JP2003039026A - 板状物乾燥装置 - Google Patents

板状物乾燥装置

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JP2003039026A
JP2003039026A JP2001228810A JP2001228810A JP2003039026A JP 2003039026 A JP2003039026 A JP 2003039026A JP 2001228810 A JP2001228810 A JP 2001228810A JP 2001228810 A JP2001228810 A JP 2001228810A JP 2003039026 A JP2003039026 A JP 2003039026A
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plate
air
nozzle
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air nozzle
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Joichi Takada
穣一 高田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 エヤーノズル装置を最短の長さにしたもので
ありながら、付着物の吹き飛ばしを好適に行える板状物
乾燥装置を提供する。 【解決手段】 ローラコンベヤ装置5により板状物1を
搬送しながら、エヤーノズル装置10により上下の表面
1aを乾燥させる板状物乾燥装置である。エヤーノズル
装置10のノズル口15を、板状物1の搬送方向Aに対
して直交状の方向Bに多数形成した。ノズル口15群の
エヤー噴出方向Cを、搬送方向Aに対して逆方向から向
かって傾斜した向かい角度θ1 で、かつ搬送方向Aに対
して直交状の一方側に傾斜した横向き角度θ2 で形成し
た。エヤーノズル装置10は最短の長さに構成でき、配
設は簡素化して容易に行える。表面1aの付着物を、エ
ヤー流れによって移動でき、確実に取り除ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば板状物を
洗浄したのち、その上下の表面(板面)を乾燥させるの
に採用される板状物乾燥装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】たとえば液晶の硝子基板や、プラズマデ
ィスプレイの硝子基板や、液晶パネルなどに代表される
各種の電子部品は、洗浄機で洗浄され、そして洗浄機か
ら取り出されたのち乾燥される。その際に乾燥は、一般
にエヤーカッターと呼ばれるところの、高速エアー流に
よる水分の吹き飛ばしによって行っていた。
【0003】すなわち従来では、たとえば実開平7−1
4671号公報に見られる乾燥装置が提供され、この従
来構成は、被乾燥物の搬送方向に対してノズルが傾斜し
て配設されている。また別に、特開平7−35478号
公報に見られるエアーナイフ装置が提供され、この従来
構成も同様に、被乾燥物の搬送方向に対してエアーナイ
フが傾斜して配設されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
構成によると、ノズルやエアーナイフが傾斜して配設さ
れることで、その傾斜角度に応じて長尺化、大型化され
ることになり、その配設は複雑化して容易に行えない。
【0005】そこで本発明の請求項1記載の発明は、エ
ヤーノズル装置を最短の長さにし得るものでありなが
ら、付着物の吹き飛ばしを好適に行える板状物乾燥装置
を提供することを目的としたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項1記載の板状物乾燥装置は、ロ
ーラコンベヤ装置により板状物を搬送しながら、エヤー
ノズル装置により板状物の上下の表面を乾燥させる板状
物乾燥装置であって、前記エヤーノズル装置のノズル口
を、板状物の搬送方向に対して直交状の方向に多数形成
するとともに、これらノズル口のエヤー噴出方向を、搬
送方向に対して逆方向から向かって傾斜した向かい角度
で、かつ搬送方向に対して直交状の一方側に傾斜した横
向き角度で形成したことを特徴としたものである。
【0007】したがって請求項1の発明によると、エヤ
ーノズル装置は、その長さ方向を板状物の搬送方向に対
して直交状の方向として配設することで、最短の長さに
構成し得る。ローラコンベヤ装置により搬送してきた板
状物の上下の表面に対して、両エヤーノズル装置のノズ
ル口から圧力エヤーを同時に噴出し得る。その際に圧力
エヤーは、搬送方向に対して逆方向から向かって傾斜し
た向かい角度で、かつ搬送方向に対して直交状の一方側
