TWI386354B - 基板搬送裝置 - Google Patents

Description

基板搬送裝置 發明領域

本發明為有關使大型基板浮起而搬送的基板搬送裝置。

發明背景

近年來，隨著液晶顯示器(以下簡稱為LCD)或電漿顯示器(以下簡稱PDP)等平面板顯示器(以下簡稱FPD)之畫面的大型化，使用於FPD之玻璃基板尺寸乃有年年大型化的傾向。

習知在FPD製造步驟中，在作為搬送大型玻璃基板之基板搬送裝置方面，乃有從空氣吹出區塊(基板浮起區塊)朝向玻璃基板下面吹上壓縮空氣，而使玻璃基板浮起空氣吹出區塊者(例如特開平2000-193604號公報(第3圖、第4圖))。此構造之基板搬送裝置不會使玻璃基板表面損傷而能容易地搬送。

又，此基板搬送裝置具有從下面側支撐正交於玻璃基板之行進方向之寬度方向之兩端的支撐滾子機構、頂接於玻璃基板之寬度方向之兩端面之一對限制滾子機構。限制滾子機構從側部夾著從空氣吹出區塊之寬度方向之端部(側端部)突出之玻璃基板之寬度方向兩端部，藉此限制寬度方向的位置。又，支撐滾子機構接近此限制滾子機構而配置。

但是，由於限制滾子機構離開空氣吹出區塊而夾著玻璃基板的寬度方向，因此以壓縮空氣而浮起之際，藉限制滾子機構所夾著之玻璃基板的寬度方向端部，相對於藉壓縮空氣而浮起的玻璃基板面而翹曲，而無法使玻璃基板整體保持水平來搬送。

又，由於藉限制滾子機構夾著玻璃基板，因此會對於玻璃基板之寬度方向端部施加大的附加而有損傷玻璃基板之虞。

而且，支撐滾子機構接近此限制滾子機構而配置，因此空氣吹出區塊之側端部與支撐滾子機構之間會有玻璃朝下方翹曲的情形。壓縮空氣所造成玻璃基板浮起高度例如1為0.2mm那般微少，故即使前述玻璃基板之翹曲微少亦會有因此翹曲而使玻璃基板接觸空氣吹出區塊之側端部以致於玻璃基板損傷之虞。

發明概要

本發明係鑑於上述情事而完成者，其目的在於提供一種基板搬送裝置，其係使基板浮起而搬送之際，可減輕對基板之外在的負荷，且不會使基板接觸空氣吹出區塊而能水平地搬送者。

為達到上述目的，依據本發明乃提供一種基板搬送裝置，其係使基板以非接觸狀態浮起搬送者，其特點在於具有：使基板浮起呈非接觸狀態之基板浮起區塊、保持浮起於前述基板浮起區塊上之前述基板之側部而強制性地搬送 的搬送機構、設置於與前述基板之搬送方向平行之前述基板浮起區塊之側部，且從下面側支撐由前述基板浮起區塊之側部突出於外側之前述基板側部的基板支撐機構。

依據上述構造的基板搬送裝置，由於基板支撐機構配置於基板浮起區塊之側部，且從下面側支撐由前述基板浮起區塊之側部突出於外側之前述基板的側部，故能防止基板接觸基板浮起區塊而損傷。又，即使玻璃基板朝下側方翹曲亦能將玻璃基板矯正成水平。

依據本發明之其他樣態乃提供一種基板搬送裝置，其係在平面板顯示器之製造步驟使玻璃基板以非接觸狀態浮起而搬送者，其特點在於具有：設定比前述玻璃基板之寬度尺寸小，且約相同於形成在前述玻璃基板上之圖案區域之最外側之寬度尺寸的寬度尺寸，並使前述玻璃基板浮起呈非接觸狀態之基板浮起區塊、保持藉前述基板浮起區塊而浮起之前述玻璃基板之前述圖案區域外之單側側部或兩側側部而強制性地搬送的搬送機構、沿著與前述玻璃基板之搬送方向平行之前述基板浮起區塊之單側側部或兩側側部而設置，且從下面側支撐由前述基板浮起區塊突出之前述圖案區域外之前述玻璃基板之單側側部或兩側側部的基板支撐機構，且藉前述基板支撐機構而將由前述基板浮起區塊之單側側部或兩側側部突出之前述玻璃基板之單側側部或兩側側部支撐成水平。

依據本發明之另外其他樣態，乃提供一種基板搬送裝置，其係以平面板顯示器而使玻璃基板浮起而搬送者，其 特點在於具有：設定比前述玻璃基板之寬度尺寸小，且約相同於形成在前述玻璃基板上之圖案區域之最外側之寬度尺寸的寬度尺寸，並使前述玻璃基板浮起呈非接觸狀態之基板浮起區塊、沿著平行於前述基板浮起區塊之搬送方向之單側側部而配置，且保持浮起於前述基板浮起區塊上之前述玻璃基板之一側側部之前後及中間部而搬送的搬送機構、沿著位於配置與前述玻璃基板之搬送方向平行之前述搬送機構之相反側之前述基板浮起區塊之另一側側部而設置，且從下面側支撐前述玻璃基板之前述圖案區域外之另一側側部的基板支撐機構，且藉前述搬送機構而將浮起於前述基板浮起區塊之前述玻璃基板之一側側部支撐成水平而搬送，且藉前述基板支撐機構而將與從前述搬送機構相反側之前述基板浮起區塊突出之前述玻璃基板之另一側側部支撐成水平。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板支撐機構具有設置在前述基板浮起區塊之側部之複數的轉動支撐構件，前述轉動支撐構件藉前述搬送機構使前述基板朝搬送方向移動之際，將前述基板之下面上轉動至要滾動的方向。

