KR20110117473A - 기판고정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 일측을 고정하여 기판이 이송중에 이탈되거나 접촉면에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 기판고정장치에 관한 것이다.
본 발명의 구성은 기판의 중심부를 플로팅하는 반송테이블과, 상기 반송테이블의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되어 기판을 고정하는 고정장치를 포함하는 기판고정장치에 있어서, 상기 고정장치는 구비된 관통공의 내측에 진공노즐을 갖는 상부판과, 상기 상판의 사이에 개재되는 기판을 파지하도록 형성되는 하부판과, 상기 상부판에 구비되어 기판의 손상을 방지하기 위한 충격방지판을 포함하여 구성된다.
위와 같은 본 발명은 첫째, 기판이 이동되는 경우에도 기판 고정장치를 통하여 기판의 이탈을 방지함으로써 안전하고 효율적으로 기판 이송을 할 수 있다.
둘째, 기판의 이송시에 기계적인 압력을 통하여 기판을 고정하지 않음으로써 기판의 표면에 압력에 의한 크랙이 발생하는 것을 방지하며 기판 이송을 이룰 수 있다.

Description

기판고정장치{PANEL DISPLAY CLAMPING APPARATUS}

본 발명은 기판고정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 이송하는 작업을 하는 경우에도 기판이 손상되지 않으며 편리하고 효율적으로 기판 이송을 이룰 수 있도록 하는 기판고정장치에 관한 것이다.

평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)에는 제조공정에서 기판 상에 스크래치나 각종 얼룩이 형성될 수 있는데, 스크래치나 각종 얼룩 등을 검사하여 불량률을 감소하기 위한 목적으로 디스플레이 기판 검사장치가 사용된다.

예컨대, 종래의 기판검사장비는 TFT LCD 기판이나, PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 기판 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 낼 수 있다.

즉, 위와 같이 기판을 이송하며 각종 작업을 이루기 위하여 기계적압력을 이용하여 기판을 고정한 후 이송시킬 수 있는 다양한 형태의 기판이송장치가 제공되고 있는 실정이다.

그러나 최근에는 기판의 고속 이송화를 이루는 작업이 늘어나면서 기계적 고정력을 이용하여 기판을 고정한 후 이송시키는 작업을 하는 경우에는 기판을 고정하는 부위가 기계적 압력에 의하여 손상될 수 있었으며 기판의 이송중에 기판이 이탈하는 문제가 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 기판을 이송하는 작업을 하는 경우에도 기판의 이송을 안전하고 원활하게 함은 물론이고, 기판이 표면에 기계적 압력으로 인한 크랙의 발생을 미연에 방지할 수 있어 효율적인 기판이송을 할 수 있는 기판고정장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 기판의 중심부를 플로팅하는 반송테이블과, 상기 반송테이블의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되어 기판을 고정하는 고정장치를 포함하는 기판고정장치에 있어서, 상기 고정장치는 구비된 관통공의 내측에 진공노즐을 갖는 상부판과, 상기 상부판의 사이에 개재되는 기판을 파지하도록 형성되는 하부판과, 상기 상부판에 구비되어 기판의 손상을 방지하기 위한 충격방지판을 포함하여 구성될 수 있다.

이상과 같은 본 발명은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 기판이 이동되는 경우에도 기판 고정장치를 통하여 기판의 이탈을 방지함으로써 안전하고 효율적으로 기판 이송을 할 수 있다.

둘째, 기판의 이송시에 기계적인 압력을 통하여 기판을 고정하지 않음으로써 기판의 표면에 압력에 의한 크랙이 발생하는 것을 방지하며 기판 이송을 이룰 수 있다.

도 1은 본 발명인 기판 이송장치의 평면도.
도 2는 본 발명인 기판 이송장치의 측면도.

이하, 도시하여 첨부된 도면에 따라 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.

상기 설명에 앞서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

먼저, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판(10)의 중심부를 플로팅하는 반송테이블(500)과, 상기 반송테이블(500)의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되어 기판을 이송하는 고정장치(100)를 포함하여 구성된다.

도 2는 기판 이송장치에 마련된 본 발명인 기판고정장치의 측면을 도시한 측면도이다.

상기 도 2에서와 같이, 본 발명에 따른 기판고정장치(100)에는 플레이트 형상의 상부판(110)과, 상기 상부판(110)과의 사이로 삽입되는 기판(10)을 파지하기 위한 하부판(120)이 구비되어 구성된다.

이때, 상기 상부판에는 진공노즐(112)이 삽입되어 고정될 수 있는 관통공(111)이 구비되어 구성된다.

먼저, 상기 진공노즐(111)이 마련되는 상부판(110)과 하부판(120)을 포함하는 기판 고정 장치에 대하여 설명한다.

본 발명에 따른 기판고정장치는 기판(10)의 일측을 기계적인 압착과 진공에 의한 흡착으로 고정하기 위해 상부판(110)과 하부판(120)으로 이루어지는 고정장치(100)와, 상기 고정장치(100)를 상하 방향으로 이동시키기 위한 수직이송부(200)와, 기판(10)의 크기에 따라 기판(10)을 향하거나 그로부터 멀어지는 방향으로 상기 고정장치(100)를 이동시키기 위한 이송부(300)와, 상기 고정장치(100)를 기판(100)이 이송되는 방향으로 진행하기 위한 이송플레이트(400)를 포함하여 구성되는 것이다.