に傾斜した横向き角度として形成したエヤー噴出方向に
沿って流れて表面に衝突し、そして表面に沿いながら、
すなわち搬送方向に対して逆方向でかつ板状物の一方側
に向かって流れることになる。
【0008】このように圧力エヤーが傾斜して流れるこ
とから、板状物の進行に応じて表面においては、他方側
から一方側へのエヤー流れが生じることになり、以て表
面の付着物(水分など)を、このエヤー流れによって移
動させ、そして一方端から外方へと飛ばして取り除き得
る。
【0009】また本発明の請求項2記載の板状物乾燥装
置は、上記した請求項1記載の構成において、エヤー噴
出方向は、その向かい角度を変更自在に構成したことを
特徴としたものである。
【0010】したがって請求項2の発明によると、向か
い角度を変更させることで、ローラコンベヤ装置による
板状物の搬送速度の変化や、板状物の幅の変化などに対
して、そのエヤー噴出方向を好適に調整し得る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
に基づいて説明する。洗浄機(図示せず。)から取り出
された板状物(被乾燥物)1の搬送を行うローラコンベ
ヤ装置5は、ローラ6が所定のローラピッチPに配列さ
れて構成される。このローラコンベヤ装置5の搬送経路
7中の所定箇所には、上下一対のエヤーノズル装置10
が配設され、ここで下部のエヤーノズル装置10は一対
のローラ6間に位置されている。
【0012】両エヤーノズル装置10は、長尺ボックス
状のノズル本体11を有し、このノズル本体11内に
は、その長さ方向にエヤー流路12が貫通して形成され
ている。そしてエヤー流路12の一端は栓体13により
閉塞され、また他端には、パイプ状のエヤー受け入れ体
14が連結されている。さらにノズル本体11の下部側
には、前記エヤー流路12に連通されたノズル口15
が、その長さ方向の複数箇所に形成されている。
【0013】ここでエヤーノズル装置10は、その長さ
方向を板状物1の搬送方向Aに対して直交状の方向Bと
して配設されており、以て最短の長さに構成されるとと
もに、ノズル口15は、板状物1の搬送方向Aに対して
直交状の方向Bに多数形成されることになる。その際に
ノズル口15群は、そのエヤー噴出方向Cが、搬送方向
Aに対して逆方向から向かって傾斜した向かい角度θ1
で、かつ搬送方向Aに対して直交状の一方側に傾斜した
横向き角度θ2として形成されている。
【0014】かかる構成のエヤーノズル装置10による
と、外部から、エヤー受け入れ体14を介してエヤー流
路12内に圧力エヤー16が供給され、そしてノズル口
15群から圧力エヤー16が、所定のエヤー噴出方向C
でかつ板状物1の上下の表面1aに向けて噴出される
(エヤー流速は一般的に秒速50m以上)ように構成さ
れている。なおエヤー噴出方向Cは、その向かい角度θ
1が変更自在に構成されている。また横向き角度θ2は、
たとえば20°〜45°に設定されている。
【0015】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。ローラコンベヤ装置5により搬送されてき
た板状物1がエヤーノズル装置10の部分に到達したと
き、その上下の表面1aに対して、両エヤーノズル装置
10のノズル口15から圧力エヤー16が同時に噴出さ
れる。
【0016】その際にノズル口15群は、そのエヤー噴
出方向Cが、搬送方向Aに対して逆方向から向かって傾
斜した向かい角度θ1で、かつ搬送方向Aに対して直交
状の一方側に傾斜した横向き角度θ2として形成されて
いることで、圧力エヤー16は、エヤー噴出方向Cに沿
って流れて表面1aに衝突し、そして表面1aに沿いな
がら、すなわち搬送方向Aに対して逆方向でかつ板状物
1の一方端1bに向かって流れることになる。
【0017】このように圧力エヤー16が傾斜して流れ
ることから、図5に示されるように、板状物1の進行に
応じて表面1aにおいては、他方端1cから一方端1b
へのエヤー流れNが生じる。これにより、上下の表面1
aに付着している水分を、このエヤー流れNによって他
方端1c側から一方端1b側に移動(吹き寄せ)させ、
そして一方端1bから外方へと飛ばし、以て水分を確実
に取り除き得る。
【0018】なお、たとえば図3の仮想線に示すよう
に、エヤーノズル装置10におけるノズル本体11の向
きを調整して、その向かい角度θ1を変更させること
で、ローラコンベヤ装置5による板状物1の搬送速度
(送り速度)の変化や、板状物1の幅の変化などに対し
て、そのエヤー噴出方向Cを好適に調整し得、常に水分
を確実に取り除き得る。
【0019】上記した実施の形態では、ノズル口15群
のエヤー噴出方向Cが、搬送方向Aに対して直交状の一
方側に傾斜した横向き角度θ2として形成されること
