JP2001162575A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JP2001162575A JP2001162575A JP35154799A JP35154799A JP2001162575A JP 2001162575 A JP2001162575 A JP 2001162575A JP 35154799 A JP35154799 A JP 35154799A JP 35154799 A JP35154799 A JP 35154799A JP 2001162575 A JP2001162575 A JP 2001162575A
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- JP
- Japan
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- guide
- vacuum suction
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- Pending
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】可撓性、柔軟性のワークを水平な状態にて、ま
たワーク端面を損傷、汚染させることなく、ワークを確
実に保持し搬送する。 【構成】空気を噴出することによりワークＢを無接触状
態にて保持する無接触吸着具Ａ側方にワークＢの表面に
接触する真空吸着口７を備えたガイド６を設け、無接触
吸着具ＡがワークＢを懸垂時に、真空吸着口７より空気
を吸引することによりワークＢを吸着し、ワークＢの水
平移動を移動を規制し搬送する。
たワーク端面を損傷、汚染させることなく、ワークを確
実に保持し搬送する。 【構成】空気を噴出することによりワークＢを無接触状
態にて保持する無接触吸着具Ａ側方にワークＢの表面に
接触する真空吸着口７を備えたガイド６を設け、無接触
吸着具ＡがワークＢを懸垂時に、真空吸着口７より空気
を吸引することによりワークＢを吸着し、ワークＢの水
平移動を移動を規制し搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、極薄半導体ウエハ、フ
ィルム、紙等の可撓性、柔軟性ワークの搬送装置に関す
るものである。
ィルム、紙等の可撓性、柔軟性ワークの搬送装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気を噴出し、ワークを無接触状
態にて搬送する無接触吸着具の例として、特開昭６２−
１０５８３１号公報、特開平７−８８７９２号公報のも
のがある。
態にて搬送する無接触吸着具の例として、特開昭６２−
１０５８３１号公報、特開平７−８８７９２号公報のも
のがある。
【０００３】これらの無接触吸着具では、ワークが浮遊
状態にて懸垂保持されているためワークの水平移動が自
由でありワークの搬送ができない。
状態にて懸垂保持されているためワークの水平移動が自
由でありワークの搬送ができない。
【０００４】このため無接触吸着具にガイドを設け、ワ
ーク側端部にガイドを接触させてワークの自由な水平移
動規制し、搬送する方法が採られている。
ーク側端部にガイドを接触させてワークの自由な水平移
動規制し、搬送する方法が採られている。
【０００５】この方法であるとワーク端面に損傷を与え
るという問題がある。
るという問題がある。
【０００６】また他の方法として無接触吸着具の底部に
設けた接触部材をワーク表面に接触させて、その摩擦力
によりワークの水平移動を規制する方法がある。
設けた接触部材をワーク表面に接触させて、その摩擦力
によりワークの水平移動を規制する方法がある。
【０００７】この方法では可撓性、柔軟性のあるワーク
では接触による摩擦力が弱く、またワークを水平な状態
に保って搬送が不可能という問題がある。
では接触による摩擦力が弱く、またワークを水平な状態
に保って搬送が不可能という問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、可撓性、柔軟性のワークを搬送する際、ワーク端
面を損傷せず、又撓みを生じさせることなく水平状態に
て確実に搬送し得るようにすることにある。
点は、可撓性、柔軟性のワークを搬送する際、ワーク端
面を損傷せず、又撓みを生じさせることなく水平状態に
て確実に搬送し得るようにすることにある。
【０００９】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになる
だろう。
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになる
だろう。
【００１０】本願において開示される発明のうち、代表
的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりであ
る。
的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりであ
る。
【００１１】空気を噴出することによりワークを吸引
し、無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具の外側
に、前記ワーク表面に接触する真空吸着口を設けたガイ
ドを備えた搬送装置により前記問題点は解決できる。
し、無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具の外側
に、前記ワーク表面に接触する真空吸着口を設けたガイ
ドを備えた搬送装置により前記問題点は解決できる。
【実施例１】
【００１２】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１３】図１は、本発明の一実施例である搬送装置
