KR101208262B1 - 글래스 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 몸체를 이루는 테이블; 상기 테이블의 상단에 설치되고, 글래스 기판을 상기 테이블의 일측으로부터 타측으로 이송하는 플로팅스테이지가 복수개 구비되는 플로팅스테이지유닛; 상기 플로팅스테이지유닛을 통하여 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 글래스 기판의 편평도를 측정하는 측정유닛; 상기 테이블의 양 측단에 지지되어, 상기 측정유닛을 상기 테이블의 가로방향으로 이동시키는 갠트리유닛; 및 상기 측정유닛에서 측정한 글래스 기판의 편평도를 화면에 표시하는 디스플레이부를 포함하며, 상기 각 플로팅스테이지는 에어블 분출 및 흡입하여 상기 글래스 기판이 상기 플로팅스테이지유닛의 상면으로 부상하도록 하는 에어플로팅유닛을 더 포함하고, 상기 에어플로팅유닛은, 상기 플로팅스테이지의 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 플로팅스테이지의 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함하고, 상기 에어분사유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며, 상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하며 배출하는 진공펌프유닛을 포함하고, 상기 블로잉챔버의 단면은 원통형상이고, 상기 흡입챔버의 단면은 직사각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 글래스 검사 장치를 제공한다.
따라서, 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판의 직각방향으로 측정유닛이 이동하면서 글래스 기판을 검사하도록 하여 정밀한 측정이 가능하도록 하였고, 다양한 크기의 글래스 기판에 대하여 정밀한 에어압을 분사하여 이송시 글래스 기판의 파손 등을 방지할 수 있으며, 플로팅스테이지 유닛에서 방출되는 에어압으로 인하여 글래스 기판의 중앙부 처짐현상을 방지하여 정밀한 평탄도 측정이 가능하도록 하였다.

Description

글래스 검사 장치{Glass testing apparatus}

본 발명은 글래스 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 글래스 기판의 평탄도를 검사하기 위한 글래스 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 글래스 원판은 제조공정 중에 외부적 영향으로 인해 글래스 원판 표면상에 스크래치(Scratch), 크랙(표면깨짐), 표면찍힘, 표면오염, 기포 등의 다양한 결함이 발생될 수 있으며, 이러한 결함은 검사 장치를 통해 검출하게된다.

이러한 검사 장치는 디스플레이용 글래스 원판을 안내(이동)하면서 라인스캔 카메라(또는 CCD 카메라) 등을 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비젼 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 각종 결함을 검출하게 된다.

그러나, 기존의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치는 글래스 원판이 이송롤러들 위에서 이동되면서 검사를 진행하기 때문에, 검사 도중 글래스 원판이 비뚤어지거나 또는 글래스 원판 저면이 롤러와 접촉되면서 스크래치, 표면 오염 등의 결함이 발생될 수 있다.

또한, 글래스 원판이 대형화 되어가면서 검사하고자 하는 글래스 원판을 이동하는 과정에서 글래스 원판의 평탄도가 불균일해지고 그로 인해 균일한 영상을 획득하기 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은, 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 이송되는 글래스 기판의 결함 여부 및 평탄도를 검사하기 위한 글래스 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은, 몸체를 이루는 테이블; 상기 테이블의 상단에 설치되고, 글래스 기판을 상기 테이블의 일측으로부터 타측으로 이송하는 플로팅스테이지가 복수개 구비되는 플로팅스테이지유닛; 상기 플로팅스테이지유닛을 통하여 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 글래스 기판의 편평도를 측정하는 측정유닛; 상기 테이블의 양 측단에 지지되어, 상기 측정유닛을 상기 테이블의 가로방향으로 이동시키는 갠트리유닛; 및 상기 측정유닛에서 측정한 글래스 기판의 편평도를 화면에 표시하는 디스플레이부를 포함하며, 상기 각 플로팅스테이지는 에어블 분출 및 흡입하여 상기 글래스 기판이 상기 플로팅스테이지유닛의 상면으로 부상하도록 하는 에어플로팅유닛을 더 포함하고, 상기 에어플로팅유닛은, 상기 플로팅스테이지의 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 플로팅스테이지의 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함하고, 상기 에어분사유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며, 상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하며 배출하는 진공펌프유닛을 포함하고, 상기 블로잉챔버의 단면은 원통형상이고, 상기 흡입챔버의 단면은 직사각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 글래스 검사 장치를 제공한다.

