JP5790121B2 - 浮上搬送装置 - Google Patents
浮上搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5790121B2 JP5790121B2 JP2011098225A JP2011098225A JP5790121B2 JP 5790121 B2 JP5790121 B2 JP 5790121B2 JP 2011098225 A JP2011098225 A JP 2011098225A JP 2011098225 A JP2011098225 A JP 2011098225A JP 5790121 B2 JP5790121 B2 JP 5790121B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport
- substrate
- floating
- unit
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
P 基板受け部材
S エア溜まり層(圧力溜まり層)
W 基板
1 浮上搬送装置
3 支持フレーム
5 支持台
11 チャンバー
13 供給ファン(浮上ガス供給源)
15 浮上ユニット
17 ノズル
19 ローラ駆動ユニット
21 ユニットケース
23 開口部
25 取付プレート
27 搬送ローラ
29 搬送モータ
31 出力軸
33 連動機構
35 主動プーリ
37 従動プーリ
39 ベルト
41 吸引ファン
Claims (3)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
支持フレームと、
前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、
前記搬送方向に隣接するいずれかの前記浮上ユニット間に、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びかつ複数の前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップが区画形成され、
各ローラ駆動ユニットは、前記支持フレームに設けられかつ上側に開口部を有したユニットケースと、前記ユニットケース内に前記搬送方向に離隔して設けられかつ前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であってかつ前記ユニットケースの前記開口部から上方向へ突出しかつ基板の裏面を支持する一対の搬送ローラと、前記一対の搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ユニットケース内の空気を下方向から吸引する吸引ファンと、を備え、
前記挿入ギャップの直上流側に配設された前記ローラ駆動ユニットは、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように、前記吸引ファンの吸引中心位置が前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されている、浮上搬送装置。 - 各ローラ駆動ユニットは、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように、前記吸引ファンの吸引中心位置が前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されている、請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 各浮上ユニットの前記ノズルが鉛直方向に対して各浮上ユニットの中心側へ傾斜するように構成されている、請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011098225A JP5790121B2 (ja) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011098225A JP5790121B2 (ja) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 浮上搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012229085A JP2012229085A (ja) | 2012-11-22 |
JP5790121B2 true JP5790121B2 (ja) | 2015-10-07 |
Family
ID=47431006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011098225A Active JP5790121B2 (ja) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 浮上搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5790121B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10189661B1 (en) * | 2017-08-15 | 2019-01-29 | Core Flow Ltd. | Vacuum wheel with separate contact and vacuum surfaces |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4161272B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2008-10-08 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP5396695B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2014-01-22 | 株式会社Ihi | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 |
JP5200868B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-06-05 | 株式会社Ihi | 浮上搬送装置 |
JP2010126295A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料の搬送方法及び装置 |
JP5402059B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2014-01-29 | 株式会社Ihi | 浮上搬送装置 |
JP5446403B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2014-03-19 | 株式会社Ihi | 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム |
-
2011
- 2011-04-26 JP JP2011098225A patent/JP5790121B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012229085A (ja) | 2012-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5239606B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP4349101B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5396695B2 (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 | |
JP5707713B2 (ja) | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット | |
JP5790121B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5200868B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
TWI483883B (zh) | Handling device | |
JP5604940B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5422925B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP2010116248A (ja) | 浮上搬送装置及び搬送ローラ | |
JP5526879B2 (ja) | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット | |
JP2011207552A (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5549311B2 (ja) | 浮上搬送装置及び方向転換装置 | |
JP5332142B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5353235B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5515923B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5581611B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP5540496B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP4985564B2 (ja) | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム | |
JP2009012872A (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 | |
JP2011219209A (ja) | 浮上搬送装置、方向転換装置、及び浮上ユニット | |
JP5239227B2 (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 | |
JP5589447B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
KR20140144237A (ko) | 반송 장치 | |
JP2012101897A (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141128 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150720 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5790121 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |