JP2002280439A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP2002280439A JP2002280439A JP2001074892A JP2001074892A JP2002280439A JP 2002280439 A JP2002280439 A JP 2002280439A JP 2001074892 A JP2001074892 A JP 2001074892A JP 2001074892 A JP2001074892 A JP 2001074892A JP 2002280439 A JP2002280439 A JP 2002280439A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】板状体を強力に、保持安定性を高めて無接触状
態にて搬送する。 【解決手段】保持する板状体３との間に平面的な空隙を
形成し、流体により板状体３を無接触状態にて保持する
保持面４を備えた基体１と、この保持面４の周辺部に配
設された、上部の空気溜７に接続するノズル６を設けた
ポケット状のクッション室５と、保持面４の中央部に流
体吸引口９を設けたこと。
態にて搬送する。 【解決手段】保持する板状体３との間に平面的な空隙を
形成し、流体により板状体３を無接触状態にて保持する
保持面４を備えた基体１と、この保持面４の周辺部に配
設された、上部の空気溜７に接続するノズル６を設けた
ポケット状のクッション室５と、保持面４の中央部に流
体吸引口９を設けたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板、ホトマス
ク、半導体ウエハ等の板状体のワークを空気等の流体に
より無接触状態にて懸垂保持し搬送する搬送装置に関す
る。
ク、半導体ウエハ等の板状体のワークを空気等の流体に
より無接触状態にて懸垂保持し搬送する搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気等の流体により無接触状態に
て懸垂保持し搬送する搬送装置には特公昭５１−４０３
４３号に示されてる例がある。
て懸垂保持し搬送する搬送装置には特公昭５１−４０３
４３号に示されてる例がある。
【０００３】前記公報に示されるように、吸込管とこの
周囲に設けられた吐出管とを組み合わせて、吸込管およ
び吐出管から流体を吸引および吐出して板状体を無接触
状態にて懸垂保持する。
周囲に設けられた吐出管とを組み合わせて、吸込管およ
び吐出管から流体を吸引および吐出して板状体を無接触
状態にて懸垂保持する。
【０００４】そのため板状体に流体が作用する領域は、
吸い込み管及び吐出管出口近辺に限られていた。
吸い込み管及び吐出管出口近辺に限られていた。
【０００５】従って保持される板状体の面に対して直角
方向の変位に対する吐出管内の流量の変化が小さいた
め、板状体に対する保持力、特に保持復元力が小さいの
で保持安定性に欠けるという欠点がある。
方向の変位に対する吐出管内の流量の変化が小さいた
め、板状体に対する保持力、特に保持復元力が小さいの
で保持安定性に欠けるという欠点がある。
【０００６】また各吐出管にはそれぞれに高圧流体源に
通じる導管が接続されているため、吐出管より吐出され
る流体量が不均一になり、従って板状体にかかる保持力
が一定でなく保持安定性を欠いている。
通じる導管が接続されているため、吐出管より吐出され
る流体量が不均一になり、従って板状体にかかる保持力
が一定でなく保持安定性を欠いている。
【０００７】そのうえ吐出した流体が全量装置外に排出
するため、クリーンルーム内のゴミの巻き上げ等による
環境の汚染が生じる。
するため、クリーンルーム内のゴミの巻き上げ等による
環境の汚染が生じる。
【０００８】また搬送装置を直接ロボット等の移載装置
に装着して、板状体を搬送する場合、板状体を吸引保持
するため搬送装置を板状体に接近させるのであるが、板
状体の設置状況、板状体の反り等により装置の保持面と
板状体とが平行になっておらず、保持面と板状体とが接
触する場合がある。
に装着して、板状体を搬送する場合、板状体を吸引保持
するため搬送装置を板状体に接近させるのであるが、板
状体の設置状況、板状体の反り等により装置の保持面と
板状体とが平行になっておらず、保持面と板状体とが接
触する場合がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、 （１）保持力が低く、保持安定性に欠く。
点は、 （１）保持力が低く、保持安定性に欠く。
【００１０】（２）各吐出口より均一に流体を吐出しな
い。
い。
【００１１】（３）流体が外部に排出するためクリーン
ルーム内で使用不可能。
ルーム内で使用不可能。
