KR101077797B1 - 부상 반송 장치 및 부상 유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 부상(浮上) 성능을 충분히 확보하고, 대형화된 기판 W를 반송(搬送)하는 경우에, 기판 W의 평탄도를 높게 유지하면서, 기판 W의 단부와 부상 유닛(37) 등과의 간섭을 회피할 수 있는 부상 반송 장치(1)를 제공하고자 한 것으로서, 본 발명의 부상 반송 장치(1)에서는, 기판 W를 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛(11)이 지지 프레임(3)에 설치되는 동시에, 복수 개의 부상 유닛(37)이 반송 방향 및 반송 폭방향을 따라 지지 프레임(3)에 설치되어 있다. 각 부상 유닛(37)은, 상면에 공기를 분출하는 노즐(41)이 형성된 부상 유닛 본체(39)와, 부상 유닛 본체(39)의 하면 중앙에 설치되고, 또한 내부가 부상 유닛 본체(39)의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리(43)를 구비하고 있다. 여기서, 부상 유닛 다리(43)의 반송 방향의 최대 외형 치수가, 부상 유닛 본체(39)의 반송 방향의 최대 외형 치수보다 작게 되어 있다.
Figure R1020090072256
부상 반송 장치, 부상 유닛 다리, 부상 유닛 본체, 지지 프레임

Description

부상 반송 장치 및 부상 유닛{LEVITATION TRANSPORTATION DEVICE AND LEVITATION UNIT}
본 발명은, 유리 기판 등의 기판을 부상(浮上)시킨 상태에서 반송(搬送) 방향으로 반송하는 부상 반송 장치, 및 공기 등의 기체(氣體)의 압력을 이용하여 기판을 부상시키는 부상 유닛에 관한 것이다.
최근, 클린 반송의 분야에서는 부상 반송 장치에 대하여 각종의 개발이 행해지고 있고, 부상 반송 장치의 선행 기술로서 하기 특허 문헌 1에 개시된 것이 있다.
선행 기술에 관한 부상 반송 장치는, 지지 프레임을 구비하고 있고, 이 지지 프레임에는, 기판을 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛이 설치되어 있다. 또한, 지지 프레임에는, 공기의 압력을 이용하여 기판을 부상시키는 복수 개의 부상 유닛이 반송 방향 및 이 반송 방향과 직교하는 반송 폭방향을 따라 설치되어 있다. 각 부상 유닛의 상면에는, 공기를 분출하는 노즐이 형성되어 있다. 여기서, 각 부상 유닛은, 팬 등의 공기 공급원과 연통되어 있다.
따라서, 공기 공급원에 의해 각 부상 유닛 내부에 공기를 공급하여 각 부상 유닛의 노즐로부터 공기를 분출시키는 동시에, 반송 유닛을 적당히 동작시킨다. 이로써, 부상 반송 장치에 의해 기판을 부상시킨 상태에서, 기판을 반송 방향으로 반송할 수 있다.
[특허 문헌 1] 일본 공개 특허 제2006-182563호 공보
일반적으로, 복수 개의 부상 유닛의 부상 성능, 즉 부상 반송 장치 전체의 부상 성능을 충분히 확보하는 데는, 인접하는(adjacent) 부상 유닛의 간격 위쪽 부분(상부 간극)을 좁게 할 필요가 있다.
향후, 반송 대상으로서의 기판은 더욱 더 대형화되는 경향에 있다. 대형화된 기판을 반송하는 경우에, 인접하는 부상 유닛의 상부 간극을 좁게 하면, 인접하는 부상 유닛 사이에 형성되는 통로의 단면적도 작아져, 부상 유닛의 노즐로부터 분출된 공기가 기판의 외측으로 도피되기 어려워진다. 그러므로, 하방향으로부터 기판의 중앙부로 작용하는 공기의 압력이 높아져, 중앙부(기판의 중앙부)가 솟아오르도록 기판이 변형된다. 이에 따라 기판의 단부가 침하(沈下)되어, 기판의 단부와 부상 유닛 등이 간섭되어 기판의 손상이 생기기 쉬워진다.
