TW200808635A - Air cushion unit and production method of the same - Google Patents

Description

200808635 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明’是有關由非接觸搬運基板等用的氣浮組件， 特別是，具有降低壓縮空氣漏出的構造，並且可以降低加 工、組裝的成本的氣浮組件及氣浮組件的製造方法。 【先前技術】 Φ 液晶基板搬運系統等，爲了由非接觸搬運玻璃基板等 而使用氣浮組件。 第3圖，是說明氣浮組件用的圖。如第3圖所示的氣 浮組件，是由··氣浮組件基座2 1、及朝氣浮組件供給壓縮 的空氣之空氣供給口 22、及成爲分配空氣用流路的中空部 24、及限制空氣流量的縮徑部26、及將由縮徑部26節流 的空氣往被浮上物體4 1及組件之間流動之噴出部25所構 成。 Φ 且，第4圖，是顯示習知的氣浮組件的剖面構造的 圖。又，如第4圖（A )所示的剖面構造，是顯示以第4 圖（B )中一點鎖線的X-Y方向切斷的剖面構造。如第4 圖（A )所示，習知的氣浮組件是採用在箱型器3 1上蓋住 可讓空氣朝上方向噴出的板狀的上蓋32的構造。 但是，此習知的構造具有以下的問題。 第1，壓縮空氣注入箱型器3 1的話，在上蓋32及箱 型器31的開口部之間的接面C容易漏出空氣。 第2，因爲空氣橫跨各噴出部25進行，所以箱型器 -4 - 200808635 (2) 31需要是中空構造，因爲從箱型器3i切削成塊體材的結 構，所以加工成本高。 第3，爲了不讓空氣從箱型器31及上蓋32的接面漏 出’大多需要將箱型器31及上蓋32由螺栓密合固定，所 以組裝工時的成本高。 因此，需要提供一種氣浮組件，具有可以容易降低壓 縮空热的漏出將構造，並且箱型器31的中空構造之加 φ 工、組裝的成本不高。 又另有習知技術的氣浮裝置及氣浮式搬運裝置（參照 專利文獻1 )。在此習知技術中，使用板材作爲支撐載置 被浮上物的壁面構件用，並且在此板材的內表面，配置由 多孔質材料構成的空氣分散構件。即別個設置支撐被浮上 物的構件及噴出空氣的構件，即使被浮上物是如玻璃板等 的比較大面積且要求平面精度者，也可以充分地進行支 撐。且，藉由多孔質材料構成的空氣分散構件，並藉由使 # 空氣橫跨支撐面整體均一且少量持續地噴出，例如在無塵 室內使玻璃板浮上時，就不需如習知擔心捲起塵埃，並且 不需擔心空氣從玻璃板範圍外的噴出孔散出，而導致浮力 不足。 但是，本發明的目的，是爲了解決氣浮組件的從中空 部（空氣流路部）的空氣漏出的問題，達成加工成本的降 低，上述習知技術是與本發明的目的及構成不同。 [專利文獻1]日本特開2004-345744號公報 200808635 (3) 【發明內容】 (發明所欲解決的課題） 如上述，習知的氣浮組件的構造，箱型器的開口部及 蓋之間的接面空氣漏出容易，且，因爲從箱型器切削塊體 材的結構所以加工成本高。且，爲了使空氣不會從箱型器 * 及盍的接觸面漏出，因爲大多需要由螺检密合固定，而有 組裝工時的成本高的問題。 φ 本發明是這種問題將解決因爲在的者，其目的，是壓 縮空氣的漏出將降低構造將具有一起，加工，降低組裝的 成本的可以，氣浮組件，及氣浮組件的製造方法將提供。 (用以解決課題的手段） 本發明爲了解決上述課題，本發明的氣浮組件，是藉 由對於被浮上物體噴出壓縮空氣而浮上，其特徵爲，由： 將具有成爲空氣流路的中空部的板狀的推出材朝與壓出方 Φ 向垂直的方向切斷並切出予定的長度之中空板材、及被安 裝於前述中空板材的兩剖面供塞住前述中空部用的空氣漏 出防止蓋，構成箱狀，並且在前述中空板材加工成形空氣 的噴出部及空氣供給口。 " 在這遞結構的氣浮組件中，將具有中空部之鋁合金等 的板狀的推出材切斷成予定的長度，將中空板材加以成 型。而且，形成由空氣漏出蓋塞住中空板材的切斷面的箱 狀的構造。由此，在中空板材的表面加工成形噴出部及空 氣供給口。 -6- 200808635 (4) 由此，推出材的中空部可以利用作爲空氣流路。因 此，不需要藉由切削加工形成中空部，就可削減材料費或 工時。且，因爲塞住中空板材的切斷面的空氣漏出防止蓋 也小，所以可以降低空氣漏出，削減供固定蓋用的螺栓數 量。 且，對於本發明的氣浮組件，前述推出材的材料是金呂 合金。 _ 藉由如此結構，因爲推出材的材料爲鋁合金，由此， 加工容易’且可以製作輕量、強力、耐触性高的氣浮組 件。 且，本發明的氣浮組件，前述推出材的材料是樹脂。 