JPH09159360A - 板状物乾燥装置 - Google Patents
板状物乾燥装置Info
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- JPH09159360A JPH09159360A JP31867695A JP31867695A JPH09159360A JP H09159360 A JPH09159360 A JP H09159360A JP 31867695 A JP31867695 A JP 31867695A JP 31867695 A JP31867695 A JP 31867695A JP H09159360 A JPH09159360 A JP H09159360A
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- air nozzle
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノズル口が直角状とした構成では、板端面に
小さな水滴が残る。ノズル口の長さ方向が一定方向に傾
斜した構成では、板状物の長さに対して幅の比率が大き
いとき、エヤーノズル装置の前後長さが短くなり、ノズ
ル口の傾斜角度が小さくなって、板端面の水滴の切れが
悪くなり、板状物の送り速度を遅くしなければならず、
能率が低下する。 【解決手段】 ノズル口12を山形状に形成して、板端面
１ｂにおいて、頂部12ａが対応する中央部から両外側へ
のエヤー流れを生じ、板端面１ｂに残ろうとする水滴Ｓ
を板状物１の角部１Ａ側に移動させ、角部１Ａで水滴Ｓ
を集合させたのち外方へ飛ばす。エヤーノズル装置10の
前後長さが短くても、ノズル口12の傾斜角度Θを充分に
大きくし得る。
小さな水滴が残る。ノズル口の長さ方向が一定方向に傾
斜した構成では、板状物の長さに対して幅の比率が大き
いとき、エヤーノズル装置の前後長さが短くなり、ノズ
ル口の傾斜角度が小さくなって、板端面の水滴の切れが
悪くなり、板状物の送り速度を遅くしなければならず、
能率が低下する。 【解決手段】 ノズル口12を山形状に形成して、板端面
１ｂにおいて、頂部12ａが対応する中央部から両外側へ
のエヤー流れを生じ、板端面１ｂに残ろうとする水滴Ｓ
を板状物１の角部１Ａ側に移動させ、角部１Ａで水滴Ｓ
を集合させたのち外方へ飛ばす。エヤーノズル装置10の
前後長さが短くても、ノズル口12の傾斜角度Θを充分に
大きくし得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状物を洗浄した
のち、その上下の表面（板面）を乾燥させるのに採用さ
れる板状物乾燥装置に関するものである。
のち、その上下の表面（板面）を乾燥させるのに採用さ
れる板状物乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶の硝子基板や、プラズマデ
ィスプレイの硝子基板や、液晶パネルなどに代表される
各種の電子部品は、洗浄機で洗浄され、そして洗浄機か
ら取り出されたのち乾燥される。その際に乾燥は、一般
にエヤーカッターと呼ばれるところの、高速エアー流に
よる水分の吹き飛ばしによって行っていた。
ィスプレイの硝子基板や、液晶パネルなどに代表される
各種の電子部品は、洗浄機で洗浄され、そして洗浄機か
ら取り出されたのち乾燥される。その際に乾燥は、一般
にエヤーカッターと呼ばれるところの、高速エアー流に
よる水分の吹き飛ばしによって行っていた。
【０００３】従来では、たとえば図９、図10に示される
板状物乾燥装置が提供されている。すなわち、洗浄機か
ら取り出された板状物21は、ローラコンベヤ装置25によ
り搬送され、その搬送中に上下一対のエヤーノズル装置
30によって、上下の表面21ａが乾燥されていた。ここで
エヤーノズル装置30のノズル部31には、ノズル口32が直
線状に形成され、そしてローラコンベヤ装置25の搬送経
路27の方向に対して、ノズル口32の長さ方向を直角状と
して配設されている。
板状物乾燥装置が提供されている。すなわち、洗浄機か
ら取り出された板状物21は、ローラコンベヤ装置25によ
り搬送され、その搬送中に上下一対のエヤーノズル装置
30によって、上下の表面21ａが乾燥されていた。ここで
エヤーノズル装置30のノズル部31には、ノズル口32が直
