KR100928642B1 - 안정성이 뛰어난 비접촉 반송플레이트 - Google Patents

안정성이 뛰어난 비접촉 반송플레이트 Download PDF

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Abstract

반송플레이트의 상부면상에 에어가 머무를 수 있는 공간을 형성하여 피반송체의 충격완화, 압력조절 및 슬라이딩 능력을 배가시킬 수 있는 안정성이 뛰어난 비접촉식 반송플레이트가 개시된다. 본 발명에 따른 반송플레이트는 에어가 분출되는 상판의 상부면상에는 다수의 차징홈이 폭방향으로 관통되게 형성된다. 이때, 차징홈은 상판의 중앙선을 기점으로 양측에 지그재그 형상으로 형성되어 안정성 및 부상능력을 더 높일 수 있다. 또한, 상판의 중앙선상에는 차징홈들이 연통되도록 관통공이 형성되어 압력조절을 할 수 있게 된다.

Description

안정성이 뛰어난 비접촉 반송플레이트{Noncontact conveying plate}
본 발명은 비접촉식 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반송플레이트의 상부면상에 에어가 머무를 수 있는 공간을 형성하여 반송시 안정성을 높일 수 있는 반송플레이트에 관한 것이다.
일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.
이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.
종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.
전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있다.
비접촉식 반송 플레이트의 구성을 간략하게 살펴보면, 도 1에서 보는 바와 같이 내부에 에어의 흐름을 안내하는 챔버가 형성된 하판(10)과, 하판(10)의 상부에 결합되어 챔버로 유입되는 압축에어를 분출하는 에어홀(21)을 갖는 상판(20)으로 구성된다. 즉, 하판(10)의 하부에는 압축에어를 인가시키기 위한 에어커넥터(11)가 형성되고, 이 압축에어를 챔버에서 각 라인으로 분기시켜 상판(20)의 에어홀(21)로 분출시키게 되는 것이다. 따라서 상판(20)위에 얹혀진 글라스가 일정 높이로 부상되어 비접촉식 반송되게 된다.
그러나 이와 같은 대부분의 반송플레이트는 부상높이라든가 에어소모량 등과 같은 부분에서만 개선을 시키게 되는데, 이보다 더 개선되어야 할 부분은 피반송체의 떨림에 의한 변위량을 감소시키는 것이다.
피반송체의 떨림에 의한 변위량이 크면 클수록 이 변위량에 따른 측정 카메라의 감도가 높아져야 하므로 작은 수치의 변화라 할지라도 카메라의 구비력을 비 교한다면 어마어마한 설비비를 절감할 수 있는 것이다.
또한, 변위량을 줄이는 것은 검사품질을 높일 수 있는 것이므로 반드시 해결해야될 과제가 되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 부응하기 위해 안출된 것으로, 반송플레이트의 상부면상에 에어가 머무를 수 있는 공간을 형성하여 피반송체의 충격완화 및 슬라이딩 능력을 배가시킬 수 있는 안정성이 뛰어난 비접촉식 반송플레이트를 제공하는데 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명은,
상판의 상측으로 에어가 분출되어 피반송체를 부상시키는 비접촉식 반송플레이트에 있어서,
상판의 상부면상에는 다수의 차징홈이 폭방향으로 관통되게 형성됨을 특징으로 하는 안정성이 뛰어난 비접촉식 반송플레이트를 제공한다.
이때, 차징홈은 상판의 중앙선을 기점으로 양측에 지그재그 형상으로 형성됨이 바람직하다.
또한, 상판의 중앙선상에는 차징홈들이 연통되도록 관통공이 형성됨이 더욱 바람직하다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 반송플레이트는 상부면상에 에어가 머무를 수 있는 차징홈을 형성함으로써, 차징홈에 담겨진 에어에 의해 피반송체의 완충작용을 도모할 수 있게 되어 안정성이 뛰어나게 된다.
또한, 차징홈에 담겨진 에어가 롤러 역할을 하게 되어 피반송체의 슬라이딩 능력을 배가시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 안정성이 뛰어난 비접촉식 반송플레이트를 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이다.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 일반적인 반송용 플레이트에서 피반송체가 올려지면서 부상되는 상판(110)에 차징홈(112)이 형성되는 것이 특징이다.
이러한 차징홈(112)은 상판(110)의 길이방향에 수직하게(상판의 폭방향으로) 형성된다.
일단, 차징홈(112)이 형성됨으로써, 피반송체에 미치는 영향에 대해 설명하기로 한다.
일반적으로, 피반송체가 상판과 맞닿게 되면, 상판에서 분출되는 고압의 에어에 의해 상판과 피반송체의 사이에 에어가 차이면서 피반송체가 부상되고, 부상된 상태에서 외부의 운반레일이 피반송체를 이동시키게 된다.
