行われる乾燥作業中には、前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）から離脱した水分やパーティクル（発生可能性は殆どないが、もし発生する場合）等が周辺の気体と共に存在するが、前記排気部５０によりこのようなものを排出することができる。したがって本実施例では効果的な気体の排出のために、図１に示すように、前記圧縮空気噴射部２０の前後側にそれぞれ排気部５０を備える。

又、前記パネル移送部１０の下部にも予備的に気体排出のための下部排気部６０をさらに備えることもできる。

次に、前記加熱ランプ３０は、図１に示すように、前記圧縮空気噴射部２０に設けられ、前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）とその上側空間を加熱する構成要素である。この加熱ランプ３０によって前記圧縮空気噴射部２０と前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）間の空間が加熱されて、前記平板ディスプレイパネル（Ｐ）上の水分を乾燥させることができる最上の条件を作ることが可能である。本実施例では、前記加熱ランプ３０を２つ以上複数個設け、必要に応じて設けられる加熱ランプの数を調整できる構造を有する。

具体的に、前記加熱ランプ３０は別途の設置ジグ３２を通じて前記圧縮空気噴射部２０、すなわち、ランプ設置溝２２に設けられ、前記設置ジグ３２自体を前記圧縮空気噴射部２０から脱着できる構造で構成し、前記設置ジグ３２は設けられるランプの個数により様々な形態で構成することができる。

次に、前記照射領域調節部４０は、図２に示すように、前記加熱ランプ３０の下側に設けられ、前記加熱ランプ３０で照射される光の照射領域を調節する構成要素である。本実施例に係る平板ディスプレイパネル乾燥装置では、前記照射領域調節部４０を用いて前記パネル移送部１０によって移送される平板ディスプレイパネル（Ｐ）の一部領域に対してのみ選択的に乾燥する作業が可能である。平板ディスプレイパネルの種類によっては乾燥される領域が特定部分にのみ限定される場合があるが、これは他の部分に強い圧縮空気と熱が加えられることを防止するためである。

このために、具体的に本実施例では前記照射領域調節部４０をシャッター４２とシャッター駆動手段４４とで構成する。先ず、シャッター４２は、前記圧縮空気噴射部２０の下側に設けられ、前記ランプ安着溝２２の一部又は全部を覆うことができる構造を有する。したがって前記シャッター４２は、図２に示すように、一定領域に開口された開口部４６が形成される構造を有するか、シャッター４２が複数片に分かれる構造を有することもできる。シャッターが複数片に分かれる場合には各シャッター片を分離して駆動することになる。

次に、前記シャッター駆動手段４４は、前記シャッター４２を前記ランプ安着溝２２方向に前進及び後進させる構成要素である。このシャッター駆動手段４４は、前記シャッター４２を水平方向に駆動させる短縮駆動手段で構成され、具体的には、前記シャッターを水平移動させる動力を提供するモータと前記シャッターの水平移動方向を案内するリニアガイドとで構成することができる。

１０ パネル移送部 ２０ 圧縮空気噴射部
３０ 加熱ランプ ４０ 照射領域調節部
５０ 排気部

Claims (5)

1. 上面が露出した状態で平板ディスプレイパネルを一定方向に移送させるパネル移送部と、
   前記パネル移送部の上側に設けられ、前記平板ディスプレイパネル方向に圧縮空気を噴射する圧縮空気噴射部と、
   前記圧縮空気噴射部に設けられ、前記平板ディスプレイパネルとその上側空間を加熱する加熱ランプと、
   前記加熱ランプの下側に設けられ、前記加熱ランプで照射される光の照射領域を調節する照射領域調節部と、を含む平板ディスプレイパネル乾燥装置。
2. 前記圧縮空気噴射部には、
   中央部に前記加熱ランプが安着するランプ安着溝が形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板ディスプレイパネル乾燥装置。
3. 前記圧縮空気噴射部に隣接するように設けられ、前記圧縮空気噴射部で噴射される圧縮空気を吸入して排気する排気部がさらに備えられることを特徴とする請求項１に記載の平板ディスプレイパネル乾燥装置。
4. 前記圧縮空気噴射部は、
   前記排気部方向に傾斜するように圧縮空気を噴射する複数の噴射ノズルを備えることを特徴とする請求項３に記載の平板ディスプレイパネル乾燥装置。
5. 前記照射領域調節部は、
   前記圧縮空気噴射部の下端に設けられ、前記ランプ安着溝の一部又は全部を覆うことができるシャッターと、
   前記シャッターを前記ランプ安着溝方向に前進及び後進させるシャッター駆動手段と、を含むことを特徴とする請求項２に記載の平板ディスプレイパネル乾燥装置。