線状に形成され、そしてローラコンベヤ装置25の搬送経
路27の方向に対して、ノズル口32の長さ方向を直角状と
して配設されている。
【０００４】また別の従来構成は、図12に示されるよう
に、エヤーノズル装置30の直線状のノズル口32が、ロー
ラコンベヤ装置25の搬送経路27の方向に対して、その長
さ方向を一定方向に或る角度Θ1 に傾斜して配設されて
いる。
に、エヤーノズル装置30の直線状のノズル口32が、ロー
ラコンベヤ装置25の搬送経路27の方向に対して、その長
さ方向を一定方向に或る角度Θ1 に傾斜して配設されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図９、図10で
示された、ノズル口32が直角状として配設された従来構
成によると、図11に示されるように、エヤー流Ａ1 が真
直ぐに、すなわち搬送経路27に沿った方向に流れるた
め、板状物21の最初と終わりの部分で板端面21ｂに板厚
による流れの影ができ、この板端面21ｂに小さな水滴Ｓ
1 が残ってしまうという不都合が発生する。
示された、ノズル口32が直角状として配設された従来構
成によると、図11に示されるように、エヤー流Ａ1 が真
直ぐに、すなわち搬送経路27に沿った方向に流れるた
め、板状物21の最初と終わりの部分で板端面21ｂに板厚
による流れの影ができ、この板端面21ｂに小さな水滴Ｓ
1 が残ってしまうという不都合が発生する。
【０００６】これに対して図12で示された、ノズル口32
の長さ方向が一定方向に傾斜して配設された従来構成に
よると、エヤー流Ａ1 が傾斜して流れるため、板端面21
ｂにおいて水滴Ｓ1 が板状物21の一側から他方に向かっ
て流れるＮ1 ことになり、以て水滴Ｓ1 の残りを防ぐこ
とができる。
の長さ方向が一定方向に傾斜して配設された従来構成に
よると、エヤー流Ａ1 が傾斜して流れるため、板端面21
ｂにおいて水滴Ｓ1 が板状物21の一側から他方に向かっ
て流れるＮ1 ことになり、以て水滴Ｓ1 の残りを防ぐこ
とができる。
【０００７】しかし、ローラコンベヤ装置25により搬送
される板状物21は、常に二個以上のローラ26に支持され
るものであり、したがって板状物21の長さＬ1 に対して
幅Ｗ 1 の比率が大きいとき、すなわち幅広のとき、板状
物21を支えるローラ26のピッチＰ1 が狭くなるため、ロ
ーラ26間に配置されるエヤーノズル装置30の前後長さが
短くなり、以てノズル口12の板状物21に対する傾斜角度
Θ1 が小さくなって、傾斜による効果を充分に出せない
ことになる。すなわち、板端面21ｂの水滴Ｓ1の切れが
悪くなり、以て板状物21の送り速度を遅くしなければな
らず、能率が低下するなどの問題がある。
される板状物21は、常に二個以上のローラ26に支持され
るものであり、したがって板状物21の長さＬ1 に対して
幅Ｗ 1 の比率が大きいとき、すなわち幅広のとき、板状
物21を支えるローラ26のピッチＰ1 が狭くなるため、ロ
ーラ26間に配置されるエヤーノズル装置30の前後長さが
短くなり、以てノズル口12の板状物21に対する傾斜角度
Θ1 が小さくなって、傾斜による効果を充分に出せない
ことになる。すなわち、板端面21ｂの水滴Ｓ1の切れが
悪くなり、以て板状物21の送り速度を遅くしなければな
らず、能率が低下するなどの問題がある。
【０００８】そこで本発明のうち請求項１記載の発明
は、たとえエヤーノズル装置の前後長さが短くなったと
しても、ノズル口の板状物に対する傾斜角度を充分に大
きくし得る板状物乾燥装置を提供することを目的とした
ものである。
は、たとえエヤーノズル装置の前後長さが短くなったと
しても、ノズル口の板状物に対する傾斜角度を充分に大
きくし得る板状物乾燥装置を提供することを目的とした
ものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の板状物乾燥装置
は、ローラコンベヤ装置により板状物を搬送しながら、
エヤーノズル装置により板状物の上下の表面を乾燥させ
る板状物乾燥装置であって、前記エヤーノズル装置のノ
ズル口を、頂部を左右方向の中央部でかつ乾燥作用開始
側として山形状に形成したことを特徴としたものであ
る。
ために、本発明のうちで請求項１記載の板状物乾燥装置
は、ローラコンベヤ装置により板状物を搬送しながら、
エヤーノズル装置により板状物の上下の表面を乾燥させ