즉, 부상 반송 장치 전체의 부상 성능을 충분히 확보하면서 대형화된 기판을 반송하는 경우, 기판의 단부와 부상 유닛 등과의 간섭을 회피하여, 기판의 손상을 억제하는 것은 곤란한 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 전술한 문제점을 해결할 수 있는, 신규한 구성의 부상 반송 장치 및 부상 유닛을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 제1 특징은, 기판을 부상시킨 상태에서 반송 방향으로 반송하는 부상 반송 장치이며, 지지 프레임과, 상기 지지 프레임에 설치되고, 기판을 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛과, 상기 반송 방향 및 상기 반송 방향과 직교하는 반송 폭방향을 따라 상기 지지 프레임에 설치되고, 기체의 압력을 이용하여 기판을 부상시키는 복수 개의 부상 유닛을 포함하고 있다. 상기 부상 유닛은, 상면에 기체를 분출하는 노즐이 형성된 부상 유닛 본체와, 상기 부상 유닛 본체의 하면에 설치되고, 또한 내부가 상기 부상 유닛 본체의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리를 각각 포함하고 있다. 상기 부상 유닛 다리의 상기 반송 방향의 최대 외형 치수는, 상기 부상 유닛 본체의 상기 반송 방향의 최대 외형 치수보다 작다. 각 부상 유닛 다리는, 기체를 공급하는 기체 공급원과 연통되어 있다.
그리고, 본원의 특허 청구의 범위 및 명세서에 있어서, 「설치되어」란, 직접적으로 설치되어 경우뿐아니라, 브래킷 등의 별도의 부재를 통하여 간접적으로 설치되는 경우도 포함한다. 또한, 「기체」란, 공기, 아르곤 가스, 질소 가스 등을 포함한다.
제1 특징에 의하면, 상기 기체 공급원에 의해 각 부상 유닛 다리의 내부에 기체를 각각 공급하여 각 부상 유닛 본체의 상기 노즐로부터 공기를 각각 분출시키는 동시에, 상기 반송 유닛을 적당히 동작시킨다. 이로써, 기판을 부상시킨 상태에서, 기판을 반송 방향으로 반송할 수 있다(상기 부상 반송 장치의 일반적인 작용).
각 부상 유닛은, 상기 부상 유닛 본체와, 상기 부상 유닛 본체의 하면에 설치되고, 또한 상기 반송 방향의 최대 외형 치수가 상기 부상 유닛 본체의 상기 반송 방향의 최대 외형 치수보다 작은 상기 부상 유닛 다리를 구비하고 있다. 그러 므로, 상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛 본체의 간격［즉, 상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛의 간격의 위쪽 부분(상부 간극)]을 좁게 해도, 상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛 다리의 간격은 넓히는 것이 가능하다. 따라서, 상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛 사이에 형성되는 통로의 단면적을 크게 확보하여, 복수 개의 상기 부상 유닛 본체(부상 유닛)의 상기 노즐로부터 분출된 기체를 기판의 외측으로 도피하기 쉽게 할 수 있다(상기 부상 반송 장치의 특유의 작용).
본 발명의 제2 특징은, 기체의 압력을 이용하여 기판을 부상시키는 부상 유닛이며, 상면에 기체를 분출하는 노즐이 형성된 부상 유닛 본체와, 상기 부상 유닛 본체의 하면에 설치되고, 내부가 상기 부상 유닛 본체의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리를 구비하고 있다. 상기 부상 유닛 다리의 유닛 길이 방향의 최대 외형 치수는, 상기 부상 유닛 본체의 상기 유닛 길이 방향의 최대 외형 치수보다 작다.
제2 특징에 의하면, 상기 부상 유닛을 복수 개 준비하여, 구성 요소로서 제1 특징의 상기 부상 반송 장치에 사용한 경우에는, 상기 부상 반송 장치의 특유의 작용과 동일한 작용이 얻어진다.
