JP3117650B2 - 移送品の除塵装置 - Google Patents
移送品の除塵装置Info
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- JP3117650B2 JP3117650B2 JP08317822A JP31782296A JP3117650B2 JP 3117650 B2 JP3117650 B2 JP 3117650B2 JP 08317822 A JP08317822 A JP 08317822A JP 31782296 A JP31782296 A JP 31782296A JP 3117650 B2 JP3117650 B2 JP 3117650B2
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷工程や電子部
品の製造工程や実装工程あるいは機械部品の製造工程や
組立工程に組み込まれる移送品の除塵装置に関するもの
である。
品の製造工程や実装工程あるいは機械部品の製造工程や
組立工程に組み込まれる移送品の除塵装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、印刷工程や工業製品の製造工程や
実装工程、組立工程等では移送品の除塵は必要なかっ
た。しかし、近年、高精細な各種印刷や工業製品の高精
密化により僅かな塵埃も製品品質を低下させるという問
題がでてきた。このため製造工程における塵埃を減少さ
せる手段としてICの製造等に利用されるクリーンルー
ムを用いることも考えられるが、クリーンルームの設置
には莫大な設備費がかかるうえに、ランニングコストも
高く製品価格に大きな影響を与えるという問題があり、
また、クリーンルームを利用する程のクリーンさを必要
としない場合に利用できる除塵装置の開発が要望されて
いた。
実装工程、組立工程等では移送品の除塵は必要なかっ
た。しかし、近年、高精細な各種印刷や工業製品の高精
密化により僅かな塵埃も製品品質を低下させるという問
題がでてきた。このため製造工程における塵埃を減少さ
せる手段としてICの製造等に利用されるクリーンルー
ムを用いることも考えられるが、クリーンルームの設置
には莫大な設備費がかかるうえに、ランニングコストも
高く製品価格に大きな影響を与えるという問題があり、
また、クリーンルームを利用する程のクリーンさを必要
としない場合に利用できる除塵装置の開発が要望されて
いた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、安価なう
え、ランニングコストが少なくて済む移送品の除塵装置
を提供することを目的とするものである。
え、ランニングコストが少なくて済む移送品の除塵装置
を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
め本発明は、移送される移送品の対向面側を開口させた
除塵ボックスを配設し、該除塵ボックスの入口側にイオ
ン送風式の除電器を配置するとともに、除塵ボックスの
出口側に塵埃を吹き飛ばす空気噴射機構を配置し、ま
た、空気噴射機構が配置されている除塵ボックスの出口
側に移送路を挟んで直交する一側方から吸気して他側方
に排気する集塵装置を配置した移送品の除塵装置を請求
項1の発明とし、請求項1の発明において、空気噴射機
構から噴射される空気圧を部分的に異ならせた移送品の
除塵装置を請求項2の発明とし、移送コンベアにより移
送品を搬送する移送品の除塵装置を請求項3の発明と
し、移送コンベアの上面に前後方向または左右方向に連
通する多数の溝を形成した移送品の除塵装置を請求項4
の発明とし、移送コンベアの上面に前後左右方向に連通
する溝を形成した移送品の除塵装置を請求項5の発明と
し、移送コンベアがローラコンベアである移送品の除塵
装置を請求項6の発明とするものである。
め本発明は、移送される移送品の対向面側を開口させた
除塵ボックスを配設し、該除塵ボックスの入口側にイオ
ン送風式の除電器を配置するとともに、除塵ボックスの
出口側に塵埃を吹き飛ばす空気噴射機構を配置し、ま
た、空気噴射機構が配置されている除塵ボックスの出口
側に移送路を挟んで直交する一側方から吸気して他側方
に排気する集塵装置を配置した移送品の除塵装置を請求
項1の発明とし、請求項1の発明において、空気噴射機