【００１２】（５）板状体吸引時に保持面と板状体とが
平行状態にて吸引しないため接触する。
平行状態にて吸引しないため接触する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
【００１４】流体により板状体を無接触状態にて保持す
る装置において、保持する板状体との間に平面的な空隙
を形成するための保持面を備える基体と、この保持面の
周辺部に配設された、上部に空気溜に接続するノズルを
設けたポケット状のクッション室と、前記保持面の中央
部に上部に流体吸引源に接続する流体吸引口を設けたこ
とを特徴とする搬送装置。
る装置において、保持する板状体との間に平面的な空隙
を形成するための保持面を備える基体と、この保持面の
周辺部に配設された、上部に空気溜に接続するノズルを
設けたポケット状のクッション室と、前記保持面の中央
部に上部に流体吸引源に接続する流体吸引口を設けたこ
とを特徴とする搬送装置。
【００１５】また中央部に貫通する流体路を有し、下端
を搬送装置の流体吸引口に接続し、上方部はベースと球
状に摺動する摺動面を有した摺動部とで形成される連結
具と、ベース上面に前記摺動部が摺動可能に収納される
空間を有し、上面に気体吸引源に接続する吸引口を設け
た上蓋とにより形成されることを特徴とする取り付け装
置。
を搬送装置の流体吸引口に接続し、上方部はベースと球
状に摺動する摺動面を有した摺動部とで形成される連結
具と、ベース上面に前記摺動部が摺動可能に収納される
空間を有し、上面に気体吸引源に接続する吸引口を設け
た上蓋とにより形成されることを特徴とする取り付け装
置。
【００１６】本発明にあって、高圧流体Ｐは流体供給口
１０より全ノズル６，６，・・・の口径総断面積よりも
格段に大きな断面積を有する空気溜７よりノズル６に供
給され、ノズル６よりクッション室５を通り、板状体３
に向かって噴出される。
１０より全ノズル６，６，・・・の口径総断面積よりも
格段に大きな断面積を有する空気溜７よりノズル６に供
給され、ノズル６よりクッション室５を通り、板状体３
に向かって噴出される。
【００１７】保持面４と板状体３との間隙ｈが大なる場
合、クッション室５はエゼクタ作用により減圧され板状
体３を吸引する。
合、クッション室５はエゼクタ作用により減圧され板状
体３を吸引する。
【００１８】板状体３が吸引され前記間隙ｈが小になれ
ば、圧力式エアクッション作用によりクッション室５は
増圧し、板状体３を引き離し板状体３が保持面４に接触
することなく懸垂保持される。
ば、圧力式エアクッション作用によりクッション室５は
増圧し、板状体３を引き離し板状体３が保持面４に接触
することなく懸垂保持される。
【００１９】一方、流体吸引口９よりも前記間隙ｈの流
体を吸引するため、間隙ｈは減圧され板状体３を吸引す
る。
体を吸引するため、間隙ｈは減圧され板状体３を吸引す
る。
【００２０】従って、ノズル６には格段に大きな空気溜
７より高圧流体Ｐが供給されるので、全てのノズル６、
６・・・に均等量供給されるため、クッション室５に生
じる吸引力、反発力は全て均一になりバランスよく板状
体を無接触状態にて懸垂できる。
７より高圧流体Ｐが供給されるので、全てのノズル６、
６・・・に均等量供給されるため、クッション室５に生
じる吸引力、反発力は全て均一になりバランスよく板状
体を無接触状態にて懸垂できる。
【００２１】板状体３に加わる吸引力は、クッション室
５に生じる減圧作用による吸引力と流体吸引による吸引
力を加えたものになり強力である。
５に生じる減圧作用による吸引力と流体吸引による吸引
力を加えたものになり強力である。
【００２２】
【実施例１】以下、本発明の実施例の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【００２３】図１は、本発明の一実施形態である搬送装
置Ａの側面断面図を、図２はその下平面図を、図３はそ
の上平面図をしめす。
置Ａの側面断面図を、図２はその下平面図を、図３はそ
の上平面図をしめす。
【００２４】基体１の板状体３に対向する保持面４の周
辺部に、開口するポケット状のクッション室５を配し、
クッション室５の上面には、基体１の上面のリング状の
溝をカバー２によりに閉塞されて形成された空気溜７に
通じるノズル６を設けている。
辺部に、開口するポケット状のクッション室５を配し、
クッション室５の上面には、基体１の上面のリング状の
溝をカバー２によりに閉塞されて形成された空気溜７に
通じるノズル６を設けている。
【００２５】空気溜７には高圧流体供給源（図示せず）
に連接するカバー２の流体供給口１０が設けられてい
る。
に連接するカバー２の流体供給口１０が設けられてい
る。
【００２６】保持面４の中央部にはポケット８が設けら
れ、その上面には流体吸引源（図示せず）に連接する流
