JP5526879B2 - 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット - Google Patents
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Description
1 浮上搬送装置
3 装置本体
5 支持台
11 チャンバー
13 供給ファン
15 浮上ユニット
17 ノズル
19 ローラ駆動ユニット
21 ユニットケース
23 開口部
25 工具挿入穴
27 可動支持部材
29 ガイドボルト
31 長穴
33 取付片
35 雌ねじ部(固定ナット)
37 支持片
39 支持穴
41 調節ねじ部材(調節ボルト)
43 搬送ローラ
45 搬送モータ
55 吸引ファン
Claims (4)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体と、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、配設状態が前記搬送方向に直交する搬送幅方向に複数列になっており、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、
各ローラ駆動ユニットは、
前記装置本体に設けられ、上側に開口部を有したユニットケースと、
前記ユニットケース内に上下方向へ移動可能に設けられた可動支持部材と、
前記可動支持部材を上下方向へ位置調節する調節部材と、
前記可動支持部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記ユニットケースの前記開口部から前記ユニットケースの上面に対して上方向へ突出しており、基板の裏面を支持する搬送ローラと、
前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、
前記ユニットケースの前記開口部から前記ユニットケース内に空気を吸引する吸引ファンと、を備えたことを特徴とする浮上搬送装置。 - 各ローラ駆動ユニットは、
前記ユニットケース内に設けられ、支持穴が貫通して形成された支持片と、を備え、
前記調節部材は、前記支持片の前記支持穴の周縁部に上下方向へ移動可能に支持され、前記可動支持部材の一部に螺合しており、前記ユニットケースの外側から回転操作可能な調節ねじ部材であることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。 - 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に用いられるローラ駆動ユニットにおいて、
上側に開口部を有したユニットケースと、
前記ユニットケース内に上下方向へ移動可能に設けられた可動支持部材と、
前記可動支持プレートを上下方向へ位置調節する調節部材と、
前記可動支持部材に軸心周りに回転可能に設けられ、前記ユニットケースの前記開口部から前記ユニットケースの上面に対して上方向へ突出しており、基板の裏面を支持する搬送ローラと、
前記搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータと、
前記ユニットケースの前記開口部から前記ユニットケース内に空気を吸引する吸引ファンと、を備えたことを特徴とするローラ駆動ユニット。 - 前記ユニットケース内に設けられ、支持穴が貫通して形成された支持片と、を備え、
前記調節部材は、前記支持片の前記支持穴の周縁部に上下方向へ移動可能に支持され、前記可動支持部材の一部に螺合しており、前記ユニットケースの外側から回転操作可能な調節ねじ部材であることを特徴とする請求項3に記載のローラ駆動ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010054745A JP5526879B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010054745A JP5526879B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011184192A JP2011184192A (ja) | 2011-09-22 |
JP5526879B2 true JP5526879B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=44790947
Family Applications (1)
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JP2010054745A Active JP5526879B2 (ja) | 2010-03-11 | 2010-03-11 | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5526879B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN204528354U (zh) * | 2015-02-28 | 2015-08-05 | 旭精机工业株式会社 | 搬运装置及其万向球单元 |
-
2010
- 2010-03-11 JP JP2010054745A patent/JP5526879B2/ja active Active
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JP2011184192A (ja) | 2011-09-22 |
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