JP2002301438A - 基板の搬送方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テーブル面からの基板の引き離しが簡単
に行え、基板の次工程への搬送作業が該基板にダメージ
を与えることなく、非常にスムーズに短時間に行うこと
ができる基板の搬送方法を提供する。 【解決手段】 テーブル１１の上面に空気の吸排孔１６
と水の吐出孔１７を多数穿設し、テーブル１１の上面で
定位置に載置した基板Ａを空気の吸排孔１６で吸着固定
してカレットの除去作業が終了した後、吸引を停止して
基板Ａの吸着状態を解除し、次に、空気の吸排孔１６か
ら空気の噴射によりテーブル１１と基板Ａの密着状態を
解除し、上記の噴射停止後に水の吐出孔１７から水を吐
出させてテーブル１１と基板Ａの間に基板Ａを浮遊させ
る水の膜を形成し、この水の膜を潤滑剤としてテーブル
１１上から基板Ａを押して次工程へ搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板の搬送方法
と装置、例えば、液晶ガラス基板の切断工程時に発生し
たカレットを除去する作業に採用して有効な搬送方法と
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶パネルの製造は、二枚のガ
ラス板を貼合わせてその間に液晶を封入し、この貼合わ
せ液晶ガラス基板を所定の大きさに切断した後、表面に
偏光板を貼合わせることにより行われる。

【０００３】上記液晶パネルの製造において、貼合わせ
た液晶ガラス基板を所定の大きさに切断する工程時に、
切断によって発生したカレットが液晶ガラス基板の表面
に付着する状態が発生し、このままでは偏光板の貼合わ
せが行えないため、カレットの除去工程が必要になる。

【０００４】上記カレットとは、ガラスを切断した時に
発生するガラスの粉、小さなかけらであり、これが液晶
ガラスの表面にこびり付くように付着して、手でこすっ
た程度では取れない状態になり、このため、機械的にカ
レットを除去するカレット除去装置が必要になる。

【０００５】従来のカレット除去装置としては、例え
ば、特許第３１４８８０２号が知られており、この除去
装置は、図４に示すように、上面に空気給排源と接続さ
れた多数の空気給排孔が設けられ、定位置に載置した液
晶ガラス基板（以下単に基板という）Ａを真空吸着する
テーブル１の上部に、モータ２の駆動で自転と公転をす
る刃物３を上下動（ｚ−ｚ）及び平面的な移動（ｘ−
ｘ）（ｙ−ｙ）が可能となるよう配置した構造になって
おり、カレットの除去効率を上げるため、上記刃物２の
近接位置に刃物２によるカレットの削り取り位置に上か
ら水を供給する水噴射ノズル４を配置することも行われ
ている。

【０００６】上記カレット除去装置は、テーブル１上の
定位置に基板Ａを真空吸着した状態で、水噴射ノズル４
で上から水をかけながら回転する刃物３でカレットを除
去している。そしてカレットの除去作業が終了すると次
工程への基板Ａの搬送を行う。この搬送方法は、テー
ブル１上での基板Ａの吸着停止、空気給排孔からの空
気噴射による基板のテーブル１面からの密着状態の解除
（真空破壊）、リフターピンの上昇による基板の押上
でテーブル面からの離脱、吸着パッドで基板を吸着保
持して次工程となる洗浄工程又は偏光板貼付け工程へと
搬送することによって行われている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来のカレット除去装置は、基板Ａを真空吸着した状態で
刃物３でのカレットの除去時に水を使用するため、この
水がテーブル１上と基板Ａの重なり面間に浸入し、真空
吸着力を高めることになり、このため、鏡面加工された
ステンレス鋼等の材料からなるテーブル１の上面に対し
て、基板Ａは水と真空吸着による表面密着力が相当強く
なり、上記したような基板Ａの搬送方法では、カレット
の除去終了後、該テーブル面から基板を引き離すことは
非常に困難を極め、時間を費やす作業となっている。

【０００８】また、空気噴射とリフターピンの併用で基
板Ａをテーブル１面から引き離すようにしているため、
基板Ａにおける上記リフターピンに当接する部分に歪み
が生じ、かつ、基板Ａ全体にもストレスが掛かり、その
結果、基板Ａ自体にダメージや破損を引き起こす原因と
なっている。