体吸引口９が設けられている。
れ、その上面には流体吸引源（図示せず）に連接する流
体吸引口９が設けられている。
【００２７】クッション室５およびポケット８には、流
体が均等に流れるように仕切り板１１，１２にて仕切ら
れている。
体が均等に流れるように仕切り板１１，１２にて仕切ら
れている。
【００２８】またポケット８には、圧力を検出する検出
管２５が設けられている。
管２５が設けられている。
【００２９】上記の構成により搬送装置Ａは形成されて
いる。
いる。
【００３０】空気溜７の高圧流体Ｐがノズル６からクッ
ション室５を通り、保持面４に近接して置かれた板状体
３に向かって噴出し、保持面４と板状体３との間隙に流
れる。
ション室５を通り、保持面４に近接して置かれた板状体
３に向かって噴出し、保持面４と板状体３との間隙に流
れる。
【００３１】この間、保持面４と板状体３とで形成され
る間隙は、エゼクタのデフューザの機能を、クッション
室５は真空室の機能を、ノズル６はノズルの機能を果た
す。
る間隙は、エゼクタのデフューザの機能を、クッション
室５は真空室の機能を、ノズル６はノズルの機能を果た
す。
【００３２】従ってクッション室５の圧力は低下すると
ともに、前記間隙も高速流体によるベルヌーイ効果によ
り静圧が低下する。
ともに、前記間隙も高速流体によるベルヌーイ効果によ
り静圧が低下する。
【００３３】この圧力の低下が板状体３に対する吸引力
となり、板状体３を引き寄せる。
となり、板状体３を引き寄せる。
【００３４】また流体吸引口９より前記間隙の流体を吸
引するため、この間隙の圧力も低下し、板状体３の吸引
力となる。
引するため、この間隙の圧力も低下し、板状体３の吸引
力となる。
【００３５】一方、板状体３が引き寄せられ前記間隙ｈ
が小になれば、クッション室５は圧力式エアクッション
の機能を果たし、クッション室５の圧力は上昇し、板状
体３を引き離し、板状体３が保持面４に接触するのを防
止する。
が小になれば、クッション室５は圧力式エアクッション
の機能を果たし、クッション室５の圧力は上昇し、板状
体３を引き離し、板状体３が保持面４に接触するのを防
止する。
【００３６】上述のごとく本発明の搬送装置Ａの吸引力
は、エゼクタ効果、ベルヌーイ効果および流体吸引によ
る減圧効果を持ち合わせているため、従来の技術より吸
引力は４．５倍、反発力は１．３倍優れている。
は、エゼクタ効果、ベルヌーイ効果および流体吸引によ
る減圧効果を持ち合わせているため、従来の技術より吸
引力は４．５倍、反発力は１．３倍優れている。
【００３７】また空気溜７を設けたことにより、ノズル
６，６，・・・に流体が均等に流れるため保持安定性が
格段に優れている。
６，６，・・・に流体が均等に流れるため保持安定性が
格段に優れている。
【００３８】そのうえクッション室５より排出した流体
は流体吸引口９より吸引されるので、外部へ排出するこ
とがないため、クリーンルームのゴミを巻き上げること
がない。
は流体吸引口９より吸引されるので、外部へ排出するこ
とがないため、クリーンルームのゴミを巻き上げること
がない。
【００３９】保持面４の周辺部に形成されるノズル６及
びクッション室５による構成は、本例に限ることなくノ
ズルのみ、あるいは流体を噴出することにより減圧効果
を生じる構成のものであればよい。
びクッション室５による構成は、本例に限ることなくノ
ズルのみ、あるいは流体を噴出することにより減圧効果
を生じる構成のものであればよい。
【００４０】例えば、図６，７，に示すようにノズル直
下に流体偏向機３１を設けたもの、図８に示すように高
圧流体Ｐの流入する円筒の側面にノズル６を設けた高圧
流体噴出形態Ｅ，Ｆ，Ｇでもよい。
下に流体偏向機３１を設けたもの、図８に示すように高
圧流体Ｐの流入する円筒の側面にノズル６を設けた高圧
流体噴出形態Ｅ，Ｆ，Ｇでもよい。
【００４１】
【実施例２】本発明は、下端に搬送装置Ａを装着し、上
部を移載装置に取り付ける取り付け装置Ｂである。
部を移載装置に取り付ける取り付け装置Ｂである。
【００４２】図３に本実施例の側面断面図を示す。
【００４３】下端を搬送装置Ａの流体吸引口９に接続す
る、中央に流体の流体路１６を設けた接続管１３の上方
部に球状にベース１４と摺動する摺動面１８を備えた摺
動部２９を設けて連結具Ｃは形成されている。
る、中央に流体の流体路１６を設けた接続管１３の上方
部に球状にベース１４と摺動する摺動面１８を備えた摺
動部２９を設けて連結具Ｃは形成されている。
【００４４】ベースＢは、上面中央に前記摺動面１８と
球状に摺動する摺動面１９を設け、連結具Ｃを摺動及び
昇降自由に支持し、中央部には接続管１３が貫通する貫
通口２８を設けている。
球状に摺動する摺動面１９を設け、連結具Ｃを摺動及び
昇降自由に支持し、中央部には接続管１３が貫通する貫
