JP5402059B2 - 浮上搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に関する。

近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、基板の表面の清浄度を考慮した浮上搬送装置の先行技術として特許文献１に示すものがある。以下、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等について説明する。

先行技術に係る浮上搬送装置は、搬送方向へ延びた装置フレームをベースとして具備しており、この装置フレームの搬送領域には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に沿って設けられている。また、各浮上ユニットの内部は、圧縮空気を供給する供給ファン等の圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。

装置フレームの搬送領域における搬送幅方向の両側部（一側部及び他側部）には、基板を搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニットが搬送方向に沿ってそれぞれ配設されており、各搬送ローラユニットの具体的な構成は、次のようになる。

即ち、装置フレームの搬送領域における搬送幅方向の側部（一側部又は他側部）には、ローラケースが設けられており、このローラケースの上側は、開口（開放）されてあって、ローラケースの下面には、空気を吸入可能な吸入穴が形成されている。また、ローラケースの下面には、吸入穴からローラケースの内部の空気を吸引する吸引ファンが設けられており、吸引ファンを稼動させたり又は吸引ファンの稼動を停止したりすることにより、ローラケースの内部は負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。そして、ローラケースの内部には、基板の裏面を支持する搬送ローラが搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、ローラケースの適宜位置には、搬送幅方向に平行な軸心周りに搬送ローラを回転させる回転モータが設けられている。

従って、各浮上ユニットの内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファンを稼動させて、各ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態とに切り替えると共に、各回転モータによって各搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と複数の搬送ローラとの接触を保ちつつ、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１の他に、特許文献２及び特許文献３に示すものがある。

特開２００８−２５４９１８号公報 特開２００５−１５４０４０号公報 特開２００５−１５４０４１号公報

ところで、基板の搬送効率の向上を図るには、ローラケースの内部の負圧を高めて、基板の裏面と搬送ローラの接触圧を十分に確保する必要がある。

一方、基板の大型・薄型化の傾向に伴い、基板は変形し易く、ローラケースの内部の負圧を高めると、基板の浮上搬送中に、基板の先端部が搬送ローラの最上部から離れた箇所に接触することになって、基板との接触点（接触箇所）を通る搬送ローラの周面の接線方向に対する基板の先端部の接触角が大きくなる。そのため、基板の浮上搬送中に、基板と搬送ローラとの接触による衝撃が大きくなり、搬送ローラの受傷（損傷）又は基板の破損等を招くことがある。

つまり、先行技術に係る浮上搬送装置にあっては、基板の搬送効率の向上を図りつつ、搬送ローラの受傷及び基板の破損等を抑えることを抑えることは容易ではないという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、 装置フレームの搬送領域に配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置フレームの前記搬送領域に前記搬送方向に沿ってそれぞれ配設され、上側が開口（開放）されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能なローラケース、及び前記ローラケースの内部に搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する搬送ローラを備え、基板を前記搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニットと、複数の前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの上流側近傍に浮上搬送中の基板が位置したことを検出する複数のセンサと、各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態とに切り替えるように制御するコントローラと、を具備したことを要旨とする。

ここで、前記回転アクチュエータは、前記搬送ローラユニットの一部を構成するものであっても構わない。

なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、同様に、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。また、「支持する」とは、直接的に支持することの他に、間接的に支持することも含む意である。更に、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意であって、「搬送幅方向」とは、搬送方向に直交する方向のことをいう。

第１の特徴によると、各浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させる。また、各ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、前記回転アクチュエータによって複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と複数の前記搬送ローラとの接触を保ちつつ、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

ここで、各センサが検出信号を出力すると、前記コントローラによって対応する前記搬送ローラユニットにおける前記ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態とに切り替えるように制御しているため、各ローラケースの内部の負圧を高めても、基板の浮上搬送中に、基板の先端部が前記搬送ローラの最上部から近い箇所に接触することになって、基板との接触点（接触箇所）を通る前記搬送ローラの周面の接線方向に対する基板の先端部の接触角（前記搬送ローラとの接触時における基板の先端部の曲がり角）を小さくすることができる。

本発明の第２の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、 装置フレームの搬送領域に配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記装置フレームの前記搬送領域に前記搬送方向に沿ってそれぞれ配設され、上側が開口（開放）されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能なローラケース、及び前記ローラケースの内部に搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する搬送ローラを備え、前記搬送ローラの高さ位置が基板の搬送高さ位置（換言すれば、基板のパスライン又は基板の浮上高さ位置）と前記搬送高さ位置よりも低い待避位置とに変更できるようになってあって、基板を前記搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニットと、複数の前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの上流側近傍に浮上搬送中の基板が位置したことを検出する複数のセンサと、各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの高さ位置を前記待避位置から前記搬送高さ位置に変更するように制御するコントローラと、を具備したこと要旨とする。

