JP2010245336A - 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各第1方向転換用ローラケース内に第1方向転換用ローラ63が第2搬送方向D2に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第2方向転換用ローラケース内に第2方向転換用ローラ75が第1搬送方向D1に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第1方向転換用ローラ63及び各第2方向転換用ローラ75の高さ位置が基準の浮上高さ位置よりも低くなっていること。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態の変形例について図7及び図8を参照して説明する。なお、図面中、「FF」は、前方向を、「FR」は、後方向を、「L」は、左方向を、「R」は、右方向をそれぞれ指してある。
D2 第2搬送方向
LP 基準の浮上高さ位置
SP 浮上ユニットの高さ位置
W 基板
1 浮上搬送システム
3 第1浮上搬送装置
5 第2浮上搬送装置
7 搬送方向転換装置
9 第1搬送装置本体
15 浮上ユニット
15n ノズル
17 第1搬送用ローラユニット
19 第1搬送用ローラケース
23 第1搬送用ローラ
25 第1搬送用回転モータ
29 第2搬送装置本体
35 浮上ユニット
35n ノズル
37 第2搬送用ローラユニット
39 第2搬送用ローラケース
43 第2搬送用ローラ
45 第2搬送用回転モータ
49 方向転換装置本体
55 浮上ユニット
55n ノズル
57 第1方向転換用ローラユニット
59 第1方向転換用ローラケース
59h 第1方向転換用吸引穴
61 第1方向転換用吸引ファン
63 第1方向転換用ローラ
65 第1方向転換用回転モータ
69 第2方向転換用ローラユニット
71 第2方向転換用ローラケース
71h 第2方向転換用吸引穴
73 第2方向転換用吸引ファン
75 第2方向転換用ローラ
77 第2方向転換用回転モータ
Claims (4)
- 基板を第1搬送方向へ浮上搬送する第1浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第1搬送方向に対して直交する第2搬送方向へ浮上搬送する第2浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第1搬送方向から前記第2搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、
方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記方向転換装置本体に前記第1搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第1方向転換用ローラケース、及び前記第1方向転換用ローラケース内に前記第2搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第1方向転換用ローラを備え、前記第1方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第1浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第1方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第1方向転換用ローラユニットにおける前記第1方向転換用ローラを回転させる第1方向転換用回転アクチュエータと、
前記方向転換装置本体に前記第2搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第2方向転換用ローラケース、及び前記第2方向転換用ローラケース内に前記第1搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第2方向転換用ローラを備え、前記第2方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第2浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第2方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第2方向転換用ローラユニットにおける前記第2方向転換用ローラを回転させる第2方向転換用回転アクチュエータと、を具備したことを特徴とする搬送方向転換装置。 - 各第1方向転換用ローラユニットは、前記第1方向転換用ローラケースに形成された第1方向転換用吸引穴から前記第1方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第1方向転換用吸引ファンを備え、前記第1方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第1方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第1方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になってあって、
各第2方向転換用ローラユニットは、前記第2方向転換用ローラケースに形成された第2方向転換用吸引穴から前記第2方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第2方向転換用吸引ファンを備え、前記第2方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第2方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第2方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする請求項1に記載の搬送方向転換装置。 - 各第1方向転換用ローラユニットは、前記第1方向転換用ローラケースに形成された第1方向転換用吸引穴から前記第1方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第1方向転換用吸引ファン、及び前記第1方向転換用ローラケースの前記第1方向転換用吸引穴を開閉する第1方向転換用シャッタを備え、前記第1方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第1方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になってあって、
各第2方向転換用ローラユニットは、前記第2方向転換用ローラケースに形成された第2方向転換用吸引穴から前記第2方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第2方向転換用吸引ファン、及び前記第2方向転換用ローラケースの前記第2方向転換用吸引穴を開閉する第2方向転換用シャッタを備え、前記第2方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第2方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする請求項1に記載の搬送方向転換装置。 - 基板を第1搬送方向へ浮上搬送して、前記第1搬送方向に対して直交する第2搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送システムにおいて、
基板を前記第1搬送方向へ浮上搬送する第1浮上搬送装置と、
前記第1浮上搬送装置の近傍に配設され、基板を前記第2搬送方向へ浮上搬送する第2浮上搬送装置と、
前記第1浮上搬送装置と前記第2浮上搬送装置との中継領域に配設され、請求項1から請求項3のいずれかの請求項に記載の搬送方向転換装置と、を具備したことを特徴とする浮上搬送システム。
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