通口２８を設けている。
【００４５】またベース１４の端部より摺動面１８に高
圧流体Ｐを噴出する高圧流体供給管２１を設けており、
また接続管１３と貫通口２８の間隙に柔軟なシール２７
を設け流体の漏洩を防いでいる。
圧流体Ｐを噴出する高圧流体供給管２１を設けており、
また接続管１３と貫通口２８の間隙に柔軟なシール２７
を設け流体の漏洩を防いでいる。
【００４６】ベース１４には、上部中央に流体吸入源に
接続する吸引口１７を備え、内部に円筒状の空間２０を
設けた上蓋１５が締結されている。
接続する吸引口１７を備え、内部に円筒状の空間２０を
設けた上蓋１５が締結されている。
【００４７】上記のように構成されている取り付け装置
Ｂにおいて、接続管１３の下端に搬送装置Ａの流体吸引
口９に接続し、吸引口１７には流体吸引源に接続する。
Ｂにおいて、接続管１３の下端に搬送装置Ａの流体吸引
口９に接続し、吸引口１７には流体吸引源に接続する。
【００４８】保持面４と近接して置かれた板状体３を吸
引する場合、流体吸引口９から吸引する流体流とノズル
６より噴出する高圧流体Ｐとにより、保持面４と板状体
３とで形成される間隙ｈは、間隙ｈの流体流の抵抗が全
面にわたり均一になるように働くので、保持面４と板状
体３とが平行になろうとする力を生じる。
引する場合、流体吸引口９から吸引する流体流とノズル
６より噴出する高圧流体Ｐとにより、保持面４と板状体
３とで形成される間隙ｈは、間隙ｈの流体流の抵抗が全
面にわたり均一になるように働くので、保持面４と板状
体３とが平行になろうとする力を生じる。
【００４９】 また高圧流体供給管２１より摺動面１８
および１９の間に供給させる高圧流体により摺動面１９
は浮上し、連結具Ｃは摩擦抵抗なく自由に摺動し保持面
４と板状体３は平行状態になる。
および１９の間に供給させる高圧流体により摺動面１９
は浮上し、連結具Ｃは摩擦抵抗なく自由に摺動し保持面
４と板状体３は平行状態になる。
【００５０】また摺動面１８および１９は平板状の他、
摩擦抵抗少なく摺動するする形状のものであればよい。
摩擦抵抗少なく摺動するする形状のものであればよい。
【００５１】本発明の取り付け装置Ｂは、連結具の下端
にベルヌーイチャック等の流体を噴出することによりワ
ークを無接触状態にて吸引する吸着具の流体供給口に接
続し、吸引口１７は高圧流体供給源に接続してもよい。
にベルヌーイチャック等の流体を噴出することによりワ
ークを無接触状態にて吸引する吸着具の流体供給口に接
続し、吸引口１７は高圧流体供給源に接続してもよい。
【００５２】
【実施例３】図５は本発明の搬送装置Ａによる板状体３
を無接触状態にて搬送する搬送システム図である。
を無接触状態にて搬送する搬送システム図である。
【００５３】ロボット２２の前方にはコンベア２４が設
置され、板状体３が順次送られてくる。
置され、板状体３が順次送られてくる。
【００５４】ロボット２２の後方には板状体３を積層す
るテーブル２５がある。
るテーブル２５がある。
【００５５】ロボット２２のアーム２３には取り付け装
置Ｂを介して搬送装置Ａが装着されている。
置Ｂを介して搬送装置Ａが装着されている。
【００５６】搬送装置Ａは切替弁（図示せず）を介して
流体吸引源および高圧流体源に配管されている。
流体吸引源および高圧流体源に配管されている。
【００５７】ロボット２２のアーム２３が移動し、コン
ベア２４により送られてきた板状体３に搬送装置Ａが接
近した時点で、搬送装置Ａの流体吸引口９より流体を吸
引すると同時にノズル６より高圧流体Ｐを噴出すると、
保持面４は板状体３と平行になり、さらにアーム２３が
下降し搬送装置Ａの検出管２５により板状体３の懸垂を
確認すると、アーム２３がテーブル２５上まで移動し、
流体の吸引および噴出を停止することにより、板状体３
をテーブル２５上に解放する。
ベア２４により送られてきた板状体３に搬送装置Ａが接
近した時点で、搬送装置Ａの流体吸引口９より流体を吸
引すると同時にノズル６より高圧流体Ｐを噴出すると、
保持面４は板状体３と平行になり、さらにアーム２３が
下降し搬送装置Ａの検出管２５により板状体３の懸垂を
確認すると、アーム２３がテーブル２５上まで移動し、
流体の吸引および噴出を停止することにより、板状体３
をテーブル２５上に解放する。
【００５８】本例に示すシステムは、本例に限らず板状
体の移載、反転、搬送等に使用可能である。
体の移載、反転、搬送等に使用可能である。
【００５９】
【発明の効果】本願に開示される発明のうち、代表的な
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
【００６０】（１）空気溜を設けたため、全てのノズル
より噴出する流量が均一になり、保持力および保持安定
性が高まった。
より噴出する流量が均一になり、保持力および保持安定