ここで、前記回転アクチュエータは、前記搬送ローラユニットの一部を構成するものであっても構わない。

第２の特徴によると、各浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させる。また、各ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、前記回転アクチュエータによって複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と複数の前記搬送ローラとの接触を保ちつつ、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

ここで、各センサが検出信号を出力すると、前記コントローラによって対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの高さ位置を前記待避位置から前記搬送高さ位置に変更するように制御しているため、各ローラケースの内部の負圧を高めても、基板の浮上搬送中に、基板の先端部が前記搬送ローラの最上部から近い箇所に接触することになって、基板との接触点（接触箇所）を通る前記搬送ローラの周面の接線方向に対する基板の先端部の接触角（前記搬送ローラとの接触時における基板の先端部の曲がり角）を小さくすることができる。

本発明によれば、各ローラケースの内部の負圧を高めても、基板の浮上搬送中に、前記接線方向に対する基板の先端部の接触角を小さくすることができるため、基板の搬送効率の向上を図りつつ、基板と前記搬送ローラとの接触による衝撃を緩和して、前記搬送ローラの受傷（損傷）及び基板の破損等を十分に抑えることができる。

本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。 図１におけるII-II線に沿った断面図である。 本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の正面図である。 図１におけるIV-IV線に沿った断面図である。 本発明の実施形態の作用を説明する図である。 本発明の実施形態の変形例１に係る浮上搬送装置の要部を示す断面図であって、図１におけるII-II線に沿った断面図に相当する図である。 本発明の実施形態の変形例２に係る浮上搬送装置の要部を示す断面図であって、図１におけるII-II線に沿った断面図に相当する図である。

本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向（搬送方向の下流）を、「ＦＲ」は、後方向（搬送方向の上流）を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。

図１、図３、及び図４に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する装置であって、搬送方向へ延びた装置フレーム（支持フレーム）３を具備している。また、装置フレーム３は、搬送方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。なお、装置フレーム３は、搬送方向に沿って分割されてあっても構わない。

支持台５には、搬送幅方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ延びかつ浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数のチャンバー１１が搬送方向へ間隔を置いて設けられており、各チャンバー１１の後部の左右両側には、コーナ凹部１３がそれぞれ形成されている。また、各チャンバー１１の下面の中央には、圧縮空気を導入可能な導入穴１５が形成されており、各チャンバー１１の上面には、複数の連絡穴１７が形成されている。更に、各チャンバー１１における導入穴１５の周縁部には、圧縮空気をチャンバー１１の内部へ供給する浮上ガス供給源としての供給ファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）１９がブラケット２１を介して設けられている。

各チャンバー１１における各連絡穴１７の周縁部には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の浮上ユニット２３が設けられており、換言すれば、支持台５の搬送領域Ａには、複数の浮上ユニット２３が複数のチャンバー１１等を介して設けられている。また、浮上ユニット２３全体の正面視形状（図３参照）及び側面視形状（図２参照）は、それぞれＴ字形状を呈してあって、各浮上ユニット２３の内部は、チャンバー１１を介して供給ファン１９に接続されている。また、各浮上ユニット２３の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル２５が浮上ユニット２３の平面視形状に沿って形成されており、各ノズル２５は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット２３の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット２３の中心側）へ傾斜するようになっている。なお、各浮上ユニット２３の上面に枠状のノズル２５が浮上ユニット２３の平面視形状に沿って形成されるの代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが浮上ユニット２３の平面視形状に沿って形成されるようにしても構わない。

図１及び図２に示すように、支持台５の搬送領域Ａにおける搬送幅方向の両側部（左側部及び右側部）には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニット２７が搬送方向に沿ってそれぞれ配設されており、各搬送ローラユニット２７は、チャンバー１１のコーナ凹部１３の内側に位置している。そして、各搬送ローラユニット２７の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、支持台５の搬送領域Ａにおける搬送方向の側部（左側部又は右側部）には、ローラケース２９がブラケット３１を介して設けられており、このローラケース２９の上側は、開口（開放）されてあって、ローラケース２９の下面には、空気を吸入可能な吸入穴３３が形成されている。また、ローラケース２９の下面には、吸入穴３３からローラケース２９の内部の空気を吸引する吸引ファン３５が設けられており、吸引ファン３５を稼動させたり又は吸引ファン３５の稼動を停止したりすることにより、ローラケース２９の内部は負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。

ローラケース２９の内部には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する搬送ローラ３７が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、この搬送ローラ３７は、ローラケース２９の最上部に対して上方向へ突出してある。そして、ローラケース２９の適宜位置には、搬送ローラ３７を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる回転モータ（回転アクチュエータの一例）３９が設けられており、この回転モータ３９の出力軸は、搬送ローラ３７の回転軸に連動連結してある。