較好的是前述轉動支撐構件係可朝前述搬送方向轉動之寬度細的滾子。

較好的是前述轉動支撐構件係被支撐成多方向自由轉動的球。

依據上述構造之基板支撐構件，以轉動支撐構件支撐 基板，在搬送基板之際，轉動支撐構件即滾子或球轉動基板之下面上，故滾子或球與基板之滑動摩擦變小，能防止因此滑動摩擦使基板損傷。

又，依據上述構造之基板支撐構件，特別是使用球的情形下，即使基板朝正交於搬送方向之寬度方向移動，球亦能接觸基板而自由地轉動，故能確實地防止基板損傷。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板支撐構件具有循環構件，該循環構件具有使複數之球露出於對向於前述基板之下面之前述基板浮起區塊之搬送面上，而轉動於前述基板之下面上並使其移動的接觸轉道、連結於前述接觸軌道兩端而使前述球循環於前述接觸軌道的循環軌道。

又，依據上述構造之轉動支撐構件，以使複數之球循環於接觸軌道及循環軌道而能抑制與基板之間之轉動所造成球的摩耗，故不必更換球而能長時間連續使用。

較好的是前述基板支撐機構係將壓縮空氣朝向由前述基板浮起區塊之側部突出於外側之前述基板之側部吹上的空氣吹出部。

較好的是前述空氣吹出部設成與使前述基板浮起之前述基板浮起區塊之空氣供給系統為其他的系統，而調整成比前述基板浮起區塊之空氣壓高。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板支撐機構由複數的支撐單元所構成，而各支撐單元係相對於前述基板浮起區塊而設成可更換且自由裝卸。

依據上述構造之基板支撐構件，以相對於前述基板浮起區塊而設成可自由裝卸之複數的單元，能簡單地更換所希望的單元。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板支撐機構由複數的支撐單元所構成，而各支撐單元係相對於前述基板浮起區塊而設成可調整高度。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板支撐機構沿著前述基板浮起區塊之側部而接近配置。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板浮起區塊具有於搬送方向上複數分割成細長的矩形狀，並使各區塊滑向寬度方向而調整各區塊間之間隔的寬度調整機構。

較好的是於上述構造之基板搬送裝置，前述基板浮起區塊於載置前述基板之上面形成多數空氣吹上用的空氣孔，於前述上面形成排出與由前述空氣孔所吹上之空氣而浮起之前述基板之間所積留之空氣的溝。

依據上述構造之基板支撐機構，以空氣支撐基板之端部而能以非接觸搬送基板，故能確實防止基板下面損傷。

圖式簡單說明

第1圖表示本發明之一實施樣態之基板搬送裝置的概略上面圖。

第2圖係第1圖之基板搬送裝置的概略側面圖。

第3A圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大側面圖。

第3B圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大正剖面圖。

第4圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，使玻璃基板浮起於基板載置台上之狀態的概略側面圖。

第5圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，玻璃基板之空氣搬送動作的概略側面圖。

第6圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，玻璃基板之空氣搬送動作的概略側面圖。

第7A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大側面圖。

第7B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大正剖面圖。

第8A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有配置於接觸軌道及循環軌道之複數球之支撐單元的放大側剖面圖。

第8B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有配置於接觸軌道及循環軌道之複數球之支撐單元的放大正剖面圖。

第9A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有空氣吹出部之支撐單元的放大側剖面圖。

第9B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有空氣吹出部之支撐單元的放大正剖面圖。

較佳實施例之詳細說明

第1圖至第6圖表示本發明之一實施樣態，在此說明之實施樣態係將本發明運用於大型LCD或PDP等之FPD之製造步驟之上線檢查用玻璃基板搬送裝置之情形者。

構成基板搬送裝置之搬入用基板載置台1係設於消震台2上，而載置已搬入其上面(搬送面)之玻璃基板3(製造複數FPD之切多面用母基板)者。基板載置台1之寬度方向(相對於玻璃基板3之搬送方向的垂直方向)的尺寸比玻璃基板3的寬度短。此基板載置台1之上面設置空氣吹上用之複數空氣孔4而構成使玻璃基板3浮起的基板浮起區塊。空氣孔4約均一地設於基板載置台1全面。

又，此基板載置台1上面，二條溝5相互隔著預定間隔而沿著搬送方向形成。而且，此基板載置台1設有於搬入玻璃基板3時會昇降之複數(圖示例為9個)昇降銷6。

又，基板載置台1亦可於搬送方向分割成細長之矩形狀區塊，以調整分割成複數之區塊間(溝5)之間隔而配合各種尺寸之玻璃基板並改變基板載置台1之寬度方向尺寸。此情形下，藉使位於基板載置台1之寬度方向兩端之各區塊朝向寬度方向滑動的寬度調整機構(圖式未顯示)而能任意地調整基板載置台1的寬度尺寸。