る板状物乾燥装置であって、前記エヤーノズル装置のノ
ズル口を、頂部を左右方向の中央部でかつ乾燥作用開始
側として山形状に形成したことを特徴としたものであ
る。
【００１０】したがって請求項１の発明によると、ロー
ラコンベヤ装置により搬送してきた板状物の上下の表面
に対して、両エヤーノズル装置のノズル口から圧力エヤ
ーを同時に噴出し得る。その際にノズル口を山形状に形
成して、エヤー流を傾斜して流していることから、板状
物の進行に応じて板端面においては、頂部が対応する中
央部から両外側への流れが生じ、この流れにより、板端
面に残ろうとする水滴を板状物の角部側に引っ張るよう
に移動し得、そして角部で水滴を集合させたのち、次々
と角部から離れて外方へ飛ばし得る。
ラコンベヤ装置により搬送してきた板状物の上下の表面
に対して、両エヤーノズル装置のノズル口から圧力エヤ
ーを同時に噴出し得る。その際にノズル口を山形状に形
成して、エヤー流を傾斜して流していることから、板状
物の進行に応じて板端面においては、頂部が対応する中
央部から両外側への流れが生じ、この流れにより、板端
面に残ろうとする水滴を板状物の角部側に引っ張るよう
に移動し得、そして角部で水滴を集合させたのち、次々
と角部から離れて外方へ飛ばし得る。
【００１１】そして、ローラコンベヤ装置のローラ間に
配設したエヤーノズル装置は、そのノズル口を左右に振
り分けて山形状に形成したことから、たとえエヤーノズ
ル装置の前後長さが短くなったとしても、ノズル口の板
状物に対する傾斜角度を充分に大きくし得、これによ
り、板状物が同一幅であるとき、ノズル口の傾斜角度を
大きくし得る。
配設したエヤーノズル装置は、そのノズル口を左右に振
り分けて山形状に形成したことから、たとえエヤーノズ
ル装置の前後長さが短くなったとしても、ノズル口の板
状物に対する傾斜角度を充分に大きくし得、これによ
り、板状物が同一幅であるとき、ノズル口の傾斜角度を
大きくし得る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
図１〜図４に基づいて説明する。洗浄機（図示せず。）
から取り出された板状物１の搬送を行うローラコンベヤ
装置５は、ローラ６が所定のピッチＰに配列されて構成
される。このローラコンベヤ装置５の搬送経路７中の所
定箇所には、上下一対のエヤーノズル装置10が配設さ
れ、ここで下部のエヤーノズル装置10は一対のローラ６
間に位置される。
図１〜図４に基づいて説明する。洗浄機（図示せず。）
から取り出された板状物１の搬送を行うローラコンベヤ
装置５は、ローラ６が所定のピッチＰに配列されて構成
される。このローラコンベヤ装置５の搬送経路７中の所
定箇所には、上下一対のエヤーノズル装置10が配設さ
れ、ここで下部のエヤーノズル装置10は一対のローラ６
間に位置される。
【００１３】両エヤーノズル装置10は、長尺ボックス状
のノズル部11に対して、外側から圧力エヤー13が供給さ
れ、そして内側に形成されたノズル口12から圧力エヤー
13が、板状物１の上下の表面１ａに向けて噴出される
（エヤー流速は一般的に秒速50ｍ以上）ように構成され
ている。
のノズル部11に対して、外側から圧力エヤー13が供給さ
れ、そして内側に形成されたノズル口12から圧力エヤー
13が、板状物１の上下の表面１ａに向けて噴出される
（エヤー流速は一般的に秒速50ｍ以上）ように構成され
ている。
【００１４】ここでノズル口12は山形状に形成され、そ
の際に頂部12ａが左右方向の中央部でかつ乾燥作用開始
側（搬送方向の上手側）に位置されるように構成されて
いる。さらにノズル口12は、板厚の方向において、ノズ
ル部11内の開口部に対して板状物１の表面１ａ側の開口
部が乾燥作用開始側（搬送方向の上手側）に位置される
ように、板厚方向で傾斜して構成されている。
の際に頂部12ａが左右方向の中央部でかつ乾燥作用開始
側（搬送方向の上手側）に位置されるように構成されて
いる。さらにノズル口12は、板厚の方向において、ノズ
ル部11内の開口部に対して板状物１の表面１ａ側の開口
部が乾燥作用開始側（搬送方向の上手側）に位置される
ように、板厚方向で傾斜して構成されている。
【００１５】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。ローラコンベヤ装置５により搬送されてき