なお、搬送ローラユニット２７の一部を構成する回転モータ３９を省略して、支持台５の適宜位置に複数の搬送ローラユニット２７における搬送ローラ３７を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる別の回転モータ等が設けられるようにしても構わない。

複数のチャンバー１１の適宜位置には、複数の反射型光電センサ４１が搬送方向に沿って設けられており、各反射型光電センサ４１は、投光した信号光Ｐの反射を監視することによって、各搬送ローラユニット２７における搬送ローラ３７の上流側近傍に基板Ｗが位置したことを検出するものである。また、装置フレーム３の近傍には、コントローラ４３が配設されており、このコントローラ４３には、複数の搬送ローラユニット２７における吸引ファン３５及び複数の反射型光電センサ４１が電気的に接続されている。そして、コントローラ４３は、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７における吸引ファン３５を稼動させるように、換言すれば、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の内部を常圧状態から負圧状態に切り替えるように制御するものである。なお、コントローラ４３は、複数の反射型光電センサ４１のうちのいずれかの反射型光電センサ４１が基板Ｗの後端部（先端部と反対側の端部）を検出すると、各搬送ローラユニット２７における吸引ファン３５の稼動を停止するように制御するものである。

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

各供給ファン１９を稼動させて、各浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット２３のノズル２５から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン３５を稼動させて、各ローラケース２９の内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、各回転モータ３９によって各搬送ローラ３７を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ３７との接触を保ちつつ、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。なお、各浮上ユニット２３のノズル２５が垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようになっているため、基板Ｗの浮上搬送中に、基板Ｗと複数の浮上ユニット２３との間に略均一な圧力溜まり層（空気溜まり層）Ｓ（図２及び図４参照）を生成することができる。

ここで、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、コントローラ４３によって対応する搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の内部を常圧状態から負圧状態とに切り替えるように制御しているため、各ローラケース２９の内部の負圧を高めても、図５に示すように、基板Ｗの浮上搬送中に、基板Ｗの先端部が搬送ローラ３７の最上部から近い箇所に接触することになって、基板Ｗとの接触点（接触箇所）を通る搬送ローラ３７の周面の接線方向（接線）Ｄに対する基板Ｗの先端部の接触角（搬送ローラ３７との接触時における基板Ｗの先端部の曲がり角）θを小さくすることができる。

従って、本発明の実施形態によれば、各ローラケース２９の内部の負圧を高めても、基板Ｗの浮上搬送中に、接線方向Ｄに対する基板Ｗの先端部の接触角θを小さくすることができるため、基板Ｗの搬送効率の向上を図りつつ、基板Ｗと搬送ローラ３７との接触による衝撃を緩和して、搬送ローラ３７の受傷（損傷）及び基板Ｗの破損等を十分に抑えることができる。

（変形例１）
本発明の実施形態の変形例１について図６を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向（搬送方向の下流）を、「ＦＲ」は、後方向（搬送方向の上流）を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。

前述のように、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、コントローラ４３によって各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７における吸引ファン３５を稼動させるように制御する代わりに、変形例１として、次のように構成しても構わない。

即ち、図６に示すように、各搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９には、ローラケース２９の吸入穴３３を開閉するシャッター４５が設けられている。また、各搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の適宜位置には、シャッター４５の開閉動作（開放方向へ移動）させるロッドレス型の開閉シリンダ（開閉アクチュエータの一例）４７が設けられており、各開閉シリンダ４７は、開閉方向へ移動可能な可動子４９を備えてあって、各開閉シリンダ４７における可動子４９は、シャッター４５の適宜位置に連結してある。

装置フレーム３の近傍には、コントローラ５１が配設されており、このコントローラ５１には、複数の搬送ローラユニット２７における開閉シリンダ４７及び複数の反射型光電センサ４１が電気的に接続されている。そして、コントローラ５１は、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７におけるシャッター４５によってローラケース２９の吸入穴３３を開くように、換言すれば、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の内部を常圧状態から負圧状態に切り替えるように開閉シリンダ４７を制御するものである。

ここで、本発明の実施形態の変形例１においても、前述の本発明の実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏する。

（変形例２）
本発明の実施形態の変形例２について図７を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向（搬送方向の下流）を、「ＦＲ」は、後方向（搬送方向の上流）を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。

前述のように、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の内部を常圧状態から負圧状態に切り替えるように制御する代わりに、変形例２として、次のように構成しても構わない。