在平行於搬送方向C之基板載置台1之單側側部(搬送方向C的左側)設有搬入用搬送機械手7。此搬入用搬送機械手7藉圖式未顯示之多關節臂而旋轉二根手臂8，一邊前進及後退而從匣盒取出未檢查的玻璃基板3並搬入基板載置台1上。

基板載置台1之下游側，搬送架台9沿著搬送方向C而並列設置。此搬送架台9形成從玻璃基板3之搬入側至搬出側的長度。此搬送架台9被載於消震台10上。

此搬送架台9上面涵跨搬送架台9全長設置基板浮起區塊(檢查載置台)11。基板浮起區塊基板載置台1之寬度方向尺寸與基板載置台1同樣比玻璃基板3之寬度短。此基板浮起區塊基板載置台1上面(搬送面)亦與基板載置台1同樣設置著空氣吹上用複數空氣孔12。此等空氣孔12約均一地設於基板浮起區塊11全面。

又，此基板浮起區塊11上面二條溝13相互隔著預定間隔而沿著搬送方向形成。此基板浮起區塊基板載置台1上面的高度約相同於基板載置台1之上面的高度。

又，此基板浮起區塊11亦與基板載置台1同樣可調整分割成複數之各區塊間(溝13)之間隔而改變基板浮起區塊基板載置台1之寬度方向的尺寸。

於沿著搬送方向C之搬送架台9之約中間位置設置著進行以一定速度搬送之玻璃基板3之各種檢查的檢查部E。此檢查部E搭載著門型臂14、顯微鏡、線感測器、CCD照相機等各種檢查用機器15。此檢查部E藉著例如複數配列於寬度方向之線感測器而取得玻璃基板3之圖像資料，對此圖像資料進行圖像處理而進行玻璃基板3之圖案檢查或缺陷檢查。

於搬送架台9之下游側，搬出用基板載置台16沿著搬送方向C而並列設置。此基板載置台16設於消震台17上且係用以搬出從基板浮起區塊11搬送而來之玻璃基板3而暫時載 置的載置台。基板載置台16之寬度尺寸與基板浮起區塊11同樣於其上面(搬送面)設置空氣吹上用之複數空氣孔18而構成使玻璃基板3浮起的基板浮起區塊。空氣孔18約均一地設於基板載置台16之全面。

又，於基板載置台16上，使從各空氣孔18吹上之空氣排出之二條溝19相互隔著預定的間隔並沿著搬送方向C而形成。而且，此基板載置台16設置搬出玻璃基板3時會昇降之複數(圖式例為9個)昇降銷20。此基板載置台16上面高度約與基板浮起區塊11上面高度相同。

又，此基板載置台16亦與基板載置台1同樣可調整分割成複數之各區塊間(溝19)之間隔而改變基板浮起區塊基板載置台16之寬度方向的尺寸。

平行於搬送方向C之基板載置台16之單側側部(搬送方向C之左側)設置搬出用搬送機械手21。此搬出用搬送機械手21藉圖式未顯示之多關節臂而旋轉二根手臂22，一邊使其前進及後退而一邊將檢查完之玻璃基板3收納於匣盒內。

於搬送架台9及消震台17上設置可保持已浮起之玻璃基板3之一側部或兩側部而高速地搬送的搬送機構。此搬送機構係由可保持浮起於基板浮起區塊上之玻璃基板之一側部或兩側部並強制性地搬送的搬送部、沿著平行於玻璃基板3之搬送方向C之基板浮起區塊之一側或兩側而配置的導引構件所構成。搬送機構可使用藉線圈之激磁而行走於直線線性導引構件(滑動構件)上的移動構件(搬送部)所構成的線性馬達。夾著基板浮起區塊11及基板載置台16而構成 直線線性導引構件之滑動構件23~28以一對為一組構成複數組而沿著搬送方向C相互平行地設置。

位於搬送方向C之上游及下游側之二組滑動構件23、24、27、28設在比位於搬送方向C之中間部之一組滑動構件25、26更向寬度方向外側。

在配設於基板載置台1之下游側至搬送架台9之中間部之間的一對滑動構件23、24，各別設置可吸著保持玻璃基板3而以高速朝向搬送方向C及其反方向移動的搬送部29、30。各搬送部29、30具有可伸縮於垂直方向且安裝成自由旋轉之臂29a、30a、設於臂29a、30a之前端部且可吸著保持平行於搬送方向C之玻璃基板3之兩側部的吸著墊29b、30b、設於搬送部29、30且可使臂29a、30a朝向搬送方向C及垂直方向移動的柱塞。

又，配設於搬送架台9之中間部至下游側之間的一對滑動構件25、26，亦各別設置可朝向搬送方向C及其反方向移動的搬送部31、32。與前述搬送部29、30同樣具有臂31a、32a、及吸著墊31b、32b。

