JP2004179580A - 板状部材の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】板状部材に塵や傷を発生させることなく、生産性を高く維持しつつ少ないエアー量で搬送可能な板状部材の搬送装置を提供する。
【解決手段】上面が平面状で気体の通過する多孔材11を設け、圧力気体の送り込まれる本体10の上部に多孔材11を取り付け、多孔材11を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって多孔材11の平面と対面する板状部材1を浮遊させるようにし、多孔材11に隣接する遮蔽板9を設けた。これによって多孔材11から噴出した気体が板状部材に沿って流れ、遮蔽板9の上面にも気体層が形成され、少ない気体流量で大きな浮上力を得ることができる。
【選択図】図2
【解決手段】上面が平面状で気体の通過する多孔材11を設け、圧力気体の送り込まれる本体10の上部に多孔材11を取り付け、多孔材11を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって多孔材11の平面と対面する板状部材1を浮遊させるようにし、多孔材11に隣接する遮蔽板9を設けた。これによって多孔材11から噴出した気体が板状部材に沿って流れ、遮蔽板9の上面にも気体層が形成され、少ない気体流量で大きな浮上力を得ることができる。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの薄い板状部材の搬送に用いられるもので、板状部材の製造工程間の搬送や板状部材の洗浄装置に用いられるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の板状部材の搬送装置で、例えば半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルを搬送しながら洗浄するような装置として特許文献1に示されるようなものがある。これはガラスパネルを保持しながら洗浄水を掛けて洗浄しつつ搬送するものである。
【0003】
【特許文献1】
特許公開平成10年第158866号
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどは極めて小さな塵が付着していても重大な不良となるが、上記のような従来の板状部材の搬送装置はガラスパネルをローラコンベアで搬送するようにしているため、ローラコンベアに塵が付着していると、その塵がガラスパネルの表面に付着する可能性がある。さらに場合によってはローラコンベア自身も被搬送物と接触しているため、塵を発生する可能性がある。
【0005】
またローラコンベアによってガラスパネル等の板状部材が搬送される場合、板状部材の端部が1つのローラから次のローラに移る時に衝撃を受ける。従って、ガラスパネル等の運搬速度をある程度以上にすることができない。このため生産性をあるレベルから上げることが困難であった。
【0006】
特に液晶表示装置は精細度が年々上がっており、精細度を上げるためにガラスパネルを薄くしなければならない。さらに液晶表示装置の大画面化が益々進んでおり、ガラスパネルは薄くかつ広くなっている。これに伴ってガラスパネルは衝撃に対して弱くなり、生産性を上げることが益々困難になっている。
【0007】
上記の従来の搬送装置を洗浄装置に応用した場合、ガラスパネルの裏面をローラコンベアで支えているために、ガラスパネルの表面しか洗浄することができない。このためにガラスパネルの裏面を洗浄する場合には、ガラスパネルを反転する必要がある。しかしながら最近多用されているガラスパネルの代表的なものとして、厚さ0.7mmで縦800mm、横1100mmのものがある。
【0008】
このように薄くて広いガラスパネルの両端を把持して持ち上げると、中心部が撓みによって40mm程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネルを反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置を必要とする。
【0009】
さらに最近の液晶表示装置用のガラスパネルは、その端部付近まで回路が構成されており、把持することができる部分が極めて小さくなってきており、上記のような反転の作業が益々困難になっている。
【0010】
このため、特許文献1に示されるような板状部材の搬送装置が開発された。これは上記の欠点を解消するものであり、生産性の向上に多大な寄与をしている。しかしながら、このような板状部材の搬送装置は板状部材の浮上にエアーを用いており、このエアーとして極めて清浄度の高いものが要求される。
【0011】
本発明は以上のような問題点を解消するものであり、板状部材に塵や傷を発生させることなく、生産性を高く維持しつつ少ないエアー量で搬送可能な板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上面に平面を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に多孔材を取り付け、多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、多孔材から噴出し板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、少なくとも1つの平面部を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に前記多孔材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって前記平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、前記多孔材から噴出し前記板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けたものであり、多孔材を通して噴出する圧力気体によって多孔材との対面部分だけでなく遮蔽板との対面部分でも浮上力が発生するという作用を有する。
