KR20120093705A - 비접촉 평판 이송장치 - Google Patents

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KR20120093705A
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Abstract

본 발명은 검사 및 측정 등의 다양한 장비로부터 평판의 각종 결함을 정확하면서도 쉽게 검출할 수 있으므로 작업의 용이성 및 편의성을 도모하고, 제품의 불량률을 줄임과 함께 품질의 극대화를 제공하도록, 상면에 복수의 노즐이 구비되고 내부로 공급되는 고압의 유체를 상기 노즐을 통해 분출하여 평판을 부양이송하도록 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐 중에서 중앙부분에 배치되고 상기 평판이 동일한 부양높이를 유지하며 이송가능하도록 형성되는 수평이송구간과; 상기 메인플레이트의 노즐 중에서 상기 평판의 이송방향으로 양쪽 끝단에 위치하고 상기 수평이송구간을 따라 이송되는 상기 평판이 상향이송가능하도록 형성되는 굴절이송구간;을 포함하는 비접촉 평판 이송장치를 제공한다.

Description

비접촉 평판 이송장치{Non-contact Plate Transferring Device}
본 발명은 비접촉 평판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판의 이송과정에서 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지함으로써, 검사 및 측정 등의 다양한 장비로부터 평판의 각종 결함을 정확하면서도 쉽게 검출할 수 있으므로 작업의 용이성 및 편의성을 도모하고, 제품의 불량률을 줄임과 함께 품질을 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이와 같은 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션에서부터 언로딩 섹션까지 평판을 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. 최근에는 평판을 안내하는 반송수단으로 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), 디엘피(DLP), 에프피디(FPD) 등과 같은 평판패널을 공기부양시켜 이송하도록 구성되는 공기부양식 평판패널 이송장치가 이용되고 있는 실정이다.
상기와 같은 공기부양식 평판패널 이송장치와 관련하여 대한민국 특허등록 제10-0650290호에는, 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제1확장안내부와, 상기 제1확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 상기 제1확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제2확장안내부와, 상기 제2확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 상기 제1확장안내부 및 상기 제2확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지도록 구성되어 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킴에 따라 패널을 반송할 때 떨림현상을 줄일 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트가 개발되어 있다.
또한, 대한민국 특허등록 제10-0876337호에는 챔버가 형성된 하판과, 상기 하판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 챔버와 연통되는 다수의 결합공을 갖는 중판과, 상기 중판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 결합공들과 연통되는 에어분출공을 갖는 상판과, 상기 에어분출공으로 삽입 고정되고 상기 챔버의 에어를 수용하여 상기 에어분출공과의 사이 틈새로 유도하는 에어분출볼트를 포함하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트에 있어서, 상기 에어분출볼트의 상단에는 상기 에어가 상측 사선방향으로 분출되도록 머리부가 형성되되, 상기 머리부의 하부면은 상측으로 연장될수록 벌어지는 사선이 형성되고, 상기 에어분출공의 상단은 라운딩되며, 상기 에어분출볼트의 상부면상에는 오목한 홈이 형성되어 반송과 동시에 소량의 흡입력이 발생되므로 미세한 떨림을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트가 공지되어 있다.
또한, 관련기술로서 대한민국 특허등록 제10-0913298호에는 상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 상기 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 상기 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스; 상기 분출챔버 위에 장착되고, 내부에는 상기 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 상기 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성되는 분출플레이트; 및 상기 진공챔버위에 양측이 상기 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 상기 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 상기 틈새로 흡입력이 작용되는 진공플레이트;를 포함한 구성으로 피반송물이 안정되게 반송하고 평탄도를 맞출 수 있는 것을 특징으로 하는 반송플레이트가 공지되어 있다.
그러나, 상기와 같은 종래의 이송장치는 평판을 비접촉상태 즉, 부양력에 의해서 평판에 접촉됨 없이 이송하므로 검사 및 측정과정에서 얼룩이나 스크래치 등이 발생하는 것을 방지할 수 있는 이점이 있지만, 다양한 종류의 인라인 검사장비로부터 검사 및 측정하기 위해서는 평판에 부양력을 생성시키는 복수의 플레이트가 서로 간격을 두고 설치되어야 하므로 평판에 부양력이 가해지지 않는 플레이트 간의 사이 공간에서는 평판이 아래로 쳐지거나 굽어지는 현상이 발생하여 검사장비로부터 정확한 검사 및 측정결과를 얻지 못하는 문제가 있었다. 즉, 평판에 부양력을 가하는 플레이트가 서로 떨어져 설치됨에 따라 부양력의 생성이 없는 공간이 형성되고, 이러한 여유공간에 다종의 인라인 검사장비가 설치되어 평판의 결함 여부를 확인하도록 검사 및 측정하는 작업이 이루어지지만 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상으로 인해 검사 및 측정결과에 오차가 생기며 평판의 결함을 온전히 찾아내지 못하는 문제점이 있었다.
전술한 문제점을 해결하고자 작업 전에 평판을 접어 굽히므로 평판이 이송중 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하였으나, 이는 불필요하게 평판을 굽혀야하는 작업과 함께 검사 후에는 다시 펼쳐야하는 작업으로 인해 작업이 늦춰지고 제품의 손상으로 인해 불량률의 증가 및 품질이 저하되는 등의 문제점이 있었다.
이러한, 상기와 같은 문제는 다양한 종류의 평판 중에 강성이 있어서 쉽게 구부러지지 않는 리지드 평판(rigid plate)보다도 어느 정도의 강성은 있지만 자중만으로 쉽게 구부러지는 필름 등의 유연한 평판(flexible plate)에 크게 나타나게 된다. 또한, 최근에는 검사장비의 설비 및 온전한 검사와 측정 등의 이유로 플레이트 간의 간격을 가급적 넓혀 설치함에 따라 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상으로부터 정확하면서도 온전한 검사 및 측정이 이루어질 수 있는 기술개발이 시급히 요구되는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판의 이송과정 중 검사장비가 위치한 부분에서 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 평판을 펼칠 수 있는 구조로 플레이트를 구성함에 따라 다양한 장비로부터 검사 및 측정작업이 용이함과 아울러 평판의 각종 결함을 정확하게 검출할 수 있고, 이는 제품의 불량률을 줄이면서 제품의 품질은 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.