而且，配設於搬送架台9之下游側端部至基板載置台16之下游側端部之間的一對滑動構件27、28，亦各別設置可朝向搬送方向C及其反方向移動的搬送部33、34。各搬送部33、34與前述搬送部29、30同樣具有臂33a、34a、及吸著墊33b、34b。

又，位於搬送方向C之上游及下游側之二組滑動構件23、24、27、28設於比位於搬送方向C之中間部之一組滑動 構件25、26更向外側，因此，設定各吸著墊29b、30b、33b、34b之長度以使吸著墊29b、30b、33b、34b及吸著墊31b、32b之寬度方向位置相同。

此基板搬送裝置除了上述構造之外，亦具有壓縮空氣供給部46、真空吸著部47、移動控制部48及基板支撐機構49。

壓縮空氣供給部46透過配管而連通於搬入用基板載置台1、基板浮起區塊11及搬出用基板載置台16之各空隙部，選擇性地對各空隙部供給壓縮空氣而從各空氣孔4、12、18吹上壓縮空氣。藉此壓縮空氣於搬入用基板載置台1、基板浮起區塊11及搬出用基板載置台16上能使玻璃基板3浮起。又，此壓縮空氣供給部46亦可從各空氣孔4、12、18吹上具有消電效果之空氣，例如被離子化為正離子或負離子之空氣。以此等空氣孔4、12、18及壓縮空氣供給部46構成使玻璃基板3浮起的基板浮起機構101。

真空吸著部47透過配管而連通於各吸著墊29b~34b，選擇性地真空吸住此等吸著墊29b~34b而吸著保持玻璃基板3。移動控制部48係用以移動控制在各滑動構件23~28上之搬送部29~34者。

藉此等滑動構件23~28、搬送部29~34、真空吸著部47及移動控制部48而構成使玻璃基板3朝向搬送方向C移動的搬送機構102。

基板支撐機構49設在平行於搬送方向C之基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部或接近此等位置而設置， 而從下面側支撐玻璃基板3之兩側部。此基板支撐機構49具有相對於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部可更換而自由裝卸地安裝的複數支撐單元51。

如第3A圖、3B圖所示各支撐單元51可旋轉地安裝著複數滾子(旋轉支撐構件)53作為旋轉支撐構件，各滾子53配設成周面的一部分從基板載置台1、16及基板浮起區塊11上面突出約與基板浮起高度相同高度。設有可調整基板浮起區塊11高度的高度調整機構以使各滾子53之突出長度成為以壓縮空氣使玻璃基板3浮起的高度。又，鄰接搬送方向C排列之滾子53，係接觸玻璃基板3的周面由合成樹脂等比玻璃基板3柔軟之耐磨耗性材料所構成，並以相互不接觸的狀態接近配置。此等滾子53於玻璃基板3朝搬送方向C移動之際構成可在玻璃基板3下面轉動的方向(J方向)來旋轉。又，滾子53以具有相對於玻璃基板3可獲得不會滑脫之摩擦力的細小尺寸為宜。

又，玻璃基板3形成複數(例如4面、6面)構成顯示器的圖案區域G，基板載置台1、16及基板浮起區塊11之寬度尺寸設定為約相同於平行於搬送方向C之圖案區域G之最外側的寬度尺寸。如此一來，未形成圖案區域G之玻璃基板3的兩側部乃構成突出於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部。如第3A圖所示各滾子53沿著基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部緊密地配置，而如第3A圖所示，建構成從下面側支撐玻璃基板3之兩側部。

其次，說明上述說明構成之基板搬送裝置的動作。

如第1圖、第2圖所示，將玻璃基板3載置於基板載置台1之際，預先使位於搬入側之滑動構件23、24上的搬送部29、30移動至基板載置台1側並令其待機。

由此狀態，搬入用搬送機械手7旋轉、前進及後退手臂8而從匣盒取出未檢查的玻璃基板3並搬送至基板載置台1的上方。又，於此搬送之同時上昇基板載置台1之各昇降銷6。接著，搬入用搬送機械手7使手臂8下降而將玻璃基板3載置於各昇降銷6上之後退避。藉著各昇降銷6的下降而將玻璃基板3載置於基板載置台1上。

於此狀態下，由於玻璃基板31之寬度尺寸比基板載置台1之寬度還長，因此平行於搬送方向C之玻璃基板3之兩側部突出於基板載置台1的兩側部。又，於此狀態下，如第3B圖所示位於比圖案區域G更外側之玻璃基板3的側部下面會接觸滾子53。

如第4圖所示，一旦結束載置玻璃基板3，則位於搬入側之搬送部29、30分別使臂29a、30a上昇，同時藉真空吸著部47進行吸著墊29b、30b的真空吸引，而使吸著墊29b、30b吸著玻璃基板3的下面。此等吸著墊29b、30b的吸著位置乃比前述之滾子53的接觸位置更向玻璃基板3之寬度方向的外側，且係朝向搬送方向C之玻璃基板3的前側。於此狀態下，吸著墊29b、30b僅上昇比基板載置台1上面高度高一些，而位於約相同玻璃基板3與滾子53之接觸位置(基板浮起高度)的高度。

此吸著玻璃基板3之同時，壓縮空氣供給部46透過配管 而朝搬入用基板載置台1及基板浮起區塊11之空隙部供給壓縮空氣，使壓縮空氣從空氣孔4、12吹上。

此時於基板載置台1與玻璃基板3之間會形成空氣層，而玻璃基板3會浮起於基板載置台1的上面。從空氣孔4吹上的空氣不會滯留在前述空氣層而會透過基板載置台1之溝5流動。因此，玻璃基板3保持平面度而浮起於基板載置台1上。又，滾子53約相同於藉壓縮空氣而浮起之玻璃基板3之下面的高度，故即使玻璃基板3向下方彎曲或翹曲，玻璃基板3之兩側部亦以各滾子53而矯正成水平，並使玻璃基板3不接觸基板載置台1之搬送面那般地浮起。

之後，如第5圖所示移動控制部48使具有吸著玻璃基板3下面之吸著墊29b、30b之二個搬送部29、30以相同速度同步而於滑動構件23、24上朝向搬送方向C移動。如此一來，玻璃基板3藉著從各空氣孔4、12來的壓縮空氣而浮起於基板載置台1及基板浮起區塊11上面，並藉搬送部29、30以高速從基板載置台1朝向基板浮起區塊11搬送。此時設於基板載置台1及基板浮起區塊11之滾子53接觸位於圖案區域G之外側之玻璃基板3的兩側部下面而朝向J方向旋轉。

在結束玻璃基板3朝向基板浮起區塊11搬送之際，壓縮空氣供給部46停止朝搬入用基板載置台1之空氣孔4供給壓縮空氣。又，此時移動控制部48使位於中間部之二個滑動構件25、26上的搬送部31、32朝向與搬送方向C相反方向移動。

此等搬送部31、32一旦到達玻璃基板3的下方即停在滑 動構件25、26上的基板交接基準位置，並使各臂31a、32a上昇而藉真空吸著部47使吸著墊31b、32b吸著於玻璃基板3下面。此等吸著墊31b、32b之吸著位置乃比滾子53之接觸位置更向玻璃基板3之寬度方向的外側，且係朝向搬送方向C之玻璃基板3的前側。

一旦吸著墊31b、32b吸著於玻璃基板3，則解除以真空吸著部47對搬送部29、30之各吸著墊29b、30b的吸著，而下降各臂29a、30a。藉此，對於玻璃基板3之吸著保持就從搬送部29、30交付至搬送部31、32。之後，二個搬送部29、30使分別以與搬送方向C相反方向移動於滑動構件23、24上，且停止在搬入用基板載置台1之基板交接基準位置並待機。

一旦結束玻璃基板3之交付，則吸著保持著玻璃基板3之搬送部31、32如第6圖所示以相同速度同步而以高速朝搬送方向C移動於各滑動構件25、26上。此時接近配置於基板浮起區塊11之兩側部之滾子53接觸位於圖案區域G之外側之玻璃基板3的寬度方向兩側部下面而朝向J方向旋轉。如此一來，浮起於基板浮起區塊11上之玻璃基板3藉搬送部31、32被拉著而到達檢查部E。

檢查部E將搬送部29、30的速度從高速控制到低速以使玻璃基板3的速度適於檢查，例如使用具有線感測器之檢查用機器15取得玻璃基板3的圖像資料，並依據此圖像資料而進行玻璃基板3之圖案檢查、缺陷檢查。

一旦結束在檢查部E的檢查，則吸著保持著玻璃基板3 之搬送部31、32以相同速度同步而以高速移動於各滑動構件25、26上，並將玻璃基板3朝向搬送方向C搬送。此時設於基板浮起區塊11及基板載置台16之滾子53接觸位於圖案區域G之外側之玻璃基板3的兩側部下面而朝向J方向旋轉。

一旦玻璃基板3到達基板浮起區塊11之下游側，則玻璃基板3之吸著保持就會從位於基板浮起區塊11側之搬送部31、32交接至位於搬出用基板載置台16側之搬送部33、34，同時壓縮空氣供給部46將壓縮空氣供給至搬出用基板載置台16之空氣孔18。此等從搬送部31、32交接玻璃基板3至搬送部33、34的情形乃與前述從搬送部29、30交接至搬送部31、32的情形同樣地進行。

一旦結束交接玻璃基板3，則搬送部33、34以高速移動於滑動構件27、28上而將玻璃基板3朝向搬送方向C搬送。如此一旦玻璃基板3到達搬出用基板載置台16的上方，則各搬送部33、34會停止在基板交接基準位置。

於基板載置台16壓縮空氣供給部46停止對基板載置台16之空氣孔18供給壓縮空氣。此時解除以真空吸著部47對於玻璃基板3下面的吸著，使各臂33a、34a下降之同時使昇降銷20上昇而帶上玻璃基板3。如此一來，玻璃基板3即載置於昇降銷20上。搬出用搬送機械手21旋轉、前進及後退手臂22而從昇降銷20上接收檢查完之玻璃基板3並收納於匣盒內。