性が高まった。
【００６１】（２）中央部に流体吸引口を設けたため流
体が外部に排出せず、クリーンルーム内にて使用可能に
なった。。
体が外部に排出せず、クリーンルーム内にて使用可能に
なった。。
【００６２】（３）搬送装置に 本発明の取り付け装置
によりを装着することにより、吸引時保持面と板状体と
が自動的に平行になるため、板状体の吸引時の接触が無
くなった。
によりを装着することにより、吸引時保持面と板状体と
が自動的に平行になるため、板状体の吸引時の接触が無
くなった。
【００６３】（４）本発明の取り付け装置を装着するこ
とにより、複数台の搬送装置により１個の板状体を搬送
する場合、板状体の歪みのために生じる接触が無くなっ
た。
とにより、複数台の搬送装置により１個の板状体を搬送
する場合、板状体の歪みのために生じる接触が無くなっ
た。
【図１】本発明の搬送装置の側面断面図である。
【図２】本発明の搬送装置の下平面図である。
【図３】本発明の搬送装置の上平面一部断面図である。
【図４】本発明の取り付け装置の側面断面図である。
【図５】本発明の搬送システム図である。
【図６】高圧流体噴出形状Ｅの側面断面図である。
【図７】高圧流体噴出形状Ｆの側面断面図である。
【図８】高圧流体噴出形状Ｇの側面断面図である。
１ 基体 ２ カバー ３ 板状体 ４ 保持面 ５ クッション室 ６ ノズル ７ 空気溜 ９ 流体吸引口 １０ 流体供給口 １３ 接続管 １４ ベース １５ 上蓋 １６ 流体路 １８、１９摺動面 ２１ 高圧流体供給管 ２２ ロボット ２３ アーム ２５ 検出管 ２９ 摺動部 ３１ 流体偏向機 Ａ 搬送装置 Ｂ 取り付け装置 Ｃ 連結具 Ｐ 高圧流体
Claims (4)
- 【請求項１】流体により板状体を無接触状態にて保持す
る装置において、保持する板状体との間に平面的な空隙
を形成するための保持面を備える基体と、この保持面の
周辺部に配設された、上部に空気溜に接続するノズルを
設けたポケット状のクッション室と、前記保持面の中央
部に上部に流体吸引源に接続する流体吸引口を設けたこ
とを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】保持する板状体との間に平面的な空隙を形
成するための保持面を備える基体と、この保持面の周辺
部に配設された、上部に空気溜に接続するノズルを設け
たポケット状のクッション室を設けたことを特徴とする
搬送装置。 - 【請求項３】＜請求項１＞の搬送装置を移載装置に取り
付け装置であって、中央部に貫通する流体路を有し、下
端を＜請求項１＞の搬送装置の流体吸引口に接続し、上
方部はベースと球状に摺動する摺動面を有した摺動部と
で形成される連結具と、ベース上面に前記摺動部が摺動
可能に収納される空間を有し、上面に流体吸引源に接続
する吸引口を設けた上蓋とにより形成されることを特徴
とする取り付け装置。 - 【請求項４】＜請求項１＞記載の搬送装置を＜請求項３
＞記載の取り付け装置を介して移載装置に装着し、板状
体無接触状態にて懸垂保持し搬送する搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074892A JP2002280439A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001074892A JP2002280439A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002280439A true JP2002280439A (ja) | 2002-09-27 |
Family
ID=18932066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001074892A Pending JP2002280439A (ja) | 2001-03-15 | 2001-03-15 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002280439A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007099353A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Kao Corp | 物品保持回転装置 |
| JP2009028862A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
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2001
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