JP3501343B2 - 塵埃除去装置 - Google Patents
塵埃除去装置Info
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- JP3501343B2 JP3501343B2 JP13040898A JP13040898A JP3501343B2 JP 3501343 B2 JP3501343 B2 JP 3501343B2 JP 13040898 A JP13040898 A JP 13040898A JP 13040898 A JP13040898 A JP 13040898A JP 3501343 B2 JP3501343 B2 JP 3501343B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Electrostatic Separation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、組立体としての例え
ば精密機器に付着した塵埃を除去するための塵埃除去装
置に関するものである。
ば精密機器に付着した塵埃を除去するための塵埃除去装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、組立体としての例えば精密機
器の製造・組立工程では、完成品の信頼度、性能を高め
るために、製造・組立工程において組立体に付着した２
０μｍ以上の粒径の塵埃を除去している。例えば、複写
機等の精密光学機器では、図３に概略的に示す読み取り
部２０のレンズユニット２１に高解像度のＣＣＤが用い
られている。この読み取り部２０の可動ミラー２２に塵
埃が付着していると、原稿を読み取った際に、可動ミラ
ー２２に付着した２０μｍ以上の粒径の塵埃がレンズユ
ニット２１の１次元ラインＣＣＤに結像され、複写物に
筋状の縞が発生し、原稿読み取り品質が低下するという
問題がある。そのため、読み取り部２０の組立工程で
は、図示を略すコンタクトガラスを装着する前に、可動
ミラー２２、レンズユニット２１に付着した塵埃を除去
するために、一定圧力のエアーを連続的に可動ミラー２
２の表面、レンズユニット２１の対物レンズの表面に噴
射して、可動ミラー２２、レンズユニット２１に付着し
た塵埃を吹き飛ばすと共に、空中に舞い上げられた塵埃
を吸引して、組立体から極力塵埃を取り除くようにして
いる。
器の製造・組立工程では、完成品の信頼度、性能を高め
るために、製造・組立工程において組立体に付着した２
０μｍ以上の粒径の塵埃を除去している。例えば、複写
機等の精密光学機器では、図３に概略的に示す読み取り
部２０のレンズユニット２１に高解像度のＣＣＤが用い
られている。この読み取り部２０の可動ミラー２２に塵
埃が付着していると、原稿を読み取った際に、可動ミラ
ー２２に付着した２０μｍ以上の粒径の塵埃がレンズユ
ニット２１の１次元ラインＣＣＤに結像され、複写物に
筋状の縞が発生し、原稿読み取り品質が低下するという
問題がある。そのため、読み取り部２０の組立工程で
は、図示を略すコンタクトガラスを装着する前に、可動
ミラー２２、レンズユニット２１に付着した塵埃を除去
するために、一定圧力のエアーを連続的に可動ミラー２
２の表面、レンズユニット２１の対物レンズの表面に噴
射して、可動ミラー２２、レンズユニット２１に付着し
た塵埃を吹き飛ばすと共に、空中に舞い上げられた塵埃
を吸引して、組立体から極力塵埃を取り除くようにして
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近時、読み
取り精度のより一層の向上を図るために、２０μｍ未満
の粒径のものも、極力除去するようにとの要求が高まり
つつある。ところが、粒径が２０μｍ未満の塵埃は、従
来のエアー連続噴射による塵埃除去では、吸引手段によ