본 발명에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하는 발광부와, 상기 발광부에서 조사되어 상기 글래스 기판에 반사되는 레이저를 흡수하는 수용부를 포함할 수 있고, 상기 갠트리유닛은, 상기 테이블의 양단 상부에 위치하고, 상기 갠트리 유닛을 지지하는 갠트리 지지대와, 상기 갠트리 지지대의 양단에 지지되고, 상면에 이동레일이 구비된 갠트리 바 및 상기 갠트리 바의 이동레일에 안착되어 글래스 기판의 이송방향과 수직인 방향으로 이동가능하게 설치되는 이송수단을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 측정유닛은, 상기 갠트리유닛의 이송수단에 설치될 수 있고, 상기 플로팅스테이지의 상면에는 다수의 분출홀과 다수의 흡입홀이 서로 교차되게 형성될 수 있으며, 상기 분출홀의 단면적은 상기 흡입홀의 단면적보다 크게 형성될 수 있다.

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본 발명에 따른 글래스 검사 장치는 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판의 직각방향으로 측정유닛이 이동하면서 글래스 기판을 검사하도록 하여 정밀한 측정이 가능하도록 하였다.

둘재, 다양한 크기의 글래스 기판에 대하여 정밀한 에어압을 분사하여 이송시 글래스 기판의 파손 등을 방지할 수 있다.

셋째, 에어압으로 인하여 글래스 기판의 중앙부 처짐현상을 방지하여 정밀한 평탄도 측정이 가능하도록 하였다.

도 1은 본 발명에 따른 글래스 검사 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 갠트리 유닛 및 측정 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 플로팅스테이지의 내부구조 및 측정유닛을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 플로팅스테이지의 에어공급라인과 에어흡입라인을 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도6b는 도 4에 도시된 블로잉챔버와 흡입챔버의 형상을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 4에 도시된 I-I선도에 따른 단면도이다.
도 8은 도 4에 도시된 Ⅱ-Ⅱ선도에 따른 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명한다.

도 1 내지 도 8를 참조하면, 본 발명에 따른 글래스 검사 장치는, 테이블(10)과, 플로팅스테이지(20)가 복수개 구비되는 플로팅스테이지유닛(100)과, 측정유닛(30)과, 갠트리유닛(40) 및 디스플레이부(50)를 포함한다.

상기 테이블(10)은 몸체 역할을 하며, 상기 테이블(10)에 플로팅스테이지(20)와 측정유닛(30), 갠트리유닛(40) 및 디스플레이부(50)가 구비된다.

상기 측정유닛(30)은 플로팅스테이지유닛(100) 상부에서 이송되는 글래스 기판(1)에 레이저를 조사하고, 조사된 레이저가 상기 글래스 기판(1)에 반사되는 레이저를 흡수하는 역할을 한다.

상기 측정유닛(30)는 글래스 기판(1)에 레이저를 조사하는 발광부(32)와, 상기 발광부(32)에서 조사된 레이저가 상기 글래스 기판(1)에 반사되는 레이저를 흡수하는 수용부(34)를 포함한다.

상기 측정유닛(30)은 갠트리유닛(40)의 이송수단(46)에 설치되어, 글래스 기판(1)의 이송방향과 수직인 방향으로 이동하면서, 상기 글래스 기판(1)의 평탄도를 검사하게 된다.

상기 갠트리유닛(40)은 갠트리 지지대(42)와, 갠트리 바(44) 및 이송수단(46)을 포함하며, 상기 갠트리 지지대(42)는 상기 갠트리유닛(40)을 지지하는 역할을 하고, 상기 테이블(10)의 양단 상부에 위치된다.

상기 갠트리 바(44)는 상기 갠트리 지지대(42)의 양단에 지지되고, 상면에는 이동레일(45)이 구비되어 이동수단(46)을 상기 글래스 기판(1)의 이송방향과 수직인 방향으로 이동시키는 역할을 한다.

즉, 상기 갠트리유닛(40)에 상기 측정유닛(30)이 구비되어 플로팅스테이지유닛(100)의 상부로 이송되는 글래스 기판(1)의 평탄도를 측정하여, 측정된 평탄도를 디스플레이부(50)에 표시하여 상기 글래스 기판(1)의 평탄도를 검사하게 되는 것이다.