【０００９】さらに、基板Ａをテーブル１面から引き離
す方法として、空気噴射によるものが、特開２００１−
７１８７によって提案されているが、先にも述べたよう
に、カレットの除去時に水を使用している場合、テーブ
ル１上に対して基板Ａは水と真空吸着による表面密着力
が相当強くなっているので、空気噴射による押し上げ力
だけでは基板Ａをテーブル１面から引き離すことはでき
ない。

【００１０】そこで、この発明の課題は、テーブル面か
らの基板の引き離しが簡単に行え、基板の次工程への搬
送作業が該基板にダメージを与えることなく、非常にス
ムーズに短時間に行うことができる基板の搬送方法と装
置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
するため、この発明の方法は、テーブルの上面に空気の
吸排孔と水の吐出孔を多数穿設し、テーブルの上面に載
置した基板を空気の吸排孔で吸着固定して所定の加工工
程が終了した後、吸引を停止して基板の吸着状態を解除
し、次に、空気の吸排孔から空気の噴射によりテーブル
と基板の密着状態を解除し、空気の噴射停止後に水の吐
出孔から水を吐出させてテーブルと基板の間に基板を浮
遊させる水の膜を形成し、この水の膜を潤滑剤としてテ
ーブル上から基板を次工程へ搬送する構成を採用したも
のである。

【００１２】同じくこの発明の装置は、テーブルの上面
に空気の吸排孔と水の吐出孔を多数穿設し、上記空気の
吸排孔に空気の吸引源と空気の供給源を切り換え可能に
接続するための空気吸排管を接続し、上記水の吐出孔に
水の供給源と接続するための水供給管を接続し、テーブ
ルの上面に対して空気の吸引と空気の噴射及び水の吐出
を順番に行うことができるようにした構成を採用したも
のである。

【００１３】上記空気の吸排孔と水の吐出孔は共に直径
１ｍｍ程度であり、この空気の吸排孔と水の吐出孔は、
それぞれテーブルの幅方向には複数個が一例に並び、か
つ、テーブルの長さ方向には吸排孔列と水の吐出孔列が
一定の間隔で交互に配列され、吸排孔列はテーブルに設
けた空気吸排路で連通し、全吸排孔列の空気吸排路と接
続した空気吸排管は、開閉弁を介して集合させた状態
で、空気の吸引源と空気の供給源にそれぞれ切り換え弁
を介して接続され、両切り換え弁の操作によってテーブ
ルの上面に空気の吸引と噴射の何れかを作用させること
ができるようになっている。

【００１４】また、水の吐出孔列はテーブルに設けた吐
出路で連通し、全吐出孔列の吐出路と接続した水供給管
は開閉弁を介して集合させた状態で、水の供給源と接続
され、開閉弁の操作でテーブルの上面に水を噴射するこ
とができるようになっている。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
示例と共に説明する。

【００１６】図３（Ａ）と（Ｂ）は、カレット除去装置
におけるテーブル部分の配置構造を示し、基板Ａよりも
平面的に大きいテーブル１１の基板Ａの入り側の位置に
搬入ローラコンベア１２と、同基板Ａの出側の位置に搬
出ローラコンベア１３が配置され、搬入ローラコンベア
１２で基板Ａをテーブル１１上に供給し、テーブル１１
上から送り出された基板Ａを搬出ローラコンベア１３で
受け取り、これを次工程となる洗浄工程又は偏光板貼付
け工程へと搬送するようになっている。

【００１７】なお、図示省略したが、上記テーブル１１
の上部には、図４で示したような刃物機構と水噴射ノズ
ルが配置され、テーブル１１上の基板Ａに対するカレッ
トの除去が行えるようになっている。

【００１８】また、上記テーブル１１は上面が開放した
集水槽１４内に収め、カレットの削り取り時に噴射され
た水をこの集水槽１４内に集めて処理できるようにする
と共に、テーブル１１と搬出ローラコンベア１３の間に
は、基板Ａの下面に付着した水を除去するための水切り
用ブラシローラ１５が回転可能に配置してある。

