KR100928674B1 - 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임 - Google Patents

비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임 Download PDF

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Abstract

본 발명은 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임에 관한 것으로서, 본 발명에서는 평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 상기 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, 상기 R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 상기 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 구비하는 하우징부와, 공기 주입구로부터 공급되는 공기가 상기 R부를 따라 토출되도록 상기 측부의 내부측벽을 따라 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 상기 노즐팁으로부터 상기 공기주입구로 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 갖는 깔대기 형상으로 하우징부 내부 빈공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치가 제공된다.
비접촉 석션 그립핑 장치; 석션 그립핑 프레임

Description

비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임{NONCONTACT TYPE SUCTION GRIPPING DEVICE AND NONCONTACT TYPE SUCTION GRIPPING FLAME WITH THE SAME}
본 발명은 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 유리 등의 평판 물체를 접촉함이 없이 진공을 이용하여 들어올리는 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임에 관한 것이다.
유리, 강판, 반도체용 웨이퍼 등과 같은 평판 물체는 생산 공정 및 생산 후에 적용되는 후공정에서 평판의 양면 중의 어느 하나의 일 면을 흡착하여 이송할 필요가 있다. 디스플레이용 평판 유리를 예로 들어 사용하면 생산 공정에서 흡착이 필요한 경우로는 평판 유리를 적합한 사이즈로 절단하는 공정과 절단된 유리의 측면을 라운드지게 그라인딩하는 공정을 들 수 있으며, 생산 후에 적용되는 후공정에서 흡착이 필요한 경우는 평판 유리 기판상에 회로를 패터닝하는 공정을 들 수 있다.
디스플레이용 평판 유리는 높은 표면 평활도 및 평행도를 필요로 한다. 또한 유리 표면에 발생된 스크레치는 완성된 디스프레이 장치의 일부 화소에 불량 화소 문제점을 야기시키므로 엄격한 검사가 요구된다.
더욱이 차세대 디스플레이용 유리 기판으로 개발되고 있는 유리 패널은 얇고, 폭과 길이가 약 2m에 이르는 대형 사이즈이다. 이러한 대형 사이즈의 디스플레이용 유리 기판 양 단을 잡고 들어올리면 중앙부의 처짐으로 인해 유리 기판이 떨리거나 안전하게 반전시키기 위해 복잡한 기구물이 필요하게 된다.
그런데 평판 유리를 이송하거나 반전시킬 때 평판 유리와 접촉되는 접촉 장치를 사용하면 평판 유리면이 오염되는 문제점이 있기 때문에 비접촉 방식으로 장치를 사용하는 연구가 진행되고 있다. 이러한 종래 비접촉 진공 장치의 일례를 도 1을 이용하여 설명하기로 한다. 종래 비접촉 진공 장치는 중앙부에 외부에서 공급되는 진공호스(121)를 통해 진공 흡입력을 제공하고, 진공 흡입력이 제공되는 주위로는 압축 공기 호스(122)를 이용하여 충분한 압력의 공기가 외부로 빠져나가도록 하여 평탄면과 접촉되지 않도록 하는 구성을 갖는다.
하지만 이러한 종래 비접촉 장치는 진공을 형성하기 위해 4~7 기압의 장치가 필요하며, 이러한 진공압을 형성하기 위해서는 컴프레셔가 필요하나 크린룸 내부에 이러한 진공압을 제공하는 컴프레셔를 둘 수 없기 때문에 CDA(Clean Dry Air)라는 별도의 고가 장비를 사용하여야 하는 문제점이 있었다. 또한 종래 비접촉 장치는 평판 유리와 비접촉 장치 사이의 간격을 0.2mm 내지 0.3mm로 유지하는데 이 정도의 간격 유지를 하면 평판 유리가 종래 비접촉 장치에 닿아 스크래치가 발생될 가능성이 있었다.
