TWI448861B - Shorten the handling time of handling time - Google Patents

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TWI448861B
TWI448861B TW101106497A TW101106497A TWI448861B TW I448861 B TWI448861 B TW I448861B TW 101106497 A TW101106497 A TW 101106497A TW 101106497 A TW101106497 A TW 101106497A TW I448861 B TWI448861 B TW I448861B
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    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Description

縮短搬運時間的派工方法
本發明係提供一種派工方法，特別是在半導體晶圓廠生產線中，可有效縮短搬運時間的派工方法
隨著科技的進步與產業競爭力結合，半導體已經成為全球所最關注的產業，而我國IC產值佔全球比重近1/4，從2004年到2010年都有持續成長現象。從過去的8吋晶圓時代轉變成12吋晶圓為主流的時代，雖然12吋晶圓平均生產成本低於8吋晶圓，但12吋晶圓的體積與重量對人類是造成一種負擔，再加上晶圓廠製程步驟相當複雜，數百個加工步驟，又有複迴流(Re-entrant)之特性，以及市場競爭激烈，產品組合多樣化，不同產品之間也存在優先權的問題，因此過於頻繁的搬運活動，除可能造成人類身體的危害之外，亦可能增加時間成本，此時自動化物料搬運系統(Automated material handling system,AMHS)即是可很好的解決方案。
在半導體晶圓廠有幾種不同的自動化物料搬運系統，包含磁性導引無人搬運車(Automated Guided Vehicle,AGV)、有軌無人搬運車(Rail-guided Vehicles,RGV)、空中式無人搬運車(Overhead Shuttle,OHS)、懸吊式自動搬運車(Overhead Hoist Transfer,OHT)..等。
在晶圓廠中，懸吊式自動搬運車(OHT)是一個可以被允諾去實現自動化傳送物料的工具，且懸吊式自動搬運車係為目前晶圓廠中進行自動化傳送物料的主流，然而，懸吊式自動搬運車很容易在往返及傳送時造成車輛阻塞，進而影響到晶圓廠整體績效。
此外，由於半導體廠產品為少量多樣化，採用功能式佈置，功能式佈置是依照製程類別來區分，整個搬運體系係包含複數製程站，及每一製程站皆設有製程內傳輸迴路(intra-bay)與製程間傳輸迴路(inter-bay)。製程間傳輸迴路是指製程之間的傳送，製程內傳輸迴路是指製程內部的傳送。製程間傳輸迴路係連接所有的製程內傳輸迴路。製程間傳輸迴路以及製程內傳輸迴路皆包含有懸吊式自動搬運車數台用於將晶舟搬運到目的地。
由於懸吊式自動搬運車很容易在往返及傳送時在製程內傳輸迴路或者製程間傳輸迴路上造成車輛阻塞，因此每個製程站的產出量不同，而產出量少的站別即為瓶頸站。
再者，晶圓廠需要有極短的達交時間與不斷增加新產品，來滿足顧客需求，此時小批量試產(Pilot production)更為頻繁，多樣化的產品種類導致製程變更與機台微調的頻率增加，舉凡如製程變更、機台微調、製程實驗、監控、新產品試產等事件的產生都可能將晶舟劃分為不同的處理程度，例如緊急處理晶舟(Hot Lot)或者一般處理晶舟(Normal Lot)等。然而，懸吊式自動搬運車很容易在往返及傳送時在製程內傳輸迴路或者製程間傳輸迴路上造成車輛阻塞而造成緊急處理晶舟或者一般處理晶舟在各製程間執行及運送時間的延遲，而影響晶圓廠整體績效。
為解決上述問題，本發明係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，利用簡單多屬性評估法(The Simple Multi-attribute Rating Technique,SMART)和萬用啟發式演算法(Metaheuristic)，以解決搬運車在往返及傳送晶舟時在製程內傳輸迴路或者製程間傳輸迴路上造成車輛阻塞的問題，並解決瓶頸站的問題以及當晶舟面臨不同處理狀態(緊急處理hot lot、一般處理normal lot)時的優先權問題，以提高晶圓廠整體製程處理的效能與生產力。
因此，本發明之主要目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有提高晶圓廠針對高單價產品之生產速度。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有提升試產測試效率之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有增進晶圓廠收益之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有無須更改現有設備配置之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有不增加生產成本之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有對原有產出影響最小化之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有依據生產需求動態調整之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有依據各製程權重分配搬運車之功效。