뿐만 아니라, 본 발명은 평판의 이송에 의한 검사 및 측정작업이 행해지기 이전에 평판을 굽히는 전처리작업 및 굽어진 평판을 피는 후처리작업이 불필요하여 작업의 용이성 및 편의성을 도모하고, 신속하게 작업이 이루어져 생산성을 증진시키는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 제안하는 비접촉 평판 이송장치는 상면에 복수의 노즐이 구비되고 내부로 공급되는 고압의 유체를 상기 노즐을 통해 분출하여 평판을 부양이송하도록 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐 중에서 중앙부분에 배치되고 상기 평판이 동일한 부양높이를 유지하며 이송가능하도록 형성되는 수평이송구간과; 상기 메인플레이트의 노즐 중에서 상기 평판의 이송방향으로 양쪽 끝단에 위치하고 상기 수평이송구간을 따라 이송되는 상기 평판이 상향이송가능하도록 형성되는 굴절이송구간;을 포함하여 이루어진다.
상기 메인플레이트는 상기 수평이송구간과 상기 굴절이송구간이 동일수평선상에 놓이도록 상기 노즐이 구비된 상면이 평탄한 평면을 이루면서 상기 평판과 평행으로 설치됨을 포함하고, 상기 굴절이송구간은 수평선상으로 이송 중인 상기 평판을 상향이송할 수 있도록 상기 수평이송구간에 비해 상대적으로 높은 압력의 유체를 분출하여 상기 평판의 부양력을 높이도록 이루어진다.
상기 수평이송구간은 에어를 분출하는 에어노즐과 함께 진공을 분출하는 진공노즐이 각각 등간격을 이루며 서로 교대로 배열배치되고, 상기 굴절이송구간에는 에어를 분출하는 에어노즐만 등간격으로 배치되어 이루어진다.
상기 메인플레이트의 노즐은 상기 평판에 부양력을 가하도록 외부로부터 공급되는 유체를 그대로 수직 분출하는 핀홀형 노즐로 구성하는 것도 가능하고, 상기 메인플레이트의 노즐은 상기 평판에 부양력을 가하도록 외부로부터 공급되는 유체가 분출되면서 유체의 흐름에 의해 인력과 척력을 동시에 발생시키는 코안다형 노즐부로 구성하는 것도 가능하다.
상기 코안다형 노즐부는 외부로부터 유체가 공급될 수 있도록 상기 메인플레이트의 내부 횡방향으로 중공되는 유체공급로와; 상기 유체공급로의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트의 상면과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 노즐공과; 상기 노즐공에 삽입된 후 상기 메인플레이트 내에 고정설치되도록 하단에 체결부가 형성되고, 상기 체결부에서 상기 노즐공의 위치까지 수직면을 이루면서 상향하여 연장형성되는 노즐목부와, 상기 노즐목부의 상단에서 상기 노즐공의 원호구간과 서로 대향되도록 위치하고 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 통과하여 분출될 수 있도록 코안다노즐을 형성하는 노즐부로 구성된 노즐부재;를 포함하여 이루어진다.
그리고, 본 발명의 상기 코안다형 노즐부는 외부로부터 유체가 공급될 수 있도록 상기 메인플레이트의 내부 횡방향으로 중공되는 유체공급로와; 상기 유체공급로의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트의 상면과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간의 상단으로부터 연장되어 상기 메인플레이트의 상면에 대해 상측으로 갈수록 내경의 폭이 넓어지는 경사면을 이루되 중심선과 예각을 이루는 경사면으로 형성되는 예각경사구간과, 상기 예각경사구간에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 노즐공과; 상기 노즐공에 삽입된 후 상기 메인플레이트 내에 고정설치되도록 하단에 체결부가 형성되고, 상기 체결부에서 상기 노즐공의 위치까지 수직면을 이루면서 상향하여 연장형성되는 노즐목부와, 상기 노즐목부의 상단에서 상기 노즐공의 원호구간과 서로 대향되도록 위치하고 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 통과하여 분출될 수 있도록 코안다노즐을 형성하는 노즐부로 구성된 노즐부재;를 포함하여 이루어지도록 구성하는 것도 가능하다.
상기 노즐부재는 상기 체결부의 상부에 볼트머리가 구비되고 상기 체결부가 나사결합되는 체결공을 통해 하측으로 유입되어 설치하도록 구성하는 것도 가능하고, 상기 노즐부재는 상기 체결부가 상기 메인플레이트의 하면으로 돌출되면서 체결너트에 의해 결합될 수 있게 상기 노즐공을 통해 상측으로 유입되어 설치하도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 상기 노즐부재는 상기 노즐부의 상단 둘레에 상기 노즐공의 내벽으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니가 형성되는 톱니형 노즐부재로 구성하는 것도 가능하다.
그리고, 본 발명의 상기 메인플레이트의 노즐은 상기 평판의 이송방향에 대하여 법선 방향으로 코안다노즐이 형성되는 것으로서, 상기 평판에 평행한 수평면을 이루고 평판과의 부양간격을 형성하는 평탄부와, 상기 평탄부에 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간에서 상기 평탄부로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 코안다 바와; 상기 코안다 바의 대향되는 원호구간 높이보다 아래에 위치하고 상부 양측단이 상기 코안다 바에 근접하도록 노즐부가 형성되며 외부로부터 공급되는 유체를 유도하는 노즐블록과, 상기 코안다 바의 대향되는 원호구간과 상기 노즐블록의 사이에서 미세한 틈새를 이루고 외부로부터 공급되는 유체가 분출되는 코안다노즐을 포함하여 이루어지도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 상기 노즐블록은 상기 노즐부의 상부 양측단에 상기 코안다 바의 수직구간 벽면으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니가 형성되는 톱니형 노즐블록으로 구성하는 것도 가능하다.
그리고, 본 발명의 비접촉 평판 이송장치는 상기 메인플레이트는 상기 굴절이송구간의 노즐이 상기 수평이송구간의 노즐보다 높은 수평선상에 위치하여 상기 평판이 상향이동하도록 상기 수평이송구간으로부터 상기 굴절이송구간에 접하는 경계부분이 꺾임에 따라 상기 굴절이송구간은 상향으로 기울어진 사면을 형성토록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명은 상기 메인플레이트는 상기 평판이 상기 굴절이송구간에서 상향이동하되 완만한 곡선이동이 가능하도록 상면 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이루며 원호형으로 형성되도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명은 상기 메인플레이트는 상기 수평이송구간과 상기 굴절이송구간이 각각 분리된 블록형으로 형성되고, 상기 수평이송구간 및 굴절이송구간의 블록은 각각 상기 평판과 평행을 이루는 수평상태로 설치하되 상기 굴절이송구간의 블록은 상기 수평이송구간의 블록보다 상대적으로 높은 수평선상에 위치하도록 구성하는 것도 가능하다.