即ち、図７に示すように、各搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９は、ガイドロッド５３により支持台５に対して昇降可能（上下方向へ移動可能）であって、各搬送ローラユニット２７における搬送ローラ３７の高さ位置は、基板Ｗの搬送高さ位置（換言すれば、パスライン又は浮上高さ位置）と搬送高さ位置よりも低い待避高さ位置に変更できるようになっている。また、各搬送ローラユニット２７におけるローラケース２９の近傍には、ローラケース２９を昇降させる昇降シリンダ（昇降アクチュエータの一例）５５が設けられており、各昇降シリンダ５５は、昇降可能な可動ロッド５７を備えてあって、各昇降シリンダ５５における可動ロッド５７は、ローラケース２９に連結部材５９を介して連結してある。

装置フレーム３の近傍には、コントローラ６１が配設されており、このコントローラ６１には、複数の搬送ローラユニット２７における昇降シリンダ５５及び複数の反射型光電センサ４１が電気的に接続されている。そして、コントローラ６１は、各反射型光電センサ４１が検出信号を出力すると、各反射型光電センサ４１に対応する搬送ローラユニット２７における搬送ローラ３７の高さ位置を待避位置から搬送高さ位置に変更するように昇降シリンダ５５を制御するものである。

ここで、本発明の実施形態の変形例２においても、前述の本発明の実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏する。

なお、搬送ローラ３７をローラケース２９と一体的に上昇させて、搬送ローラ３７の高さ位置を待避位置から搬送高さ位置に変更する代わりに、搬送ローラ３７とは独立してローラケース２９の高さ位置を変更するようにしても構わない。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、複数の反射型光電センサ４１を用いる代わりに、各搬送ローラユニット２７における搬送ローラ３７の上流側近傍に基板Ｗが位置したことを検出する複数の別のセンサを用いる等、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

Ｗ 基板
Ａ 搬送領域
Ｐ 信号光
θ 曲がり角
Ｄ 接線方向
１ 浮上搬送装置
３ 装置フレーム
５ 支持台
７ 支柱
９ 補強部材
１１ チャンバー
１３ コーナ凹部
１９ 供給ファン
２３ 浮上ユニット
２５ ノズル
２７ 搬送ローラユニット
２９ ローラケース
３３ 吸入穴
３５ 吸引ファン
３７ 搬送ローラ
３９ 回転モータ
４１ 反射型光電センサ
４３ コントローラ
４５ シャッター
４７ 開閉シリンダ
４９ 可動子
５１ コントローラ
５３ ガイドロッド
５５ 昇降シリンダ
５７ 可動ロッド
５９ 連結部材
６１ コントローラ

Claims (5)

1. 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
   装置フレームの搬送領域に配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
   前記装置フレームの前記搬送領域に前記搬送方向に沿ってそれぞれ配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能なローラケース、及び前記ローラケースの内部に搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する搬送ローラを備え、基板を前記搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニットと、
   複数の前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、
   前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの上流側近傍に浮上搬送中の基板が位置したことを検出する複数のセンサと、
   各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態とに切り替えるように制御するコントローラと、を具備したことを特徴とする浮上搬送装置。
2. 各浮上ローラユニットは、前記ローラケースに形成された吸入穴から前記ローラケースの内部の空気を吸引する吸引ファンを備え、
   前記コントローラは、各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記吸引ファンを稼動させように制御することを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
3. 各浮上ローラユニットは、前記ローラケースに形成された吸入穴から前記ローラケースの内部の空気を吸引する吸引ファン、及び前記ローラケースの前記吸入穴を開閉するシャッターを備え、
   前記コントローラは、各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記シャッターにより前記ローラケースの前記吸入穴を開くように制御することを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
4. 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
   装置フレームの搬送領域に配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
   前記装置フレームの前記搬送領域に前記搬送方向に沿ってそれぞれ配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能なローラケース、及び前記ローラケースの内部に搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する搬送ローラを備え、前記搬送ローラの高さ位置が基板の搬送高さ位置と前記搬送高さ位置よりも低い待避位置とに変更できるようになってあって、基板を前記搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラユニットと、
   複数の前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる回転アクチュエータと、
   前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの上流側近傍に浮上搬送中の基板が位置したことを検出する複数のセンサと、
   各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの高さ位置を前記待避位置から前記搬送高さ位置に変更するように制御するコントローラと、を具備したこと特徴とする浮上搬送装置。
5. 各搬送ローラユニットにおける前記ローラケースが前記装置フレームに対して昇降可能であって、各搬送ローラユニットは、前記ローラケースを昇降させる昇降アクチュエータを備え、
   前記コントローラは、各センサが検出信号を出力すると、各センサに対応する前記搬送ローラユニットにおける前記搬送ローラの高さ位置を前記待避位置から前記搬送高さ位置に変更するように前記昇降アクチュエータを制御することを特徴とする請求項４に記載の浮上搬送装置。

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