本發明之再一目的係在提供一種縮短搬運時間的派工方法，具有根據晶舟處理狀態決定是否優先讓與生產及運輸之功效。
為達到上述目的，本發明所使用的主要技術手段是採用以下技術方案來實現的。本發明為一種縮短搬運時間的派工方法，其包含：複數製程站作為執行特定製程於至少一批晶舟之至少一晶圓；其中每一製程站包含至少一製程內傳輸迴路(intra-bay)；至少一製程間傳輸迴路(inter-bay)用於連結各該製程內傳輸迴路(intra-bay)；至少一搬運車(OHT)用於運送至少一批晶舟，且每一搬運車係分別屬於該製程內傳輸迴路或該製程間傳輸迴路中；其中該製程內傳輸迴路及該製程間傳輸迴路分別為所屬之該搬運車用於巡邏以及運送該些晶舟之通道；一物料搬送控制系統(Material Control System,MCS)用於自動偵測、控制每批晶舟所提出的搬運請求並指派尚未運送晶舟的搬運車運送晶舟；其派工步驟為：步驟1：該些製程站之該些批晶舟可依需求定義為緊急處理晶舟(hot lot)或一般處理晶舟(normal lot)；步驟2：評估每製程站之單位時間產量；步驟3：依每製程站之單位時間產量多寡配置權重，以決定該製程內傳輸迴路之該搬運車數量；其中產量最少者權重最大；並且將該製程間傳輸迴路權重設為最小；計算各迴路之該搬運車數量公式為：
N i =×搬運車總數量，i =1,2,...,n ；其中
N i =第i 個製程間傳輸迴路或製程內傳輸迴路內的搬運車數量
X i =配置權重
n =製程間傳輸迴路數量加製程內傳輸迴路數量的總數
步驟4：若定義為一般處理晶舟提出搬運請求後，依據先遇到先服務原則，該物料搬送控制系統指派位於該批晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令的該搬運車運送該批晶舟；步驟5：該搬運車運送該批晶舟至指定目的地；步驟6：該搬運車回歸至所屬該製程間傳輸迴路或該製程內傳輸迴路。
本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，若定義為緊急處理晶舟提出搬運請求後，物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派位於該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批緊急處理晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令之一搬運車運送該批緊急處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中當定義為緊急處理晶舟所處之該製程站中之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於該製程間傳輸迴路且尚無運送任何晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批緊急處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未被指派運送任何批晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中當出現其他搬運車係距離該批緊急處理晶舟更近，且尚無運送任何晶舟時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派該搬運車運送該批緊急處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中當一搬運車預定或將要裝載一批一般處理晶舟時，若該搬運車後方出現已運送緊急處理晶舟之其他搬運車，或者距離該搬運車D2距離欲裝載緊急處理晶舟之其他搬運車時，該搬運車放棄裝載該批一般處理晶舟，以避免後方運送緊急處理晶舟之搬運車的阻塞；其中計算該D2距離之公式為：D 2=(每秒搬運車平均移動速度×搬運車裝載晶舟的時間)。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，若該批一般處理晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於該製程間傳輸迴路且距離該批一般處理晶舟最近且尚無接獲運送任何晶舟指令之搬運車協助運送該批一般處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，當分別處於不同製程站之該些批一般處理晶舟皆提出搬運請求且該些批一般處理晶舟所在處之該些製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於該製程間傳輸迴路內且尚無接獲運送任何晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一般處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批一搬處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未接獲運送任何批晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一搬處理晶舟。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中該物料搬送控制系統每隔T1時間自動偵測每批晶舟所提出的搬運請求，其中計算該T1距離之公式為：