본 발명에서는 비교적 낮은 약 0.3 기압 이하의 공기압을 이용함으로써 별도의 고가 장비없이 평판 물체를 비접촉으로 들어올리는 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 상기 목적은 평판 물체를 비접촉으로 석션 그립핑하는 비접촉 석션 그립핑 장치에 관한 것으로서, 평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 상기 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, 상기 R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 상기 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 구비하는 하우징부와, 공기 주입구로부터 공급되는 공기가 상기 R부를 따라 토출되도록 상기 측부의 내부측벽을 따라 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 상기 노즐팁으로부터 상기 공기주입구로 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 갖는 깔대기 형상으로 하우징부 내부 빈공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치에 의해서 달성 가능하다.
노즐팁은 상기 R부와 상기 측부의 경계선을 기준으로 공기 주입구 방향에 가까운 위치에 형성되도록 하는 것이 좋으며, 하우징에는 평판 물체에서 보았을 때 볼록한 형상으로 라운드지도록 압력부로부터 상기 R부와 반대 방향으로 연장 형성되는 외부 R부를 더 구비함으로써 평판 물체의 떨림을 제거할 수 있게 하였다.
또한, 압력부는 폐곡면을 형성하면 어떠한 형상으로도 무방하며, 특히 동심 원형, 타원형 및 사각 형상 중에서 선택된 어느 하나의 형상으로 형성하는 것이 좋다.
본 발명의 또 다른 목적은 복수 개 가로바를 갖는 프레임과, 프레임의 가로바에 부착되는 복수 개 비접촉 석션 그립핑 장치를 구비하고, 비접촉 석션 그립핑 장치는 평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 구비하는 하우징부와, 공기 주입구로부터 공급되는 공기가 R부를 따라 토출되도록 측부의 내부측벽을 따라 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 노즐팁으로부터 공기주입구로 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 갖는 깔대기 형상으로 하우징부 내부 빈공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 프레임에 의하여 달성 가능하다. 이때 노즐팁은 R부와 측부의 경계선을 기준으로 공기 주입구 방향에 가까운 위치에 형성되도록 하여 코안다 효과가 보다 확실히 발생되게 하였다.
본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치는 종래 비접촉 장치에 비하여 1/30 정도의 압력을 이용하는 주입 공기를 이용하여 동작시킬 수 있다. 종래 비접촉 장치는 통상 4~7기압에서 동작하며 최근 들어 2기압 정도에서 동작하는 장치가 시험 가동 중에 있는 것으로 알려져 있다. 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치는 코안다 효과를 이용함으로써 종래 기술에 비해 매우 낮은 압력인 약 0.3 기압에서도 작동할 수 있게 되었다.
따라서 종래 기술에서는 높은 공기압을 주입하기 위해서 크린룸 외부에 컴퓨레셔를 설치하고, 공기를 정화하기 위하여 별도의 장치인 CDA를 사용하여야 한다. 하지만 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치는 낮은 압력 하에서도 동작되므로 현재 산업계에서 크린룸 내에서 사용하고 있는 공압의 공기를 그대로 사용할 수 있으며, 이러한 공압의 공기를 이용하지 못한다 할지라도 주입되는 공기압이 낮아 크린룸 내부에 설치할 수 있는 링 블로워를 이용할 수 있는 잇점이 있다.
종래 비접촉 장치는 장치면과 평판 물체와의 비접촉 거리가 0.3mm 이하로 유지되는 것으로 알려져 있다. 종래 비접촉 장치는 장치면과 평판 물체와의 비접촉 거리가 너무 좁아서 종래 비접촉 장치를 이용하여 평판 물체를 취급할 경우 평판 물체가 장치면에 터치되는 경우가 종종 발생된다. 이는 종래 비접촉 장치는 고압을 사용하기 때문에 장치면과 평판 물체의 일면 사이를 통과하는 유속이 고속이고 이로 인해 장치면과 평판 물체의 일면 사이의 비접촉 거리가 가까워지는 것이다. 이에 비하여 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치는 약 0.3 기압 정도의 낮은 기압을 사용하므로 장치면(압력부)과 평판 물체 사이를 지나는 유속이 감소되고 이 로 인해 평판 물체를 들어올릴 경우에도 압력부와 평판 물체 사이의 비접촉 거리를 충분히 멀리 유지할 수 있게 된다. 따라서 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치를 사용할 경우 평판 물체에 스크래치가 발생되는 경우가 거의 발생하지 않게 된다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사사에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어져야 한다.