본 발명에 의하면, 상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛의 상부 간극을 좁게 해도, 상기 통로의 단면적을 크게 확보하여, 복수 개의 상기 부상 유닛의 상기 노즐로부터 분출된 기체를 기판의 외측으로 도피하기 쉽게 할 수 있다. 그러므로, 상기 부상 반송 장치의 부상 성능을 충분히 확보하면서, 대형화된 기판 을 반송하는 경우에, 기판의 평탄도를 높게 유지하면서, 기판의 단부와 상기 부상 유닛 등과의 간섭을 회피하여, 기판의 손상을 충분히 억제할 수 있다.
(제1 실시예)
본 발명의 제1 실시예에 대하여 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 도 1은, 도 2에 있어서의 I-I선에 따른 도면이다. 도 2는 제1 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다. 도 3은 도 2에 있어서의 III-III선에 따른 도면이다. 도 4는 도 2에 있어서의 화살표 IV를 나타낸 도면이다. 도 5의 (a)는, 제1 실시예에 관한 부상 유닛의 평면도이다. 도 5의 (b)는, 제1 실시예에 관한 부상 유닛의 정면도이다. 그리고, 도면 중, 「FF」는 전방향을, 「FR」는 후방향을, 「L」은 좌측 방향을, 「R」은 우측 방향을 각각 가리키고 있다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 실시예에 관한 부상 반송 장치(1)는, 예를 들면, 유리 기판 등의 기판 W를 부상시킨 상태에서, 기판 W를 반송 방향(전후 방향)으로 반송하는 장치이며, 전후방향으로 연장되는 지지 프레임(3)을 구비하고 있다. 지지 프레임(3)은, 전후방향으로 연장되는 지지대(5)와, 이 지지대(5)의 아래쪽에 일체적으로 설치된 복수 개의 지주(7)와, 복수 개의 지주(7)를 연결하는 복수 개의 보강 부재(9)를 구비하고 있다.
지지대(5)에는, 기판 W를 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛(11)(도 4 참조)이 설치되어 있다. 이 반송 유닛(11)의 구체적인 구성을 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 지지대(5)의 좌측단 에지 부근 및 우측단 에지 부 근에는, 기판 W의 끝둘레부를 지지하는 복수 개의 회전 가능한 반송 롤러(좌측 가까이의 반송 롤러(13)와 우측 가까이의 반송 롤러(13))가 브래킷(15)을 통하여 전후방향으로 간격을 따라서 설치되어 있다(도 2 및 도 4 참조). 각 반송 롤러(13)의 회전축에는, 웜 휠(17)이 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 지지대(5)의 좌우단 에지에는, 전후방향으로 연장되는 구동축(19)이 베어링 등을 통하여 회전 가능하게 각각 설치되어 있다. 각 구동축(19)은, 대응 관계에 있는 웜 휠(17)과 서로 맞물리는 복수 개의 웜(21)을 가지고 있다. 지지대(5)의 좌우 앞끝에는, 각 구동축(19)을 회전시키는 반송 모터(23)가 각각 설치되어 있다. 각 반송 모터(23)의 출력축은, 대응 관계에 있는 구동축(19)의 앞끝과 커플링 등을 통하여 일체적으로 연결되어 있다.
그리고, 2개의 구동축(19)을 2개 반송 모터(23)로 회전시키는 대신에, 1개의 반송 모터로 회전시켜도 상관없다. 또한, 복수 개의 반송 롤러(13) 및 반송 모터(23) 등을 구비한 반송 유닛(11) 대신에, 기판 W의 단부를 파지하여 전후방향으로 이동하는 클램퍼를 구비한 반송 유닛을 사용해도 상관없다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지대(5)에는, 좌우 방향(반송 방향과 직교하는 반송폭 방향)으로 뻗고, 또한 공기를 수용하는 복수 개의 챔버(25)가 설치되어 있다. 복수 개의 챔버(25)는, 간격을 두고 전후 방향(반송 방향)으로 정렬되어 있다. 각 챔버(25)는, 공기를 받아들일 수 있는 복수 개의 도입구(27)(도 1 참조)를 아래쪽에 가지고 있다. 각 챔버(25)의 상면에는, 복수 개의 관통공(29)(도 1 참조)이 형성되어 있다. 각 도입구(27)에는, 공기를 챔버(25)의 내부에 공급하는 팬(공기 공급원의 일례)(31)이 브래킷(33)을 통하여 장착되어 있다. 그리고, 전후방향으로 인접하는 챔버(25) 사이에는, 좌우방향으로 뻗고, 또한 바닥 B 측에 개구되는 개구부(35)가 형성되어 있다.