た板状物１がエヤーノズル装置10の部分に到達したと
き、その上下の表面１ａに対して、両エヤーノズル装置
10のノズル口12から圧力エヤー13が同時に噴出される。
を説明する。ローラコンベヤ装置５により搬送されてき
た板状物１がエヤーノズル装置10の部分に到達したと
き、その上下の表面１ａに対して、両エヤーノズル装置
10のノズル口12から圧力エヤー13が同時に噴出される。
【００１６】その際にノズル口12が山形状に形成され、
エヤー流Ａが傾斜して流れることから、図４に示される
ように、板状物１の進行に応じて板端面１ｂにおいて
は、頂部12ａが対応される中央部から両外側への流れＮ
が生じる。これにより板端面１ｂに残ろうとする水滴Ｓ
が、この流れＮにより板状物１の角部１Ａ側に引っ張ら
れるように移動され、そして角部１Ａで水滴Ｓが集合す
ることにより大きな水玉になったのち、次々と角部１Ａ
から離れて外方へ飛ばされる。これにより板端面１ｂに
残ろうとする水滴Ｓを確実に取り除ける。
エヤー流Ａが傾斜して流れることから、図４に示される
ように、板状物１の進行に応じて板端面１ｂにおいて
は、頂部12ａが対応される中央部から両外側への流れＮ
が生じる。これにより板端面１ｂに残ろうとする水滴Ｓ
が、この流れＮにより板状物１の角部１Ａ側に引っ張ら
れるように移動され、そして角部１Ａで水滴Ｓが集合す
ることにより大きな水玉になったのち、次々と角部１Ａ
から離れて外方へ飛ばされる。これにより板端面１ｂに
残ろうとする水滴Ｓを確実に取り除ける。
【００１７】そして、ローラコンベヤ装置５のローラ６
間に配設されるエヤーノズル装置10は、そのノズル口12
が山形状に形成されていることから、すなわちノズル口
12が左右に振り分けられていることから、たとえエヤー
ノズル装置10の前後長さが短くなったとしても、ノズル
口12の板状物１に対する傾斜角度Θを充分に大きくし得
る。これにより、板状物１が同一幅であるとき、ノズル
口12の傾斜角度Θを大きくし得、したがって板端面１ｂ
の水滴Ｓの切れが良くなり、以て板状物１の送り速度を
早くし得る。
間に配設されるエヤーノズル装置10は、そのノズル口12
が山形状に形成されていることから、すなわちノズル口
12が左右に振り分けられていることから、たとえエヤー
ノズル装置10の前後長さが短くなったとしても、ノズル
口12の板状物１に対する傾斜角度Θを充分に大きくし得
る。これにより、板状物１が同一幅であるとき、ノズル
口12の傾斜角度Θを大きくし得、したがって板端面１ｂ
の水滴Ｓの切れが良くなり、以て板状物１の送り速度を
早くし得る。
【００１８】次に、本発明の別の実施の形態を、図５〜
図８に基づいて説明する。すなわち前述した実施の形態
の構造に加えて、エヤーノズル装置10の下手位置に、上
下一対の下手エヤーノズル装置15が配設されている。こ
こで両下手エヤーノズル装置15は、長尺ボックス状のノ
ズル部16に形成されるノズル口17が逆山形状に形成さ
れ、その際に頂部17ａが左右方向の中央部でかつ乾燥作
用終了側（搬送方向の下手側）に位置されるように構成
されている。さらにノズル口17は、板厚の方向におい
て、ノズル部16内の開口部に対して外側の開口部が乾燥
作用開始側（搬送方向の上手側）に位置されるように、
板厚方向で傾斜して構成されている。
図８に基づいて説明する。すなわち前述した実施の形態
の構造に加えて、エヤーノズル装置10の下手位置に、上
下一対の下手エヤーノズル装置15が配設されている。こ
こで両下手エヤーノズル装置15は、長尺ボックス状のノ
ズル部16に形成されるノズル口17が逆山形状に形成さ
れ、その際に頂部17ａが左右方向の中央部でかつ乾燥作
用終了側（搬送方向の下手側）に位置されるように構成
されている。さらにノズル口17は、板厚の方向におい
て、ノズル部16内の開口部に対して外側の開口部が乾燥
作用開始側（搬送方向の上手側）に位置されるように、
板厚方向で傾斜して構成されている。
【００１９】この別の実施の形態は、特に、板が重なり
あった状態の段付き板状物２に好適に採用される。すな
わち段付き板状物２は、たとえば下面の両側に段部２ｃ
が形成されている。
あった状態の段付き板状物２に好適に採用される。すな
わち段付き板状物２は、たとえば下面の両側に段部２ｃ
が形成されている。
【００２０】このような段付き板状物２に対して乾燥を
