JP2007230738A - エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】中空部2を有するアルミニュウム等の押し出し材11を、押し出し方向Xと垂直な方向に所望の長さLで切断して、中空板材12を成型する。そして、中空板材12の切断面をエア漏れ蓋3、4で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部5とエア供給口を加工成形する。
【選択図】図1
【解決手段】中空部2を有するアルミニュウム等の押し出し材11を、押し出し方向Xと垂直な方向に所望の長さLで切断して、中空板材12を成型する。そして、中空板材12の切断面をエア漏れ蓋3、4で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部5とエア供給口を加工成形する。
【選択図】図1
Description
本発明は、非接触で基板等を搬送するためのエア浮上ユニットに関し、特に、圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法に関する。
液晶基板搬送システム等においては、非接触でガラス基板等を搬送するためにエア浮上ユニットが使用されることがある。
図3は、エア浮上ユニットについて説明するための図である。図3に示すエア浮上ユニットは、エア浮上ユニットベース21と、エア浮上ユニットへ圧縮されたエア(空気)を供給するエア供給口22と、エアを分配する流路となる中空部24と、エア流量を制限する絞り部26と、絞り部26で絞られたエアを被浮上物体41とユニットとの間へ流す噴出し部25とで構成されている。
また、図4は、従来のエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。なお、図4(A)に示す断面構造は、図4(B)において一点鎖線で示すX−Y方向に切断した断面構造を示している。図4(A)に示すように、従来のエア浮上ユニットでは、箱型の器31の上に、エアを上方向に噴出す板状の上蓋32で蓋をする構造が採用されていた。
しかしながら、この従来の構造において以下の問題がある。
第1に、箱型の器31に圧縮エアを注入すると、上蓋32と箱型の器31の開口部で接する面Cでエアが漏れやすい。
第2に、エアを各噴出し部25に行き渡すため、箱型の器31は中空構造である必要があり、箱型の器31をブロック材から削りだして構成するため、加工のコストが高い。
第3に、箱型の器31と上蓋32の接する面からエアが漏れ出さないように、箱型の器31と上蓋32とを多くのネジで密着するように止める必要があるため、組立工数のコストが高くなる。
第1に、箱型の器31に圧縮エアを注入すると、上蓋32と箱型の器31の開口部で接する面Cでエアが漏れやすい。
第2に、エアを各噴出し部25に行き渡すため、箱型の器31は中空構造である必要があり、箱型の器31をブロック材から削りだして構成するため、加工のコストが高い。
第3に、箱型の器31と上蓋32の接する面からエアが漏れ出さないように、箱型の器31と上蓋32とを多くのネジで密着するように止める必要があるため、組立工数のコストが高くなる。
従って、圧縮空気の漏れを容易に低減できる構造を持つと共に、箱型の器31の中空構造を加工、組立のコストをかけずに得ることができる、エア浮上ユニットの提供が望まれていた。
なお、従来技術の空気浮上装置および空気浮上式搬送装置がある(特許文献1を参照)。この従来技術では、被浮上物が載置される壁面部材として支持用板材を用いるとともに、この板材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置している。すなわち被浮上物を支持する部材と空気を噴出させる部材とを別個に設け、被浮上物がガラス板などのように比較的広い面積で平面精度が要求されるものであっても、充分に支持することができるようにしている。また、多孔質材料よりなる空気分散部材により、空気を支持面全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることにより、例えばクリーンルーム内でガラス板を浮上させる際に、従来のように、塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、ガラス板から外れた空気噴出穴から、空気が逃げて浮上力が不足するような心配がないようにしている。
しかしながら、本発明は、エア浮上ユニットの中空部(エア流路部)からのエア漏れの問題を解決すると共に、加工コストの低減を図ることを目的としており、上記従来技術とは発明の目的と構成が異なるものである。
特開2004−345744号公報
上述したように、従来のエア浮上ユニットの構造では、箱型の器の開口部と蓋とで接する面でエアが漏れやすく、また、箱型の器をブロック材から削りだして構成するため加工のコストが高かった。また、箱型の器と蓋の接触面からエアが漏れ出さないように、多くのネジで密着するように止める必要があるため、組立工数のコスト高くなるという問題があった。
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、その目的は、圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法を提供することにある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、本発明のエア浮上ユニットは、被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットであって、エア流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さに切り出した中空板材と、前記中空板材の両断面に取り付けられ前記中空部を塞ぐエア漏れ防止蓋と、で箱状に構成されると共に、前記中空板材にエアの噴出し部とエア供給口とが加工成形されたことを特徴とする。
このような構成のエア浮上ユニットでは、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
このような構成のエア浮上ユニットでは、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
また、本発明のエア浮上ユニットは、前記押し出し材の材料がアルミニュウムであることを特徴とする。
このような構成により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
このような構成により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
また、本発明のエア浮上ユニットは、前記押し出し材の材料が樹脂であることを特徴とする。
このような構成により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