之後，依序對於複數的玻璃基板3反覆進行搬入基板載置台1、空氣搬送、檢查及從基板載置台16搬出。

如上所述，依據此基板搬送裝置，滾子53接觸並支撐其突出於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部之玻璃基板3的側部下面，因此，在搬送玻璃基板3時能防止玻璃基板3之兩側部向下側方翹曲，又，即使玻璃基板3向下側方彎曲，亦能將玻璃基板3矯正成水平。

爰此，以壓縮空氣使玻璃基板3之圖案區域G從搬送面浮起，且以滾子53支撐玻璃基板3的兩側部，能使玻璃基板3的兩側部不會接觸基板載置台1、16及基板浮起區塊11而能穩定高速地搬送，且能防止玻璃基板3接觸基板載置台1、16及基板浮起區塊11而損傷。而且，以滾子53支撐玻璃基板3之圖案區域G外側之無圖案的兩側部，能使滾子53不接觸玻璃基板3之圖案區域G那般地搬送，因此也能防止對應此圖案區域G之玻璃基板3下面損傷。

又，以吸著保持玻璃基板之側部下面的狀態，比較於習知那般以限制滾子機構定著玻璃基板3之兩側部者，乃能減輕對於玻璃基板3之外在的負荷。

又，玻璃基板3朝向搬送方向C移動於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之際，由於滾子53朝向玻璃基板3之搬送方向C旋轉，因此玻璃基板3與滾子53之滑動摩擦變得非常小。爰此，也能防止此滑動摩擦造成玻璃基板3損傷。

而且，在更換滾子53之際，可使安裝著複數滾子53之複數支撐單元51相對於基板載置台1、16及基板浮起區塊11構成可裝卸狀態，藉此能簡單地更換所希望的支撐單元51，能於每一支撐單元51總括地更換多數的滾子53。爰此， 能以短時間容易地進行更換滾子53。

又，上述實施樣態中，雖說明了於支撐單元51安裝了朝搬送方向C旋轉的滾子53，惟並不限於此，例如第7A、7B圖所示亦可將可朝多方向轉動之複數球摻雜安裝於支撐單元51。

即，各球55藉球保持器57以球55之中心點為軸保持成可轉動狀態，此球保持器57固定於支撐單元51。又，各球55與滾子53的情形同樣與從基板載置台1、16及基板浮起區塊11上面之基板浮起高度約相同高度突出配置，而建構成接觸玻璃基板33下面。

於此構造中，玻璃基板3不僅朝向搬送方向C移動，即使是朝向正交於搬送方向C之基板載置台1、16及基板浮起區塊11的寬度方向，玻璃基板3與球55之間亦不會發生滑動摩擦，故能確實防止玻璃基板3損傷。特別是要進行玻璃基板3之定位(對準)的情形下，以空保使玻璃基板3浮起的狀態朝向與搬送方向C正交的方向移動之際，比較於滾子53，其滑動摩擦變小而容易定位，且能防止玻璃基板3之內面損傷。

又，例如第8A、8B圖所示，亦可將循環構件相對於基板載置台1、16及基板浮起區塊11而設置於可裝卸的支撐單元63，而該循環構件具有沿著搬送方向C形成且露出於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之上面側的接觸軌道59、及離開基板載置台1、16及基板浮起區塊11之上面側且將接觸軌道59之形成方向之兩端予以相互連結的循環軌道61，而 此等接觸軌道59及循環軌道61配置複數的球55。又，各球55以配置成接觸鄰接之其他球55為佳。

以此構造使玻璃基板3朝向搬送方向C移動之際，接觸著玻璃基板3之球55會滾動而從接觸軌道59之一端59a移動至另一端59b。如此一來，到達接觸軌道59之另一端59b的球55通過離開玻璃基板3的循環軌道61而回到接觸軌道59之一端59a。

於此構造中，球55循環於接觸軌道59內及循環軌道61內一邊朝多方向改變而一邊轉動，因此一個球55常時接觸玻璃基板3而不會偏一側。爰此，能抑制與玻璃基板3之間的轉動摩擦造成球55之磨耗，能不必更換球55而長時間連續使用。

又，支撐其位於圖案區域G之外側之玻璃基板3兩側部的基板支撐機構並不限定於滾子53或球55，例如第9A、9B圖所示亦可朝玻璃基板3之側部下面吹上壓縮空氣而以非接觸狀態來支撐。

即，基板支撐機構65形成在相對於基板載置台1、16及基板浮起區塊11可裝卸的支撐單元64。此基板支撐機構65露出至約相同基板載置台1、16及基板浮起區塊11上面的高度，而具有沿著搬送方向C排列之複數空氣孔(空氣吹出部)67、及連結此等複數空氣孔67與壓縮空氣供給部46的連通路69。

於此構造中，從基板支撐機構65之各空氣孔67朝向玻璃基板3下面吹出壓縮空氣，藉此能使玻璃基板3兩側部藉 著壓縮空氣而推向上方並予以支撐，由於浮起於基板載置台16及基板浮起區塊11上之玻璃基板3整體能以非接觸狀態來搬送，因此能確實防止玻璃基板3的損傷。