構から噴射される空気圧を部分的に異ならせた移送品の
除塵装置を請求項2の発明とし、移送コンベアにより移
送品を搬送する移送品の除塵装置を請求項3の発明と
し、移送コンベアの上面に前後方向または左右方向に連
通する多数の溝を形成した移送品の除塵装置を請求項4
の発明とし、移送コンベアの上面に前後左右方向に連通
する溝を形成した移送品の除塵装置を請求項5の発明と
し、移送コンベアがローラコンベアである移送品の除塵
装置を請求項6の発明とするものである。
【0005】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好ましい実施の形
態を図に基づいて詳細に説明する。1は除塵ボックスで
あり、該除塵ボックス1は着脱自在な仕切板1dにより
入口2が設けられた除電のための前部室と、出口3が設
けられた集塵のための後部室とに区画されるとともに、
移送品との対向面側を開口させたものである。そして、
除塵ボックス1の前部室の入口2と後部室の出口3に上
下動自在に取り付けられるスライド板4は後記する移送
コンベア17の上面から出入口の高さ、すなわち移送品
の通過を調整自在とするものである。5は除塵ボックス
1の前部室側の天板に形成された開口1aに下面の吹出
開口5aを臨ませて取り付けられたイオン送風式の除電
器で、該除電器5は移送コンベア17上に載置された移
送品にプラス及びマイナスのイオンを吹き付けて移送品
のプラス及びマイナスの電荷を除去するものである。ま
た、該除電器5は外部と連通される外気導入開口5bの
内面に着脱自在に装着されるフィルター6と、該フィル
ター6に続いて配置される外気吸引用の吸気ファン7、
7と、該吸気ファン7の下方に配置されるプラスとマイ
ナスのイオンをそれぞれ発生する電極針8、8と、前記
吹出開口5aに着脱自在に装着されるフィルター9とよ
りなるものである。10は除塵ボックス1の後部室側に
移送コンベア17を挟んで直交する一側方から吸気して
他側方に排気するよう配置される集塵装置であり、該集
塵装置10は外部と連通する外気導入開口10aの内面
に着脱自在に装着に装着されるフィルター11と、除塵
ボックス1の後部室の側面に形成される吸気開口1bに
配置される吸気ファン12、12と、除塵ボックス1の
後部室の対向側側面に形成される排気開口1cに配置さ
れる排気ファン13、13と、該排気ファン13に接続
される排気ダクト14とよりなるものである。
態を図に基づいて詳細に説明する。1は除塵ボックスで
あり、該除塵ボックス1は着脱自在な仕切板1dにより
入口2が設けられた除電のための前部室と、出口3が設
けられた集塵のための後部室とに区画されるとともに、
移送品との対向面側を開口させたものである。そして、
除塵ボックス1の前部室の入口2と後部室の出口3に上
下動自在に取り付けられるスライド板4は後記する移送
コンベア17の上面から出入口の高さ、すなわち移送品
の通過を調整自在とするものである。5は除塵ボックス
1の前部室側の天板に形成された開口1aに下面の吹出
開口5aを臨ませて取り付けられたイオン送風式の除電
器で、該除電器5は移送コンベア17上に載置された移
送品にプラス及びマイナスのイオンを吹き付けて移送品
のプラス及びマイナスの電荷を除去するものである。ま
た、該除電器5は外部と連通される外気導入開口5bの
内面に着脱自在に装着されるフィルター6と、該フィル
ター6に続いて配置される外気吸引用の吸気ファン7、
7と、該吸気ファン7の下方に配置されるプラスとマイ
ナスのイオンをそれぞれ発生する電極針8、8と、前記
吹出開口5aに着脱自在に装着されるフィルター9とよ
りなるものである。10は除塵ボックス1の後部室側に
移送コンベア17を挟んで直交する一側方から吸気して
他側方に排気するよう配置される集塵装置であり、該集
塵装置10は外部と連通する外気導入開口10aの内面
に着脱自在に装着に装着されるフィルター11と、除塵
ボックス1の後部室の側面に形成される吸気開口1bに
配置される吸気ファン12、12と、除塵ボックス1の
後部室の対向側側面に形成される排気開口1cに配置さ
れる排気ファン13、13と、該排気ファン13に接続
される排気ダクト14とよりなるものである。
【0006】15は移送品に付着している塵埃を吹き飛
ばす空気噴射機構であり、該空気噴射機構15は除塵ボ
ックス1出口側の吸気開口1bと排気開口1c間の上方