行ったとき、まずエヤーノズル装置10により、上下の表
面２ａや板端面２ｂに対して前述と同様の乾燥が行われ
る。このとき図７のロで示されるように段部２ｃの角部
に水滴Ｓが残る。次いで段付き板状物２は下手エヤーノ
ズル装置15により乾燥される。
行ったとき、まずエヤーノズル装置10により、上下の表
面２ａや板端面２ｂに対して前述と同様の乾燥が行われ
る。このとき図７のロで示されるように段部２ｃの角部
に水滴Ｓが残る。次いで段付き板状物２は下手エヤーノ
ズル装置15により乾燥される。
【００２１】すなわち、この下手エヤーノズル装置15で
は、ノズル口17が逆山形状に形成され（ノズル口17が反
対方向に配列され）、エヤー流Ａが傾斜して流れること
から、段付き板状物２の進行に応じて段部２ｃにおいて
は、端部が対応される両外側から中央部への流れｎが生
じる。これにより段部２ｃの角部に残ろうとする水滴Ｓ
が、この流れｎにより図７のイや図８で示されるように
段付き板状物２の後端側に押し出されるように移動さ
れ、そして後端側で水滴Ｓが集合することにより大きな
水玉になったのち、次々と後端から離れて後方へ飛ばさ
れる。これにより段部２ｃの角部に残ろうとする水滴Ｓ
を確実に取り除ける。
は、ノズル口17が逆山形状に形成され（ノズル口17が反
対方向に配列され）、エヤー流Ａが傾斜して流れること
から、段付き板状物２の進行に応じて段部２ｃにおいて
は、端部が対応される両外側から中央部への流れｎが生
じる。これにより段部２ｃの角部に残ろうとする水滴Ｓ
が、この流れｎにより図７のイや図８で示されるように
段付き板状物２の後端側に押し出されるように移動さ
れ、そして後端側で水滴Ｓが集合することにより大きな
水玉になったのち、次々と後端から離れて後方へ飛ばさ
れる。これにより段部２ｃの角部に残ろうとする水滴Ｓ
を確実に取り除ける。
【００２２】
【発明の効果】上記した本発明の請求項１によると、ノ
ズル口を山形状に形成して、エヤー流を傾斜して流して
いることから、板状物の進行に応じて板端面において
は、頂部が対応する中央部から両外側への流れが生じ、
この流れにより、板端面に残ろうとする水滴を板状物の
角部側に引っ張るように移動でき、そして角部で水滴を
集合させたのち、次々と角部から離れて外方へ飛ばすこ
とができて、板端面に残ろうとする水滴を確実に取り除
くことができる。
ズル口を山形状に形成して、エヤー流を傾斜して流して
いることから、板状物の進行に応じて板端面において
は、頂部が対応する中央部から両外側への流れが生じ、
この流れにより、板端面に残ろうとする水滴を板状物の
角部側に引っ張るように移動でき、そして角部で水滴を
集合させたのち、次々と角部から離れて外方へ飛ばすこ
とができて、板端面に残ろうとする水滴を確実に取り除
くことができる。
【００２３】そして、ローラコンベヤ装置のローラ間に
配設したエヤーノズル装置は、そのノズル口を左右に振
り分けて山形状に形成したことで、たとえエヤーノズル
装置の前後長さを短くしたとしても、ノズル口の板状物
に対する傾斜角度を充分に大きくでき、これにより、板
状物が同一幅であるとき、ノズル口の傾斜角度を大きく
しでき、したがって板端面の水滴の切れを良くすること
ができて、板状物の送り速度を早くでき能率を向上でき
る。
配設したエヤーノズル装置は、そのノズル口を左右に振
り分けて山形状に形成したことで、たとえエヤーノズル
装置の前後長さを短くしたとしても、ノズル口の板状物
に対する傾斜角度を充分に大きくでき、これにより、板
状物が同一幅であるとき、ノズル口の傾斜角度を大きく
しでき、したがって板端面の水滴の切れを良くすること
ができて、板状物の送り速度を早くでき能率を向上でき
る。
【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、板状物乾燥
装置の平面図である。
装置の平面図である。
【図２】同板状物乾燥装置の縦断側面図である。
【図３】同板状物乾燥装置の要部の縦断側面図である。
【図４】同板状物乾燥装置の水滴の流れを説明する概略
平面図である。
平面図である。
【図５】本発明の別の実施の形態を示し、板状物乾燥装
置の平面図である。
置の平面図である。
【図６】同板状物乾燥装置の縦断側面図である。
【図７】同板状物乾燥装置の水滴の流れを説明する概略
正面図である。
正面図である。