【００１９】図１及び図２（Ａ）乃至（Ｃ）は、上記テ
ーブル１１の具体的な構造を示し、該テーブル１１の上
面は鏡面加工されたステンレス鋼等の材料からなり、こ
の上面には、空気の吸排孔１６と水の吐出孔１７が多数
穿設されている。

【００２０】上記空気の吸排孔１６と水の吐出孔１７は
共に直径１ｍｍ程度であり、図１のように、空気の吸排
孔１６と水の吐出孔１７は、それぞれテーブル１１の幅
方向には複数個が一列に並び、かつ、テーブル１１の長
さ方向には吸排孔１６の列と水の吐出孔１７の列が一定
の間隔で交互に配列されている。

【００２１】上記吸排孔１６の列はテーブル１１に設け
た空気吸排路１８で互いに連通し、テーブル１１の外部
において、全吸排孔１６の列の空気吸排路１８と接続し
た空気吸排管１９は、全吸排孔１６の列ごとに設けた開
閉弁２０を介して集合させた状態で、空気の吸引源２１
と空気の供給源２２にそれぞれ切り換え弁２３、２４を
介して接続されている。

【００２２】従って、開閉弁２０を開いた状態で、両切
り換え弁２３、２４の開閉を操作することによって、全
吸排孔１６でテーブル１１の上面に空気の吸引と噴射の
何れかを作用させることができるようになっている。

【００２３】また、水の吐出孔１７の列はテーブル１１
に設けた吐出路２５で連通し、全吐出孔１７の列の吐出
路２５と接続した水供給管２６は全吐出孔１７の列ごと
に設けた開閉弁２７を介して集合させた状態で水の供給
源２８と接続され、開閉弁２７の開閉操作により吐出孔
１７で、テーブル１１の上面に対する水の吐出と停止が
できるようになっている。

【００２４】なお、テーブル１１の上面に設ける空気の
吸排孔１６と水の吐出孔１７の数と配列は、図示の例に
限定されるものではなく、基板Ａの条件等に合わせて任
意に選択すればよい。

【００２５】次に、上記カレット除去装置における基板
の搬送方法を説明する。

【００２６】テーブル１１の上面に搬入ローラコンベア
１２で供給された基板Ａを位置決めした図１の状態で、
空気の吸引源２１の切り換え弁２３と全開閉弁２０を開
き、各空気の吸排孔１６に作用する吸引力でテーブル１
１上に基板Ａを吸着固定し、刃物機構と水噴射ノズルを
用いてカレットの除去作業を行う。

【００２７】カレットの除去が終了すると、先ず、空気
の吸引源２１を停止させて切り換え弁２３を閉じ、テー
ブル１１上面の吸引を停止して基板Ａの吸着状態を解除
する。

【００２８】次に、空気の供給源２２を作動させてその
切り換え弁２４を開き、各空気の吸排孔１６から空気を
噴射させることにより、真空を破壊して基板Ａとテーブ
ル１１間の密着状態を解除する。

【００２９】続いて、空気の供給源２２を停止させてそ
の切り換え弁２４と開閉弁２０を閉じ、各空気の吸排孔
１６からの空気の噴射を停止させる。

【００３０】この後、水の供給源２８を作動させると共
に開閉弁２７を開き、水の吐出孔１７からテーブル１１
の上面に水を吐出させる。なお、水の吐出条件は、水圧
約０．１〜０．２Ｍｐａ…１〜２Ｋｇ／ｃｍ^２である。

【００３１】テーブル１１の上面に上記のような条件で
水を吐出すると、テーブル１１の上面と基板Ａの下面の
間に水の膜が形成され、図２（Ａ）の状態から図２
（Ｂ）のように、基板Ａはテーブル１１の上面から約
０．５〜１ｍｍ程度浮上して浮遊状態になり、水の膜が
潤滑剤の役目をすることになる。

【００３２】このように、テーブル１１の上面に水の膜
で浮遊した基板Ａは、テーブル１１上から搬出ローラコ
ンベア１３に向けて、適宜の押し出し手段を用いて押し
出し、搬出ローラコンベア１３で次工程となる洗浄工程
又は偏光板貼付け工程へと搬送し、基板Ａの取り出し後
に水の供給源２８を停止させて開閉弁２７を閉じるよう
にする。