に配置されるノズルヘッド15aと該ノズルヘッド15
aに接続されれる空気供給パイプ15bとからなるもの
で、ノズルヘッド15aには多数のノズル孔16が透設
されている。ノズル孔16は図2に示されるように、略
均一な空気圧が移送品に噴射されるようノズルヘッド1
5aの中心部から周辺に向かって孔径を次第に大きくし
たものとしているが、図3に示される構成のものでは、
除塵する移送品の形状や電荷分布等に応じて噴射される
空気圧が部分的に異なるようノズル孔16の孔径を部分
的に変えて、移送品に付着する塵埃の吹き落としが確実
に行われるようしてる。
ばす空気噴射機構であり、該空気噴射機構15は除塵ボ
ックス1出口側の吸気開口1bと排気開口1c間の上方
に配置されるノズルヘッド15aと該ノズルヘッド15
aに接続されれる空気供給パイプ15bとからなるもの
で、ノズルヘッド15aには多数のノズル孔16が透設
されている。ノズル孔16は図2に示されるように、略
均一な空気圧が移送品に噴射されるようノズルヘッド1
5aの中心部から周辺に向かって孔径を次第に大きくし
たものとしているが、図3に示される構成のものでは、
除塵する移送品の形状や電荷分布等に応じて噴射される
空気圧が部分的に異なるようノズル孔16の孔径を部分
的に変えて、移送品に付着する塵埃の吹き落としが確実
に行われるようしてる。
【0007】17は除塵する移送品を搬送する移送コン
ベアであり、該移送コンベア17の前後ローラに巻き掛
けられる絶縁体よりなるコンベアベルトは図4に示され
るように、コンベアベルトの上面に前後方向あるいは左
右方向に連通する多数の溝18を形成するための波状隆
起19を形成し、コンベアベルト上に載置された移送品
が接触面積の小さな隆起頂部間に支持され、空間に保持
させた状態と同じにして電荷が検出される状態、すなわ
ち除電されやすい状態に保持するとともに、除電器5か
ら放出されたイオンが空気流に乗って移送品の下面側に
も流れるようにして除電を確実に行えるようにしている
が、図5に示されるように、コンベアベルトの上面に前
後左右方向に連通する溝18を形成するための多数の突
起20を形成し、コンベアベルト上に載置された移送品
が接触面積のより少ない突起頂部に支持され、空間に保
持された状態と同じにして前記と同様除電されやすい状
態に保持するともに、除電器5から放出されたイオンが
空気流に乗って移送品の下面側にも流れるようにしてい
るが、除電する移送品自体に凹凸がある場合には平坦な
コンベアベルトでよい。21は移送コンベア17を駆動
する減速機付モータである。
ベアであり、該移送コンベア17の前後ローラに巻き掛
けられる絶縁体よりなるコンベアベルトは図4に示され
るように、コンベアベルトの上面に前後方向あるいは左
右方向に連通する多数の溝18を形成するための波状隆
起19を形成し、コンベアベルト上に載置された移送品
が接触面積の小さな隆起頂部間に支持され、空間に保持
させた状態と同じにして電荷が検出される状態、すなわ
ち除電されやすい状態に保持するとともに、除電器5か
ら放出されたイオンが空気流に乗って移送品の下面側に
も流れるようにして除電を確実に行えるようにしている
が、図5に示されるように、コンベアベルトの上面に前
後左右方向に連通する溝18を形成するための多数の突
起20を形成し、コンベアベルト上に載置された移送品
が接触面積のより少ない突起頂部に支持され、空間に保
持された状態と同じにして前記と同様除電されやすい状
態に保持するともに、除電器5から放出されたイオンが
空気流に乗って移送品の下面側にも流れるようにしてい
るが、除電する移送品自体に凹凸がある場合には平坦な
コンベアベルトでよい。21は移送コンベア17を駆動
する減速機付モータである。
【0008】このように構成されたものは、各種印刷工
程や工業製品の製造工程や実装工程、あるいは組立工程
等に移送コンベア17を組み込んでおき、常時は除電器
5を作動させて、移送コンベア17のコンベアベルトの
除電を行うとともに、集塵装置10を作動させてコンベ
アベルトの塵埃を吸引除去する。そして、印刷や実装、
組立工程に搬送される移送品が移送コンベア17によっ
て搬送され、入口2を通じて除塵ボックス1の前部室内
に進入すると、除電器5の吸気ファン7により外気導入
開口5bからフィルター6を介して吸引された清浄空気
は、電極針8、8によって生成されたプラスとマイナス