상기 수평이송구간의 블록과 상기 굴절이송구간의 블록 간에 서로 연결하도록 설치되고 상기 수평이송구간의 블록으로부터 상기 굴절이송구간이 상하로 슬라이드이동가능하여 높이를 조절할 수 있도록 형성되는 높이조절수단을 더 포함하여 구성하는 것도 가능하다.
본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 검사할 평판에 척력 및 인력이 적용되어 메인플레이트로부터 미세한 간격을 유지하면서 수평이송시키는 수평이송구간과 강한 척력만이 적용되어 평판을 상향이송시키는 굴절이송구간이 배치되도록 구성하므로, 평판의 이송과정 중 굴절이송구간의 부양력에 따른 영향으로 검사장비가 위치한 부분에서 평판을 펼쳐주기 때문에 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하고, 이는 다양한 검사장비로부터 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어짐과 아울러 평판의 각종 결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 더 나아가 제품의 불량률을 줄이면서 품질은 극대화할 수 있는 효과를 얻는다.
뿐만 아니라, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판을 검사 및 측정하는 작업을 하기 이전에 행했던 평판을 굽히는 전처리작업이나 이로 인해 굽어진 평판을 검사 후 다시 피는 후처리작업이 불필요하므로, 사용자로부터 작업의 용이성 및 편의성을 도모하고, 신속한 작업으로부터 생산성을 증진시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는, 메인플레이트가 굴절이송구간에서 상향 된 구조의 형상을 이루므로 수평이송구간과 동일한 유량 및 압력의 유체를 굴절이송구간에 공급하여도 메인플레이트로부터 이송되는 평판을 굴절이송구간에서 상향이송할 수 있는 효과가 있다.
또, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는, 다양한 검사장비로 인한 메인플레이트 간의 사이 간격을 넓게 형성하는 경우에도 굴절이송구간으로부터 보다 높은 위치로 부양하는 것이 가능하여 평판이 쳐지거나 굽어짐이 없도록 더욱 탄력적으로 적용하여 사용할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 제1실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 제1실시예를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명에 있어서 노즐의 다른 실시예에 따른 코안다형 노즐부의 일실시예를 나타내는 단면도.
도 4는 도 3의 부분확대단면도.
도 5는 본 발명에 있어서 코안다형 노즐부의 다른 실시예를 나타내는 부분확대단면도.
도 6은 본 발명에 따른 노즐부재의 일실시예를 나타내는 부분확대단면도.
도 7은 본 발명에 따른 노즐부재의 다른 실시예를 나타내는 부분확대단면도.
도 8은 본 발명에 따른 코안다형 노즐부의 또 다른 실시예를 나타내는 부분확대단면도.
도 9는 본 발명에 따른 노즐의 또 다른 실시예를 나타내는 사시도.
도 10은 도 9에 따른 노즐블록의 다른실시예를 나타내는 사시도.
도 11은 본 발명에 따른 제1실시예의 사용상태를 나타내는 구성도.
도 12의 (a)~(d)는 본 발명에 따른 제2실시예를 나타내는 단면도.
도 13의 (a)~(d)는 본 발명에 따른 제3실시예를 나타내는 단면도.
도 14의 (a)~(d)는 본 발명에 따른 제4실시예를 나타내는 단면도.
도 15는 본 발명에 따른 제4실시예에 있어서 높이조절수단이 적용된 구성도.
다음으로 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도면에서 동일한 구성은 동일한 부호로 표시하고, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.
그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 해당 기술분야에서 보통의 지식을 가진 자가 본 발명을 이해할 수 있도록 설명하기 위해서 제공되는 것이고, 도면에서 나타내는 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 예시적으로 나타내는 것이다.
먼저, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 제1실시예는 도 1 내지 도 11에 나타낸 바와 같이, 메인플레이트(10)와, 상기 메인플레이트(10)에서 구분되는 수평이송구간(20) 및 굴절이송구간(30)을 포함하여 이루어진다.
상기 메인플레이트(10)는 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 상자형상으로 이루어지고, 외부에서 내부로 공급되는 고압의 유체를 평판(P)을 향해 분출하도록 상면(11)에 노즐(40)이 형성된다.
상기 메인플레이트(10)는 상기 수평이송구간(20)과 상기 굴절이송구간(30)이 동일수평선상에 놓이도록 상기 노즐(40)이 구비된 상면(11)이 평탄한 평면을 이루면서 상기 평판(P)과 평행으로 설치된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)는 상기 평판(P)의 한쪽 면(하면)과 대향하도록 상기 평판(P)의 아래쪽에 설치되고, 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)이 상기 평판(P)에 대해 평행하면서도 평탄한 면을 이루며, 상기 수평이송구간(20)과 동일한 수평선상에 상기 굴절이송구간(30)이 위치하도록 이루어진다.
상기 메인플레이트(10)는 폭에 비해 상기 평판(P) 이송방향으로의 길이가 상대적으로 긴 장방형 직육면체로 형성되고, 비교적 얇은 두께의 판자형태를 이루지만 외력에 의해 쉽게 변형되지 않을 정도의 충분한 강성을 갖으며 무게가 가벼운 금속재질로 형성된다.
상기 메인플레이트(10)는 직육면체를 이루되 직사각형의 평단면을 이루는 상자형상으로 형성하는 것도 가능하고, 정사각형이나 원형, 타원형 등의 다양한 평단면형상을 갖는 상자형상으로 형성하는 것도 가능하다.