도 2는 본 발명에 따른 일 실시예의 비접촉 석션 그립핑 장치이다. 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치(100)는 코안다 효과를 발생시키는 하우징부와 노즐부로 구성된다. 하우징부는 평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부(11)와, 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 압력부로부터 연장 형성되는 R부(13)와, R부(13)로부터 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부(15)와, 측부(15)와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구(27)를 형성하는 연결부(17)로 구성된다. 노즐부는 대략 깔대기 형상을 갖는데 도 2에 도시한 바와 같이 측부(15)의 내부측벽(15-1)을 따라 공기가 지나갈 수 있을 정도로 좁은 간격(△)만큼 이격되어 뾰족한 형상을 갖는 노즐팁(23)과, 노즐팁(23)으로부터 공기주입구(27) 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 갖는 깔대기 형상으로 하우징부 내부 빈 공간에 삽입 형성된다. 코안다 효과를 가져오는 형상은 압력부(11), R부(13), 측부(15), 및 노즐부에 의해 구성되므로 연결부(17) 및 공기주입구(27)의 형상 내지는 공기를 주입하는 방식은 주요한 특징부라 할 수 없으므로 다양한 변형이 가능하다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치(100)는 압력부(11)가 가상의 수평면(L)과 폐곡면을 이루도록 하였다. 압력부(11)는 평판 물체에 끌어당기는 인력이 작용되도록 하는 형상이면 무방하므로 어떠한 폐곡면 형상을 가져도 무방하다. 하지만 설계 및 제조의 편의를 위해 압력부(11)는 폐곡면의 중점을 기준으로 대칭되는 형상으로 구비되도록 하는 것이 좋다. 이를 보다 구체적으로 설명하면 평판 물체가 놓여지는 수평면을 기준으로 하우징부 및 노즐부의 수평 단면이 압력부(11)에 형성되는 폐곡면의 중심점을 기준으로 원점 대칭 형상을 갖도록 형성하는 것이다.
또한 압력부(11)에 의해 형성되는 폐곡면에서 평판 물체에 인력이 인가되도록 하기 위해서는 도 2에 도시된 바와 같이 노즐팁(23)을 가상의 수평면(L)보다 공기주입구에 가까운 윗쪽에 위치시켜 폐곡면, R부(13), 측부(15) 및 노즐부에 의한 빈공간이 형성되도록 하였다. 보다 바람직하게는 코안다 효과를 보다 확실하게 구 현하기 위해 노즐팁(23)을 하우징부의 R부(13)와 측부(15)의 경계선(Q) 지점을 기준으로 공기 주입구(27)에 더 가까운 위치에 구비되도록 하였다.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예의 비접촉 석션 그립핑 장치의 공기 흐름과 평판 유리에 미치는 압력을 설명하기 위한 단면도이며, 도 4는 사이즈가 작은 평판 유리(G)를 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치를 이용하여 들어올린 후 반전시킨 상태를 도시한 것이다. 도 3에 도시한 바와 같이 공기 주입구를 통해 주입되는 공기는 노즐부의 경사면을 따라 흐르다가 노즐팁과 하우징부의 내부측벽(15-1) 사이를 통과한 후, R부를 따라 흐르고, 이후 압력부를 거쳐 외부로 빠져나가게 된다.