【００３３】上記のように、テーブル１１上に密着状態
となる基板Ａの押し上げに、圧力水を用いることによ
り、空気圧による押し上げに比べて大きな押し上げ力を
得ることができ、基板Ａをテーブル１１上に真空吸着し
た状態で刃物でのカレットの除去時に水を使用した場合
において、テーブル１１上に基板Ａが水と真空吸着によ
って表面密着力が相当強くなっていても、簡単に基板Ａ
を押し上げることができる。

【００３４】また、テーブル１１上から基板Ａを取り出
すとき、基板Ａは水の膜で浮遊状態となり、この水の膜
が潤滑剤の役目をすることにより、基板Ａを水平方向に
押すだけの操作でテーブル１１上から簡単に取り出すこ
とができ、ちなみに、基板Ａの次工程への搬送作業を従
来の約１／２程度に短縮することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、この発明によると、テー
ブル上に密着状態にある基板を、このテーブル面から吐
出する水の作用によって、テーブルと基板との間に水の
膜を形成し、該基板をテーブル面上から浮上させるよう
にしたので、上記水の膜が潤滑剤の役目をすることによ
って、基板のテーブル面上から次工程への搬送作業が該
基板にダメージを与えることなく非常にスムーズに、か
つ、短時間で行うことができる。

【００３６】また、圧力水を用いて基板をテーブル上に
押し上げるようにしたので、空気圧による押し上げに比
べて大きな押し上げ力を得ることができ、テーブル上に
対する基板の表面密着力が強い場合でも簡単に基板を押
し上げることができ、しかも、基板をリフターピンで持
ち上げたり、吸着パッドで吸着保持する必要もないの
で、該基板に歪みによるストレスやダメージを与えるこ
ともない。

【００３７】そして、リフターピンや吸着パッドも必要
ないので、装置の簡素化とコストダウンが図れることに
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る基板の搬送装置を示す平面図

【図２】（Ａ）は図１の矢印ａ−ａに沿う縦断側面図、
（Ｂ）は同じく圧力水で基板をテーブル上に押し上げた
状態の縦断側面図、（Ｃ）は図１の矢印ｃ−ｃに沿う縦
断正面図

【図３】（Ａ）はこの発明に係る基板の搬送装置の全体
を示す平面図、（Ｂ）は同縦断正面図

【図４】カレット除去装置の要部機構を示す斜視図

【符号の説明】

１１ テーブル １２ 搬入ローラコンベア １３ 搬出ローラコンベア １４ 集水槽 １５ 水切り用ブラシローラ １６ 空気の吸排孔 １７ 水の吐出孔 １８ 空気吸排路 １９ 空気吸排管 ２０ 開閉弁 ２１ 空気の吸引源 ２２ 空気の供給源 ２３ 切り換え弁 ２４ 切り換え弁 ２５ 吐出路 ２６ 水供給管 ２７ 開閉弁 ２８ 水の供給源 Ａ 基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AB13 AB47 BA03 BB72 3B201 AA02 AB13 AB47 BA03 BB21 BB72 BB90 BB92 CC14 3C016 CE05 DA02 3C033 BB03 CC00 CC07 LL08 5F031 CA05 FA02 FA07 GA62 PA23

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テーブルの上面に空気の吸排孔と水の吐
   出孔を多数穿設し、テーブルの上面に載置した基板を空
   気の吸排孔で吸着固定して所定の加工工程が終了した
   後、吸引を停止して基板の吸着状態を解除し、次に、空
   気の吸排孔から空気の噴射によりテーブルと基板の密着
   状態を解除し、空気の噴射停止後に水の吐出孔から水を
   吐出させてテーブルと基板の間に基板を浮遊させる水の
   膜を形成し、この水の膜を潤滑剤としてテーブル上から
   基板を次工程へ搬送する基板の搬送方法。
2. 【請求項２】 テーブルの上面に空気の吸排孔と水の吐
   出孔を多数穿設し、上記空気の吸排孔に空気の吸引源と
   空気の供給源を切り換え可能に接続するための空気吸排
   管を接続し、上記水の吐出孔に水の供給源と接続するた
   めの水供給管を接続し、テーブルの上面に対して空気の
   吸引と空気の噴射及び水の吐出を順番に行うことができ
   るようにした基板の搬送装置。