【0014】
【実施例】
以下本発明の板状部材の搬送装置の実施例1について図面に沿って詳細に説明する。図1は本発明の板状部材の搬送装置の実施例1における平面図、図2は同前面図である。
【0015】
図1、図2において1は被搬送物の板状部材である。2,3はコンベアであり、多数の搬送ローラ4、5が設けられている。そして、搬送ローラ4,5が板状部材1の両端部6にのみ接するようにコンベア2,3は互いに対向するように一対設けられている。
【0016】
7は浮上装置であり、直線状に多数配置された個体ユニット8よりなる。つまり個体ユニット8は直線状に多数配置され、図1の例ではその直線状に配置された列が2列形成されている。この例では2本の列となっているが、被搬送物である板状部材の大きさによっては、2列以上必要に応じて設ける。
【0017】
各個体ユニット8は図2及び図4に示すようにカップ状の本体10と、その開口上端を塞ぐように取り付けられた多孔材11と、本体内部へ圧力気体を供給するパイプ12よりなる。多孔材11は通気性のある平板状であり、その上面が水平になるように取り付けられる。
【0018】
また多孔材11の例としては多孔質無機材料であるアルミナを含有する多孔性セラミックス焼結体を用いることができる。この焼結体は酸化することなく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によって孔の径や分布を調整することができる。多孔材11はこれ以外にシリカ、チタニア、マグネシア、カルシア、イットニアを含む材料でもよい。
【0019】
これ以外に多孔材11として多孔質有機材料であるポリエチレン、ポリプロピレン、オレフェン系樹脂、フッ化エチレン等の合成樹脂の多孔質体を用いることができる。これらの合成樹脂は化学的に安定であり、酸やアルカリに対する耐薬品性が高い。
【0020】
9は遮蔽板でステンレスなどの金属板よりなり、搬送ローラ5と多孔板11の列との間、多孔板11の列と列との間及び多孔板11の列と搬送ローラ4との間に設置される。また遮蔽板9は、上面が水平で多孔材11の上面と平行である。
【0021】
そして遮蔽板9の上面と多孔板11の上面とは高さが一致しているか遮蔽板9の上面が多孔板11の上面とほぼ同一の高さである。このほぼ同一の高さとは、多孔板11から噴出した空気によって多孔板11の上面と板状部材1の裏面との間に形成される空気ベアリングだけでなく、多孔板11から噴出した空気によって遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面との間にも空気ベアリングが形成される程度の高さの差を言う。
【0022】
本発明の搬送装置の実施例1のものは以上のように構成され、以下その動作について説明する。先ず、パイプ12より圧力空気を供給すると、本体10内部に圧力空気が満たされ本体10内の圧力が上昇し、次いで多孔材11を圧力空気が通り抜け多孔材11の上面より噴出する。ここで圧力空気と記載したが、空気以外に窒素などの気体を用いることができる。
【0023】
この時に多孔材11の上に板状部材1が位置していると多孔材11と板状部材1との間に空気層が形成され、溢れた空気が板状部材1伝いに遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面との間の空間に回り込んで、この部分にも空気層が形成される。この結果、多孔材11の上面と遮蔽板9の上が設けられている面全域に空気層が形成され、板状部材1が空気層の上に浮かんだ状態となる。つまり空気層によって板状部材1を浮遊させるエアーベアリングが形成される。
【0024】
従って、板状部材1は無接触状態で多孔材11と遮蔽板9の上に浮遊し、極めて摩擦の小さな状態となる。またこの状態でも板状部材1の両端部に搬送ローラ4,5が接するようにすると搬送ローラ4,5の回転駆動力で板状部材1は水平に移動する。搬送ローラ4,5の回転を止めると、板状部材1の移動も停止する。
【0025】
この板状部材1は浮上状態では摩擦は極めて小さいため、板状部材1はローラ4,5に軽く接触する状態でも十分な搬送力を得ることができる。そして板状部材1が搬送ローラ4,5に軽く接触する状態であるため、接触によって塵が発生することはない。
【0026】
ここで板状部材1と搬送ローラ4,5との接触力は、多孔材11の上面と搬送ローラ4,5の位置関係や多孔材11から噴出する圧力空気の圧力によって調節することができる。従って、この調節によって搬送力が十分確保される範囲でできるだけ小さな接触圧になるようにする。
【0027】
本発明のものは遮蔽板9の無い従来のものと比較して、遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面に形成された空気層によっても板状部材1を浮上させるため、少ない圧力空気によって大きな浮上力を得ることができる。
【0028】
次に本発明の実施例2について説明する。図3は本発明の板状部材の搬送装置の実施例1における平面図、図4は同前面図である。上記の実施例1のものと板状部材1、コンベア2,3、搬送ローラ4,5、板状部材の両端部6、浮上装置7、個体ユニット8、本体10、多孔材11については同じ構成であり同一の番号を付与し、冗長性を避けるため重複説明を省略し、相違点のみ説明する。
【0029】
