JP2006182563A - 浮上装置および搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース部材7と、開口部11が前記ベース部材7の上面に設けられ、物体Wが前記ベース部材7上に載置されたときに前記物体Wをほぼ一定の流体圧力で支持する領域である圧力形成部Aが形成されるように流体を噴出する流体噴出孔9とを有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る搬送装置1の概略構成を示す斜視図であり、図2は、搬送装置1の概略構成を示す平面図であり、図3は、図2におけるIII矢視を示す図である。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置50の概略構成を示す斜視図であり、図8は、図7におけるVIIIA−VIIIA断面、VIIIB−VIIIB断面を示す図であり、図4(a)に対応した図である。図9は、浮上装置50を分解した状態を示す斜視図である。
図17は、本発明の第3の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置80の概略構成を示す断面図であり、図8に対応した図である。図18は、中間部材81の概略構成を示す斜視図である。
3、50、61、80、90 浮上装置
5 搬送力付与手段
7、7a ベース部材
9、9a、9b 流体噴出孔
11 開口部
13 領域
15 ベース部材縁部
21 内側部材
23、23a 外側部材
51 突起
82 絞り要素
Claims (9)
- 平面状の部位を備えた物体を、流体を用いて浮上させる浮上装置において、
平面状の上面を備えたベース部材と;
開口部が前記ベース部材の上面に設けられ、前記物体が前記平面状の部位を下向きにして前記ベース部材上に載置されたときに、前記物体をほぼ一定の流体圧力で支持する領域である圧力形成部が形成されるように、流体を噴出する流体噴出孔と;
を有することを特徴とする浮上装置。 - 流体を用いて物体を浮上させる浮上装置において、
平面状の上面を備えたベース部材と;
開口部が前記ベース部材の上面のうちの所定の領域をほぼ囲むように前記ベース部材の上面に配置され、流体を噴出する流体噴出孔と;
を有することを特徴とする浮上装置。 - 請求項2に記載の浮上装置において、
前記流体噴出孔は、前記ベース部材の少なくとも上面近傍では、前記所定の領域の内側を向くように前記ベース部材の上面にあけられていることを特徴とする浮上装置。 - 請求項2または請求項3に記載の浮上装置において、
前記所定の領域の外側に存在している部位である前記ベース部材縁部は、狭い幅に形成されており、
上面の平面状部が1つの平面状に存在するように、前記ベース部材が水平方向に複数個並べて設けられていることを特徴とする浮上装置。 - 請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の浮上装置において、
前記流体噴出孔は、狭い幅で長く延びて環状に形成されていることを特徴とする浮上装置。 - 請求項5に記載の浮上装置において、
前記流体噴出孔は、第1の部材と第2の部材との間に形成されており、
前記第1の部材、前記第2の部材のうちの少なくとも一方の部材に設けられた突起により、前記流体噴出孔の幅が規定されるように構成されていることを特徴とする浮上装置。 - 請求項5または請求項6に記載の浮上装置において、
前記流体噴出孔には、絞り要素が設けられていることを特徴とする浮上装置。 - 請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の浮上装置と;
前記浮上装置で浮上する物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と;
を有することを特徴とする搬送装置。 - 平面状の部位を備えた物体を、流体を用いて浮上させつつ前記物体を搬送する搬送装置において、
平面状の上面を備えたベース部材と;
開口部が前記ベース部材の上面のうちの所定の領域をほぼ囲むように配置され、流体を噴出する流体噴出孔と;
前記浮上装置で浮上する物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と;
を有し、前記ベース部材が、前記物体の搬送方向で互いに近接し上面の平面状部が1つの平面状に存在するように、前記物体の搬送方向に複数個並べて設けられていると共に、前記所定の領域の外側に存在している部位である前記ベース部材の縁部は、少なくとも前記物体の搬送方向の各端部のところで狭い幅に形成されていることを特徴とする搬送装置。
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---|---|
JP (1) | JP4613800B2 (ja) |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044706A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Nihon Sekkei Kogyo Co., Ltd. | dispositif de transport d'un matériau en forme de feuille |
WO2008062831A1 (fr) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Dispositif de transport par aéroflottaison et procédé de transport à l'aide de l'air |
JP2008130892A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上搬送装置、およびエア搬送方法 |
WO2009004859A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
WO2009004882A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
WO2009004858A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
WO2009004883A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
WO2009004860A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
JP2009040598A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上搬送装置、エア浮上ユニット、エア浮上搬送方法 |
WO2009044612A1 (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
JP2009292643A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2010006545A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム |
JP2010021292A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Ihi Corp | 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム |
JP2010040790A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Olympus Corp | 基板浮上装置 |
JP2010116220A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2010120759A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
JP2010189106A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
CN101905808A (zh) * | 2009-06-02 | 2010-12-08 | 株式会社Ihi | 悬浮输送装置以及悬浮单元 |
JP2011162346A (ja) * | 2010-02-15 | 2011-08-25 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2011178529A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2011184186A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット |
JP2011201696A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び方向転換装置 |
KR101077797B1 (ko) * | 2008-08-08 | 2011-10-28 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 부상 반송 장치 및 부상 유닛 |
KR101077796B1 (ko) | 2008-08-08 | 2011-10-28 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 부상 반송 장치 |
JP2011237243A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Ihi Corp | 反り量測定装置、該反り量測定装置を有する浮上搬送コンベア、及び反り量測定方法 |
JP2012104511A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-31 | Ihi Corp | 非接触式静電チャック |
JP2013086167A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Ihi Corp | スクライブ装置 |
US20140216898A1 (en) * | 2011-08-12 | 2014-08-07 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Plate member conveying apparatus and method of conveying plate member |
KR101786800B1 (ko) * | 2016-04-27 | 2017-10-18 | 주식회사 에스에프에이 | 기판 이송장치 |
CN111989196A (zh) * | 2018-03-29 | 2020-11-24 | 塞姆科技术公司 | 夹紧装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS483984Y1 (ja) * | 1971-07-27 | 1973-01-31 | ||