T 1=[(製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷每秒搬運車平均移動速度)+(搬運車裝載晶舟的時間+搬運車卸載晶舟的時間)]/搬運車總數。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中未受該物料搬送控制系統指派之該些搬運車係遵循先遇到先服務原則，將先遇到有提出搬運請求的該批晶舟運送至指定目的地。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中該搬運車係優先服務於所屬之該製程站，待所屬之該製程站無其他提出請求之晶舟後，才離開所屬之該製程站之該製程內傳輸迴路，而協助其他製程站。
前述的縮短搬運時間的派工方法，其中未受該物料搬送控制系統指派之該些搬運車係與前方之該搬運車保持D1距離，以增加搬運車之搬運次數，其中計算該D1距離之公式為：
D 1=製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷搬運車總數量。
相較於習知技術，本發明可妥善解決搬運車在往返及傳送晶舟時在製程內傳輸迴路或者製程間傳輸迴路上造成車輛阻塞的問題，並解決瓶頸站的問題以及當晶舟面臨不同處理狀態(緊急處理hot lot、一般處理normal lot)時的優先權問題，具有提高晶圓廠整體製程處理的效能與生產力的功效。
為了讓本發明之目的、特徵與功效更明顯易懂，以下特別列舉本發明之較佳實施型態：
如第1至3圖所示，為本發明縮短搬運時間的派工方法，其包含複數製程站(10)、至少一批晶舟(20)、至少一製程內傳輸迴路(intra-bay)(30)、至少一製程間傳輸迴路(inter-bay)(40)、至少一搬運車(OHT)(50)及一物料搬送控制系統(Material Control System,MCS)(60)。
其中，請參閱第1圖所示，製程站(10a、10b)作為執行特定製程於晶舟(20a1 、20b1 )之至少一晶圓，並且每一製程站(10a、10b)包含至少一製程內傳輸迴路(30a、30b)。此外，製程間傳輸迴路(40)係用於連結各製程內傳輸迴路(30a、30b)。再者，搬運車(50a1 、50b1 、50c1 )用於運送至少一批晶舟(20a1 、20b1 )，且每一搬運車(50a1 、50b1 、50c1 )係分別屬於製程內傳輸迴路(30a、30b)或製程間傳輸迴路(40)中；其中製程內傳輸迴路(30a、30b)及製程間傳輸迴路(40)係分別為所屬之搬運車(50a1 、50b1 、50c1 )用於巡邏以及運送該些晶舟(20a1 、20b1 )之通道。再者，物料搬送控制系統(60)係用於自動偵測、控制每批晶舟所提出的搬運請求並指派尚未運送晶舟的搬運車運送提出搬運請求的晶舟。
請再參閱第2圖所示，為本創作縮短搬運時間的派工方法，該些搬運車係遵循先遇到先服務原則，係將先遇到有提出搬運請求的該批晶舟運送至指定目的地。其派工步驟為，步驟1(S1)：依需求定義該些製程站之該些批晶舟為緊急處理晶舟(hot lot)或一般處理晶舟(normal lot)；接著，步驟2(S2)：評估每製程站之單位時間產量；接著，步驟3(S3)：依簡單多屬性評估法，將每製程站之單位時間產量多寡配置權重，以決定製程內傳輸迴路之搬運車數量；其中產量最少者權重最大；並且將製程間傳輸迴路權重設為最小，其中計算各迴路之搬運車數量公式為如下所示
N i =×搬運車總數量，i =1,2,...,n ；其中
N i =第i 個製程間傳輸迴路或製程內傳輸迴路內的搬運車數量
X i =配置權重
n =製程間傳輸迴路數量加製程內傳輸迴路數量的總數；
接著，步驟4(S4)：若定義為一般處理晶舟提出搬運請求後，依據先遇到先服務原則，該物料搬送控制系統指派位於該批晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令的搬運車運送該批晶舟；接著，步驟5(S5)：該搬運車運送該批晶舟至指定目的地；接著，步驟6(S6)：該搬運車回歸至所屬該製程間傳輸迴路或該製程內傳輸迴路。
其中，於步驟4(S4)，亦即當搬運車預定或將要裝載一般處理晶舟時，若該搬運車後方未出現運送緊急處理晶舟之其他搬運車時，則依序執行步驟5(S5)及步驟6(S6)程序；若出現已運送緊急處理晶舟之其他搬運車，或者距離該搬運車D2距離欲裝載緊急處理晶舟之其他搬運車時，該搬運車放棄裝載該批一般處理晶舟，以避免後方運送緊急處理晶舟之搬運車的阻塞。其中計算該D2距離之公式為：D2=(每秒搬運車平均移動速度×搬運車裝載晶舟的時間)(S7)。