12は実施例2の遮蔽板であり、複数の開口13を有している。この開口13に空気を送るように遮蔽板12の裏面にチャンバー14を設ける。板状部材1が遮蔽板12との対向部分で下がっている場合、つまりこの部分で空気層の圧が低い場合は、ファン15によってチャンバー14に空気を送るようにする。
【0030】
反対に板状部材1が遮蔽板12との対向部分で上がっている場合、つまりこの部分で空気層の圧が高い場合は、ファン15によってチャンバー14内の空気を吸引するようにする。このようにして空気層の圧力バランスを調整し、板状部材1全体の浮上したときの面精度をだし、板状部材1の全ての部分で搬送面と平行にすることができる。
【0031】
これによって板状部材1がうねりを生じることを防止でき、板状部材1を完全に平面状にすることができる。よって板状部材1として液晶パネルであった場合その加工に精密性が要求されるが、こういう場合であっても本発明の装置に載置した状態で板状部材1の加工を行うことができる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように本発明の板状部材の搬送装置は、遮蔽板を設けているために多孔材と被搬送物である板状部材との間だけでなく、遮蔽板と板状部材との間にも気体層が形成され、よって多孔材から噴出する圧力気体が少なくても十分な浮上力を発揮することができる。
【0033】
これによって、圧力気体の量が少なくて済むために例えばクリーンルーム内で圧力気体の噴出に伴う塵の巻き上げが少なく、板状部材の不良率を減少することができる。
【0034】
また本発明の実施例2のものにあっては、板状部材の遮蔽板との対向部分で浮上量を制御可能であるため、板状部材が薄く広いものであっても、その平面度を確保することができ、精密加工などに対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例1を示す上面図である。
【図2】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例1を示す前面図である。
【図3】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例2を示す上面図である。
【図4】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例2を示す前面図である。
【符号の説明】
1 板状部材
2、3 コンベア
4、5 搬送ローラー
6 板状部材の両端部
7 浮上装置
8 個体ユニット
9 遮蔽板
10 本体
11 多孔材
12 遮蔽板
13 穴
14 チャンバー
15 ファン
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの薄い板状部材の搬送に用いられるもので、板状部材の製造工程間の搬送や板状部材の洗浄装置に用いられるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の板状部材の搬送装置で、例えば半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルを搬送しながら洗浄するような装置として特許文献1に示されるようなものがある。これはガラスパネルを保持しながら洗浄水を掛けて洗浄しつつ搬送するものである。
【0003】
【特許文献1】
特許公開平成10年第158866号
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
半導体ウェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどは極めて小さな塵が付着していても重大な不良となるが、上記のような従来の板状部材の搬送装置はガラスパネルをローラコンベアで搬送するようにしているため、ローラコンベアに塵が付着していると、その塵がガラスパネルの表面に付着する可能性がある。さらに場合によってはローラコンベア自身も被搬送物と接触しているため、塵を発生する可能性がある。
【0005】
またローラコンベアによってガラスパネル等の板状部材が搬送される場合、板状部材の端部が1つのローラから次のローラに移る時に衝撃を受ける。従って、ガラスパネル等の運搬速度をある程度以上にすることができない。このため生産性をあるレベルから上げることが困難であった。
【0006】
特に液晶表示装置は精細度が年々上がっており、精細度を上げるためにガラスパネルを薄くしなければならない。さらに液晶表示装置の大画面化が益々進んでおり、ガラスパネルは薄くかつ広くなっている。これに伴ってガラスパネルは衝撃に対して弱くなり、生産性を上げることが益々困難になっている。
【0007】
上記の従来の搬送装置を洗浄装置に応用した場合、ガラスパネルの裏面をローラコンベアで支えているために、ガラスパネルの表面しか洗浄することができない。このためにガラスパネルの裏面を洗浄する場合には、ガラスパネルを反転する必要がある。しかしながら最近多用されているガラスパネルの代表的なものとして、厚さ0.7mmで縦800mm、横1100mmのものがある。
【0008】
このように薄くて広いガラスパネルの両端を把持して持ち上げると、中心部が撓みによって40mm程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネルを反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置を必要とする。
【0009】
さらに最近の液晶表示装置用のガラスパネルは、その端部付近まで回路が構成されており、把持することができる部分が極めて小さくなってきており、上記のような反転の作業が益々困難になっている。
【0010】