도 3은 본 발명의 차징홈이 형성된 상태에서 피반송체가 이동되는 모습을 나타낸 측면도이고, 도 4는 도 3의 A부분 확대도이다.
도 3에서 보는 바와 같이 상판(110)에 에어가 분출되면, 에어(Air)는 상부로도 분출되지만, 상판(110)의 표면을 따라 흐르다가 차징홈(112)내에 차이게 되고, 차징홈(112)에는 기류의 영향으로 인해 주변보다 조금 더 높게 에어가 차이게 된다. 또는, 주변과 수평하게 차이게 될 수도 있다.
이러한 상태에서 피반송체(M)가 부상되면, 차징홈(112)내에는 주변보다 에어의 양이 많기 때문에 피반송체(M)가 받는 충격이 차징홈(112)내의 에어에 의해 완충작용을 하여 충격완화작용을 하게 된다. 즉, 완충작용은 도 4에서 보는 바와 같이 상판(110)과 피반송체(M)의 사이(t1)에 에어가 차이기 때문에 당연한 것이나 차징홈(112)으로 인해 차징홈(112)와 피반송체(M)사이(t2)에 더 많은 에어가 담기게 되어 완충력이 더 높게 되는 것이다.
도 5는 도 3의 B-B선 단면 확대도이다.
또한, 차징홈(112)은 도 5에서 보는 바와 같이 상판(110)의 양쪽으로 관통되게 형성되어 있기 때문에 피반송체(M)의 압력에 대응하여 적절하게 에어를 배출시키는 역할도 함께 한다. 즉, 에어는 상판(110)의 전구간에 균일하게 차이는 것이 바람직하나 상판(110)과 피반송체(M)의 평탄도 등과 같은 특정 요인에 의해 불균일할 수도 있게 된다. 이러한 상황을 차징홈(112)이 적절히 조절하게 되어 높은 안정성을 추구하게 되는 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 반송플레이트위에서 피반송체가 부상되어 반송되는 모습을 보인 측면도이다.
그리고 도 6에서 보는 바와 같이 차징홈(112)은 피반송체(M)가 원활하게 슬라이딩되도록 서포트해주는 롤러 역할을 함께 한다. 예를 들어 무거운 물체를 끌어서 옮길때에도 바닥에 여러 개의 환봉을 깔아두면 그 위로 무거운 물체를 손쉽게 운반할 수 있게 됨을 알 것이다. 이러한 롤러의 원리가 본 발명에 따른 차징홈(112)에 의해 적용된다.
본 발명에 따른 차징홈(112)은 전술한 기본 작용을 더 높이기 위해 많은 실험을 통해 바람직한 형태를 다음과 같이 얻었다.
즉, 차징홈(112)은 도 2에서 보는 바와 같이 상판(110)의 중앙선을 기점으로 좌우측에 지그재그 형상으로 형성됨이 좋다.
이와 같이 지그재그 형상으로 형성시키는 이유는 피반송체가 어느 하나의 차징홈(112)을 지나갈때에 피반송체의 양쪽으로 에어가 한번에 빠지는 것을 방지하여 상판의 중앙선을 기점으로 어느 일측은 피반송체를 부상시키는 힘이 전달되게 하는데 있다.
본 발명자가 여러 번의 실험을 통해 차징홈(112)이 일자로 형성되었을때에는 부상높이가 낮아지면서 에어 소모량이 과다함을 알게 되었다.
이처럼 상판의 중앙선을 기점으로 양쪽에 차징홈이 지그재그로 형성되기 위해서는 상판의 중앙선상에 차징홈이 연통되는 관통공(114)을 형성시킴이 바람직하다.
한편, 차징홈(112)의 간격은 큰 영향을 미치지는 않으나 3~5cm 정도가 적당한 것을 실험을 통해 알게 되었다.
도 7은 본 발명에 따른 반송플레이트의 가장 바람직한 실시도면을 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 반송플레이트는 본 발명자에 의해 선출원된 대한민국 특허출 원 제2008-103715호에서 제시한 반송플레이트에 적용을 하였다.
즉, 도 7에서 보는 바와 같이 반송플레이트(100)는 상부면상에 적어도 하나 이상의 안착홈(102)이 형성된 하판(101)을 구비하고, 이 안착홈(102)에 상판(110)이 장착되며, 상판(110)과 하판(101)의 상부면상에 다수의 차징홈(112)이 형성되는 것이다.
그리고 하판(101)의 상부면상 중앙선상에 관통공(114)이 형성된다.
이러한 반송플레이트(100)는 상판(110)과 안착홈(102)의 사이 틈새로 에어가 분출되는 구조를 갖는다. 상판(110)과 안착홈(102)의 사이에는 가공된 임의의 틈을 형성시킴이 바람직하고, 하판(101)의 내부에는 챔버가 형성되어 상판과 안착홈의 사이 틈으로 연통됨이 바람직하다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 차징홈(112)은 본 발명자에 의해 출원된 특정 반송플레이트 뿐만 아니라 다른 구조의 반송플레이트에서도 적용이 가능하게 된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 반송플레이트를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 발명의 차징홈이 형성된 상태에서 피반송체가 이동되는 모습을 나타낸 측면도이고,
도 4는 도 3의 A부분 확대도이고,
도 5는 도 3의 B-B선 단면 확대도이고,
도 6은 본 발명에 따른 반송플레이트위에서 피반송체가 부상되어 반송되는 모습을 보인 측면도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이다.