藉由如此結構，因爲推出材的材料爲樹脂，由此，加 工容易，可以製作輕量的氣浮組件。 且，本發明的氣浮組件的製造方法，是藉由對於被浮 上物體噴出壓縮空氣而浮上，其特徵爲，由以下過程製 作：將具有成爲空氣流路的中空部的板狀的推出材朝與壓 出方向垂直的方向切斷並切出予定的長度之第1過程、及 在前述中空板材加工成形空氣的噴出部及空氣供給口之第 2過程、及將空儀漏出防止蓋安裝於前述中空板材的兩剖 面之第3過程。 藉由這種方法’將具有中空部之鋁合金等的板狀的推 出材切斷成予定的長度，將中空板材加以成型。而且，形 成由空氣漏出蓋塞住中空板材的切斷面的箱狀的構造。由 此，在中空板材的表面加工成形噴出部及空氣供給口。 200808635 (5) 由此，推出材的中空部可以利用作爲空氣流路。因 此，不需要藉由切削加工形成中空部，就可削減材料費或 工時。且’因爲塞住中空板材的切斷面的空氣漏出防止蓋 也小，所以可以降低空氣漏出，削減供固定蓋用的螺栓數 量。 • 且’本發明的氣浮組件的製造方法，前述推出材是鋁 合金。 φ 藉由這種方法，因爲推出材的材料爲鋁合金，由此， 加工容易，且可以製作輕量、強力、耐餽性高的氣浮組 件。 且’本發明的氣浮組件的製造方法，前述推出材是樹 藉由這種方法，因爲推出材的材料爲樹脂，由此，加 工容易，可以製作輕量的氣浮組件。 φ (發明之效果） 藉由將習知的由切削加工所形成的中空部（空氣流 路）由推出加工形成，就可以減少加工數、加工時間。 且，可以縮小供塞住中空部用的蓋，並減少空氣漏出，削 ' 減供固定蓋用的螺栓數量，可以減少組裝工時。 【實施方式】 接著參照圖面說明本發明的最良的實施形態。 第1圖，是說明本發明的氣浮組件的製造方法用的 -8- 200808635 (6) 圖。以下，參照第1圖，說明本發明的氣浮組件的製造方 法。 最初，如第1圖（A)所示，準備由鋁推出機成型的 銘推出材11。此錫推出材11，是具有中空部2的形狀， 朝箭頭X的方向被推出成型的板狀的鋁素材。將此鋁推出 材1 1切斷予定的尺寸1^，如第1圖（8)所示，製作成爲 热浮組件的母材的中空板材12。 而且，如第1圖（C )所示，中空板材12的面上進行 噴出部5的孔加工，並且在裏面加工形成空氣供給口（無 圖示）。且，在予定的部分施加硏磨等的表面處理。 而且，加工終了後，藉由螺固等的方法安裝供防止空 氣從中空部2漏1出用的空氣漏出防止蓋3、4，完成氣浮組 件。 且’第2圖，是顯示本發明的氣浮組件的剖面構造的 圖。又’如第2圖（A)所示的剖面構造，是顯示第2圖 (B )的一點鎖線的X-Y方向的剖面構造。 如第2圖（A)所示，在中空板材12中，塞住中空部 2用的空氣漏出防止蓋3、4是藉由螺栓7被安裝。且，在 中空板材1 2的表面藉由孔加工形成複數噴出部5，且在中 空板材1 2的背面形成空氣供給口 6。 在上述結構，從空氣供給口 6朝中空部2供給壓縮空 氣’此空氣是將中空部2作爲流路從噴出部5朝外部噴 出。 如此’在本發明的氣浮組件1，是由鋁的推出加工材 -9- 200808635 (7) 將中空板材12加以成形，並將此中空板材12的中空部2 利用作爲空氣流路。因此，中空部2的形成不需要由切削 加工進行，可以削減材料費或工時。且，塞住中空部2的 空氣漏出防止蓋3、4也小，可以降低空氣漏出，並且可 以削減供固定蓋用的螺栓數量。 又，第1圖及第2圖所示的例中，雖說明藉由鋁推出 加工形成中空板材12的例，但是藉由鋁以外的材料（例 φ 如樹脂等）形成中空板材也可以。且，除了鋁推出加工以 外，藉由鑄造形成中空板材也可以。 以上，雖說明本發明的實施例，但是本發明的氣浮組 件，不只有限定於上述的圖示例，未脫離本發明的實質範 圍內當然可進行各種變更。 [產業上的利用可能性] 本發明，藉由將習知的切削加工所形成的中空部（空 氣流路）推出加工形成’就可降低空氣漏出，並且因爲可 達成減少加工數、加工時間的效果，所以本發明對於氣浮 組件及氣浮組件的製造方法等是有用的。 【圖式簡單說明】 [第1圖]說明本發明的氣浮組件的製造方法用的圖。 [第2圖]顯示本發明的氣浮組件的剖面構造的圖。 [第3圖]氣浮組件說明用的圖。 [第4圖]顯示習知的氣浮組件的剖面構造的圖。 -10- 200808635 (8) 【圖式簡單說明】 1 :氣浮組件 2 :中空部 3，4 :空氣漏出防止蓋 5 :噴出部 6 :空氣供給口 7 :螺栓 1 1 :鋁推出材 1 2 :中空板材 2 1 :氣浮組件基座 22 :空氣供給口 2 4 :中空部 25 :噴出部 26 :縮徑部 3 1 :箱型器 3 2 :上蓋 4 1 :被浮上物體 -11