る空気の流れに乗りにくく、空中に舞い上げられた塵埃
がエアー噴射によって生じる空気の渦（乱流）に乗って
組立体上方の空中を浮遊する状態となるため、吸引手段
によりなかなか吸引されず、再び組立体に向かって落下
して付着する不都合がある。
取り精度のより一層の向上を図るために、２０μｍ未満
の粒径のものも、極力除去するようにとの要求が高まり
つつある。ところが、粒径が２０μｍ未満の塵埃は、従
来のエアー連続噴射による塵埃除去では、吸引手段によ
る空気の流れに乗りにくく、空中に舞い上げられた塵埃
がエアー噴射によって生じる空気の渦（乱流）に乗って
組立体上方の空中を浮遊する状態となるため、吸引手段
によりなかなか吸引されず、再び組立体に向かって落下
して付着する不都合がある。
【０００４】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
ので、組立体に付着している粒径の小さな塵埃を効率よ
く除去することのできる塵埃除去装置を提供することを
目的とする。
ので、組立体に付着している粒径の小さな塵埃を効率よ
く除去することのできる塵埃除去装置を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
請求項１の塵埃除去装置は、組立体に付着した塵埃を吹
き飛ばすために前記組立体に対してエアーノズルから所
定圧力のエアーを間欠的に噴射するエアー噴射手段と、
エアー噴射により前記組立体から空中に舞い上げられた
塵埃を吸引する吸引手段とを備え、エアー噴射手段は、
エアー噴射によって生じた空気の渦が消滅し、該渦に乗
って浮遊していた粒径の小さな塵埃が降下し、前記吸引
手段が該塵埃を吸引することが可能となるだけの間隔を
おいて、間欠的にエアー噴射を行うことを特徴とする。
請求項１の塵埃除去装置は、組立体に付着した塵埃を吹
き飛ばすために前記組立体に対してエアーノズルから所
定圧力のエアーを間欠的に噴射するエアー噴射手段と、
エアー噴射により前記組立体から空中に舞い上げられた
塵埃を吸引する吸引手段とを備え、エアー噴射手段は、
エアー噴射によって生じた空気の渦が消滅し、該渦に乗
って浮遊していた粒径の小さな塵埃が降下し、前記吸引
手段が該塵埃を吸引することが可能となるだけの間隔を
おいて、間欠的にエアー噴射を行うことを特徴とする。
【０００６】請求項２の塵埃除去装置は、請求項１の塵
埃除去装置において、前記吸引手段に前記エアー噴射の
休止時に浮遊する塵埃を吸引するために、前記組立体の
下方に前記吸引手段の吸引口が設けられていることを特
徴とする。
埃除去装置において、前記吸引手段に前記エアー噴射の
休止時に浮遊する塵埃を吸引するために、前記組立体の
下方に前記吸引手段の吸引口が設けられていることを特
徴とする。
【０００７】請求項３の塵埃除去装置は、請求項１又は
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記組立体に
付着した塵埃を除去するために周囲に対して前記組立体
を隔絶する塵埃除去室と、前記組立体を前記塵埃除去室
に搬入するときに開閉される搬入用扉と、前記組立体を
前記塵埃除去室から搬出するときに開閉される搬出用扉
と、前記組立体を前記塵埃除去室に搬入・搬出するため
の搬入・搬出手段とを備えている。
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記組立体に
付着した塵埃を除去するために周囲に対して前記組立体
を隔絶する塵埃除去室と、前記組立体を前記塵埃除去室
に搬入するときに開閉される搬入用扉と、前記組立体を
前記塵埃除去室から搬出するときに開閉される搬出用扉
と、前記組立体を前記塵埃除去室に搬入・搬出するため
の搬入・搬出手段とを備えている。
【０００８】請求項４の塵埃除去装置は、請求項３に記