상기 플로팅스테이지유닛(100)은 상기 테이블(10)의 상단에 설치되는데, 상기 플로팅스테이지유닛(100)은 다수의 플로팅스테이지(20)가 서로 인접하게 형성되며, 상기 다수의 플로팅스테이지(20) 각각은 독립적으로 에어압을 제어할 수 있는 구조이다.

즉, 상기 플로팅스테이지유닛(100)이 하나의 공급라인에 의하여 일괄적으로 에어압을 제어하는 방식이 아니라 개별적인 에어압 제어가 가능한 플로팅스테이지(20) 다수를 인접하게 배치함으로써 플로팅스테이지유닛(100)에 대하여 구역별로 에어압의 제어가 가능하다.

상기 플로팅스테이지(20) 각각의 공압구조에 대하여 살펴보면 다음과 같다.

상기 플로팅스테이지(20)의 상면에는 다수의 분출홀(21)과 다수의 흡입홀(24)이 서로 교차되게 형성되어, 상기 플로팅스테이지(20) 전체면적에 대하여 에어의 분출(양압)과 흡입(음압)이 균형적으로 이루어져 글래스 기판(1)의 부상을 안정적으로 할 수 있다.

이때, 상기 분출홀(21)의 크기는 상기 흡입홀(24)의 크기보다 크게 형성하는 것이 좋은데, 분출되는 분사에어압과 흡입하는 흡입에어압이 서로 동일한 조건일 경우 분출홀(21)의 단면적이 흡입홀(24)의 단면적보다 작으면 상기 글래스 기판(1)과 상기 플로팅스테이지(20) 사이의 에어압이 부압에 가까워져 글래스 기판(1)의 상승이 어렵기 때문이다.

상기 플로팅스테이지(20) 각각에는 상기 분출홀(21)과 상기 흡입홀(24)로 일정압의 에어를 분출 및 흡입하여 상기 글래스 기판(1)을 상기 플로팅스테이지유닛(100)의 상면에 대하여 부상시키는 에어플로팅유닛(미도시)을 구비한다.

상기 에어플로팅유닛(미도시)은 일정한 에어압으로 상기 글래스 기판(1)을 부상시키는 역할을 하며, 상기 다수의 분출홀(21)과 연통되어 상기 분출홀(21)로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 다수의 흡입홀(24)과 연통되어 상기 분출홀(21)을 통하여 분출된 에어 또는 그 주변의 에어를 상기 흡입홀(24)로 흡입하는 에어흡입유닛을 포함한다.

상기 에어분사유닛은, 도 4에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(20)의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀(21)과 연통되는 다수의 블로잉챔버(22)와, 상기 다수의 블로잉챔버(22)와 연결되는 에어공급라인(23)과, 상기 에어공급라인(23)으로 에어를 공급하는 에어공급장치(미도시)를 포함한다.

상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지(20)의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀(24)과 연통되는 다수의 흡입챔버(25)와, 상기 흡입챔버(25)와 연결되는 에어흡입라인(26)과, 상기 에어흡입라인(26)으로 상기 에어를 흡입하여 배출하는 진공펌핑유닛(미도시)을 포함한다.

상기 블로잉챔버(22)는 도 5에 나타난 바와 같이 대략 원통형상으로 상기 플로팅스테이지(20)의 내부에 형성되어 상부에는 다수의 분출홀(21)의 행방향 또는 열방향에 따라 일렬로 연통되고 하부에는 상기 에어공급라인(23)과 연통된다.

상기 흡입챔버(25)는 도 5에 나타난 바와 같이, 대략 직사각형 형상으로 상기 플로팅스테이지(20)의 내부에 형성되어 상부에는 다수의 흡입홀(24)의 행방향 또는 열방향에 따라 일렬로 연통되고 하부에는 상기 흡입라인(26)과 연통된다.

여기서, 도 5에 나타난 바에 따르면, 상기 분출홀(21)과 상기 흡입홀(24)이 플로팅스테이지(20) 상에서 일렬로 형성되어 있으나, 이는 상기 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)의 형상을 나타내기 위한 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 분출홀(21)과 상기 흡입홀(24)이 서로 교차되도록 상기 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)를 플로팅스테이지(20)의 길이방향에 대하여 사선으로 배치하는 등 그 배치구조를 달리할 수 있다.