JP2001010724A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置 |
JP2003523916A (ja) * | 2000-02-25 | 2003-08-12 | リビー−オーウェンズ−フォード・カンパニー | ガラス移送システム |
-
2005
- 2005-11-14 JP JP2005328674A patent/JP4613800B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS483984Y1 (ja) * | 1971-07-27 | 1973-01-31 | ||
JP2001010724A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置 |
JP2003523916A (ja) * | 2000-02-25 | 2003-08-12 | リビー−オーウェンズ−フォード・カンパニー | ガラス移送システム |
Cited By (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044706A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Nihon Sekkei Kogyo Co., Ltd. | dispositif de transport d'un matériau en forme de feuille |
TWI383937B (zh) * | 2006-10-10 | 2013-02-01 | Nihon Sekkei Kogyo Co Ltd | Sheet material handling device |
JP4896148B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2012-03-14 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送装置 |
JPWO2008044706A1 (ja) * | 2006-10-10 | 2010-02-12 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送装置 |
WO2008062831A1 (fr) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Dispositif de transport par aéroflottaison et procédé de transport à l'aide de l'air |
JP2008130892A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上搬送装置、およびエア搬送方法 |
KR101470660B1 (ko) * | 2006-11-22 | 2014-12-09 | 신포니아 테크놀로지 가부시키가이샤 | 에어 부상 반송장치 및 에어 반송방법 |
TWI458036B (zh) * | 2006-11-22 | 2014-10-21 | Shinko Electric Co Ltd | 空氣浮起搬運裝置,及空氣搬運方法 |
CN102267630A (zh) * | 2006-11-22 | 2011-12-07 | 翔风技术有限公司 | 空气浮抬运送装置和空气运送方法 |
JP2009012877A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
WO2009004858A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
JP2009012873A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2009012872A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 |
WO2009004859A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
WO2009004882A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
TWI399331B (zh) * | 2007-06-29 | 2013-06-21 | Ihi Corp | Floating handling device |
JP2009012875A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 |
WO2009004883A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
WO2009004860A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
JP2009012874A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 |
CN101715421A (zh) * | 2007-06-29 | 2010-05-26 | 株式会社Ihi | 悬浮输送装置 |
JP2009040598A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上搬送装置、エア浮上ユニット、エア浮上搬送方法 |
WO2009044612A1 (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Ihi Corporation | 浮上装置及び浮上搬送装置 |
JP2009105377A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-05-14 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
JP2009292643A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
CN102673939A (zh) * | 2008-06-09 | 2012-09-19 | 株式会社Ihi | 浮起输送装置 |
JP2010006545A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム |
JP2010021292A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Ihi Corp | 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム |
JP2010040790A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Olympus Corp | 基板浮上装置 |
KR101077797B1 (ko) * | 2008-08-08 | 2011-10-28 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 부상 반송 장치 및 부상 유닛 |
KR101077796B1 (ko) | 2008-08-08 | 2011-10-28 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 부상 반송 장치 |
JP2010116220A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2010120759A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
JP2010189106A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
CN101905808B (zh) * | 2009-06-02 | 2013-06-12 | 株式会社Ihi | 悬浮输送装置以及悬浮单元 |
CN101905808A (zh) * | 2009-06-02 | 2010-12-08 | 株式会社Ihi | 悬浮输送装置以及悬浮单元 |
JP2011162346A (ja) * | 2010-02-15 | 2011-08-25 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2011178529A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2011184186A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット |
JP2011201696A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Ihi Corp | 浮上搬送装置及び方向転換装置 |
JP2011237243A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Ihi Corp | 反り量測定装置、該反り量測定装置を有する浮上搬送コンベア、及び反り量測定方法 |
JP2012104511A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-31 | Ihi Corp | 非接触式静電チャック |
US20140216898A1 (en) * | 2011-08-12 | 2014-08-07 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Plate member conveying apparatus and method of conveying plate member |
US9114935B2 (en) * | 2011-08-12 | 2015-08-25 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Plate member conveying apparatus and method of conveying plate member |
JP2013086167A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Ihi Corp | スクライブ装置 |
KR101786800B1 (ko) * | 2016-04-27 | 2017-10-18 | 주식회사 에스에프에이 | 기판 이송장치 |
CN111989196A (zh) * | 2018-03-29 | 2020-11-24 | 塞姆科技术公司 | 夹紧装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4613800B2 (ja) | 2011-01-19 |
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JP2010173857A (ja) | 浮上搬送装置 |
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