CN101941593B - 具有转向功能的芯片输送机台 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种具有转向功能的芯片输送机台。包含有：一轨道，该轨道具有一底部及二侧壁，该底部为一平板，平板上设有多个气孔；一气室，设于该轨道的下方，并与各气孔相连通；一供气装置，连接该气室，并对该气室进行供气；及一转向机构，设于该轨道底部邻近其中一侧壁处，于芯片行进中阻挡其一角而令该芯片转向。当芯片于轨道上移动时，其一角碰触该转向机构而自然转向。并可利用制动机构于芯片碰撞侧壁前形成阻力，降低芯片与轨道侧壁碰撞的力量，防止芯片与轨道侧壁的损伤。

Description

具有转向功能的芯片输送机台

技术领域

本发明涉及一种芯片输送机台，尤其涉及一种具有转向功能的芯片输送机台。

背景技术

在芯片的制作或检测的过程中，经常要对芯片进行输送，然而芯片的结构往往较为轻、薄且脆，因此若芯片在输送的过程中发生碰撞，便容易导致芯片本身的结构造成损伤，例如出现破损、缺角或是肉眼无法辨识的裂痕，并导致芯片良率的下降。

请参阅图1，为现有的芯片输送机台的俯视图。如图所示，芯片输送机台10包含有一第一输送带11及一第二输送带13。第一输送带11与第二输送带13相邻设置，借以将第一输送带11上的芯片12传送至第二输送带13。

此一设置经常遭遇第一输送带11与第二输送带13宽度不等，或转速不同的问题，造成芯片在不同输送带之间传递时，可能产生震动或移位，进而影响后续的芯片传送程序。

且，此一型式的芯片输送机台10不具备转向功能，该系统只能以第二输送带13上设置的检测单元15进行一个维度的检测。若该芯片12具有第二个维度检测的需求，则此芯片输送机台10将不敷使用。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种具转向功能的芯片输送机台。

本发明的另一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，其主要是以一气浮式轨道降低芯片的摩擦力，并以一转向机构阻挡芯片的一角，使其自然转向。

本发明的又一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，其转向机构包含有一柱体，设于轨道的一侧而可阻挡芯片的一角。

本发明的又一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，其中该柱体的位置可调整而配合各种型号的芯片。

本发明的又一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，包含有一制动机构，用以减轻芯片与轨道侧壁的撞击。

本发明的又一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，其制动机构包含有一送风装置及设置于轨道底部或侧壁的出风口，借由送风破坏气膜的平衡而产生阻力。

本发明的又一目的，在于提供一种具有转向功能的芯片输送机台，其制动机构包含有一抽气装置及设于轨道底部的抽气口，借由抽气破坏气膜的平衡而产生阻力。

为了达到上述目的，本发明提供一种具有转向功能的芯片输送机台，包含有：一轨道，该轨道具有一底部及二侧壁，该底部为一平板，平板上设有多个气孔；一气室，设于该轨道的下方，并与各气孔相连通；一供气单元，连接该气室，并对该气室进行供气；及一转向机构，设于该轨道底部邻近其中一侧壁处，可于芯片行进中阻挡其一角而令该芯片转向。

本发明的功效在于，借由本发明有具有转向功能的芯片输送机台，可于芯片的传送中简便而快速完成芯片的转向动作，无需设置额外的转向机台。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为一现有芯片输送机台的示意图；

图2为本发明一较佳实施例的立体图；

图3为如图2所示实施例的局部剖面图；

图4为本发明另一实施例的立体示意图；

图5为本发明的动作示意图。

其中，附图标记

10  芯片输送机台           11  第一输送带

12  芯片                   13  第二输送带

15  检测单元

20  具转向功能的芯片输送机台

201  芯片                   203  第一输送带

205  第二输送带             207  检测单元

22   轨道                   221  底部

223  气孔                   225  侧壁

24   转向机构               241  柱体

243  凹槽                   245  连杆

26   气室                   28   供气装置

32   气膜

40   具转向功能的芯片输送机台

42   制动机构               421  制动气孔

423  制动气孔               425  送风/抽气装置

52   芯片                   521  前缘

523  导角                   525  导角

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

请参阅图2及图3，为本发明一较佳实施例的立体图及局部剖面图。如图所示，本发明具有转向功能的芯片输送机台20主要可设置于不同机组之间，例如设置于第一输送带203与第二输送带205之间。具有转向功能的芯片输送机台20主要包含有一轨道22、一转向机构24、一气室26及一供气装置28。

其中，该轨道22包含有一底部221及一侧壁225。轨道底部221设有多个气孔223，各气孔223分别连通该气室26。借由供气装置28持续对气室26进行供气，气体可通过各气孔223到轨道底部221的表面。当芯片201通过轨道22时，芯片201与轨道底部221之间将形成一气膜32，令芯片201可于轨道22上以无摩擦力的状态滑行。