のイオンと混合されてイオン空気流となる。そして、除
電器5の吹出開口5aより吹き出されたイオン空気流は
除塵ボックス1の前部室の開口1aを通じて移送コンベ
ア17上の移送品に吹き付けられることとなる。移送コ
ンベア17上に載置された移送品はコンベアベルトの上
面に形成された波状隆起19の接触面積の小さな隆起頂
部に保持され、除電されやすい状態となっているうえ
に、波状隆起19により形成された多数の溝18を介し
て移送品の下面側までイオン空気流は回り込むこととな
って移送品の静電気は的確に除去されることとなる。
程や工業製品の製造工程や実装工程、あるいは組立工程
等に移送コンベア17を組み込んでおき、常時は除電器
5を作動させて、移送コンベア17のコンベアベルトの
除電を行うとともに、集塵装置10を作動させてコンベ
アベルトの塵埃を吸引除去する。そして、印刷や実装、
組立工程に搬送される移送品が移送コンベア17によっ
て搬送され、入口2を通じて除塵ボックス1の前部室内
に進入すると、除電器5の吸気ファン7により外気導入
開口5bからフィルター6を介して吸引された清浄空気
は、電極針8、8によって生成されたプラスとマイナス
のイオンと混合されてイオン空気流となる。そして、除
電器5の吹出開口5aより吹き出されたイオン空気流は
除塵ボックス1の前部室の開口1aを通じて移送コンベ
ア17上の移送品に吹き付けられることとなる。移送コ
ンベア17上に載置された移送品はコンベアベルトの上
面に形成された波状隆起19の接触面積の小さな隆起頂
部に保持され、除電されやすい状態となっているうえ
に、波状隆起19により形成された多数の溝18を介し
て移送品の下面側までイオン空気流は回り込むこととな
って移送品の静電気は的確に除去されることとなる。
【0009】このように除電された移送品が除塵ボック
ス1内を進行して除塵ボックス1の後部室に進入し、移
送コンベア17を挟んで配置されている集塵装置10の
位置に達すると、除塵ボックス1の後部室の側面に形成
された吸気開口1bに臨んで配置されている吸気ファン
12、12は外気導入開口10aよりフィルター11を
介して清浄空気を吸い込んで除塵ボックス1内に流入さ
せることとなる。このように流入した清浄空気は除塵ボ
ックス1の後部室の対向側側面に形成されている排気開
口1cに臨んで配置されている排気ファン13、13に
より吸引され、排気ファン13に接続されている排気ダ
クト14を通じて排気されてゆくこととなるが、この排
気時、除電により移送品の表面に付着していた塵埃は移
送品から離れて浮遊したり、浮遊しやすい状態で移送品
の表面に乗っているので、これらの塵埃は吸気開口1b
から排気開口1cに向かう集塵装置10の排気気流にの
って排気ダクト14への排出されてゆくこととなる。
ス1内を進行して除塵ボックス1の後部室に進入し、移
送コンベア17を挟んで配置されている集塵装置10の
位置に達すると、除塵ボックス1の後部室の側面に形成
された吸気開口1bに臨んで配置されている吸気ファン
12、12は外気導入開口10aよりフィルター11を
介して清浄空気を吸い込んで除塵ボックス1内に流入さ
せることとなる。このように流入した清浄空気は除塵ボ
ックス1の後部室の対向側側面に形成されている排気開
口1cに臨んで配置されている排気ファン13、13に
より吸引され、排気ファン13に接続されている排気ダ
クト14を通じて排気されてゆくこととなるが、この排
気時、除電により移送品の表面に付着していた塵埃は移
送品から離れて浮遊したり、浮遊しやすい状態で移送品
の表面に乗っているので、これらの塵埃は吸気開口1b
から排気開口1cに向かう集塵装置10の排気気流にの
って排気ダクト14への排出されてゆくこととなる。
【0010】このとき図示しないセンサにより移送品が
空気噴射機構15の下方に搬送されたことが検知される
と、空気噴射機構15のノズルヘッド15aから加圧空
気が移送品に向かって噴射される。この加圧空気の噴射
により集塵装置10の排気気流によって取り除けなかっ
た移送品表面の塵埃や集塵装置10の排気気流が当たら
なかった部分に付着していた塵埃は吹き飛ばされたう
え、集塵装置10の排気気流に乗って排気ダクト14へ
と排出されてゆくこととなる。このようにして除塵され
た移送品は各種印刷工程や工業製品の製造工程や実装工
程、組立工程等に送り出されることとなる。なお、好ま