상기 메인플레이트(10)의 평탄한 상면(11) 상에는 내외부가 연통하도록 관통된 상기 노즐(40)이 등간격을 이루며 복수로 형성된 구조를 이룬다. 즉, 상기 노즐(40)은 작은 직경으로 가공된 미세한 구멍으로서, 구체적으로 설명하면 상기 노즐(40)은 상기 평판(P)을 부양할 수 있도록 부양력을 생성시키는데, 이는 상기 노즐(40)이 공기를 분출하여 척력을 발생시키는 에어노즐(41)과 진공을 분출하여 인력을 발생시키는 진공노즐(43)로 구성되고, 상기 에어노즐(41) 및 진공노즐(43)이 교대로 배열배치되므로 상기 평판(P)을 부양할 수 있도록 형성된다.
상기 노즐(40)을 상기 에어노즐(41)과 진공노즐(43)로 구성하는 것에 의하므로 유체를 상기 평판(P)의 하부면에 토출하여 척력과 인력을 동시에 발행함에 따라 상기 평판(P)이 어느 한쪽으로 기울어지지 않으며 상기 메인플레이트(10)와 평행을 이룰 수 있게 밀고 끌어당기는 힘으로부터 상기 평판(P)과의 사이 간격을 안정적으로 유지할 수 있게 된다.
본 발명에서의 평판(P)은 강성이 있어서 쉽게 구부러지지 않는 리지드 평판(rigid plate)을 비롯하여 소정의 강성은 있지만 쉽게 구부러지는 유연한 평판(flexible plate)을 포함한다.
상기 메인플레이트(10)는 상기 평판(P)에 부양력을 달리 형성하는 것에 따라 수평이송구간(20)과 굴절이송구간(30)으로 구획하여 형성된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 메인플레이트(10)에는 1개의 수평이송구간(20)과 2개의 굴절이송구간(30)으로 구조상 구획하여 형성한다.
상기 수평이송구간(20)은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)의 중앙부분에 배치되고 상기 평판(P)이 동일한 부양높이를 유지하며 이송가능하도록 형성된다.
상기 수평이송구간(20)은 에어를 분출하는 상기 에어노즐(41)과 함께 진공을 분출하는 상기 진공노즐(43)이 각각 등간격을 이루며 서로 교대로 배열배치된다. 예를 들면, 상기 노즐(40) 중에서 상기 에어노즐(41)을 1줄 또는 1열을 설치하여 배열한 다음에는 상기 진공노즐(43)을 1줄 또는 1열로 설치하여 배열함을 반복하므로 상기 에어노즐(41)과 진공노즐(43)이 서로 교대하여 배열배치되도록 구성한다.
또한, 상기 수평이송구간(20)은 상기 에어노즐(41)과 진공노즐(43)이 적어도 하나 이상의 같은 종류끼리 복수로 배열설치하여 구성하는 것도 가능하다. 예를 들면, 상기 에어노즐(41)을 2줄/열 이상 설치한 다음에 상기 진공노즐(43)도 그에 상응하는 2줄/열 이상을 배열배치하여 설치한다.
상기와 같이 상기 에어노즐(41)과 진공노즐(43)을 교대로 배열설치하여 구성하게 되면, 상기 평판(P)에 척력과 인력이 교대로 작용하기 때문에 상기 평판(P)의 부양상태를 안정적으로 유지하는 것이 가능하다.
상기 굴절이송구간(30)은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)의 노즐 중에서 상기 평판(P)의 이송방향으로 양쪽 끝단 즉, 상기 수평이송구간(20)의 전후 양단에 이어 위치하도록 형성된다.
상기 굴절이송구간(30)은 상기 수평이송구간(20)을 따라 직진으로 이송하는 상기 평판(P)이 상향이송가능하도록 형성된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 굴절이송구간(30)은 수평선상으로 직진이송 중인 상기 평판(P)에 이송방향을 전환하여 상향이송할 수 있도록 상기 수평이송구간(20)에 비해 상대적으로 높은 압력의 유체를 분출하여 상기 평판(P)의 부양력을 높이도록 이루어진다.
상기 굴절이송구간(30)에는 유체(에어 및 진공) 중에서 에어를 분출하는 에어노즐(41)만 등간격으로 배치되도록 이루어진다.
상기 굴절이송구간(30)에 상기 에어노즐(41)과 함께 상기 진공노즐(43)을 형성하는 것도 가능하지만, 상기 굴절이송구간(30)에서는 상기 평판(P)을 상향이송시키기 위한 강한 부양력이 필요함에 따라 상기 평판(P)에 척력만이 가해질 수 있도록 상기 에어노즐(41)만을 구성하는 것이 바람직하다.
상기 메인플레이트(10)의 노즐(40)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 평판(P)에 부양력을 가하도록 외부로부터 공급되는 유체를 그대로 수직 분출하는 핀홀형 노즐(40)로 구성된다.
상기 핀홀형 노즐(40)은 상기 수평이송구간(20)에 형성된 노즐(40)에 비해 상기 굴절이송구간(30)에 형성된 노즐(40)이 상대적으로 작은 직경을 이루도록 구성된다. 즉, 상기 수평이송구간(20)과 굴절이송구간(30)에 동일한 압력의 에어가 공급되지만 상기 굴절이송구간(30)의 핀홀형 노즐(40)로 분출되는 에어의 유압이 크도록 이루어진다.
또한, 상기 핀홀형 노즐(40) 중에서 상기 굴절이송구간(30)에 형성된 노즐(40)에는 상기 수평이송구간(20)에 형성된 노즐(40)의 유량보다 많은 유량으로 공급하여 상기 평판(P)의 부양력을 높이는 것도 가능하다.
도면에 나타내지는 않았지만, 상기 노즐(40)을 핀홀형 노즐로 구성하는 경우에는 상기 메인플레이트(10)의 내부로 지속해서 압축에어를 공급할 수 있는 에어공급장치가 연결 구성되어야함은 물론, 상기 메인플레이트(10)의 내부로 진공을 공급할 수 있는 진공공급장치도 함께 연결하여 각각 상기 에어노즐(41)과 진공노즐(43)을 향해 공급하도록 구성되어야한다.
그리고, 본 발명에 따른 상기 메인플레이트(10)의 노즐(40)은 도 3 내지 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 평판(P)에 부양력을 가할 수 있도록 외부로부터 공급되는 유체가 분출하되 유체의 흐름에 의해 인력과 척력을 동시에 발생시키는 코안다형 노즐부(100)로 구성되어 이루어지는 것도 가능하다.
상기 코안다형 노즐부(100)는 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)에 형성되는 것으로서, 유체공급로(110)와 노즐공(120) 및 노즐부재(130)를 포함하여 이루어진다.