載の塵埃除去装置において、浄化された外部空気を導入
して前記塵埃除去室を陽圧に維持する外気吸入手段を有
することを特徴とする。
載の塵埃除去装置において、浄化された外部空気を導入
して前記塵埃除去室を陽圧に維持する外気吸入手段を有
することを特徴とする。
【０００９】請求項５の塵埃除去装置は、請求項１又は
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記エアー噴
射手段がイオン化されたエアーを前記組立体に噴射する
ことにより前記組立体に付着した塵埃を電気的に中和さ
せ、前記組立体に付着した塵埃の付着力を弱めることを
特徴とする。
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記エアー噴
射手段がイオン化されたエアーを前記組立体に噴射する
ことにより前記組立体に付着した塵埃を電気的に中和さ
せ、前記組立体に付着した塵埃の付着力を弱めることを
特徴とする。
【００１０】請求項６の塵埃除去装置は、請求項１又は
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記吸引手段
が前記エアー噴射の休止時にのみ前記塵埃を吸引するこ
とを特徴とする。
請求項２に記載の塵埃除去装置において、前記吸引手段
が前記エアー噴射の休止時にのみ前記塵埃を吸引するこ
とを特徴とする。
【００１１】請求項１〜請求項６に記載の発明によれ
ば、エアーを間欠的に組立体に向けて噴射することにし
たので、エアー噴射によって生じる空気の乱れのない状
態をエアー噴射休止時に繰り返し発生させることができ
ることになり、従って、吸引手段による空気の流れに乗
せて塵埃を吸引できることになる。
ば、エアーを間欠的に組立体に向けて噴射することにし
たので、エアー噴射によって生じる空気の乱れのない状
態をエアー噴射休止時に繰り返し発生させることができ
ることになり、従って、吸引手段による空気の流れに乗
せて塵埃を吸引できることになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１３】図１及び図２において、１は塵埃除去装置
本体、２は組立体、３Ａ，３Ｂは組立体の搬入・搬出手
段としての搬送用コンベア、３Ｃはパレットである。こ
こでは、所定の工程を経て組立られた組立体２はパレッ
ト３Ｃに乗せられ、搬送用コンベア３Ａによって塵埃除
去装置本体１に向かって運ばれる。塵埃除去装置本体１
には、図２に示すように塵埃除去室４、所定圧力のエア
ーを噴射するエアー噴射手段５、塵埃除去室４内に舞い
上げられた塵埃を吸引するための吸引手段６が設けられ
ている。
本体、２は組立体、３Ａ，３Ｂは組立体の搬入・搬出手
段としての搬送用コンベア、３Ｃはパレットである。こ
こでは、所定の工程を経て組立られた組立体２はパレッ
ト３Ｃに乗せられ、搬送用コンベア３Ａによって塵埃除
去装置本体１に向かって運ばれる。塵埃除去装置本体１
には、図２に示すように塵埃除去室４、所定圧力のエア
ーを噴射するエアー噴射手段５、塵埃除去室４内に舞い
上げられた塵埃を吸引するための吸引手段６が設けられ
ている。
【００１４】この塵埃除去室４には、搬入用扉７、搬出
用扉８、搬入物検出器９、外気吸入手段１０、吸引手段
６に通じる吸引ダクト１１が設けられている。この搬入
用扉７及び搬出用扉８はドア開閉用シリンダ１４，１
４’により開閉される。
用扉８、搬入物検出器９、外気吸入手段１０、吸引手段
６に通じる吸引ダクト１１が設けられている。この搬入
用扉７及び搬出用扉８はドア開閉用シリンダ１４，１
４’により開閉される。
【００１５】外気吸入手段１０は、塵埃除去室４の側方
に設置されている。この外気吸入手段１０は静電フィル
ター１２を備え、外気は図示を略す外気吸入口から外気
吸入用ファンにより塵埃除去室４に送り込まれ、その際