각 관통공(29)에는, 공기의 압력을 이용하여 기판 W를 부상시키는 부상 유닛(37)이 설치되어 있다. 즉, 지지대(5)에는, 복수 개의 부상 유닛(37)이 복수 개의 챔버(25)를 통하여 전후 방향 및 좌우방향을 따라 설치되어 있다. 각 부상 유닛(37)의 구체적인 구성을 설명한다.
도 1 및 도 5의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 각 부상 유닛(37)은, 중공으로 직사각형의 부상 유닛 본체(39)를 구비하고 있다. 각 부상 유닛 본체(39)의 상면에는, 공기를 분출하는 슬릿형의 노즐(41)이 형성되어 있다. 또한, 각 노즐(41)은, 부상 유닛 본체(39)의 내부와 연통되어 있고, 일본국 일본 공개 특허 제2006-182563호 공보에 나타낸 바와 같이, 수직 방향에 대하여 유닛 중심 측(부상 유닛(37)의 중심 측)으로 경사져 있다(도 5의 (b) 참조). 그리고, 슬릿형의 노즐(41) 대신에, 구멍형의 복수 개의 노즐이 형성되어도 상관없다.
각 부상 유닛 본체(39)의 하면 중앙에는, 중공(中空)이며 원통형인 부상 유닛 다리(43)가 일체적으로 형성되어 있다. 각 부상 유닛 다리(43)의 하단은, 관통공(29)의 주위 에지부에 일체적으로 연결되어 있다. 또한, 각 부상 유닛 다리(43)의 내부는, 챔버(25)의 내부와 연통되어 있다. 각 부상 유닛 다리(43)는, 챔버(25)를 통하여 팬(31)과 연통되어 있다.
각 부상 유닛 다리(43)의 전후 방향(유닛 길이 방향)의 최대 외형 치수는, 부상 유닛 본체(39)의 전후 방향의 최대 외형 치수보다 작게 되어 있다. 각 부상 유닛(37)은, 측면에서 볼 때 형상이 부상 유닛 본체(39)와 부상 유닛 다리(43)에 의해 T자 형상이 되도록 구성되어 있다(도 3 참조). 또한, 각 부상 유닛 다리(43)의 좌우 방향(유닛 폭 방향)의 최대 외형 치수도, 부상 유닛 본체(39)의 좌우 방향의 최대 외형 치수보다 작게 되어 있다. 각 부상 유닛(37)은, 정면에서 볼 때의 형상도 부상 유닛 본체(39)와 부상 유닛 다리(43)에 의해 T자 형상이 되도록 구성되어 있다(도 4 및 도 5의 (b) 참조).
이어서, 본 발명의 제1 실시예의 작용 및 효과에 대하여 설명한다.
복수 개의 팬(31)에 의해 각 챔버(25)의 내부에 공기가 공급되는 것에 의해, 각 부상 유닛 다리(43)의 내부에 공기가 공급되고, 각 부상 유닛 본체(39)의 노즐(41)로부터 공기가 분출된다. 또한, 2개의 반송 모터(23)의 구동에 의해 2개의 구동축(19)이 동기 회전되고, 웜 휠(17)과 웜(21)의 서로 맞물림에 의해 복수 개의 좌우의 반송 롤러(13)이 일방향으로 회전된다. 이로써, 부상 반송 장치(1)에 의해 기판 W를 부상시킨 상태에서, 기판 W를 전후 방향(전방향 또는 후방향)으로 반송할 수 있다(부상 반송 장치(1)의 일반적인 작용).