상기 유체공급로(110)는 외부로부터 유체가 공급되는 통로로서, 상기 메인플레이트(10)의 내부 횡방향으로 중공되어 유체의 공급은 물론, 유체가 원활하게 이동될 수 있도록 형성된다.
상기 노즐공(120)은 상기 유체공급로(110)의 상측으로 연통하여 외부로부터 공급되는 유체가 분출되도록 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)을 개방하되 상기 평판(P)이 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)에 접할 경우 폐곡면을 형성하는 것으로서, 2개의 구간으로 형성된다.
상기 노즐공(120)의 구간은 상기 유체공급로(110)의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간(121)과, 상기 수직구간(121)에서 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간(123)으로 구성된다.
상기 노즐부재(130)는 상기 노즐공(120)에 삽입된 후 상기 메인플레이트(10) 내에 고정설치되는 것으로 하단에 체결부(131)를 형성하고, 상기 노즐공(120)의 내벽을 따라 유도되는 유체가 분출될 수 있도록 코안다노즐(137)을 형성한다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 노즐부재(130)는 상기 체결부(131)에 의해 상기 메인플레이트(10) 내에 설치되고, 상기 체결부(131)에서 상기 노즐공(120)의 위치까지 수직면을 이루면서 상향하여 연장형성되는 노즐목부(133)와, 상기 노즐목부(133)의 상단에서 상기 노즐공(120)의 원호구간(123)과 서로 대향되도록 위치하고 상기 유체공급로(110)로부터 공급된 유체가 통과하여 분출될 수 있도록 코안다노즐(137)을 형성하는 노즐부(135)로 구성된다.
상기 노즐공(120) 및 노즐부재(130)에 의해 형성된 상기 코안다노즐(137)로부터 유체를 분출하게 되면 코안다 효과(Coanda effect)를 가져오는데, 이를 구체적으로 설명하면 상기 유체공급로(110)에서 상기 노즐공(120)으로 이동된 유체는 상기 노즐공(120)의 수직구간(121)과 상기 노즐부재(130)의 노즐목부(133) 외주면 사이를 거치고 상기 노즐부(135)의 경사면을 지나 상기 코안다노즐(137)로 분출됨과 동시에 상기 노즐공(120)의 원호구간(123)을 따라 흐르도록 유도하므로 상기 평판(P)에 인력과 척력을 발생시킨다.
상기 코안다형 노즐부(100)에서의 인력과 척력의 발생과정을 다시금 살펴보면, 상기 유체공급로(110)로부터 상기 노즐공(120)에 공급된 유체가 흐르면 상기 평판(P)과 노즐공(120) 및 노즐부(135) 표면에 의해 형성되는 내부 공간의 압력은 주위의 압력에 비해 상대적으로 낮게 형성됨에 따라 이 영역에서는 상기 평판(P)을 당기는 인력이 발생하게 된다. 한편, 상기 노즐공(120)의 원호구간(123)을 거쳐 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)으로 흐르는 유체의 흐름에 의해 이 부분의 압력은 주위의 압력보다 높게 형성되므로 유체가 상기 노즐공(120)의 원호구간(123)을 지나 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)을 통과할 때 이 영역에서는 상기 평판(P)을 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)으로부터 밀어내려는 척력이 발생하게 된다.
또한, 상기 코안다형 노즐부(100)의 다른 실시예로서 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐공(120)에 예각경사구간(125)을 더 형성하여 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 상기 코안다형 노즐부(100)는 도 3 및 도 4의 일실시예로부터 상기 예각경사구간(125)이 더 형성되는 것을 제외하고는 동일한 구성으로 이루어진다.
즉, 상기 코안다형 노즐부(100)의 다른 실시예는, 상기 메인플레이트(10)에 유체공급로(110)와 노즐공(120)이 형성되고, 상기 노즐공(120)에 노즐부재(130)가 결합설치되어 이루어진다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 노즐공(120)은 도 5에서처럼 상기 유체공급로(110)의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간(121)과, 상기 수직구간(121)의 상단으로부터 연장되어 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)에 대해 상측으로 갈수록 내경의 폭이 넓어지는 상광하협의 경사면을 이루되 중심선과 예각을 이루는 경사면으로 형성되는 예각경사구간(125)과, 상기 예각경사구간(125)에서 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간(123)으로 구성된다.
상기 예각경사구간(125)은 상기 노즐공(120)의 중심에서 수직으로 중심선을 그을 경우 중심선과 이루는 각도가 예각을 이루도록 형성되는 경사면으로서, 외부로부터 상기 유체공급로(110)로 공급된 유체는 코안다 효과에 의해 상기 수직구간(121)에서 예각경사구간(125)과 원호구간(123) 및 메인플레이트(10)의 상면(11)을 따라 순차적으로 흐르게 된다.
상기와 같이 상기 노즐공(120)에 상기 예각경사구간(125)을 형성하게 되면, 상기 예각경사구간(125)은 상기 노즐공(120)의 중심선과 이루는 각도가 90°이하의 예각을 경사지게 형성되므로 유체의 이동거리가 짧아져 유체의 손실을 최소화하는 것이 가능하다.
상기 노즐부재(130)는 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 체결부(131)의 상부에 볼트머리(138)가 구비되고 상기 체결부(131)가 나사결합되는 체결공을 통해 하측으로 유입되어 설치하도록 이루어진다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 하면으로 상기 노즐부재(130)를 삽입하여 고정설치할 수 있도록 상기 메인플레이트(10) 체결공의 내경은 상기 노즐부(135)의 외경보다 크게 형성하되 상기 체결부(131)에 대응하는 크기를 이루므로 원활하게 나사결합되도록 형성한다.
상기 노즐공(120)에 대응하는 상기 메인플레이트(10)의 하면에 상기 볼트머리(138)가 안정적으로 안치될 수 있도록 상기 볼트머리(138)에 부합되는 스폿 페이싱(spot facing)작업을 행함이 바람직하고, 상기 메인플레이트(10)의 하면과 상기 볼트머리(138) 간에는 결합관계를 지속적으로 유지할 수 있도록 와셔를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 노즐부재(130)는 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 체결부(131)가 상기 메인플레이트(10)의 하면으로 돌출되면서 체결너트(139)에 의해 결합될 수 있게 상기 노즐공(120)을 통해 상측으로 유입되어 설치하도록 구성하는 것도 가능하다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 상면(11)으로 중공되는 상기 노즐공(120) 속으로 상기 노즐부재(130)의 노즐목부(133) 하부에 형성된 상기 체결부(131)를 넣어 상기 메인플레이트(10)의 하면으로 돌출되게 한 다음 상기 체결부(131)에 상기 체결너트(139)를 결합하여 상기 노즐부재(130)를 고정설치하게 이루어진다.