상기 블로잉챔버(22)와 상기 흡입챔버(25)를 도 6a에 나타난 바와 같이, 각각 원통형상과 직사각형 형상으로 형성시킨 이유를 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상기 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)는, 상기 플로팅스테이지(20) 내부에서 서로 인접하게 교차배치되어야 하고, 또한 각각의 에어공급라인(23) 및 에어흡입라인(26)에서 분출홀(21) 및 흡입홀(24)로 에어를 유동시킴에 있어서 압력강하에 의한 에어압의 저하를 방지하여 균일한 에어압을 유지할 수 있도록 단면적이 커지는 확관의 형태로 형성함과 동시에 적정 단면적을 유지해야한다.

이에, 도 6b에 나타난 바와 같이 상기 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)를 가공이 용이하도록 단면적이 각각 원형상으로 가공할 수 있는데, 이러한 경우에는 상기 흡입챔버(25)의 단면적이 적정 단면적을 만족시키기 힘든 경우가 발생한다. 이는, 상기 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)는 한정된 공간의 플로팅스테이지(20)에서 형성되어야 하고, 특히 상기 흡입챔버(25)는 상기 블로잉챔버(22) 사이의 좁은 거리간격(A) 안에서 형성되어야 하는데 흡입챔버(25)의 단면적을 원형으로 형성하면 적정단면적을 확보할 수가 없기 때문이다. 따라서, 도 6a에 나타난 바와 같이, 상기 흡입챔버(25)의 단면적은 한정된 거리간격(A) 내에서 적정 단면적을 얻을 수 있는 직사각형 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.

즉, 본 발명의 실시 예에서는 상기 흡입챔버(25)를 도 6a에 나타난 바와 같이 그 단면을 직사각형으로 형성함으로써, 블로잉챔버(22)간의 피치(A)는 일정하게 유지하되, 흡입챔버(25)의 흡입 단면적도 일정값 확보할 수 있다.

상기 에어공급라인(23)은 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(20)의 하부에 위치하여 다수의 블로잉챔버(22)와 한번에 연결되어 에어를 공급하는 역할을 한다. 또한, 상기 에어흡입라인(26)은 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(20)의 하부에 위치하여 다수의 흡입챔버(25)와 한번에 연결되어 에어를 흡입하는 역할을 한다. 상기한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 블로잉챔버(22)와 에어공급라인(23) 및 흡입챔버(25)와 에어흡입라인(26)은, 다수의 분출홀(21)과 흡입홀(24)에 대한 유로의 수를 감소시켜 공압라인을 간결하게 함으로써 장비의 설치, 유지보수가 용이하다.

상기 에어공급장치(미도시)와 상기 진공펌핑유닛(미도시)은 상기 에어공급라인(23)과 상기 에어흡입라인(26)으로 에어를 공급 또는 흡입하는 역할을 하며, 이러한 상기 에어공급장치와 상기 진공펌핑유닛은 상기 에어공급라인(23)과 흡입라인(26)으로 에어를 공급 및 흡입할 수 있는 목적을 달성할 수 있는 장치라면 모두 가능하며, 이는 당업자에게는 일반적인 장치이므로 생략하기로 한다.

한편, 본 발명의 실시예는 상기 에어공급라인(23)과 에어흡입라인(26)으로 유동되는 에어량을 레귤레이터를 더 구비할 수 있으며, 이를 통하여 에어압을 정밀하게 제어할 수 있다.

몸체 역할을 하는 상기 테이블(10)에는 이송부(12)가 구비되는데, 상기 이송부는 상기 에어플로팅유닛(미도시)을 통하여 부상된 상기 글래스 기판(1)의 일측을 클램핑기구를 통하여 클램핑하여 이송하는 역할을 하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 평판을 클램핑하여 이송하는 일반적인 클램핑이송장치와 실질적으로 동일하므로 생략하기로 한다.