부상 반송 장치(1)는, 전술한 일반적인 작용 외에, 이하의 작용도 얻어진다. 각 부상 유닛(37)은, 부상 유닛 본체(39)와 부상 유닛 본체(39)의 하면 중앙에 설치되고, 또한 최대 외형 치수(전후 방향 및 좌우 방향의 최대 외형 치수)가 부상 유닛 본체(39)의 최대 외형 치수보다 작은 부상 유닛 다리(43)를 구비하고, 측면에서 볼 때 형상 및 정면에서 볼 때의 형상이 부상 유닛 본체(39)와 부상 유닛 다 리(43)에 의해 T자 형상이 되도록 구성되어 있다. 그러므로, 인접하는 부상 유닛 본체(39)(전후방향으로 인접하는 부상 유닛 본체(39), 좌우방향으로 인접하는 부상 유닛 본체(39))의 간격［즉, 인접하는 부상 유닛(37)의 간극의 위쪽 부분(상부 간극)]을 좁게 해도, 인접하는 부상 유닛 다리(43)의 간격은 펼치는 것이 가능하다. 따라서, 인접하는 부상 유닛(37) 사이에 형성되는 통로 P(도 1, 도 3, 도 4, 도 5의 (b) 참조)의 단면적을 크게 확보하여, 복수 개의 부상 유닛 본체(39)(부상 유닛(37)의 노즐(41))로부터 분출된 공기를 기판 W의 외측으로 도피하기 쉽게 할 수 있다(부상 반송 장치(1)의 특유의 작용).
따라서, 제1 실시예에 의하면, 인접하는 부상 유닛(37)의 상부 간극을 좁게 해도, 통로 P의 단면적을 크게 확보하여, 복수 개의 부상 유닛(37)의 노즐(41)로부터 분출된 공기를 기판 W의 외측으로 도피하기 쉽게 할 수 있다. 그러므로, 부상 반송 장치(1)의 부상 성능을 충분히 확보하고, 대형화된 기판 W를 반송하는 경우에, 기판 W의 평탄도를 높게 유지하면서, 기판 W의 단부(선단부를 포함함)와 부상 유닛(37) 등과의 간섭을 회피하여, 기판 W의 손상을 충분히 억제할 수 있다.
(제2 실시예)
본 발명의 제2 실시예에 대하여 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
도 6은 제2 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다. 도 7은 도 6에 있어서의 VII-VII선에 따른 도면이다. 도 8의 (a)는, 도 7에 있어서의 화살표 VIII의 확대도이다. 도 8의 (b)는, 도 8의 (a)의 측면도이다. 그리고, 도면 중, 「FF」는 전방향을, 「FR」는 후방향을, 「L」은 좌측 방향을, 「R」은 우측 방향 을 각각 가리키고 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 실시예에 관한 부상 반송 장치(45)는, 기판 W를 부상시킨 상태에서, 기판 W를 반송 방향(전후 방향)으로 반송하는 장치이며, 제1 실시예에 관한 부상 반송 장치(1)와 대략 같은 구성을 가지고 있다. 이하, 부상 반송 장치(45)의 구체적인 구성의 쳐, 부상 반송 장치(1)의 구성과 상이한 부분에 대하여 설명한다. 그리고, 부상 반송 장치(45)에 있어서의 복수 개의 구성 요소 중, 부상 반송 장치(1)에 있어서의 구성 요소와 대응하는 것에 대하여는, 도면 중에 동일 번호를 부여하여 이들 설명을 생략한다.
전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에는, 합성 수지제의 단면 ㄷ자형의 차폐판(47)이 설치되어 있다. 차폐판(47)은, 사출 성형에 의해 제작된 것이다. 또한, 차폐판(47)의 상면은, 부상 유닛 본체(39)의 상면과 대략 같은 높이, 또는 부상 유닛 본체(39)의 상면보다 약간 낮은 높이에 위치하고 있다. 차폐판(47)의 두께는, 부상 유닛 본체(39)의 높이의 1/10 이하(구체적으로는, 제2 실시예에서는 3.0mm 이하)이다. 여기서, 차폐판(47)의 두께가 부상 유닛 본체(39)의 높이의 1/10을 넘으면, 전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에 형성되는 통로 P의 단면적을 크게 확보하는 것이 곤란해 지게 된다.