Ｅを示す図である。
Ｅを示す図である。
【００１４】図２は、図１の下平面図である。
【００１５】図１に示すように、円柱状の基体２の下面
を円筒状に穿孔して内部空間をクッション室４を形成
し、クッション室４の上部中央部には、高圧空気Ｃを導
入する空気送入口１が設けられており、基体２の下面の
クッション室４の周辺部を作動面５として無接触吸着具
Ａを構成し、無接触吸着具Ａの側端より突出し、下面９
が無接触吸着具ＡがワークＢを吸引時にワークＢ表面に
接する位置にあるガイド６を装着して搬送装置Ｅを形成
する。
を円筒状に穿孔して内部空間をクッション室４を形成
し、クッション室４の上部中央部には、高圧空気Ｃを導
入する空気送入口１が設けられており、基体２の下面の
クッション室４の周辺部を作動面５として無接触吸着具
Ａを構成し、無接触吸着具Ａの側端より突出し、下面９
が無接触吸着具ＡがワークＢを吸引時にワークＢ表面に
接する位置にあるガイド６を装着して搬送装置Ｅを形成
する。
【００１６】ガイド６の下面９には、空気Ｄを吸引する
真空発生装置（図示せず）に通じる真空吸着口７が設け
られている。
真空発生装置（図示せず）に通じる真空吸着口７が設け
られている。
【００１７】かような構成にて、空気送入口１より高圧
空気Ｃを供給すると、高圧空気Ｃがクッション室４、作
動面５とワークＢとの間隙を通過し外部に排出する過程
において、ワークＢと作動面５との距離が大なる場合、
エゼクタ作用によりクッション室４に負圧を生じワーク
Ｂを吸引するが、前記距離が小になれば圧力室型エアク
ッション作用により昇圧し、ワークＢを引き離し、バラ
ンスした距離にてワークＢを無接触状態にて懸垂保持す
る。
空気Ｃを供給すると、高圧空気Ｃがクッション室４、作
動面５とワークＢとの間隙を通過し外部に排出する過程
において、ワークＢと作動面５との距離が大なる場合、
エゼクタ作用によりクッション室４に負圧を生じワーク
Ｂを吸引するが、前記距離が小になれば圧力室型エアク
ッション作用により昇圧し、ワークＢを引き離し、バラ
ンスした距離にてワークＢを無接触状態にて懸垂保持す
る。
【００１８】このときガイド６の下面９は、前記バラン
スした距離にあるワークＢの表面に接している。
スした距離にあるワークＢの表面に接している。
【００１９】この状態にて真空吸着口７に接続した真空
発生装置により空気Ｄを吸引すると、ワークＢは下面９
に密着し、ワークＢの動きは規制される。
発生装置により空気Ｄを吸引すると、ワークＢは下面９
に密着し、ワークＢの動きは規制される。
【００２０】本搬送装置Ｅは、ロボットア−ム等の移動
部材に装着されており、所定の位置にワークＢを搬送す
る。
部材に装着されており、所定の位置にワークＢを搬送す
る。
【００２１】
【実施例２】図３は、本発明の他の実施例を示す側面図
であり、図４はその下平面図である。
であり、図４はその下平面図である。
【００２２】本発明は、無接触吸着具Ａの下端の作動面
５に、突出したガイド１０を設け、ガイド１０のワーク
Ｂに接触する下面には真空吸着口１１を設けて搬送装置
Ｆを構成する。
５に、突出したガイド１０を設け、ガイド１０のワーク
Ｂに接触する下面には真空吸着口１１を設けて搬送装置
Ｆを構成する。
【００２３】無接触吸着具ＡにてワークＢを懸垂時、真
空吸着口１１より空気Ｄを吸引することによりワークＢ
の移動を規制し、ワークＢを所定の位置に搬送する。
空吸着口１１より空気Ｄを吸引することによりワークＢ
の移動を規制し、ワークＢを所定の位置に搬送する。
【００２４】ガイドの下面が接触するワークＢの部所
は、製品として不要な部分、傷、汚れが付着しても問題
にならない部分、あるいは廃棄する部分を選択してい
る。
は、製品として不要な部分、傷、汚れが付着しても問題
にならない部分、あるいは廃棄する部分を選択してい
る。
【００２５】従ってワークＢの損傷したり汚染されては
いけない部分には、無接触吸着具Ａは無接触の状態に
て、ワークＢを搬送することができる。
いけない部分には、無接触吸着具Ａは無接触の状態に
て、ワークＢを搬送することができる。
【００２６】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２７】たとえば、ガイドにゴム状の真空吸着パッ
ド、ワークを損傷するおそれのない部材を用いても良
く、また高圧空気に変えて窒素ガス、その他の気体でも
良い。
ド、ワークを損傷するおそれのない部材を用いても良
く、また高圧空気に変えて窒素ガス、その他の気体でも
良い。
【００２８】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。
【００２９】（１）ワーク搬送時に、ワーク端面に損傷
を与えない。
を与えない。
【００３０】（２）可撓性、柔軟性のワークを撓みの無
い水平な状態にて搬送することができる。
い水平な状態にて搬送することができる。
【００３１】（３）ワーク表面のガイドが接触する部分
は、損傷あるいは汚染されてもよい箇所であるため、必
要な部分は無接触状態にて搬送が可能である。
は、損傷あるいは汚染されてもよい箇所であるため、必
要な部分は無接触状態にて搬送が可能である。
【００３２】（４）搬送中ワークがずれないので位置決
めができる。
めができる。
【００３３】（５）スマ−トカ−ドにもちいられる可撓
性の厚さ５０μｍ、直径３００ｍｍの半導体ウエハを端
面を損傷することなく、また撓みを生じさせることなく
水平状態にて搬送が可能である。
性の厚さ５０μｍ、直径３００ｍｍの半導体ウエハを端
面を損傷することなく、また撓みを生じさせることなく
水平状態にて搬送が可能である。
【図１】本発明の一実施例の側面断面図である。
【図２】本発明の一実施例の下平面図である。
【図３】本発明の他の実施例の側面断面図である。