このような構成により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットの製造方法であって、エアの流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さの中空板材を切り出す第1の工程と、前記中空板材にエア噴出し部およびエア供給口を加工成形する第2の工程と、前記中空板材の両断面にエア漏れ防止蓋を取り付ける第3の工程とにより製作されることを特徴とする。
このような方法により、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
このような方法により、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、前記押し出し材がアルミニュウムであることを特徴とする。
このような方法により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
このような方法により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、前記押し出し材が樹脂であることを特徴とする。
このような方法により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
このような方法により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
従来は切削加工で形成していた中空部(エア流路)を押し出し加工で形成することにより、加工数、加工時間を減らすことができる。また、中空部を塞ぐ蓋を小さくすることでき、エア漏れを減らすと共に、蓋を止めるネジ数を削減でき、組立工数を減らすことができる。
次に本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明によるエア浮上ユニットの製造方法を説明するための図である。以下、図1を参照して、本発明のエア浮上ユニットの製造方法について説明する。
最初に、図1(A)に示すような、アルミ押し出し機で成型されたアルミ押し出し材11を用意する。このアルミ押し出し材11は、中空部2を有する形状で、矢印Xの方向に押し出し成型された板状のアルミ素材である。このアルミ押し出し材11を、所望の寸法Lで切断し、図1(B)に示すような、エア浮上ユニットの母材となる中空板材12を製作する。
そして、図1(C)に示すように、中空板材12の面上に噴出し部5の穴加工を行うと共に、背面にエア供給口(図示せず)を設けるために加工を行う。また、所望の部分に研磨等の表面処理を施す。
そして、加工終了後に、中空部2からのエア漏れを防ぐためのエア漏れ防止蓋3、4をネジ止め等の方法により取り付けることにより、エア浮上ユニットが完成する。
また、図2は、本発明によるエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。なお、図2(A)に示す断面構造は、図2(B)において一点鎖線で示すX−Y方向に切断した断面構造を示している。
図2(A)に示すように、中空板材12には、中空部2を塞ぐエア漏れ防止蓋3、4がネジ7により取り付けられている。また、中空板材12の表面には複数の噴出し部5が穴加工により設けられ、また中空板材12の裏面にはエア供給口6が設けられる。
上記構成において、エア供給口6から中空部2に圧縮されたエアが供給され、このエアは中空部2を流路として噴出し部5から外部に噴出する。
このように、本発明のエア浮上ユニット1においては、アルミの押し出し加工材から中空板材12を成形し、この中空板材12の中空部2をエア流路として利用している。このため、中空部2の形成を切削加工で行う必要がなくなり、材料費や工数を削減できる。また、中空部2を塞ぐエア漏れ防止蓋3、4も小さくでき、エア漏れを低減できると共に、蓋を止めるネジ数を削減できる。
なお、図1および図2に示した例では、アルミ押し出し加工により中空板材12を形成する例について説明したが、アルミ以外の材料(例えば、樹脂等)により中空板材を形成することもできる。また、アルミ押し出し加工以外に、鋳造により中空板材を形成することもできる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明のエア浮上ユニットは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
本発明においては、従来は切削加工で形成していた中空部(エア流路)を押し出し加工で形成することにより、エア漏れを低減すると共に、加工数、加工時間を減らす効果を奏するので、本発明は、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法等に有用である。
1…エア浮上ユニット
2…中空部
3、4…エア漏れ防止蓋
5、25…噴出し部
6、22…エア供給口
11…アルミ押し出し材
12…中空板材
21…エア浮上ユニットベース
24…中空部
26…絞り部
31…箱型の器
32…上蓋
41…被浮上物体
2…中空部
3、4…エア漏れ防止蓋
5、25…噴出し部
6、22…エア供給口
11…アルミ押し出し材
12…中空板材
21…エア浮上ユニットベース
24…中空部
26…絞り部
31…箱型の器
32…上蓋
41…被浮上物体
Claims (6)
- 被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットであって、
エア流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さに切り出した中空板材と、
前記中空板材の両断面に取り付けられ前記中空部を塞ぐエア漏れ防止蓋と、
で箱状に構成されると共に、
前記中空板材にエアの噴出し部とエア供給口とが加工成形されたこと
を特徴とするエア浮上ユニット。 - 前記押し出し材の材料がアルミニュウムであること
を特徴とする請求項1に記載のエア浮上ユニット。 - 前記押し出し材の材料が樹脂であること
を特徴とする請求項1に記載のエア浮上ユニット。 - 被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットの製造方法であって、
エアの流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さの中空板材を切り出す第1の工程と、
前記中空板材にエア噴出し部およびエア供給口を加工成形する第2の工程と、
前記中空板材の両断面にエア漏れ防止蓋を取り付ける第3の工程と
により製作されることを特徴とするエア浮上ユニットの製造方法。 - 前記押し出し材の材料がアルミニュウムであること
を特徴とする請求項4に記載のエア浮上ユニットの製造方法。 - 前記押し出し材の材料が樹脂であること
を特徴とする請求項4に記載のエア浮上ユニットの製造方法。
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