디스플레이부(50)는 몸체인 테이블(10)의 일측에 구비되며, 플로팅스테이지유닛(100)의 상부로 이송되는 글래스 기판(1)에 측정유닛(30)에서 조사되는 레이저에 의해 측정되어진 평탄도가 표시되어, 사용자가 상기 글래스 기판(1)의 평탄도를 검사하게 되는 것이다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 글래스 검사 장치는, 다수의 플로팅스테이지(20)를 서로 인접하게 형성하고, 다수의 플로팅스테이지(20) 각각에 대하여 개별적인 에어압제어가 가능하도록 에어플로팅유닛을 구비하여 다양한 크기의 글래스 기판(1)에 대해서도 일정한 에어압을 유지할 수 있어 향상된 편평도를 유지할 수 있으며, 글래스 기판(1)의 높이를 용이하게 조절할 수 있고, 측정유닛(30)에서 조사되는 레이저에 의해 이송되는 글래스 기판(1)의 평탄도를 측정할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 예는 플로팅스테이지(20)상에 형성된 분출홀(21)과 흡입홀(24)을 서로 교차되게 형성하고 다수의 분출홀(21)과 다수의 흡입홀(24) 모두에 연통되는 블로잉챔버(22)와 흡입챔버(25)를 형성한 다음 에어공급라인(23)과 에어흡입라인(26)과 연결시켜 동일한 압력을 공급할 수 있으며, 또한 레귤레이터를 연결하여 보다 정밀하게 에어압을 제어할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1 : 글래스 기판 10 : 테이블
12 : 이송부 20 : 플로팅스테이지
21 : 분출홀 22 : 블로잉챔버
23 : 에어공급라인 24 : 흡입홀
25 : 흡입챔버 26 : 에어흡입라인
30 : 측정유닛 32 : 발광부
34 : 수용부 40 : 갠트리유닛
42 : 갠트리 지지대 44 : 갠트리 바
46 : 이송수단 50 : 디스플레이부
100 : 프로팅스테이지유닛

Claims (10)

1. 몸체를 이루는 테이블;
   상기 테이블의 상단에 설치되고, 글래스 기판을 상기 테이블의 일측으로부터 타측으로 이송하는 플로팅스테이지가 복수개 구비되는 플로팅스테이지유닛;
   상기 플로팅스테이지유닛을 통하여 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하여 글래스 기판의 편평도를 측정하는 측정유닛;
   상기 테이블의 양 측단에 지지되어, 상기 측정유닛을 상기 테이블의 가로방향으로 이동시키는 갠트리유닛; 및
   상기 측정유닛에서 측정한 글래스 기판의 편평도를 화면에 표시하는 디스플레이부를 포함하며,
   상기 각 플로팅스테이지는 에어블 분출 및 흡입하여 상기 글래스 기판이 상기 플로팅스테이지유닛의 상면으로 부상하도록 하는 에어플로팅유닛을 더 포함하고,
   상기 에어플로팅유닛은,
   상기 플로팅스테이지의 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 플로팅스테이지의 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함하고,
   상기 에어분사유닛은,
   상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며,
   상기 에어흡입유닛은,
   상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하며 배출하는 진공펌프유닛을 포함하고,
   상기 블로잉챔버의 단면은 원통형상이고, 상기 흡입챔버의 단면은 직사각형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 글래스 검사 장치.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 측정유닛은,
   상기 플로팅스테이지유닛 상부에서 이송되는 글래스 기판에 레이저를 조사하는 발광부와, 상기 발광부에서 조사되어 상기 글래스 기판에 반사되는 레이저를 흡수하는 수용부를 포함하는 글래스 검사 장치.
   
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 갠트리유닛은,
   상기 테이블의 양단 상부에 위치하고, 상기 갠트리 유닛을 지지하는 갠트리 지지대;
   상기 갠트리 지지대의 양단에 지지되고, 상면에 이동레일이 구비된 갠트리 바; 및
   상기 갠트리 바의 이동레일에 안착되어 글래스 기판의 이송방향과 수직인 방향으로 이동가능하게 설치되는 이송수단을 포함하는 글래스 검사 장치.
   
4. 청구항 2 내지 3에 있어서,
   상기 측정유닛은, 상기 갠트리유닛의 이송수단에 설치되는 글래스 검사 장치.
   
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 플로팅스테이지의 상면에는 다수의 분출홀과 다수의 흡입홀이 서로 교차되게 형성되는 글래스 검사 장치.
   
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 청구항 1에 있어서,
    상기 분출홀의 단면적은 상기 흡입홀의 단면적 보다 큰 글래스 검사 장치.
    

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