차폐판(47)의 양 에지부(전후 에지부)에는, 걸어맞춤 클릭(47s)이 각각 형성되어 있다. 걸어맞춤 클릭(47s)은, 부상 유닛 본체(39)에 형성된 걸어맞춤홈(39g)에 걸어맞춤 가능하다. 즉, 차폐판(47)은, 걸어맞춤 클릭(47s)과 걸어맞춤홈(39g)를 걸어맞추거나, 걸어맞춤 클릭(47s)과 걸어맞춤홈(39g)의 걸어맞춤 상태를 해제 함으로써, 부상 유닛(37)에 대하여 장착 및 분리 가능하게 구성되어 있다.
그리고, 좌우 방향(반송폭 방향)으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에도 차폐판이 설치되어도 상관없다.
그리고, 제2 실시예에 따르면, 제1 실시예의 작용 및 효과에 더하여, 다음과 같은 작용 및 효과가 얻어진다.
전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에 차폐판(47)이 설치되고, 차폐판(47)의 두께가 부상 유닛 본체(39)의 높이의 1/10 이하이므로, 전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에 형성되는 통로 P의 단면적을 크게 확보하면서, 전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 간에 있어서, 기판 W의 부상력을 충분히 발휘하게 할 수 있다. 상세하게는, 기판 W의 선단부가 반송 방향으로 상류측의 부상 유닛(37)으로부터 다음의 하류측 부상 유닛(37)으로 이행할 때, 기판 W의 선단측의 휨이 억제될 수 있다. 그리고, 기판 W의 선단부가 상류측의 부상 유닛(37)으로부터 다음의 하류측 부상 유닛(37)으로 이행한다는 것은, 기판 W의 선단부가 상류측의 부상 유닛(37)의 위쪽 영역으로부터 다음의 하류측 부상 유닛(37)의 위쪽 영역으로 이동하는 것을 말한다.
또한, 차폐판(47)이 부상 유닛(37)에 대하여 장착 및 분리 가능하므로 길이(좌우 방향의 길이)가 상이한 복수 종류의 차폐판(47)을 미리 준비하여 둠으로써, 기판 W의 크기 등에 따라 전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에서의 기판 W의 부상력을 조절할 수 있다.
따라서, 기판 W의 선단부가 반송 방향 상류측의 부상 유닛(37)으로부터 다음 의 하류측 부상 유닛(37)으로 이행할 때, 기판 W의 선단측의 휨이 억제되므로, 기판 W의 대소에 관계없이, 기판 W의 선단부와 부상 유닛(37) 등과의 간섭을 회피하여, 기판 W의 손상을 보다 충분히 억제할 수 있다. 특히, 기판 W의 크기 등에 따라 전후방향으로 인접하는 부상 유닛(37) 사이에서의 기판 W의 부상력을 조절 가능하므로, 전술한 효과를 보다 높일 수 있다.
그리고, 본 발명은, 전술한 실시예에 한정되지 않고, 그 외에, 각종 모드로 실시 가능하다. 또한, 본 발명에 포함되는 권리 범위는 이들의 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 도 2에 있어서의 I-I선에 따른 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다.
도 3은 도 2에 있어서의 III-III선에 따른 도면이다.
도 4는 도 2에 있어서의 화살표 IV를 나타낸 도면이다.
도 5의 (a)는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 부상 유닛의 평면도, 도 5의 (b)는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 부상 유닛의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 관한 부상 반송 장치의 부분 평면도이다.
도 7은 도 6에 있어서의 VII-VII선에 따른 도면이다.
도 8의 (a)는, 도 7에 있어서의 화살표 VIII의 확대도이다.