しい実施の形態では、移送コンベア17を介して移送品
の搬送を行っているが、連続したシート状物等の除塵の
際には移送コンベア17は不要となる。また、好ましい
実施の形態では移送コンベア17をベルト式としている
が、絶縁材よりなるローラコンベアを用いてよい。さら
に、好ましい実施の形態では移送品の上面にのみ除塵ボ
ックス1を配設させているが、下面側あるいは上下両面
に除塵ボックス1を配設させてもよい。また、好ましい
実施の形態では除塵ボックス1を仕切板1dによって前
部室と後部室とに区画して集塵気流を強めているが、移
送品が気流により不安定になる場合には、仕切板1dを
外して一連の除塵室とすればよく、このようにすればフ
ァンモータの交換することなく気流を弱めることができ
る。
空気噴射機構15の下方に搬送されたことが検知される
と、空気噴射機構15のノズルヘッド15aから加圧空
気が移送品に向かって噴射される。この加圧空気の噴射
により集塵装置10の排気気流によって取り除けなかっ
た移送品表面の塵埃や集塵装置10の排気気流が当たら
なかった部分に付着していた塵埃は吹き飛ばされたう
え、集塵装置10の排気気流に乗って排気ダクト14へ
と排出されてゆくこととなる。このようにして除塵され
た移送品は各種印刷工程や工業製品の製造工程や実装工
程、組立工程等に送り出されることとなる。なお、好ま
しい実施の形態では、移送コンベア17を介して移送品
の搬送を行っているが、連続したシート状物等の除塵の
際には移送コンベア17は不要となる。また、好ましい
実施の形態では移送コンベア17をベルト式としている
が、絶縁材よりなるローラコンベアを用いてよい。さら
に、好ましい実施の形態では移送品の上面にのみ除塵ボ
ックス1を配設させているが、下面側あるいは上下両面
に除塵ボックス1を配設させてもよい。また、好ましい
実施の形態では除塵ボックス1を仕切板1dによって前
部室と後部室とに区画して集塵気流を強めているが、移
送品が気流により不安定になる場合には、仕切板1dを
外して一連の除塵室とすればよく、このようにすればフ
ァンモータの交換することなく気流を弱めることができ
る。
【0011】
【発明の効果】本発明は前記説明によって明らかなよう
に、次工程に送りこまれてゆく移送品の除電をイオン送
風式の除電器により行って移送品の表面に静電気で付着
している塵埃を浮遊させたり、浮遊しやすい状態とした
うえ、除塵ボックスの出口側に設けられ、搬送路を挟ん
で外気を吸引しつつ排気を行う集塵装置の排気気流中に
移送品を介在させ、さらに、集塵装置の排気気流中に空
気噴射機構を設けて除電後、排気気流では取り除けなか
ったり、排気気流が当たらず除塵できなかった部分に付
着している塵埃を吹き飛ばし、吹き飛ばした塵埃を排気
気流に乗せて排気することにより除塵効率を大幅に高め
ることができ、しかも、除電器と集塵装置という安価な
装置に安価で簡単な空気噴射機構を組み込むだけで得ら
れ、ランニングコストも安価である。さらに、構造が簡
単で小型であるため既存の装置に組み込むことも極めて
容易である。また、請求項2のように、空気噴射機構の
空気圧を部分的に異ならせることにより、移送品の形状
や電荷分布が異なった際にも確実に除塵が行われる。ま
た請求項3のように、移送コンベアにより移送品を搬送
すれば、小物部品や単品の除塵も容易となる。さらに、
請求項4、5のように、移送コンベアの上面に前後方向
または左右方向に連通する溝を形成したり、前後左右方
向に連通する溝を形成し、移送品を小さな接触面で保持
させることにより、電荷が検知できる除電しやすい状態
とすることができるうえに、移送品の下面側にもイオン
空気流を流すことができるので、除塵効果をより大きな
ものとすることができる。また、請求項6のように、移
送コンベアをローラコンベアとすれば、製作に手間がか
かる溝を形成する必要がなくなり、装置をより安価に提
供できるものとなる等種々の利点を有するものである。
に、次工程に送りこまれてゆく移送品の除電をイオン送
風式の除電器により行って移送品の表面に静電気で付着
している塵埃を浮遊させたり、浮遊しやすい状態とした
うえ、除塵ボックスの出口側に設けられ、搬送路を挟ん
で外気を吸引しつつ排気を行う集塵装置の排気気流中に
移送品を介在させ、さらに、集塵装置の排気気流中に空
気噴射機構を設けて除電後、排気気流では取り除けなか
ったり、排気気流が当たらず除塵できなかった部分に付
