JP2010264579A - 基板吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板吸着装置は、高速流体を流出口Eから流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板7を吸引する吸着部1と、流出口Eから吸着対象基板方向に所定距離を空けて流出口Eを囲むように配置され、吸着部1により吸引された吸着対象基板7に当接するパッド4とを備える。パッド4が流出口Eを囲むように配置されているので、吸着対象基板7がパッド4の当接したときの振動の発生を抑制することができる。
【選択図】図2
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載の基板吸着装置において、パッドはリング形状であることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項2に記載の基板吸着装置において、リング形状であるパッドの内径を、流出口の外形とほぼ同一としたものである。
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板吸着装置において、パッドは複数に分割され、その分割された複数のパッドが流出口を囲むように配置されていることを特徴とする。
図3(a)は、本実施の形態の変形例1を示す図であり、吸着パッド4の形状を円形としたものである。また、吸着パッド4のリング状部分は完全にリングでなくてもよく、リング状の部分を複数に分割して凹部11を囲むように配置するようにしても良い。図3(b),(c)は、そのような構造の吸着パッド4を示したものである。図3(b)に示す変形例2を示したものであり、リング部41を部分41a,41b,41cに3分割した場合である。また、図3(c)に示す変形例3では、円形状の吸着パッド4を3つの部分4a,4b,4cに分割した場合を示す。
Claims (4)
- 高速流体を流出口から流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板を吸引する吸着部と、
前記流出口から吸着対象基板方向に所定距離を空けて前記流出口を囲むように配置され、前記吸着部により吸引された前記吸着対象基板に当接するパッドとを備えたことを特徴とする基板吸着装置。 - 請求項1に記載の基板吸着装置において、
前記パッドはリング形状であることを特徴とする基板吸着装置。 - 請求項2に記載の基板吸着装置において、
リング形状である前記パッドの内径を、前記流出口の外形とほぼ同一としたことを特徴とする基盤吸着装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板吸着装置において、
前記パッドは複数に分割され、その分割された複数のパッドが前記流出口を囲むように配置されていることを特徴とする基板吸着装置。
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