其中，於步驟4(S4)時，若一般處理晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，亦或者，分別處於不同製程站之該些一般處理晶舟皆提出搬運請求且該些一般處理晶舟所在處之該些製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於該製程間傳輸迴路且距離該批一般處理晶舟最近且尚無接獲運送任何晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一般處理晶舟(S8)；其中，當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批一搬處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未接獲運送任何批晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一搬處理晶舟(S9)。
再者，於步驟4(S4)時，若定義為緊急處理晶舟提出搬運請求後，物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派位於該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批緊急處理晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令之一搬運車運送該批緊急處理晶舟(S10)。
其中當定義為緊急處理晶舟所處之該製程站中之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於該製程間傳輸迴路且尚無運送任何晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟(S11)。
其中當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批緊急處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未被指派運送任何批晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟(S12)。
較佳者，在(S10)、(S11)及(S12)流程中，當出現其他搬運車係距離該批緊急處理晶舟更近，且尚無運送任何晶舟時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派該搬運車運送該批緊急處理晶舟。
此外，其他未受該物料搬送控制系統指派之搬運車係遵循先遇到先服務原則，將先遇到有提出搬運請求的該批晶舟(緊急處理晶舟或者一搬處理晶舟)運送至指定目的地。
較佳者，搬運車係優先服務於所屬之該製程站，待所屬之該製程站無其他提出請求之晶舟後，才離開所屬之該製程站之該製程內傳輸迴路，而協助其他製程站。
具體而言，物料搬送控制系統係每隔T1時間自動偵測每批晶舟所提出的搬運請求，其中計算該T1距離之公式如下所示
T 1=[(製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷每秒搬運車平均移動速度)+(搬運車裝載晶舟的時間+搬運車卸載晶舟的時間)]/搬運車總數。
較佳者，未受該物料搬送控制系統指派之該些搬運車係與前方之該搬運車保持D1距離，以增加搬運車之搬運次數，其中計算該D1距離之公式為
D 1=製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷搬運車總數量。
請參閱第3圖所示，本創作將以簡化後的例子進行說明，以讓讀者對本創作能夠具有更清晰的了解。
如第3圖所示，分別設置有五製程站(A1、A2、A3、A4、A5)，該些製程站分別設有一製程內傳輸迴路(30a、30b、30c、30d、30e)，以及一製程間傳輸迴路(40)以連結各該製程內傳輸迴路，該些製程站的單位時間產量如第1表所示：
由第1表可知，製程站(A4)單位時間中產量最少，即為本創作所謂的瓶頸站，因此製程站(A4)在設置權重時為最重，並將製程間傳輸迴路的權重設為最輕。
接著，假設搬運車總數為15台，並依照簡單多屬性評估法配置各製程站之權重，以求得各個製程內傳輸迴路以及製程間傳輸迴路的搬運車數量。依據如下公式可求得如第2表所示之各製程內傳輸迴路以及製程間傳輸迴路的搬運車數量。
N i =×搬運車總數量，i =1,2,...,n ；其中
N i =第i 個製程間傳輸迴路或製程內傳輸迴路內的搬運車數量
X i =配置權重
n =6(製程間傳輸迴路數量加製程內傳輸迴路數量的總數)
接著，請再參考如第3圖所示，當製程站(A1)同時出現緊急處理晶舟(21)以及一般處理晶舟(22)時，物料搬送控制系統優先指派於該製程內傳輸迴路(30a)中離該緊急處理晶舟(21)最近之搬運車(50a1 )運送該批晶舟至指定目的地。接著，再指派該製程內傳輸迴路(30a)中離該一般處理晶舟(22)最近之搬運車(50a2 )運送該批晶舟至指定目的地；其中若該製程內傳輸迴路(30a)中無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於該製程間傳輸迴路(40)且尚無運送任何晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟；其中當該製程間傳輸迴路(40)內無可協助運送該批緊急處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於其他製程內傳輸迴路(30b、30c、30d、30e)且尚未被指派運送任何批晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟。