도 8의 (b)는, 도 8의 (a)의 측면도이다.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
P: 통로
W: 기판
1: 부상 반송 장치
3: 지지 프레임
5: 지지대
11: 반송 유닛
25: 챔버
27: 도입구
29: 관통공
31: 팬
37: 부상 유닛
39: 부상 유닛 본체
41: 노즐
43: 부상 유닛 다리
45: 부상 반송 장치
47: 차폐판

Claims (10)

  1. 기판을 부상(浮上)시킨 상태에서 반송(搬送) 방향으로 반송하는 부상 반송 장치에 있어서,
    지지 프레임과,
    상기 지지 프레임에 설치되고, 상기 기판을 반송 방향으로 반송하는 반송 유닛과,
    상기 반송 방향 및 상기 반송 방향과 직교하는 반송 폭방향을 따라 상기 지지 프레임에 설치되고, 기체(氣體)의 압력을 이용하여 상기 기판을 부상시키는 복수 개의 부상 유닛을 포함하고,
    상기 부상 유닛은, 상면에 기체를 분출(噴出)하는 노즐이 형성된 부상 유닛 본체와, 상기 부상 유닛 본체의 하면에 설치되고, 또한 내부가 상기 부상 유닛 본체의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리를 각각 포함하고,
    상기 부상 유닛 다리의 상기 반송 방향의 최대 외형 치수는 상기 부상 유닛 본체의 상기 반송 방향의 최대 외형 치수보다 작고, 각 부상 유닛 다리는 기체를 공급하는 기체 공급원과 연통되어 있는, 부상 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 부상 유닛은, 상기 부상 유닛 본체와 상기 부상 유닛 다리에 의해 측면에서 볼 때 형상이 T자 형상이 되도록 구성되어 있는, 부상 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 각 부상 유닛은, 상기 부상 유닛 다리의 상기 반송 폭방향의 최대 외형 치수가 상기 부상 유닛 본체의 상기 반송 폭방향의 최대 외형 치수보다 작고, 상기 부상 유닛 본체와 상기 부상 유닛 다리에 의해 정면에서 볼 때의 형상이 T자 형상이 되도록 구성되어 있는, 부상 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반송 방향으로 인접하는 상기 부상 유닛 사이에, 차폐판을 더 포함하는, 부상 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 차폐판은 상기 부상 유닛에 대하여 장착 및 분리 가능한, 부상 반송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 지지 프레임에 설치되고, 기체를 받아들일 수 있는 도입구를 가지는 챔버를 포함하고,
    상기 각 부상 유닛 다리의 내부는 상기 챔버의 내부와 연통되고, 상기 각 부상 유닛 다리는 상기 챔버를 통하여 상기 기체 공급원과 연통되어 있는, 부상 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기체 공급원은 상기 도입구의 근방에 설치되고, 또한 상기 기체를 상기 챔버의 내부에 공급하는 팬인, 부상 반송 장치.
  8. 기체의 압력을 이용하여 기판을 부상시키는 부상 유닛에 있어서,
    상면에 기체를 분출하는 노즐이 형성된 부상 유닛 본체와,
    상기 부상 유닛 본체의 하면에 설치되고, 내부가 상기 부상 유닛 본체의 내부와 연통되는 부상 유닛 다리를 포함하고,
    상기 부상 유닛 다리의 유닛 길이 방향의 최대 외형 치수는 상기 부상 유닛 본체의 상기 유닛 길이 방향의 최대 외형 치수보다 작은, 부상 유닛.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 부상 유닛 본체와 상기 부상 유닛 다리에 의해 측면에서 볼 때 형상은 T자 형상이 되도록 구성되어 있는, 부상 유닛.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 부상 유닛 다리의 유닛 폭 방향의 최대 외형 치수는 상기 부상 유닛 본체의 상기 유닛 폭 방향의 최대 외형 치수보다 작고, 상기 부상 유닛 본체와 상기 부상 유닛 다리에 의해 정면에서 볼 때의 형상은 T자 형상이 되도록 구성되어 있는, 부상 유닛.
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JP2006182563A (ja) * 2004-12-01 2006-07-13 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 浮上装置および搬送装置

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