그리고, 상기 코안다형 노즐부(100)의 또 다른 실시예로서 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(130)는 상기 노즐부(135)의 상단 둘레에 상기 노즐공(120)의 내벽으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니(146)가 형성되는 톱니형 노즐부재(140)로 이루어진다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 노즐부재(130)의 노즐부(135) 외주 끝단이 상기 노즐공(120)의 내벽 즉, 상기 수직구간(121)에 밀착되는 톱니(146)를 형성하므로 상기 톱니(146) 간의 틈새 공간을 통해 유체의 분출유량을 조절할 수 있도록 형성된다.
상기 노즐부(135)에 형성된 상기 톱니(146)와 톱니(146) 사이의 공간면적은 넓을수록 유체의 유량이 증가하고, 톱니(146) 간의 공간면적이 좁을수록 유체의 유량이 감소하는 등 상기 톱니(146) 간의 공간면적에 따라 유체의 유량을 조절하는 것이 가능하다.
또한, 도면에 나타내지는 않았지만, 상기 노즐부재(130)의 노즐목부(133)에는 상기 노즐공(120)의 내벽에 밀착 지지하는 지지부를 형성하는 것도 가능하다.
상기와 같이 상기 노즐부재(130)에 지지부를 구성하면, 상기 노즐부재(130)가 상기 노즐공의 정중앙에 위치할 수 있으므로 상기 코안다노즐(137)의 사방을 향해 균일한 유량의 유체를 분출하는 것이 가능하다.
그리고, 본 발명에 따른 상기 메인플레이트(10)의 노즐(40)은 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 평판(P)의 이송방향에 대하여 법선 방향으로 코안다노즐(237)이 형성되는 블록형상을 이루는 것으로서, 코안다 바(220)와 노즐블록(230) 및 코안다노즐(237)을 포함하여 이루어진다.
상기 코안다 바(220)는 폭 방향으로 길게 연장되는 홈을 형성하되 상기 평판(P)에 평행한 수평면을 이루고 평판(P)과의 부양간격을 형성하는 평탄부(225)와, 상기 평탄부(225)에 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간(221)과, 상기 수직구간(221)에서 상기 평탄부(225)로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간(223)으로 구성된다.
상기 노즐블록(230)은 상기 코안다 바(220)의 홈에 위치하되 상기 코안다 바(220)의 대향되는 원호구간(223) 높이보다 아래에 위치하고 상부 양측단이 상기 코안다 바(220)에 근접하도록 형성되며 외부로부터 공급되는 유체를 유도하도록 구성된다.
상기 코안다노즐(237)은 상기 코안다 바(220)의 대향되는 원호구간(223)과 상기 노즐블록(230)의 사이에서 미세한 틈새를 이루고 외부로부터 공급되는 유체가 분출되는 것으로 이중평행선형을 이룬다.
또한, 상기 노즐블록(230)은 도 10에 나타낸 바와 같이, 상부 양측단에 상기 코안다 바(220)의 수직구간(221) 벽면으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니(246)가 형성되는 톱니형 노즐블록(240)으로 이루어지는 것도 가능하다.
상기와 같은, 본 발명의 작동관계를 도 11을 참조하여 살펴보면, 다양한 종류의 검사장비로부터 검사 및 측정가능한 거리를 유지하면서 복수로 설치된 메인플레이트(10)에 유체 즉, 에어 및 진공을 생성시킬 수 있도록 유체를 노즐(40)을 통해 분출하므로 검사대상인 평판(P)을 부양이송시키되 평판(P)의 이송방향에 대한 메인플레이트(10)의 처음과 끝 부분인 굴절이송구간(30)에 수평이송구간(20)보다 높은 압력의 유체를 분출함에 따라 인라인 검사장비로부터 원활한 검사 및 측정결과를 얻을 수 있게 형성된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 외부로부터 공급되는 유체에 의한 인력과 척력을 이용하여 평판(P)에 부양력을 가하되 메인플레이트(10) 간에 떨어진 부분 즉, 검사장비가 위치함에 따라 평판(P)에 부양력이 적용되지 않는 부분에서의 평판(P)이 쳐지는 현상을 방지하도록 평판(P)과 메인플레이트(10) 간에 동일한 부양간격을 유지하며 이송시키는 수평이송구간(20)에 비해 굴절이송구간(30)에는 유체에 적은 저항이 가해지면서 보다 높은 압력 및 많은 유량이 노즐을 통해 분출되어 강한 부양력을 형성하기 때문에 검사장비로부터 원활하게 검사 및 측정이 이루어진다.
즉, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 검사할 평판에 척력 및 인력이 적용되어 메인플레이트로부터 미세한 간격을 유지하면서 수평이송시키는 수평이송구간과 강한 척력만이 적용되어 평판을 상향이송시키는 굴절이송구간이 배치되도록 구성하므로, 평판의 이송과정 중 굴절이송구간의 부양력에 따른 영향으로 검사장비가 위치한 부분에서 평판을 펼쳐주기 때문에 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하고, 이는 다양한 검사장비로부터 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어짐과 아울러 평판의 각종 결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 더 나아가 제품의 불량률을 줄이면서 품질은 극대화하는 것이 가능하다.
뿐만 아니라, 본 발명은 평판을 검사 및 측정하는 작업을 하기 이전에 행했던 평판을 굽히는 전처리작업이나 이로 인해 굽어진 평판을 검사 후 다시 피는 후처리작업이 불필요하므로, 사용자로부터 작업의 용이성 및 편의성을 도모하고, 신속한 작업으로부터 생산성을 증진시키는 것이 가능하다.
그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 제2실시예는 도 12에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)는 상기 굴절이송구간(30)의 노즐(40)이 상기 수평이송구간(20)의 노즐(40)보다 높은 수평선상에 위치하여 상기 평판(P)이 상향이동하도록 상기 수평이송구간(20)으로부터 상기 굴절이송구간(30)에 접하는 경계부분이 꺾임에 따라 상기 굴절이송구간(30)은 상향으로 기울어진 사면을 형성토록 이루어진다.