以下就以本發明之縮短搬運時間的派工方法之較佳實施型態為例，針對本發明的運行過程做一詳細的說明如下所示。
參考現有晶圓廠生產資料及第3圖所示，製程內傳輸迴路(intra-bay)(40)長度為45公尺，連接5個長度為30公尺的製程內傳輸迴路(30)，軌道為標準單向道，搬運車(50)的行駛速度為0.75公尺/秒，而上下貨時間為15秒。
從以上條件可計算出D1及D2距離如下所示：
D 1=製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷搬運車總數量=[45公尺+(30公尺×5條)]/15台=13公尺
D 2=(每秒搬運車平均移動速度×搬運車裝載晶舟的時間)=(0.75公尺/秒×15秒)=11.25公尺
再參閱第1及2表所示，可得知各製程站內單位時間產量及搬運車數量分布，再計算T1時間。
T 1=[(製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷每秒搬運車平均移動速度)+(搬運車裝載晶舟的時間+搬運車卸載晶舟的時間)]/搬運車總數=[[45公尺+(30公尺×5條)]/(0.75公尺/秒))+(15秒+15秒)]/15台19秒
依據本發明縮短搬運時間的派工方法配上計算後參數與現行一般運作14天於生產負載90%及緊急處理晶舟(hot lot)為2%情況下比較如第3表所示：
本發明可妥善解決搬運車在往返及傳送晶舟時在製程內傳輸迴路或者製程間傳輸迴路上造成車輛阻塞的問題，並解決瓶頸站的問題以及當晶舟面臨不同處理狀態(緊急處理hot lot、一般處理normal lot)時的優先權問題，且包含無需增加生產成本之優勢，具有提高晶圓廠整體製程處理的效能與生產力的功效。
因此，本發明之功效有別於一般傳統派工方法，此於同類產品當中實屬首創，符合發明專利要件，爰依法俱文提出申請。
惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施型態，舉凡應用本發明說明書、申請專利範圍或圖式所為之等效結構變化，理應包含在本發明之專利範圍內。
10、10a、10b、A1、A2、A3、A4、A5．．．製程站
20、20a1、20b1、21、22．．．晶舟
30、30a、30b、30c、30d、30e．．．製程內傳輸迴路
40．．．製程間傳輸迴路
50、50a1、50a2、50b1、50c1．．．搬運車
60．．．物料搬送控制系統
S1．．．依需求定義為緊急處理晶舟(hot lot)或一般處理晶舟(normal lot)
S2．．．評估每製程站之單位時間產量
S3．．．依每製程站之單位時間產量多寡配置權重
S4．．．指派位於該批晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路中的搬運車運送
S5．．．搬運車運送該批晶舟至指定目的地
S6．．．搬運車回歸至所屬該製程間傳輸迴路或該製程內傳輸迴路
S7．．．當一搬運車預定或將要裝載一批一般處理晶舟時，若該搬運車後方出現已運送緊急處理晶舟，或者距離該搬運車
D2．．．距離欲裝載緊急處理晶舟之其他搬運車時，該搬運車放棄裝載該批一般處理晶舟
S8．．．指派屬於該製程間傳輸迴路之搬運車協助運送
S9．．．指派屬於其他製程內傳輸迴路之搬運車協助運送
S10．．．優先指派位於該製程站之該製程內傳輸迴路中之一搬運車運送
S11．．．優先指派屬於該製程間傳輸迴路之搬運車協助運送
S12．．．優先指派屬於其他製程內傳輸迴路之搬運車協助運送
第1圖：為本發明主要實施型態之一示意圖。
第2圖：為本發明主要實施型態之流程圖。
第3圖：為本發明主要實施型態之另一示意圖。
10、10a、10b．．．製程站
20、20a1 、20b1 ．．．晶舟
30、30a、30b．．．製程內傳輸迴路
40．．．製程間傳輸迴路
50、50a1、50b1、50c1．．．搬運車
60．．．物料搬送控制系統

Claims (13)

  1. 縮短搬運時間的派工方法，其包含：複數製程站作為執行特定製程於至少一批晶舟之至少一晶圓；其中每一製程站包含至少一製程內傳輸迴路(intra-bay)；至少一製程間傳輸迴路(inter-bay)用於連結各該製程內傳輸迴路(intra-bay)；至少一搬運車(OHT)用於運送至少一批晶舟，且每一搬運車係分別屬於該製程內傳輸迴路或該製程間傳輸迴路中；其中該製程內傳輸迴路及該製程間傳輸迴路分別為所屬之該搬運車用於巡邏以及運送該些晶舟之通道；一物料搬送控制系統(Material Control System,MCS)用於自動偵測、控制每批晶舟所提出的搬運請求並指派尚未運送晶舟的搬運車運送晶舟；其派工步驟為：步驟1：該些製程站之該些批晶舟可依需求定義為緊急處理晶舟(hot lot)或一般處理晶舟(normal lot)；步驟2：評估每製程站之單位時間產量；步驟3：依每製程站之單位時間產量多寡配置權重，以決定該製程內傳輸迴路之該搬運車數量；其中產量最少者權重最大；並且將該製程間傳輸迴路權重設為最小；計算各迴路之該搬運車數量公式為N i =×搬運車總數量，i =1,2,...,n ；其中N i =第i 個製程間傳輸迴路或製程內傳輸迴路內的搬運車數量X i =配置權重n =製程間傳輸迴路數量加製程內傳輸迴路數量的總數步驟4：若定義為一般處理晶舟提出搬運請求後，依據先遇到先服務原則，該物料搬送控制系統指派位於該批晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令的該搬運車運送該批晶舟；步驟5：該搬運車運送該批晶舟至指定目的地；步驟6：該搬運車回歸至所屬該製程間傳輸迴路或該製程內傳輸迴路。