该转向机构24主要包含有一柱体241，设置于邻近其中一侧壁225处，可于芯片201滑行时阻挡其一角，导致芯片201自然转向。由于多个芯片201设有导角，具有导角的大小不一，故该转向机构24的柱体241与侧壁225间的距离为可调整。

借由本发明的转向机构24，可于系统需要芯片201转向时，快速完成转向的工作。例如芯片201于第一输送带203上完成第一维度的检测后，可经由具有转向功能的芯片输送机台20将芯片201转向后，传送至第二输送带205上，再以检测单元207进行第二维度的检测。

在本发明的一实施例中，该柱体241可连接有一连杆245，借由调整连杆245由侧壁225伸出的长度而可调整该柱体241与侧壁225之间的距离。此外，尚可于该侧壁225开设一凹槽243，可于不使用转向功能时，将柱体241收入凹槽243中容置。

请参阅图4，为本发明另一实施例的立体示意图。如图所示，本发明具有转向功能的芯片输送机台40的主要构造与图2所示实施例大致相同，本实施例还设有一制动机构42。

该制动机构42设置于该轨道22上与转向机构24同侧，并具有一预设距离处。当芯片201因转向机构24的阻挡而转向时，可于芯片201碰撞轨道侧壁225之前令芯片201的滑行产生阻力，借以减轻芯片201与侧壁225的碰撞。如此，除了可防止芯片201因碰撞而毁损或产生瑕疵之外，还可减少轨道侧壁225的磨损而延长其使用寿命。

该制动机构42可包含有一送风装置425及多个制动气孔421、423。其中，制动气孔421是设于轨道底部221邻近与转向机构24同侧的侧壁225处。借由位于轨道底部221的制动气孔421喷出较一般气孔223强的气流，可在芯片201接近制动气孔421时破坏其气膜32的平衡而形成阻力，借以减轻芯片201与侧壁225的碰撞。

制动气孔423也可设置于轨道侧壁225上，令制动气孔423的出口略朝下方，也可于芯片201接近时，借由不同方向的气流破坏气膜32的平衡而形成阻力。

此外，该制动机构42也可使用抽气装置425取代送风装置，配合设于轨道底部221的制动气孔421，于芯片201接近时进行抽气，也可达到破坏气膜32平衡形成阻力，借以减轻芯片201与侧壁225碰撞的目的。

请参阅图5，为本发明的动作示意图。如图所示，当芯片52在轨道22上滑行时，由气孔223喷出的气体将形成一气膜，令芯片52的滑行几乎不具摩擦力。

当需要令芯片52进行转向时，可将转向机构24的柱体241伸入轨道22中，并配合芯片52的导角523大小调整连杆245的长度，令该柱体241可抵住芯片52的前缘521一角。

行进中的芯片52因前缘521一角受阻，并配合惯性的作用而自然转动。当滑动中同时转动的芯片52邻近导角525的部位接近侧壁255时，即进入制动机构42的作用范围。此时，制动机构42可借由制动气孔421喷气或抽气而破坏气膜的平衡，令芯片52的转动受到阻力，借以减轻芯片52与侧壁225的碰撞，可防止芯片52因碰撞而受损，并可延长侧壁225的使用寿命。

芯片52邻近导角525的部位与侧壁225轻微碰触后，将被侧壁225导正方向，并依惯性而继续往前滑行。此时，原先的前缘521及在下方的导角525已转而位于上方，而芯片52的转向动作也已完成。

借由本发明有具有转向功能的芯片输送机台，可于芯片的传送中简便而快速完成芯片的转向动作，无需设置额外的转向机台。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，包含有：

一轨道，该轨道具有一底部及二侧壁，该底部为一平板，平板上设有多个气孔；

一气室，设于该轨道的下方，并与各气孔相连通；

一供气装置，连接该气室，并对该气室进行供气；及

一转向机构，设于该轨道底部邻近其中一侧壁处，于芯片行进中阻挡其一角而令该芯片转向，该转向机构包含有一柱体及一连杆，该连杆连接该柱体而由该侧壁伸出，从而调整该柱体与该邻近侧壁的距离。

2.根据权利要求1所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，邻近该柱体的侧边设有一凹槽，用以容置该柱体。

3.根据权利要求1所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，还包含有一制动机构，设于该轨道上距该转向机构一预设距离处，借以减轻芯片与侧壁的碰撞。

4.根据权利要求3所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，该制动机构包含有一送风装置及多个制动气孔。

5.根据权利要求4所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，该多个出风口设于轨道的底部或轨道的侧壁。

6.根据权利要求3所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，该制动机构包含有一抽气装置及多个制动气孔。

7.根据权利要求6所述的具有转向功能的芯片输送机台，其特征在于，该多个抽气口设于该轨道底部。

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