又，由於在複數支撐單元64分別設置複數可吹出壓縮空氣的空氣孔67，故以各支撐單元64相對於基板載置台16及基板浮起區塊11裝卸而能簡易地更換所希望的支撐單元64，且能於每一支撐單元64總括地更換多數的空氣孔67。爰此，能在短時間內容易地進行更換空氣孔67。

又，如上所述，利用壓縮空氣而支撐玻璃基板3側部的情形下，亦可直接形成沿著平行於搬送方向C之基板載置台1、16或基板浮起區塊11側部而朝向玻璃基板3側部並吹出壓縮空氣的空氣孔。

此情形下，構成基板支撐機構65之空氣孔(空氣吸出部)67乃設成與使玻璃基板3浮起於搬送面之空氣孔4、12、18不同的壓縮空氣供給系統，而設成比基板浮起用之壓縮空氣的壓力高，且設成能因應玻璃基板3之翹曲而調整壓力的構成。

又，支撐玻璃基板3之兩側部的空氣吹出部並不限於沿著搬送方向C而從配列之複數空氣孔吹出，例如亦可構成從沿著搬送方向C而形成之細長切縫吹出的構造。

又，藉著將壓縮空氣之吹出方向斜外側設定，以使頂著玻璃基板3側部之壓縮空氣朝向基板載置台1、16或基板浮起區塊11之側部的外側散去，而從空氣孔67吹出之壓縮空氣不會繞入玻璃基板3之內方向，能穩定並浮起玻璃基板 3來搬送，因此為良好的構造。

而且，將吹向玻璃基板3側部之壓縮空氣設得比基板浮起用之壓縮空氣的壓力高的情形，乃能將玻璃基板3側部朝上方帶上而能將玻璃基板3朝兩側部之下側彎曲矯正成水平，因此為良好的構造。

又，能因應玻璃基板3之彎曲量或翹曲量而調整端部浮起機構65之壓縮空氣之壓力的情形，乃能確實地將玻璃基板3側部比搬送面更向上方帶上而穩定地搬送，因此為良好的構造。

又，上述實施樣態中，係設成玻璃基板3藉著從基板載置台1、16及基板浮起區塊11之空氣孔4、12、18吹出之壓縮空氣而浮起，惟，不限於此，例如亦可藉靜電方式來浮起。此一構造的情形下，進行對玻璃基板消電即可。

又，搬送玻璃基板3之搬送部29~34係設成移動於設在基板載置台1、16及基板浮起區塊11之兩側部的滑動構件23~28上，惟，不限於此，例如亦可將滑動構件配置於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之一對溝5、13、19，而將搬送部設於滑動構件呈可移動狀態。

而且，各吸著墊29b~34b的吸著位置係設於與玻璃基板3之搬送方向C平行之玻璃基板3的兩側部前側，惟，不限於此，例如亦可設於玻璃基板3之後側或中央部之其中任何位置，並複數配置於此等各位置。又，往返搬送玻璃基板3時，以將吸著墊配置於玻璃基板3之至少前後方向之各端部，不會有玻璃基板3之往返移動所造成的擺動而能穩定地 搬送玻璃基板3，因此為良好的構造。

又，吸著墊所構成之玻璃基板3的吸著保持位置若係離開圖案區域G之部分的話，則可在玻璃基板3上面或上面及下面，亦可取代吸著墊而使用從上下面夾著玻璃基板3的夾頭。

而且，將玻璃基板3載置於基板載置台1或從基板載置台16取出玻璃基板3的情形，乃於搬送機械手7、21之外亦可使用其他任何的機構，亦可由其他線進行空氣搬送等之基板浮起機構。

又，上述實施樣態中，設成將保持並搬送以基板浮起區塊浮起之玻璃基板之兩端部的搬送機構，沿著基板浮起區塊兩端部配置的兩軸搬送方式，而以基板支撐機構來支撐從基板浮起區塊兩端部突出至外側的玻璃基板兩側部，惟，不限於此，亦可設成將保持並搬送包含從基板浮起區塊突出之基板之一側部(平行於搬送方向C的一邊)之前後與中間部之整體的搬送機構，而於位於與此搬送機構相反側之基板浮起區塊之另一側來支撐玻璃基板之另一側的基板支撐機構。

以採用將搬送機構配置於基板浮起區塊之單側的單軸搬送方式，能比雙軸搬送方式之基板搬送裝置的寬度尺寸小。特別是使用於製造平面板顯示器之玻璃基板(母玻璃基板)年年大型化，而最近出現超過2000mm的大型基板，在輸送對應如此大型玻璃基板之基板搬送裝置時，會因道路限制而變得難以輸送。爰此，以採用單軸搬送方式乃能將 基板搬送裝置之寬度尺寸設成最小限度，因此，亦能解決上述輸送問題。

又，從能以搬送機構將玻璃基板之一側部整體支撐成水平的觀點來看，能省略單側的基板搬送裝置，且能省略單側的搬送機構，因此能達到降低成本。

此情形下，乃不限於將滾子53安裝於支撐單元51呈可旋轉的狀態，乃亦可安裝可朝多方向轉動之複數的球55。又，亦可將循環構件設於支撐單元51而於此配置複數的球55。而且，亦可設成吹著壓縮空氣來支撐的狀態。