で、水分を、板状物1の他方端1c側から一方端1b側
に移動させているが、これは反対側への横向き角度θ2
とすることで、水分を、板状物1の一方端1b側から他
方端1c側に移動させてもよい。
【0020】上記した実施の形態では、エヤー噴出方向
Cの向かい角度θ1が変更自在に構成されたエヤーノズ
ル装置10が示されているが、これは向かい角度θ1
一定状(固定状)に構成されたエヤーノズル装置10で
あってもよい。
【0021】上記した実施の形態では、上下の表面1a
に付着している水分を、エヤー流れNによって他方端1
c側から一方端1b側に移動させ、一方端1bから外方
へと飛ばして取り除いているが、これは水分以外の各種
液体の取り除きにも採用しえる。
【0022】
【発明の効果】上記した本発明の請求項1によると、エ
ヤーノズル装置は、その長さ方向を板状物の搬送方向に
対して直交状の方向として配設することで、最短の長さ
に構成でき、その配設は簡素化して容易に行うことがで
きる。そして、ローラコンベヤ装置により搬送してきた
板状物の上下の表面に対して、両エヤーノズル装置のノ
ズル口から圧力エヤーを同時に噴出できる。その際に圧
力エヤーを、搬送方向に対して逆方向から向かって傾斜
した向かい角度で、かつ搬送方向に対して直交状の一方
側に傾斜した横向き角度として形成したエヤー噴出方向
に沿って流して表面に衝突でき、そして表面に沿いなが
ら、すなわち搬送方向に対して逆方向でかつ板状物の一
方側に向かって流すことができる。
【0023】このように圧力エヤーを傾斜して流すこと
で、板状物の進行に応じて表面においては、他方側から
一方側へのエヤー流れが生じることになり、以て表面の
付着物(水分など)を、このエヤー流れによって移動で
き、そして一方端から外方へと飛ばして確実に取り除く
ことができる。これにより、特に小さな板状物の乾燥処
理を好適に行うことができる。
【0024】また上記した本発明の請求項2によると、
向かい角度を変更させることで、ローラコンベヤ装置に
よる板状物の搬送速度の変化や、板状物の幅の変化など
に対して、そのエヤー噴出方向を好適に調整でき、以て
常に水分を確実に取り除くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示し、板状物乾燥
装置の斜視図である。
【図2】同板状物乾燥装置の縦断正面図である。
【図3】同板状物乾燥装置の側面図である。
【図4】同板状物乾燥装置の平面図である。
【図5】同板状物乾燥装置におけるエヤー流れなどを説
明する平面図である。
【符号の説明】
1 板状物 1a 表面 1b 一方端 1c 他方端 5 ローラコンベヤ装置 7 搬送経路 10 エヤーノズル装置 11 ノズル本体 12 エヤー流路 15 ノズル口 16 圧力エヤー A 搬送方向 B 直交状の方向 C エヤー噴出方向 θ1 向かい角度 θ2 横向き角度 N エヤー流れ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F26B 15/12 F26B 15/12 Z 21/00 21/00 B // H01L 21/304 651 H01L 21/304 651L Fターム(参考) 3B201 AA02 AB14 CC12 3L113 AA01 AB02 AC31 AC48 BA34 CB21 CB23 DA05 DA07 DA13 DA16 4F033 BA01 CA01 DA05 EA02 LA13 NA01 4F035 AA04 CA02 CA05 CB03 CB13 CC01 CD18

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ローラコンベヤ装置により板状物を搬送
    しながら、エヤーノズル装置により板状物の上下の表面
    を乾燥させる板状物乾燥装置であって、前記エヤーノズ
    ル装置のノズル口を、板状物の搬送方向に対して直交状
    の方向に多数形成するとともに、これらノズル口のエヤ
    ー噴出方向を、搬送方向に対して逆方向から向かって傾
    斜した向かい角度で、かつ搬送方向に対して直交状の一
    方側に傾斜した横向き角度で形成したことを特徴とする
    板状物乾燥装置。
  2. 【請求項2】 エヤー噴出方向は、その向かい角度を変
    更自在に構成したことを特徴とする請求項1記載の板状
    物乾燥装置。
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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Effective date: 20040511

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02