に静電フィルタ１２により塵埃が除去される。この外気
の導入により、塵埃除去室４は外気圧よりも若干高い圧
力、すなわち陽圧に保たれ、塵埃除去室４を気密構造と
しなくとも外部の塵埃が塵埃除去室４に侵入しない状態
に保つことができる。
に設置されている。この外気吸入手段１０は静電フィル
ター１２を備え、外気は図示を略す外気吸入口から外気
吸入用ファンにより塵埃除去室４に送り込まれ、その際
に静電フィルタ１２により塵埃が除去される。この外気
の導入により、塵埃除去室４は外気圧よりも若干高い圧
力、すなわち陽圧に保たれ、塵埃除去室４を気密構造と
しなくとも外部の塵埃が塵埃除去室４に侵入しない状態
に保つことができる。
【００１６】吸引ダクト１１は塵埃除去室４内の下方に
設けられている。この吸引ダクト１１は、下方に向かっ
て吸引口の開口面積が縮径されたラッパ形状とされて、
吸引手段６に連通されている。吸引手段６は吸引用モー
ター６Ａと吸引用静電フィルター６Ｂとを有する。吸引
ダクト１１の近傍には吸引時の空気の乱れを防ぐため、
整流板１３が設けられている。
設けられている。この吸引ダクト１１は、下方に向かっ
て吸引口の開口面積が縮径されたラッパ形状とされて、
吸引手段６に連通されている。吸引手段６は吸引用モー
ター６Ａと吸引用静電フィルター６Ｂとを有する。吸引
ダクト１１の近傍には吸引時の空気の乱れを防ぐため、
整流板１３が設けられている。
【００１７】外気吸入手段１０による空気の流入と吸引
手段６による空気の排出とにより、塵埃除去室４内には
一定の空気の流れが作られている。この空気の流れに空
中を漂う塵埃を乗せることにより塵埃の除去が行われ
る。ここでは、風速（流速）１．２ｍ／ｓ〜１．８ｍ／
ｓの空気の流れとしている。
手段６による空気の排出とにより、塵埃除去室４内には
一定の空気の流れが作られている。この空気の流れに空
中を漂う塵埃を乗せることにより塵埃の除去が行われ
る。ここでは、風速（流速）１．２ｍ／ｓ〜１．８ｍ／
ｓの空気の流れとしている。
【００１８】塵埃除去室４内には、搬入物の有無，搬入
位置の確認用の搬入物検出器９が設けられている。搬入
用扉７は、組立体２が正常に搬入されて所定位置に静止
されたことが搬入物検出器９により検出されると閉じら
れる。
位置の確認用の搬入物検出器９が設けられている。搬入
用扉７は、組立体２が正常に搬入されて所定位置に静止
されたことが搬入物検出器９により検出されると閉じら
れる。
【００１９】エアー噴射手段５は、塵埃除去室４の上方
に固定されている。このエアー噴射手段５には、エアー
ノズル１５がここでは４本を一組として６列設けられて
おり、このエアーノズル１５から陽圧よりも高い圧力の
エアーが組立体２に対して噴射される。エアー噴射手段
５には図示を略すイオナイザーが設けられており、噴射
されるエアーを＋，−にイオン化させることにより塵埃
を電気的に中和して、組立体２の表面、例えば、可動ミ
ラー２２の表面、レンズユニット２１の対物レンズの表
面に付着した塵埃の付着力を弱めている。ここでは、イ
オン化された陽圧よりも高い圧力のエアーがエアーノズ
ル１５から組立体２に対して最大２４ｍ／ｓの流速で噴
射される。この噴射は間欠的であり、噴射休止時には外
気吸入手段１０と協力して塵埃除去装置４内を陽圧を維
持するために、流速２ｍ／ｓ程度のエアーがエアーノズ
ル１５から送り出される。
に固定されている。このエアー噴射手段５には、エアー
ノズル１５がここでは４本を一組として６列設けられて
おり、このエアーノズル１５から陽圧よりも高い圧力の
エアーが組立体２に対して噴射される。エアー噴射手段
５には図示を略すイオナイザーが設けられており、噴射
されるエアーを＋，−にイオン化させることにより塵埃
を電気的に中和して、組立体２の表面、例えば、可動ミ
ラー２２の表面、レンズユニット２１の対物レンズの表