상기 메인플레이트(10)는 상기 굴절이송구간(30)이 상기 수평이송구간(20)으로부터 기울어진 면 간에 형성되는 각이 예각을 이루도록 형성된다. 즉, 상기 수평이송구간(20)으로부터 가상의 수평선을 기준으로 5~45°의 경사면을 이루도록 형성된다.
상기 메인플레이트(10)의 노즐(40)은 도 12의 (a)에서처럼 상기 수평이송구간(20) 및 굴절이송구간(30)이 모두 척력을 가하는 에어노즐(41)과 함께 소정의 인력을 생성시키는 진공노즐(43)이 형성되어 핀홀형 노즐로 구성하는 것도 가능하고, 도 12의 (b)에서처럼 노즐(40)은 모두 척력과 인력을 함께 생성시키는 코안다형 노즐부(100)로 적용하여 구성하는 것도 가능하다. 또한, 상기 메인플레이트(10)의 노즐(40)은 도 12의 (c)에서처럼 상기 수평이송구간(20)에는 상기 코안다형 노즐부(100)로 형성되고 상기 굴절이송구간(30)에는 상기 에어노즐(41) 및 진공노즐(43)이 구비된 핀홀형 노즐로 형성하여 구성하는 것도 가능하며, 도 12의 (d)에서처럼 노즐(40)은 상기 수평이송구간(20)에는 핀홀형 노즐로 형성하고 상기 굴절이송구간(30)에는 상기 코안다형 노즐부(100)로 형성하여 구성하는 것도 가능하다.
즉, 상기한 제2실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 메인플레이트가 굴절이송구간에서 상향 된 구조의 형상을 이루므로 수평이송구간과 동일한 유량 및 압력의 유체를 굴절이송구간에 공급하여도 메인플레이트로부터 이송되는 평판은 굴절이송구간에서 상향이송하는 것이 가능하다.
상기한 제2실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 제1실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 제3실시예는 도 13의 (a)~(d)에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)는 상기 평판(P)이 상기 굴절이송구간(30)에서 상향이동하되 완만한 곡선이동이 가능하도록 상면 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이루며 원호형으로 형성된다.
상기한 제3실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 제1실시예 및/또는 제2실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 제4실시예는 도 14의 (a)~(d)에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)는 상기 수평이송구간(20)과 상기 굴절이송구간(30)이 각각 분리된 블록형으로 형성되어 이루어진다.
상기 수평이송구간(20) 및 굴절이송구간(30)의 블록 즉, 상기 메인플레이트(10)는 서로 소정간격으로 어긋나 층을 이루도록 단차를 두고 설치되는 것으로서, 상기 수평이송구간(20)의 블록보다 상기 굴절이송구간(30)의 블록이 상대적으로 높은 수평선상에 위치하도록 설치되고 상면(11)이 상기 평판(P)과 평행을 이루는 수평상태를 이루며 설치된다.
상기 수평이송구간(20) 및 굴절이송구간(30)의 블록 즉, 상기 메인플레이트(10)를 이루는 구간별 블록은 분리된 상태로서 각각 설치되도록 이루어지는 것도 가능하고, 서로 단차를 두고 형성하되 블록 간에 연결된 상태를 유지하도록 이루어지는 것도 가능하다.
또한, 상기 블록형 메인플레이트(10)는 도 15에 나타낸 바와 같이, 상기 수평이송구간(20)의 블록과 상기 굴절이송구간(30)의 블록 간에 서로 연결하도록 설치되고 상기 굴절이송구간(30) 블록의 상하 높이를 조절하여 상기 수평이송구간(20)과의 단차를 설정할 수 있도록 높이조절수단(350)을 더 포함하여 구성하는 것도 가능하다.
상기 높이조절수단(350)은 상기 수평이송구간(20)의 블록으로부터 상기 굴절이송구간(30)이 상하로 슬라이드이동가능하도록 결합관계를 형성한다. 즉, 상기 높이조절수단(350)으로부터 상기 굴절이송구간(30)은 상기 수평이송구간(20)과 동일수평선상을 기준으로 시작하여 단계별로 상측을 향해 슬라이드 이동할 수 있도록 설치된 것으로 서로 맞물린 구조를 이룬다.
도면에 나타내지는 않았지만, 상기 높이조절수단(350)은 상기 굴절이송구간(30)의 블록을 상하이동시킬 수 있도록 구동수단을 설치하는 것이 가능하다. 즉, 상기 구동수단으로부터 상기 높이조절수단(350)을 제어하여 상기 굴절이송구간(30) 블록의 이동은 물론 조절된 높이에서 고정상태를 유지하도록 구성하는 것이 바람직하다.
즉, 상기한 제4실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 다양한 검사장비로 인한 메인플레이트 간의 사이 간격을 넓게 형성하는 경우에도 굴절이송구간으로부터 보다 높은 위치로 부양하는 것이 가능하여 평판이 쳐지거나 굽어짐이 없도록 더욱 탄력적으로 적용하여 사용하는 것이 가능하다.