  2. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，若定義為緊急處理晶舟提出搬運請求後，物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派位於該製程站之該製程內傳輸迴路中，並距離該批緊急處理晶舟最近，且尚無接獲運送任何晶舟指令之一搬運車運送該批緊急處理晶舟。
  3. 依申請專利範圍第2項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中當定義為緊急處理晶舟所處之該製程站中之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於該製程間傳輸迴路且尚無運送任何晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟。
  4. 依申請專利範圍第3項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批緊急處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未被指派運送任何批晶舟之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批緊急處理晶舟。
  5. 依申請專利範圍第2、3或4項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中當出現其他搬運車係距離該批緊急處理晶舟更近，且尚無運送任何晶舟時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，優先指派該搬運車運送該批緊急處理晶舟。
  6. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中當一搬運車預定或將要裝載一批一般處理晶舟時，若該搬運車後方出現已運送緊急處理晶舟之其他搬運車，或者距離該搬運車D2距離欲裝載緊急處理晶舟之其他搬運車時，該搬運車放棄裝載該批一般處理晶舟，以避免後方運送緊急處理晶舟之搬運車的阻塞；其中計算該D2距離之公式為D 2=(每秒搬運車平均移動速度×搬運車裝載晶舟的時間)。
  7. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，若該批一般處理晶舟所在處之該製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於該製程間傳輸迴路且距離該批一般處理晶舟最近且尚無接獲運送任何晶舟指令之搬運車協助運送該批一般處理晶舟。
  8. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中於步驟4時，當分別處於不同製程站之該些批一般處理晶舟皆提出搬運請求且該些批一般處理晶舟所在處之該些製程站之該製程內傳輸迴路無任何搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於該製程間傳輸迴路內且尚無接獲運送任何晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一般處理晶舟。
  9. 依申請專利範圍第8項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中當該製程間傳輸迴路內無可協助運送該些批一搬處理晶舟之搬運車時，該物料搬送控制系統依據先遇到先服務原則，指派屬於其他製程內傳輸迴路且尚未接獲運送任何批晶舟指令之搬運車協助運送配置權重高之該製程站之該批一搬處理晶舟。
  10. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中該物料搬送控制系統每隔T1時間自動偵測每批晶舟所提出的搬運請求，其中計算該T1距離之公式為T 1=[(製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷每秒搬運車平均移動速度)+(搬運車裝載晶舟的時間+搬運車卸載晶舟的時間)]/搬運車總數。
  11. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中未受該物料搬送控制系統指派之該些搬運車係遵循先遇到先服務原則，將先遇到有提出搬運請求的該批晶舟運送至指定目的地。
  12. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中該搬運車係優先服務於所屬之該製程站，待所屬之該製程站無其他提出請求之晶舟後，才離開所屬之該製程站之該製程內傳輸迴路，而協助其他製程站。
  13. 依申請專利範圍第1項所述之縮短搬運時間的派工方法，其中未受該物料搬送控制系統指派之該些搬運車係與前方之該搬運車保持D1距離，以增加搬運車之搬運次數，其中計算該D1距離之公式為D 1=製程間傳輸迴路及製程內傳輸迴路之總長度÷搬運車總數量
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