面に付着した塵埃の付着力を弱めている。ここでは、イ
オン化された陽圧よりも高い圧力のエアーがエアーノズ
ル１５から組立体２に対して最大２４ｍ／ｓの流速で噴
射される。この噴射は間欠的であり、噴射休止時には外
気吸入手段１０と協力して塵埃除去装置４内を陽圧を維
持するために、流速２ｍ／ｓ程度のエアーがエアーノズ
ル１５から送り出される。
【００２０】陽圧よりも高い圧力のエアーが組立体２に
噴射されると、このエアーにより組立体２の表面に付着
した塵埃が空中に舞い上げられる。このエアーはイオン
化されているため、組立体２の表面に付着している塵埃
は電気的に中性となり、組立体２の表面から離れ易くな
る。このエアー噴射により空中に舞い上げられた粒径が
２０μｍ以上の比較的大きな塵埃は、エアー噴射による
空気の渦の発生の際でも吸引手段６による空気の流れに
乗って沈降しやすく、塵埃除去室４の下部に設けられた
吸引ダクト１１を通って吸引手段６により除去される。
粒径が２０μｍ未満の塵埃は噴射によって生じる空気の
渦に乗って浮遊してなかなか降下しないものが多いが、
エアー噴射手段５によるエアー噴射を休止して空気の渦
が消滅すると、外気吸入手段１０と吸引手段６とにより
生じる一定の空気の流れに乗って吸引ダクト１１を通
り、吸引手段６によって回収される。続いて、次回のエ
アー噴射を行なう。
噴射されると、このエアーにより組立体２の表面に付着
した塵埃が空中に舞い上げられる。このエアーはイオン
化されているため、組立体２の表面に付着している塵埃
は電気的に中性となり、組立体２の表面から離れ易くな
る。このエアー噴射により空中に舞い上げられた粒径が
２０μｍ以上の比較的大きな塵埃は、エアー噴射による
空気の渦の発生の際でも吸引手段６による空気の流れに
乗って沈降しやすく、塵埃除去室４の下部に設けられた
吸引ダクト１１を通って吸引手段６により除去される。
粒径が２０μｍ未満の塵埃は噴射によって生じる空気の
渦に乗って浮遊してなかなか降下しないものが多いが、
エアー噴射手段５によるエアー噴射を休止して空気の渦
が消滅すると、外気吸入手段１０と吸引手段６とにより
生じる一定の空気の流れに乗って吸引ダクト１１を通
り、吸引手段６によって回収される。続いて、次回のエ
アー噴射を行なう。
【００２１】吸引ダクト１１を通って吸引された塵埃を
含んだエアーは、吸引用静電フィルター６Ｂにより塵埃
を除去されて清浄なエアーとして外部に排出される。
含んだエアーは、吸引用静電フィルター６Ｂにより塵埃
を除去されて清浄なエアーとして外部に排出される。
【００２２】塵埃除去作業が終了すると排出用扉８が開
けられ、組立体２は次の製造組立工程に運ばれる。
けられ、組立体２は次の製造組立工程に運ばれる。
【００２３】図４はエアー噴射手段５によるエアー間欠
噴射（図４（ａ））に対する塵埃除去室４内の圧力変化
（図４（ｂ））及び浮遊する塵埃量の変化（図４
（ｃ））を経時的に例示したものである。ここでは、吸
引手段６は図４（ｄ）に示すように連続して吸引を行っ
ている。陽圧よりも高い圧力のエアー噴射が図４（ａ）
に示すように間欠的に行われると、図４（ｂ）に示すよ
うに、この噴射により塵埃除去室４内の圧力が５気圧か
ら２気圧の間で変化を繰り返し、エアー噴射初期から少
し遅れて塵埃除去４室の圧力が高まり、エアー噴射を休
止すると急速に圧力が弱まる。また、所定圧力のエアー
が組立体２に噴射されると、組立体２に付着していた塵
埃が空中に舞い上げられる。図４（ｃ）は一回目の所定
圧力のエアー噴射によりに空中に舞い上げられて浮遊す
る塵埃数を１００％として、陽圧より高い圧力のエアー
間欠噴射の繰り返しにより変化する浮遊塵埃量を示した
ものである。この図４（ｃ）において、実線は粒径が２
０μｍ未満（例えば、１０μｍ）の塵埃の比率を示し、
破線は粒径が２０μｍ以上の塵埃の比率を示している。