このため、特許文献1に示されるような板状部材の搬送装置が開発された。これは上記の欠点を解消するものであり、生産性の向上に多大な寄与をしている。しかしながら、このような板状部材の搬送装置は板状部材の浮上にエアーを用いており、このエアーとして極めて清浄度の高いものが要求される。
【0011】
本発明は以上のような問題点を解消するものであり、板状部材に塵や傷を発生させることなく、生産性を高く維持しつつ少ないエアー量で搬送可能な板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上面に平面を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に多孔材を取り付け、多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、多孔材から噴出し板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、少なくとも1つの平面部を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に前記多孔材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって前記平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、前記多孔材から噴出し前記板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けたものであり、多孔材を通して噴出する圧力気体によって多孔材との対面部分だけでなく遮蔽板との対面部分でも浮上力が発生するという作用を有する。
【0014】
【実施例】
以下本発明の板状部材の搬送装置の実施例1について図面に沿って詳細に説明する。図1は本発明の板状部材の搬送装置の実施例1における平面図、図2は同前面図である。
【0015】
図1、図2において1は被搬送物の板状部材である。2,3はコンベアであり、多数の搬送ローラ4、5が設けられている。そして、搬送ローラ4,5が板状部材1の両端部6にのみ接するようにコンベア2,3は互いに対向するように一対設けられている。
【0016】
7は浮上装置であり、直線状に多数配置された個体ユニット8よりなる。つまり個体ユニット8は直線状に多数配置され、図1の例ではその直線状に配置された列が2列形成されている。この例では2本の列となっているが、被搬送物である板状部材の大きさによっては、2列以上必要に応じて設ける。
【0017】
各個体ユニット8は図2及び図4に示すようにカップ状の本体10と、その開口上端を塞ぐように取り付けられた多孔材11と、本体内部へ圧力気体を供給するパイプ12よりなる。多孔材11は通気性のある平板状であり、その上面が水平になるように取り付けられる。
【0018】
また多孔材11の例としては多孔質無機材料であるアルミナを含有する多孔性セラミックス焼結体を用いることができる。この焼結体は酸化することなく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によって孔の径や分布を調整することができる。多孔材11はこれ以外にシリカ、チタニア、マグネシア、カルシア、イットニアを含む材料でもよい。
【0019】
これ以外に多孔材11として多孔質有機材料であるポリエチレン、ポリプロピレン、オレフェン系樹脂、フッ化エチレン等の合成樹脂の多孔質体を用いることができる。これらの合成樹脂は化学的に安定であり、酸やアルカリに対する耐薬品性が高い。
【0020】
9は遮蔽板でステンレスなどの金属板よりなり、搬送ローラ5と多孔板11の列との間、多孔板11の列と列との間及び多孔板11の列と搬送ローラ4との間に設置される。また遮蔽板9は、上面が水平で多孔材11の上面と平行である。
【0021】
そして遮蔽板9の上面と多孔板11の上面とは高さが一致しているか遮蔽板9の上面が多孔板11の上面とほぼ同一の高さである。このほぼ同一の高さとは、多孔板11から噴出した空気によって多孔板11の上面と板状部材1の裏面との間に形成される空気ベアリングだけでなく、多孔板11から噴出した空気によって遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面との間にも空気ベアリングが形成される程度の高さの差を言う。
【0022】
本発明の搬送装置の実施例1のものは以上のように構成され、以下その動作について説明する。先ず、パイプ12より圧力空気を供給すると、本体10内部に圧力空気が満たされ本体10内の圧力が上昇し、次いで多孔材11を圧力空気が通り抜け多孔材11の上面より噴出する。ここで圧力空気と記載したが、空気以外に窒素などの気体を用いることができる。
【0023】
この時に多孔材11の上に板状部材1が位置していると多孔材11と板状部材1との間に空気層が形成され、溢れた空気が板状部材1伝いに遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面との間の空間に回り込んで、この部分にも空気層が形成される。この結果、多孔材11の上面と遮蔽板9の上が設けられている面全域に空気層が形成され、板状部材1が空気層の上に浮かんだ状態となる。つまり空気層によって板状部材1を浮遊させるエアーベアリングが形成される。
【0024】
従って、板状部材1は無接触状態で多孔材11と遮蔽板9の上に浮遊し、極めて摩擦の小さな状態となる。またこの状態でも板状部材1の両端部に搬送ローラ4,5が接するようにすると搬送ローラ4,5の回転駆動力で板状部材1は水平に移動する。搬送ローラ4,5の回転を止めると、板状部材1の移動も停止する。
【0025】