【図８】同板状物乾燥装置の水滴の流れを説明する要部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図９】従来例を示し、板状物乾燥装置の平面図であ
る。
る。
【図１０】同板状物乾燥装置の縦断側面図である。
【図１１】同板状物乾燥装置の水滴の流れの説明図であ
る。
る。
【図１２】さらに別の従来例を示し、板状物乾燥装置の
平面図である。
平面図である。
１ 板状物 １ａ 表面 １ｂ 板端面 １Ａ 角部 ２ 段付き板状物 ２ｃ 段部 ５ ローラコンベヤ装置 ６ ローラ 10 エヤーノズル装置 12 ノズル口 12ａ 頂部 15 下手エヤーノズル装置 17 ノズル口 17ａ 頂部 Ａ エアー流 Ｐ ローラピッチ Ｓ 水滴 Ｎ 板端面の流れ ｎ 段部の流れ Θ 傾斜角度
Claims (1)
- 【請求項１】 ローラコンベヤ装置により板状物を搬送
しながら、エヤーノズル装置により板状物の上下の表面
を乾燥させる板状物乾燥装置であって、前記エヤーノズ
ル装置のノズル口を、頂部を左右方向の中央部でかつ乾
燥作用開始側として山形状に形成したことを特徴とする
板状物乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31867695A JPH09159360A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 板状物乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31867695A JPH09159360A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 板状物乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159360A true JPH09159360A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18101791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31867695A Pending JPH09159360A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 板状物乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09159360A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004202288A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | エアブロー装置及びエアブロー方法 |
| JP2007141933A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Mitsubishi Electric Corp | 基板乾燥装置及び基板処理方法 |
| CN100412486C (zh) * | 2003-06-27 | 2008-08-20 | 东京応化工业株式会社 | 基板干燥装置和基板干燥方法 |
| WO2009053785A1 (en) * | 2007-10-24 | 2009-04-30 | Baccini Spa | Drying apparatus for plate elements for electronics and the like, and relative method |
| US10236191B2 (en) | 2013-12-20 | 2019-03-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wafer drying apparatus and method for drying a wafer |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP31867695A patent/JPH09159360A/ja active Pending
Cited By (5)
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