예컨대, 기판(10)의 일측 또는 양측을 파지하기 위한 고정장치(100)는 상부판(110)과, 상기 상부판(110)에 일정 간격 이격되어 상,하 이동가능한 하부판(120)으로 구성되는 것으로서 상기 상부판(110)에는 기판(500)을 진공에 의해 흡착하기 위한 진공노즐(112)이 마련되고, 상기 진공노즐(112)은 상기 상부판(110)에 구비된 관통공(111)에 삽입되도록 구성되는 것이다.

이에 따라, 상기 기판(10)이 상기 상부판(110)과 하부판(120)의 사이로 진입되는 경우에 상기 상부판(110)에 구비된 진공노즐의 압력에 의하여 상기 하부판(120)에 상기 기판(10)이 접촉된 상태를 유지할 수 있도록 구성되는 것이다.

이때, 본 발명에서 자세히 도시하지 않았지만, 상기 진공노즐(112)은 그 상부면으로 상기 기판(10)과 접촉되는 접촉면을 갖으며 그 내측으로 에어가 흡입되는 에어유로(미도시)가 형성되고, 상기 에어유로(미도시)는 에어를 흡입하기 위해 펌프 역활을 하는 에어흡입부(미도시)와 연결된다. 또한, 상기 진공노즐(112)은 대향면으로 매트릭스 형태의 일정 패턴으로 다수개 배치될 수 있는 것이다.

또한, 상기 상부판(110) 및 하부판(120)의 대향면으로는 기판(10)의 손상을 방지하기 위해 기판(10)의 강도보다 낮은 강도의 충격방지판이 마련되어 구성될 수 있다.

이러한, 충격방지판은 고성능 열가소성 수지 중에서 폴리에테르에테르케톤(polyetheretherketone:PEEK), 에틸렌을 중합한 열가소성 수지인 고분자 폴리에틸렌, 불화탄화수소의 중합체인 불소수지 화합물등중 적어도 어느 하나를 포함하여 구성된 것을 사용하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 자세히 도시하지 않았지만 상기 상부판(110)과 하부판(120)의 미세한 간격을 조절하기 위하여 별도의 승하강장치(미도시)를 구비하여 구성하는 것이 더욱 바람직한 것이다.

본 발명에서 상기 고정장치(100)를 유동시키기 위하여 포함된 상기 수직이송부(200)는 상기 기판(10)의 작업공정 방식이에 따라 상기 기판(10)의 높이를 유동시키도록 구성되며, 일반적인 실린더(미도시)를 통하여 상기 고정장치(100)와 연결 구성되는 것이다.

그리고, 상기 고정장치(100)를 기판(10)의 폭 방향으로 이동시킬 수 있는 상기 이송부(300)는 상기 수직이송부(200)와 같이, 일반적인 실린더(미도시)를 통하여 상기 고정장치(100)와 연결되도록 구성하는 것이 바람직하다.

이때, 상기 이송부(300)는 기판(10)의 반입이나 반출 과정에서는 기판(10)과의 간섭을 방지하기 위해서 상기 고정장치(100)를 기판에서 멀어지게 후퇴시킨 후 상기 기판(10)이 반입된 후에는 기판(10)을 향하는 방향으로 전진시켜 기판(10)을 고정시킬 수 있는 위치까지 이동시키는 것이다.

상술한 반송테이블(500)을 따라 상기 고정장치(100)를 이송하기 위한 이송플레이트(400)는 상기 고정장치(100)와 수직이송부(200) 및 이송부(300)를 저부에서 지지하며 상기 반송테이블(500)의 일측 또는 양측에 그 길이 방향을 따라 형성된 이송경로를 통해 슬라이딩 이동가능한 구성으로 구성되는 것이다.

이와 같은 구성을 통하여, 상기 기판(10)이 기판 이송장치에 반입되면 본 발명의 고정장치(100)는 상기 기판(10)의 일측 또는 양측을 실린더에 의해 기계적으로 고정한 후 에어를 흡착하여 고정하고, 상기 고정장치(100)에 의해 고정된 상기 기판(10)은 기판 이송장치의 반송테이블(500)을 따라 이동하게 되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 공압 실린더 방식에 의한 기계적인 고정 뿐만 아니라 진공노즐(112)을 통한 진공 흡착으로 기판(10)을 고정할 수 있어 기판(10)이 고속으로 이송되는 과정에서도 안전하고 효율적인 기판 이송작업을 이룰 수 있다.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 요지 또는 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변경될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자에게 있어서 자명할 것이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명>
10: 기판 100: 고정장치
110: 상부판 111: 관통공
112: 에어노즐 120: 하부판
130: 충격방지판 200: 수직이송부
300: 이송부 400: 이송플레이트
500: 반송테이블

Claims (1)

1. 기판(10)의 중심부를 플로팅하는 반송테이블(500)과, 상기 반송테이블(500)의 일측부 또는 양 대향측단부에 설치되어 기판(10)을 고정하는 고정장치(100)를 포함하는 기판고정장치에 있어서,
   상기 고정장치(100)는 구비된 관통공(111)의 내측에 진공노즐(112)을 갖는 상부판(110)과,
   상기 상부판(110)의 사이에 개재되는 기판(10)을 파지하도록 형성되는 하부판(120)과,
   상기 상부판(110)에 구비되어 기판(10)의 손상을 방지하기 위한 충격방지판(130)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판고정장치.

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