상기한 제4실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 제1실시예 내지 제3실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
상기에서는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
10 : 메인플레이트 11 : 상면 20 : 수평이송구간
30 : 굴절이송구간 40 : 노즐 41 : 에어노즐
43 : 진공노즐 100 : 코안다형 노즐부 110 : 유체공급로
120 : 노즐공 121,221 : 수직구간 123,223 : 원호구간
125 : 예각경사구간 130 : 노즐부재 131 : 체결부
133 : 노즐목부 135 : 노즐부 137,237 : 코안다노즐
140 : 톱니형 노즐부재 146,246 : 톱니 220 : 코안다 바
225 : 평탄부 230 : 노즐블록 240 : 톱니형 노즐블록
350 : 높이조절수단 P : 평판

Claims (16)

  1. 상면에 복수의 노즐이 구비되고 내부로 공급되는 고압의 유체를 상기 노즐을 통해 분출하여 평판을 부양이송하도록 형성되는 메인플레이트와;
    상기 메인플레이트의 노즐 중에서 중앙부분에 배치되고 상기 평판이 동일한 부양높이를 유지하며 이송가능하도록 형성되는 수평이송구간과;
    상기 메인플레이트의 노즐 중에서 상기 평판의 이송방향으로 양쪽 끝단에 위치하고 상기 수평이송구간을 따라 이송되는 상기 평판이 상향이송가능하도록 형성되는 굴절이송구간;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 메인플레이트는, 상기 수평이송구간과 상기 굴절이송구간이 동일수평선상에 놓이도록 상기 노즐이 구비된 상면이 평탄한 평면을 이루면서 상기 평판과 평행으로 설치됨을 포함하고,
    상기 굴절이송구간은 수평선상으로 이송 중인 상기 평판을 상향이송할 수 있도록 상기 수평이송구간에 비해 상대적으로 높은 압력의 유체를 분출하여 상기 평판의 부양력을 높이도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 수평이송구간은 에어를 분출하는 에어노즐과 함께 진공을 분출하는 진공노즐이 각각 등간격을 이루며 서로 교대로 배열배치되고, 상기 굴절이송구간에는 에어를 분출하는 에어노즐만 등간격으로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 메인플레이트의 노즐은, 상기 평판에 부양력을 가하도록 외부로부터 공급되는 유체를 그대로 수직 분출하는 핀홀형 노즐로 구성됨을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 메인플레이트의 노즐은, 상기 평판에 부양력을 가할 수 있도록 외부로부터 공급되는 유체를 분출하되 유체의 흐름에 의해 인력과 척력을 동시에 발생시키는 코안다형 노즐부로 구성됨을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 코안다형 노즐부는, 외부로부터 유체가 공급될 수 있도록 상기 메인플레이트의 내부 횡방향으로 중공되는 유체공급로와;
    상기 유체공급로의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트의 상면과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 노즐공과;
    상기 노즐공에 삽입된 후 상기 메인플레이트 내에 고정설치되도록 하단에 체결부가 형성되고, 상기 체결부에서 상기 노즐공의 위치까지 수직면을 이루면서 상향하여 연장형성되는 노즐목부와, 상기 노즐목부의 상단에서 상기 노즐공의 원호구간과 서로 대향되도록 위치하고 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 통과하여 분출될 수 있도록 코안다노즐을 형성하는 노즐부로 구성된 노즐부재;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 코안다형 노즐부는, 외부로부터 유체가 공급될 수 있도록 상기 메인플레이트의 내부 횡방향으로 중공되는 유체공급로와;
    상기 유체공급로의 상측으로 연통하여 상기 메인플레이트의 상면과 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간의 상단으로부터 연장되어 상기 메인플레이트의 상면에 대해 상측으로 갈수록 내경의 폭이 넓어지는 경사면을 이루되 중심선과 예각을 이루는 경사면으로 형성되는 예각경사구간과, 상기 예각경사구간에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 노즐공과;
    상기 노즐공에 삽입된 후 상기 메인플레이트 내에 고정설치되도록 하단에 체결부가 형성되고, 상기 체결부에서 상기 노즐공의 위치까지 수직면을 이루면서 상향하여 연장형성되는 노즐목부와, 상기 노즐목부의 상단에서 상기 노즐공의 원호구간과 서로 대향되도록 위치하고 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 통과하여 분출될 수 있도록 코안다노즐을 형성하는 노즐부로 구성된 노즐부재;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  8. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 노즐부재는, 상기 체결부의 상부에 볼트머리가 구비되고 상기 체결부가 나사결합되는 체결공을 통해 하측으로 유입되어 설치하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  9. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 노즐부재는, 상기 체결부가 상기 메인플레이트의 하면으로 돌출되면서 체결너트에 의해 결합될 수 있게 상기 노즐공을 통해 상측으로 유입되어 설치하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  10. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 노즐부재는, 상기 노즐부의 상단 둘레에 상기 노즐공의 내벽으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니가 형성되는 톱니형 노즐부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 메인플레이트의 노즐은, 상기 평판의 이송방향에 대하여 법선 방향으로 코안다노즐이 형성되는 것으로서, 상기 평판에 평행한 수평면을 이루고 평판과의 부양간격을 형성하는 평탄부와, 상기 평탄부에 직각을 이루면서 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수직구간에서 상기 평탄부로 완만하게 연장연결되고 외측을 향해 볼록한 만곡면을 이루는 원호구간으로 구성되는 코안다 바와;
    상기 코안다 바의 대향되는 원호구간 높이보다 아래에 위치하고 상부 양측단이 상기 코안다 바에 근접하도록 형성되며 외부로부터 공급되는 유체를 유도하는 노즐블록과,
    상기 코안다 바의 대향되는 원호구간과 상기 노즐블록의 사이에서 미세한 틈새를 이루고 외부로부터 공급되는 유체가 분출되는 코안다노즐을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 노즐블록은, 상부 양측단에 상기 코안다 바의 수직구간 벽면으로 밀착되고 유체가 이동가능하도록 톱니가 형성되는 톱니형 노즐블록으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  13. 청구항 1 내지 청구항 7 및 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인플레이트는, 상기 굴절이송구간의 노즐이 상기 수평이송구간의 노즐보다 높은 수평선상에 위치하여 상기 평판이 상향이동하도록 상기 수평이송구간으로부터 상기 굴절이송구간에 접하는 경계부분이 꺾임에 따라 상기 굴절이송구간은 상향으로 기울어진 사면을 형성토록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  14. 청구항 1 내지 청구항 7 및 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인플레이트는, 상기 평판이 상기 굴절이송구간에서 상향이동하되 완만한 곡선이동이 가능하도록 상면 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이루며 원호형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  15. 청구항 1 내지 청구항 7 및 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인플레이트는, 상기 수평이송구간과 상기 굴절이송구간이 각각 분리된 블록형으로 형성되고,
    상기 수평이송구간 및 굴절이송구간의 블록은 각각 상기 평판과 평행을 이루는 수평상태로 설치하되 상기 굴절이송구간의 블록은 상기 수평이송구간의 블록보다 상대적으로 높은 수평선상에 위치하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 수평이송구간의 블록과 상기 굴절이송구간의 블록 간에 서로 연결하도록 설치되고 상기 수평이송구간의 블록으로부터 상기 굴절이송구간이 상하로 슬라이드이동가능하여 높이를 조절할 수 있도록 형성되는 높이조절수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
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