Claims (3)

  1. 상판(110)의 상측으로 에어가 분출되어 피반송체를 부상시키는 비접촉식 반송플레이트에 있어서,
    상기 상판(110)의 중앙에는 길이방향으로 관통공(114)이 형성되고, 상기 관통공(114)의 양측 상판(110)상에는 다수의 차징홈(112)이 폭방향으로 관통되게 형성되되, 상기 차징홈(112)은 상기 관통공(114)을 기점으로 양측에 지그재그 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 안정성이 뛰어난 비접촉식 반송플레이트.
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  3. 삭제
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004509046A (ja) * 2000-09-14 2004-03-25 カール−ツァイス−スティフツング 非接触方式で平板ガラスを姿勢維持し搬送するための方法及び装置
JP2004179580A (ja) 2002-11-29 2004-06-24 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 板状部材の搬送装置
JP2008007319A (ja) 2006-06-30 2008-01-17 Myotoku Ltd 浮上搬送ユニット
KR100834117B1 (ko) * 2007-02-16 2008-06-02 세메스 주식회사 기판 지지유닛, 그리고 상기 기판 지지유닛을 구비하는기판처리장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004509046A (ja) * 2000-09-14 2004-03-25 カール−ツァイス−スティフツング 非接触方式で平板ガラスを姿勢維持し搬送するための方法及び装置
JP2004179580A (ja) 2002-11-29 2004-06-24 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 板状部材の搬送装置
JP2008007319A (ja) 2006-06-30 2008-01-17 Myotoku Ltd 浮上搬送ユニット
KR100834117B1 (ko) * 2007-02-16 2008-06-02 세메스 주식회사 기판 지지유닛, 그리고 상기 기판 지지유닛을 구비하는기판처리장치 및 방법

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