코안다 효과란 유체가 만곡면을 따라 흐르는 효과를 의미한다. 본 발명의 비접촉 석션 그립핑 장치는 이러한 코안다 효과를 이용하여 주입되는 공기가 하우징부의 R부를 통해 흐르도록 유도함으로써 평판 물체에 인력과 척력을 발생시키게 된다. 도 3에 도시한 바와 같이 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치에 공급된 공기가 흐르면 평판 유리(G), 하우징부 및 노즐팁 표면에 의해 형성되는 내부 공간의 압력(P1)은 주위의 압력(P)보다 낮게 형성된다. 즉, P1 < P 이 되어 A1으로 표시된 영역에서는 평판 유리를 비접촉 석션 그립핑 장치 방향으로 끌어당기는 인력이 발생된다. 한편 R부를 거쳐 압력부로 빠른 유속으로 흐르는 공기 흐름에 의해 이 부분의 압력(P2)는 주위의 압력(P)보다 높게 형성된다. 즉, P2 > P 이 되어 A2로 표시된 영역에서는 평판 유리를 비접촉 석션 그립핑 장치 방향으로부터 밀어 내는 척력이 발생하게 된다.
본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치(100)는 공기 주입 호스(35)을 통해 주입되는 비교적 저압의 공기를 이용하여 평판 물체(G)에 인력과 척력을 발생시켜 도 4에 도시된 바와 같이 평판 유리를 비접촉 상태에서 들어올릴 수 있게 된다. 종래 비접촉 장치에서는 2 기압 이상의 높은 압축 공기를 주입을 필요로 하는데 비하여 코안다 효과를 이용하는 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 경우 대략 약 0.3 기압 정도의 공기를 주입시키면 된다. 따라서 종래 비접촉 장치는 크린룸 외부에 설치되는 컴퓨레셔와 CDA를 별도로 구비할 필요가 있는데 비하여 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 경우 송풍기의 일종인 링 블로워(ring blower)를 사용하더라도 충분한 공기를 인가할 수 있게 된다.
한편, 얇은 판재의 평판 물체를 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치(100)를 이용하여 석션 그립핑할 경우 압력부 외부로 돌출되는 공기 흐름에 의해 판재의 일부에 떨림 현상이 발생할 수 있다. 도 5는 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치를 얇은 두께를 갖는 판재에 적용한 경우 발생되는 떨림 현상을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이 비접촉 석션 그립핑 장치의 압력부를 빠져나가는 공기 흐름으로 인해 A3로 표시된 영역에서는 얇은 두께를 갖는 판재(G)에 떨림 현상이 발생할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 또 다른 실시예이다. 도 2에 제시된 비접촉 석션 그립핑 장치와의 차이나는 구성에 대해서만 설명하기로 한다. 도 6에 도시된 바와 같이 하우징에서 평판 물체(G)에서 보았을 때 볼록한 형 상으로 라운드지도록 압력부로부터 상기 R부와 반대 방향으로 연장 형성되는 외부 R부(19)를 더 구비하였다. 구비된 외부 R부(19)에 의해서 주입되는 공기는 R부와 압력부를 거쳐 빠져나온 공기가 외부 R부(19)에 의해 평판 물체(G)로부터 멀어지는 수직 방향으로 흐름이 변경된다. 따라서 얇은 두께를 갖는 판재에 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치(100)를 적용하더라도 떨림 현상을 상당히 제거할 수 있게 된다.
나아가 외부 R부(19) 상부에 공기를 외부로 흡입하는 송풍기를 추가로 구비할 경우, 추가 설치된 송풍기를 이용하여 외부 R부(19)를 거쳐 외부로 빠져나가는 공기량을 조절함으로써 평판 물체(G)를 비접촉 석션 그립핑 장치(100)로부터 쉽게 들어올리거나 내려놓을 수 있게 된다. 평판 물체(G)를 비접촉 석션 그립핑 장치(100)를 이용하여 들어올릴 경우에는 외부 R부(19)에 설치된 송풍기를 끄거나 또는 저속으로 동작시키고, 평판 물체(G)를 비접촉 석션 그립핑 장치(100)를 이용하여 내려놓을 경우에는 외부 R부(19)에 설치된 송풍기를 고속으로 동작시켜 빠져나가는 공기량을 증가시키는 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 압력부에 의해 형성되는 다양한 폐곡면의 예이다. 도 7에 도시된 비접촉 석션 그립핑 장치의 압력부는 폐곡면을 형성하는데 취급하는 평판 물체의 종류에 따라 원형 형상(a), 사각 형상(b), 및 타원 형상(c) 등으로 다양하게 형성할 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 또 다른 실시예로서 비접촉 석션 그립핑 장치를 이용하여 비접촉 석션 그립핑 프레임을 구성한 일 실시예이다. 프레임(200)은 다수 개 의 가로바와 세로바를 구비하고, 가로바 아랫부분에 일정한 간격으로 설치된 비접촉 석션 그립핑 장치(100)를 갖는다. 도 8에 도시된 비접촉 석션 그립핑 프레임(200)은 넓은 면적을 평판 물체를 석션 그립핑하기에 적합한 실시예이다. 도면에 도시되지 않았으나 비접촉 석션 그립핑 장치(100)에는 압축 공기를 주입하여야 하며, 압축 공기는 가로바와 세로바에 공기 노즐을 형성하거나 또는 별도의 공기 노즐을 통해서 공급할 수 있음을 물론이다.