Claims (1)

1. 200808635 (1) 十、申請專利範圍 1 ·—種氣浮組件，是藉由對於被浮上物體噴出壓縮空 氣而浮上，其特徵爲，由： 將具有成爲空氣流路的中空部的板狀的推出材朝與壓 出方向垂直的方向切斷並切出予定的長度之中空板材、及 ^ 被安裝於前述中空板材的兩剖面供塞住前述中空部用的空 氣漏出防止蓋，構成箱狀， φ 並且在前述中空板材加工成形空氣的噴出部及空氣供 給口。 2 ·如申請專利範圍第1項的氣浮組件，其中，前述推 出材的材料是鋁合金。 3 ·如申請專利範圍第1項的氣浮組件，其中，前述推 出材的材料是樹脂。 4·一種氣浮組件的製造方法，是藉由對於被浮上物體 噴出壓縮空氣而浮上，其特徵爲，由以下過程製作： # 將具有成爲空氣流路的中空部的板狀的推出材朝與壓 垂直的方向切斷並切出予定的長度之中空板材之第 1過程、及 在前述中空板材加工成形空氣的噴出部及空氣供給口 • 之第2過程、及 將空氣漏出防止蓋安裝於前述中空板材的兩剖面之第 3過程。 5 .如申請專利範圍第4項的氣浮組件的製造方法，其 中’前述推出材的材料是鋁合金。 -12- 200808635 (2) 6·如申請專利範圍第4項的氣浮組件的製造方法，其 中，前述推出材的材料是樹脂。

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