【図４】本発明の他の実施例の下平面図である。
１ 空気送入口 ２ 基体 ４ クッション室 ５ 作動面 ６ 、１０ ガイド ７，１１ 真空吸着口 ９ 下面 Ａ 無接触吸着具 Ｂ ワーク Ｃ 高圧空気 Ｄ 空気 Ｅ，Ｆ 搬送装置
Claims (2)
- 【請求項１】空気を噴出することによりワークを吸引
し、無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具の外側
に、前記ワーク表面に接触する真空吸着口を設けたガイ
ドを備えた搬送装置。 - 【請求項２】＜請求項１＞に記載の無接触吸着具の底面
に、前記ワーク表面に接触する真空吸着口を設けたガイ
ドを備えた搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154799A JP2001162575A (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154799A JP2001162575A (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001162575A true JP2001162575A (ja) | 2001-06-19 |
Family
ID=18418029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35154799A Pending JP2001162575A (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001162575A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009032980A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
| JP2010098180A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の非接触搬送装置及び方法 |
| JP2010264579A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Shimadzu Corp | 基板吸着装置 |
| KR20140075972A (ko) * | 2012-12-11 | 2014-06-20 | 주식회사 엠디에스 | 회로 기판 이송 장치 |
| CN106671584A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-17 | 华中科技大学 | 一种适用于柔性电子曲面共形转移的多插针转印头 |
| JP2019038101A (ja) * | 2017-08-09 | 2019-03-14 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 垂れ性のあるプライを搬送してマンドレルで成形するためエンドエフェクタ |
| CN111839901A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-30 | 泉州市兴远机械制造有限公司 | 一种纸尿裤加工用大环腰转移装置 |
-
1999
- 1999-12-10 JP JP35154799A patent/JP2001162575A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009032980A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
| JP2010098180A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の非接触搬送装置及び方法 |
| JP4629766B2 (ja) * | 2008-10-17 | 2011-02-09 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の非接触搬送装置及び方法 |
| JP2010264579A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Shimadzu Corp | 基板吸着装置 |
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| CN106671584A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-17 | 华中科技大学 | 一种适用于柔性电子曲面共形转移的多插针转印头 |
| JP2019038101A (ja) * | 2017-08-09 | 2019-03-14 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 垂れ性のあるプライを搬送してマンドレルで成形するためエンドエフェクタ |
| JP7391498B2 (ja) | 2017-08-09 | 2023-12-05 | ザ・ボーイング・カンパニー | 垂れ性のあるプライを搬送してマンドレルで成形するためエンドエフェクタ |
| CN111839901A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-30 | 泉州市兴远机械制造有限公司 | 一种纸尿裤加工用大环腰转移装置 |
| CN111839901B (zh) * | 2020-07-30 | 2022-02-15 | 泉州市兴远机械制造有限公司 | 一种纸尿裤加工用大环腰转移装置 |
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