도 1은 종래 비접촉 진공 장치의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 일 실시예의 비접촉 석션 그립핑 장치의 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예의 비접촉 석션 그립핑 장치의 공기 흐름과 평판 유리에 미치는 압력을 설명하기 위한 단면도.
도 4는 사이즈가 작은 평판 유리(G)를 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치를 이용하여 들어올린 후 반전시킨 상태의 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치를 얇은 두께를 갖는 판재에 적용한 경우 발생되는 떨림 현상을 설명하기 위한 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 또 다른 실시예의 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 석션 그립핑 장치의 압력부에 의해 형성되는 다양한 폐곡면의 예.
도 8은 본 발명에 따른 또 다른 실시예로서 비접촉 석션 그립핑 장치를 이용하여 비접촉 석션 그립핑 프레임을 구성한 일 실시예의 사시도.
***** 도면상의 주요 기호에 대한 간략한 설명 *****
11: 압력부 13: R부
15: 측부 15-1: 내부측벽
17: 연결부 19: 외부 R부
23: 노즐팁 27: 공기 주입구
100: 비접촉 석션 그립핑 장치 200: 프레임

Claims (8)

  1. 평판 물체를 비접촉으로 석션 그립핑하는 비접촉 석션 그립핑 장치에 관한 것으로서,
    평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 상기 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, 상기 R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 상기 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 형성하는 연결부를 구비하는 하우징부와,
    상기 공기 주입구로부터 공급되는 공기를 상기 평판 물체와 수직되는 방향으로 토출시키며, 상기 하우징부와 일정한 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 상기 노즐팁으로부터 상기 공기주입구 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 가지며, 상기 하우징부 내부 빈 공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐팁은 상기 압력부보다 상기 공기주입구 방향으로 들어간 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 노즐팁은 상기 R부와 상기 측부의 경계선을 기준으로 공기 주입구 방향에 가까운 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 하우징부에는 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록한 형상으로 라운드지도록 상기 압력부로부터 상기 R부와 반대 방향으로 연장 형성되는 외부 R부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 하우징부 및 상기 노즐부의 상기 평판 물체가 놓여지는 수평 방향의 단면이 상기 압력부에 의해 형성되는 폐곡면의 중심점을 기준으로 중심점 대칭 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 압력부는 동심 원형, 타원형 및 사각 형상 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치.
  7. 복수 개 가로바를 갖는 프레임과,
    상기 프레임의 가로바에 부착되는 복수 개 비접촉 석션 그립핑 장치를 구비하고,
    상기 비접촉 석션 그립핑 장치는
    평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 상기 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, 상기 R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 상기 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 구비하는 하우징부와,
    상기 공기 주입구로부터 공급되는 공기를 상기 평판 물체와 수직되는 방향으로 토출시키며, 상기 측부의 내부측벽을 따라 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 상기 노즐팁으로부터 상기 공기주입구로 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 갖는 깔대기 형상으로 하우징부 내부 빈공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 프레임.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 노즐팁은 상기 R부와 상기 측부의 경계선을 기준으로 공기 주입구 방향에 가까운 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 프레임.
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