この板状部材1は浮上状態では摩擦は極めて小さいため、板状部材1はローラ4,5に軽く接触する状態でも十分な搬送力を得ることができる。そして板状部材1が搬送ローラ4,5に軽く接触する状態であるため、接触によって塵が発生することはない。
【0026】
ここで板状部材1と搬送ローラ4,5との接触力は、多孔材11の上面と搬送ローラ4,5の位置関係や多孔材11から噴出する圧力空気の圧力によって調節することができる。従って、この調節によって搬送力が十分確保される範囲でできるだけ小さな接触圧になるようにする。
【0027】
本発明のものは遮蔽板9の無い従来のものと比較して、遮蔽板9の上面と板状部材1の裏面に形成された空気層によっても板状部材1を浮上させるため、少ない圧力空気によって大きな浮上力を得ることができる。
【0028】
次に本発明の実施例2について説明する。図3は本発明の板状部材の搬送装置の実施例1における平面図、図4は同前面図である。上記の実施例1のものと板状部材1、コンベア2,3、搬送ローラ4,5、板状部材の両端部6、浮上装置7、個体ユニット8、本体10、多孔材11については同じ構成であり同一の番号を付与し、冗長性を避けるため重複説明を省略し、相違点のみ説明する。
【0029】
12は実施例2の遮蔽板であり、複数の開口13を有している。この開口13に空気を送るように遮蔽板12の裏面にチャンバー14を設ける。板状部材1が遮蔽板12との対向部分で下がっている場合、つまりこの部分で空気層の圧が低い場合は、ファン15によってチャンバー14に空気を送るようにする。
【0030】
反対に板状部材1が遮蔽板12との対向部分で上がっている場合、つまりこの部分で空気層の圧が高い場合は、ファン15によってチャンバー14内の空気を吸引するようにする。このようにして空気層の圧力バランスを調整し、板状部材1全体の浮上したときの面精度をだし、板状部材1の全ての部分で搬送面と平行にすることができる。
【0031】
これによって板状部材1がうねりを生じることを防止でき、板状部材1を完全に平面状にすることができる。よって板状部材1として液晶パネルであった場合その加工に精密性が要求されるが、こういう場合であっても本発明の装置に載置した状態で板状部材1の加工を行うことができる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように本発明の板状部材の搬送装置は、遮蔽板を設けているために多孔材と被搬送物である板状部材との間だけでなく、遮蔽板と板状部材との間にも気体層が形成され、よって多孔材から噴出する圧力気体が少なくても十分な浮上力を発揮することができる。
【0033】
これによって、圧力気体の量が少なくて済むために例えばクリーンルーム内で圧力気体の噴出に伴う塵の巻き上げが少なく、板状部材の不良率を減少することができる。
【0034】
また本発明の実施例2のものにあっては、板状部材の遮蔽板との対向部分で浮上量を制御可能であるため、板状部材が薄く広いものであっても、その平面度を確保することができ、精密加工などに対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例1を示す上面図である。
【図2】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例1を示す前面図である。
【図3】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例2を示す上面図である。
【図4】本発明の板状部材の浮上搬送装置の実施例2を示す前面図である。
【符号の説明】
1 板状部材
2、3 コンベア
4、5 搬送ローラー
6 板状部材の両端部
7 浮上装置
8 個体ユニット
9 遮蔽板
10 本体
11 多孔材
12 遮蔽板
13 穴
14 チャンバー
15 ファン
Claims (7)
- 少なくとも1つの平面部を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に前記多孔材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって前記平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、前記多孔材から噴出し前記板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けた板状部材の搬送装置。
- 多孔材は複数である請求項1記載の板状部材の搬送装置。
- 遮蔽板は多孔材と多孔材との間に設けられている請求項2記載の板状部材の搬送装置。
- 多孔材から噴出する圧力気体によって浮上した板状部材の両端が接触するローラを設けた請求項1記載の板状部材の搬送装置。
- 遮蔽板は多孔材とローラとの間に設けられた請求項4記載の板状部材の搬送装置。
- 遮蔽板には開口が設けられ、この開口より圧力気体が噴出するようにした請求項1記載の板状部材の搬送装置。
- 遮蔽板には開口が設けられ、この開口より気体を吸引するようにした請求項1記載の板状部材の搬送装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002346785A JP2004179580A (ja) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | 板状部材の搬送装置 |
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JP2002346785A JP2004179580A (ja) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | 板状部材の搬送装置 |
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