噴射（図４（ａ））に対する塵埃除去室４内の圧力変化
（図４（ｂ））及び浮遊する塵埃量の変化（図４
（ｃ））を経時的に例示したものである。ここでは、吸
引手段６は図４（ｄ）に示すように連続して吸引を行っ
ている。陽圧よりも高い圧力のエアー噴射が図４（ａ）
に示すように間欠的に行われると、図４（ｂ）に示すよ
うに、この噴射により塵埃除去室４内の圧力が５気圧か
ら２気圧の間で変化を繰り返し、エアー噴射初期から少
し遅れて塵埃除去４室の圧力が高まり、エアー噴射を休
止すると急速に圧力が弱まる。また、所定圧力のエアー
が組立体２に噴射されると、組立体２に付着していた塵
埃が空中に舞い上げられる。図４（ｃ）は一回目の所定
圧力のエアー噴射によりに空中に舞い上げられて浮遊す
る塵埃数を１００％として、陽圧より高い圧力のエアー
間欠噴射の繰り返しにより変化する浮遊塵埃量を示した
ものである。この図４（ｃ）において、実線は粒径が２
０μｍ未満（例えば、１０μｍ）の塵埃の比率を示し、
破線は粒径が２０μｍ以上の塵埃の比率を示している。
【００２４】図４（ｃ）に示すように、陽圧より高い圧
力のエアーが組立体２の表面に噴射されると、組立体２
の表面に付着している塵埃が空中に舞い上げられるた
め、塵埃浮遊率は少し上昇し、その後、エアー噴射を休
止すると、吸引手段６による塵埃の吸引により塵埃浮遊
率が減少に転ずる。エアー噴射直後は噴射による空気の
渦が発生するため、塵埃浮遊率が減少に転じるまでにし
ばらく時間がかかる。次回のエアー噴射時には組立体２
の表面に沈降した塵埃が再び空中に舞い上げられるた
め、塵埃浮遊率が上昇するが、１回目の噴射の際に吸引
手段６によりかなりの塵埃が吸引されているため、前回
の噴射による塵埃数の増加に比べるとその増加率は少な
くなる。このように、陽圧より高い圧力のエアー間欠噴
射を繰り返すことにより塵埃浮遊率の値が徐々に減少
し、組立体２の表面に付着した塵埃が除去される。
力のエアーが組立体２の表面に噴射されると、組立体２
の表面に付着している塵埃が空中に舞い上げられるた
め、塵埃浮遊率は少し上昇し、その後、エアー噴射を休
止すると、吸引手段６による塵埃の吸引により塵埃浮遊
率が減少に転ずる。エアー噴射直後は噴射による空気の
渦が発生するため、塵埃浮遊率が減少に転じるまでにし
ばらく時間がかかる。次回のエアー噴射時には組立体２
の表面に沈降した塵埃が再び空中に舞い上げられるた
め、塵埃浮遊率が上昇するが、１回目の噴射の際に吸引
手段６によりかなりの塵埃が吸引されているため、前回
の噴射による塵埃数の増加に比べるとその増加率は少な
くなる。このように、陽圧より高い圧力のエアー間欠噴
射を繰り返すことにより塵埃浮遊率の値が徐々に減少
し、組立体２の表面に付着した塵埃が除去される。
【００２５】粒径が２０μｍ以上の塵埃は粒径が２０μ
ｍ未満の塵埃に比べて少ない繰り返し回数のエアー間欠
噴射により塵埃浮遊率が減少する。粒径の大きな塵埃
は、粒径の小さな塵埃に比べて沈降し易く、吸引手段６
による空気の流れに乗りやすいため、吸引効率が高くな
るからである。
ｍ未満の塵埃に比べて少ない繰り返し回数のエアー間欠
噴射により塵埃浮遊率が減少する。粒径の大きな塵埃
は、粒径の小さな塵埃に比べて沈降し易く、吸引手段６
による空気の流れに乗りやすいため、吸引効率が高くな
るからである。
【００２６】この図４から明らかなように、陽圧より高
い圧力のエアー噴射を間欠的に行うことにより、連続的
にエアーを噴射する従来の方法では除去が困難であった
粒径２０μｍ未満の塵埃を効率よく取り除くことができ
る。
い圧力のエアー噴射を間欠的に行うことにより、連続的
にエアーを噴射する従来の方法では除去が困難であった
粒径２０μｍ未満の塵埃を効率よく取り除くことができ
る。
【００２７】以上、この発明の実施形態では、エアー噴