僅於基板載置台1、16及基板浮起區塊11之寬度方向之一端部設置支撐單元的情形下，由於玻璃基板3藉各搬送部29~34之吸著墊29b~34b而被吸著保持，因此無需將用以限制玻璃基板3之寬度方向位置的機構頂接於玻璃基板3之寬度方向的一端或兩端，惟，也可適宜地設置此等機構。

以上參照圖式而詳細說明了本發明的實施樣態，惟，具體性的構成構造乃非限定於此實施樣態，其也包含不脫離本發明之要旨範圍的設計變更。

1‧‧‧搬入用基板載置台

2‧‧‧消震台

3‧‧‧玻璃基板

4‧‧‧空氣孔

5‧‧‧溝

6‧‧‧昇降銷

7‧‧‧搬入用搬送機械手

8‧‧‧手臂

9‧‧‧搬送架台

10‧‧‧消震台

11‧‧‧基板浮起區塊

12‧‧‧空氣孔

13‧‧‧溝

E‧‧‧檢查部

C‧‧‧搬送方向

G‧‧‧圖案區域

14‧‧‧門型臂

15‧‧‧檢查用機器

16‧‧‧搬出用基板載置台

17‧‧‧消震台

18‧‧‧空氣孔

19‧‧‧溝

20‧‧‧昇降銷

21‧‧‧搬出用搬送機械手

22‧‧‧手臂

23~28‧‧‧滑動構件

29、30‧‧‧搬送部

29a、30a‧‧‧臂

31a、32a‧‧‧臂

31b、32b‧‧‧吸著墊

33、34‧‧‧搬送部

33a、34a‧‧‧臂

33b、34b‧‧‧吸著墊

46‧‧‧壓縮空氣供給部

47‧‧‧真空吸著部

48‧‧‧移動控制部

49‧‧‧基板支撐機構

51‧‧‧支撐單元

53‧‧‧滾子

55‧‧‧球

57‧‧‧球保持器

59‧‧‧接觸軌道

59a‧‧‧一端

59b‧‧‧另一端

61‧‧‧循環軌道

63‧‧‧支撐單元

64‧‧‧支撐單元

65‧‧‧基板支撐機構

67‧‧‧空氣孔

69‧‧‧連通路

101‧‧‧基板浮起機構

102‧‧‧搬送機構

29b、30b‧‧‧吸著墊

第1圖表示本發明之一實施樣態之基板搬送裝置的概略上面圖。

第2圖係第1圖之基板搬送裝置的概略側面圖。

第3A圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大側面圖。

第3B圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，具有複數滾子 之支撐單元的放大正剖面圖。

第4圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，使玻璃基板浮起於基板載置台上之狀態的概略側面圖。

第5圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，玻璃基板之空氣搬送動作的概略側面圖。

第6圖表示於第1圖之基板搬送裝置中，玻璃基板之空氣搬送動作的概略側面圖。

第7A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大側面圖。

第7B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有複數滾子之支撐單元的放大正剖面圖。

第8A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有配置於接觸軌道及循環軌道之複數球之支撐單元的放大側剖面圖。

第8B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有配置於接觸軌道及循環軌道之複數球之支撐單元的放大正剖面圖。

第9A圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有空氣吹出部之支撐單元的放大側剖面圖。

第9B圖表示於本發明之其他實施樣態之基板搬送裝置中，具有空氣吹出部之支撐單元的放大正剖面圖。

1‧‧‧搬入用基板載置台

3‧‧‧玻璃基板

29‧‧‧搬送部

49‧‧‧基板支撐機構

51‧‧‧支撐單元

53‧‧‧滾子

C‧‧‧搬送方向

G‧‧‧圖案區域

Claims (6)

1. 一種基板搬送裝置，其特徵在於具有：基板浮起區塊，其係使基板浮起呈非接觸狀態；搬送機構，其係吸著保持浮起於前述基板浮起區塊上之前述基板之端部而搬送；及端部支撐機構，係將複數旋轉支撐構件設置於沿著前述基板之搬送方向的前述基板浮起區塊之側部，藉此支撐在前述基板浮起區塊上搬送之前述基板的端部者，而前述複數旋轉支撐構件係在藉由前述搬送機構搬送之前述基板的下面一面轉動一面旋轉。
2. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中前述旋轉支撐構件係可朝前述搬送方向旋轉之滾子。
3. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中前述旋轉支撐構件係支撐成可自由旋轉之球。
4. 如申請專利範圍第3項之基板搬送裝置，其中前述端部支撐機構具有循環構件，該循環構件具有使複數之前述球露出於與前述基板之下面相對向之前述基板浮起區塊之搬送面上，而在前述基板之下面轉動來使其移動的接觸軌道、及連結於前述接觸軌道之兩端而使前述球朝前述接觸軌道循環的循環軌道。
5. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中前述端部支撐機構由複數單元構成，且各單元係可自由拆裝地設置於前述基板浮起區塊。
6. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中前述搬送機 構具有滑動構件及搬送端部，前述滑動構件係沿著前述基板之搬送方向設置，前述搬送端部設置成可相對前述滑動構件朝前述搬送方向移動，並吸著保持前述基板之端部。