着している塵埃を吹き飛ばし、吹き飛ばした塵埃を排気
気流に乗せて排気することにより除塵効率を大幅に高め
ることができ、しかも、除電器と集塵装置という安価な
装置に安価で簡単な空気噴射機構を組み込むだけで得ら
れ、ランニングコストも安価である。さらに、構造が簡
単で小型であるため既存の装置に組み込むことも極めて
容易である。また、請求項2のように、空気噴射機構の
空気圧を部分的に異ならせることにより、移送品の形状
や電荷分布が異なった際にも確実に除塵が行われる。ま
た請求項3のように、移送コンベアにより移送品を搬送
すれば、小物部品や単品の除塵も容易となる。さらに、
請求項4、5のように、移送コンベアの上面に前後方向
または左右方向に連通する溝を形成したり、前後左右方
向に連通する溝を形成し、移送品を小さな接触面で保持
させることにより、電荷が検知できる除電しやすい状態
とすることができるうえに、移送品の下面側にもイオン
空気流を流すことができるので、除塵効果をより大きな
ものとすることができる。また、請求項6のように、移
送コンベアをローラコンベアとすれば、製作に手間がか
かる溝を形成する必要がなくなり、装置をより安価に提
供できるものとなる等種々の利点を有するものである。
【図1】本発明の好ましい実施の形態を示す一部切欠斜
視図である。
視図である。
【図2】本発明の好ましい実施の形態の空気噴射機構の
ノズルヘッドを示す一部切欠側面図である。
ノズルヘッドを示す一部切欠側面図である。
【図3】本発明の好ましい実施の形態の空気噴射機構の
他のノズルヘッドを示す一部切欠側面図である。
他のノズルヘッドを示す一部切欠側面図である。
【図4】本発明の好ましい実施の形態の移送コンベアベ
ルトの要部を示す一部切欠斜視図である。
ルトの要部を示す一部切欠斜視図である。
【図5】本発明の好ましい実施の形態の他の移送コンベ
アベルトの要部を示す一部切欠斜視図である。
アベルトの要部を示す一部切欠斜視図である。
【符号の説明】 1 除塵ボックス 5 除電器 10 集塵装置 15 空気噴射機構 17 移送コンベア 18 溝
Claims (6)
- 【請求項1】 移送される移送品の対向面側を開口させ
た除塵ボックス(1)を配設し、該除塵ボックス(1) の入
口側にイオン送風式の除電器(5) を配置するとともに、
除塵ボックス(1) の出口側に塵埃を吹き飛ばす空気噴射
機構(15)を配置し、また、空気噴射機構(15)が配置され
ている除塵ボックス(1) の出口側に移送路を挟んで直交
する一側方から吸気して他側方に排気する集塵装置(10)
を配置したことを特徴とする移送品の除塵装置。 - 【請求項2】 空気噴射機構(15)から噴射される空気圧
を部分的に異ならせた請求項1に記載の移送品の除塵装
置。 - 【請求項3】 移送コンベア(17)により移送品を搬送す
る請求項1に記載の移送品の除塵装置。 - 【請求項4】 移送コンベア(17)の上面に前後方向また
は左右方向に連通する多数の溝(18)を形成した請求項1
に記載の移送品の除塵装置。 - 【請求項5】 移送コンベア(17)の上面に前後左右方向
に連通する溝(18)を形成した請求項1に記載の移送品の
除塵装置。 - 【請求項6】 移送コンベア(17)がローラコンベアであ
る請求項1に記載の移送品の除塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08317822A JP3117650B2 (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | 移送品の除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08317822A JP3117650B2 (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | 移送品の除塵装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10156302A JPH10156302A (ja) | 1998-06-16 |
JP3117650B2 true JP3117650B2 (ja) | 2000-12-18 |
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