射中及び休止中にかかわらず塵埃除去室４内のエアーを
吸引手段６により連続的に吸引する構成としたが、エア
ー噴射の休止中にのみ吸引手段６による塵埃除去室４内
のエアーを吸引するようにしてもよい。
射中及び休止中にかかわらず塵埃除去室４内のエアーを
吸引手段６により連続的に吸引する構成としたが、エア
ー噴射の休止中にのみ吸引手段６による塵埃除去室４内
のエアーを吸引するようにしてもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明に係る塵埃除去装置は、以上説明
したように、エアー噴射手段によりエアーを組立体に間
欠的に噴射させることにしたので、組立体から空中に舞
い上げられた塵埃を、効率よく吸引手段による空気の流
れに乗せることができることになり、この間欠的エアー
噴射を繰り返すことにより、従来の連続的エアー噴射で
は除去が困難であった粒径２０μｍ未満の塵埃の除去が
容易になるという効果を奏する。
したように、エアー噴射手段によりエアーを組立体に間
欠的に噴射させることにしたので、組立体から空中に舞
い上げられた塵埃を、効率よく吸引手段による空気の流
れに乗せることができることになり、この間欠的エアー
噴射を繰り返すことにより、従来の連続的エアー噴射で
は除去が困難であった粒径２０μｍ未満の塵埃の除去が
容易になるという効果を奏する。
【図１】本発明に係る塵埃除去装置の平面図である。
【図２】本発明に係る塵埃除去装置の側面図である。
【図３】組立体の一例を示す図であって、組立工程にお
ける読み取り部の概略斜視図である。
ける読み取り部の概略斜視図である。
【図４】所定圧力のエアーの間欠噴射に対する塵埃除去
室内圧力及び塵埃除去室内塵埃浮遊率の関係を示す図で
ある。
室内圧力及び塵埃除去室内塵埃浮遊率の関係を示す図で
ある。
１…塵埃除去装置本体
２…組立体
４…塵埃除去室
５…エアー噴射手段
６…吸引手段
１０…外気吸入手段
Claims (6)
- 【請求項１】組立体に付着した塵埃を吹き飛ばすために
前記組立体に対してエアーノズルから所定圧力のエアー
を間欠的に噴射するエアー噴射手段と、エアー噴射によ
り前記組立体から空中に舞い上げられた塵埃を吸引する
吸引手段とを備え、前記エアー噴射手段は、エアー噴射
によって生じた空気の渦が消滅し、該渦に乗って浮遊し
ていた粒径の小さな塵埃が降下し、前記吸引手段が該塵
埃を吸引することが可能となるだけの間隔をおいて、間
欠的にエアー噴射を行うことを特徴とする塵埃除去装
置。 - 【請求項２】前記吸引手段は、前記エアー噴射の休止時
に浮遊する塵埃を吸引するために、前記組立体の下方に
前記吸引手段の吸引口が設けられていることを特徴とす
る請求項１に記載の塵埃除去装置。 - 【請求項３】前記組立体に付着した塵埃を除去するため
に周囲に対して前記組立体を隔絶する塵埃除去室と、前
記組立体を前記塵埃除去室に搬入するときに開閉される
搬入用扉と、前記組立体を前記塵埃除去室から搬出する
ときに開閉される搬出用扉と、前記組立体を前記塵埃除
去室に搬入・搬出するための搬入・搬出手段とを備えて
いる請求項１又は請求項２に記載の塵埃除去装置。 - 【請求項４】浄化された外部空気を導入して前記塵埃除
去室を陽圧に維持する外気吸入手段を有することを特徴
とする請求項３に記載の塵埃除去装置。 - 【請求項５】前記エアー噴射手段は、イオン化されたエ
アーを前記組立体に噴射することにより前記組立体に付
着した塵埃を電気的に中和させ、前記組立体に付着した
塵埃の付着力を弱めることを特徴とする請求項１又は請
求項２に記載の塵埃除去装置。 - 【請求項６】前記吸引手段は前記エアー噴射の休止時に
のみ前記塵埃を吸引することを特徴とする請求項１又は
請求項２に記載の塵埃除去装置。
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