JPH0512113B2 - - Google Patents
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- JPH0512113B2 JPH0512113B2 JP61091652A JP9165286A JPH0512113B2 JP H0512113 B2 JPH0512113 B2 JP H0512113B2 JP 61091652 A JP61091652 A JP 61091652A JP 9165286 A JP9165286 A JP 9165286A JP H0512113 B2 JPH0512113 B2 JP H0512113B2
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 59
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 25
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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- Manipulator (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
本発明は、半導体ウエハ、液晶ガラス、デイス
ク等の板状体を空気等の流体により、無接触状態
にて保持する装置に関する。
ク等の板状体を空気等の流体により、無接触状態
にて保持する装置に関する。
従来高圧空気のような流体を利用して、ウエハ
のような板状体を無接触状態にて保持する装置と
しては、米国特許3438668、4009785、4029351、
3523706、4002254、3993301、3539216、4474397、
4566726、がある。 これらの例は、すべてベルヌーイ効果、すなわ
ち流体の速度と圧力の相関関係のみを利用した装
置であり、吸着力が弱く、保持安定性が低いとい
う欠点を有していた。 この欠点を改良するために、本発明の発明者に
係る特許第1563948号空気保持装置が発明された。 前記発明は、吸引機能としてエゼクタ効果およ
びベルヌーイ効果を持ち、また反発機能として圧
力室型エアクツシヨン効果および流体流のクツシ
ヨン効果を持つているため、従来技術に比し吸引
力では1.4倍、反発力では1.3倍優れており保持安
定性が非常に高く、かつ操作が容易であつた。 しかしながら前記特許は、排気吸引機構を有し
ないため排気が外部に流出し、外部のクリンルー
ムを汚染する欠点があつた。 排気口あるいは排気を吸引するものとしては、
米国特許No.4566726、USSR特許No.257628、
“Wafer pickup with air barrie（IBM）”、特開
昭62−16945および特開昭62−211236がある。 米国特許No.4566726は、流体吸引口３９が備え
ているが、板状体を吸着するものであり、排気す
るためのものではない。 USSR特許No.257628及びIBMの板状体の吸引機
構は、ベルヌーイ効果を利用したものであり、板
状体の吸引力および反発力が弱く、保持安定性に
欠けている。 また排気口を有するが、流体吸引源に接続して
いないため排気が流出し、周囲を汚染する欠点が
ある。 また特開昭62−16945および特開昭62−211236
は、保持面には流体噴出部と吸引部を設け、流体
の噴出および吸引のバランスを保つことにより、
板状体と保持面との間に空間の圧力を調節し、板
状体を保持する機構のため、調節が難しく、操作
性に難点があつた。
のような板状体を無接触状態にて保持する装置と
しては、米国特許3438668、4009785、4029351、
3523706、4002254、3993301、3539216、4474397、
4566726、がある。 これらの例は、すべてベルヌーイ効果、すなわ
ち流体の速度と圧力の相関関係のみを利用した装
置であり、吸着力が弱く、保持安定性が低いとい
う欠点を有していた。 この欠点を改良するために、本発明の発明者に
係る特許第1563948号空気保持装置が発明された。 前記発明は、吸引機能としてエゼクタ効果およ
びベルヌーイ効果を持ち、また反発機能として圧
力室型エアクツシヨン効果および流体流のクツシ
ヨン効果を持つているため、従来技術に比し吸引
力では1.4倍、反発力では1.3倍優れており保持安
定性が非常に高く、かつ操作が容易であつた。 しかしながら前記特許は、排気吸引機構を有し
ないため排気が外部に流出し、外部のクリンルー
ムを汚染する欠点があつた。 排気口あるいは排気を吸引するものとしては、
米国特許No.4566726、USSR特許No.257628、
“Wafer pickup with air barrie（IBM）”、特開
昭62−16945および特開昭62−211236がある。 米国特許No.4566726は、流体吸引口３９が備え
ているが、板状体を吸着するものであり、排気す
るためのものではない。 USSR特許No.257628及びIBMの板状体の吸引機
構は、ベルヌーイ効果を利用したものであり、板
状体の吸引力および反発力が弱く、保持安定性に
欠けている。 また排気口を有するが、流体吸引源に接続して
いないため排気が流出し、周囲を汚染する欠点が
ある。 また特開昭62−16945および特開昭62−211236
は、保持面には流体噴出部と吸引部を設け、流体
の噴出および吸引のバランスを保つことにより、
板状体と保持面との間に空間の圧力を調節し、板
状体を保持する機構のため、調節が難しく、操作
性に難点があつた。
解決しようとする課題は、板状体の無接触保持
操作において、板状体を安定して保持でき、排気
が流出して周囲を汚染することなく、かつ操作が
容易な空気保持装置を提供することにある。
操作において、板状体を安定して保持でき、排気
が流出して周囲を汚染することなく、かつ操作が
容易な空気保持装置を提供することにある。
本発明の排気吸引機構を備えた空気保持装置
は、本発明の発明者に係る特許第1563948号空気
保持装置に、排気を捕捉し、外部に流出すること
なく、所定の場所に排出する機構を付加したもの
である。 すなわち高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を
設けた上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を
向いて形成された周壁部３とにより、前記周壁部
３下端に近ずく板状体Ｇとの距離が大なるに際し
て前記流体送入口１から流入する前記高圧流体Ｃ
によるエゼクタ効果に伴う負圧作用により前記板
状体Ｇを吸引するとともに、前記距離が小なるに
際して流入する前記高圧流体Ｃによる圧力室型エ
アクツシヨン効果に伴う正圧作用により、前記板
状体Ｇを離間させるクツシヨン室４を形成する空
間を有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂ
は、前記周壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で
外向に流出する前記高圧流体Ｃが増速することに
よるベルヌーイ効果にともなう負圧作用により板
状体Ｇを吸引するとともに、流出する前記高圧流
体Ｃによつて板状体Ｇとの接触が阻止される広幅
かつ前記周壁部３の方向に連続する作動面５を備
え、しかも前記流体送入口１は前記作動面５と直
角に設けられている空気保持器Ａの前記作動面５
の周囲に、流体吸引源に接続する流体吸引口８を
備えたフード６により空〓９を設けて包囲してい
る。
は、本発明の発明者に係る特許第1563948号空気
保持装置に、排気を捕捉し、外部に流出すること
なく、所定の場所に排出する機構を付加したもの
である。 すなわち高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を
設けた上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を
向いて形成された周壁部３とにより、前記周壁部
３下端に近ずく板状体Ｇとの距離が大なるに際し
て前記流体送入口１から流入する前記高圧流体Ｃ
によるエゼクタ効果に伴う負圧作用により前記板
状体Ｇを吸引するとともに、前記距離が小なるに
際して流入する前記高圧流体Ｃによる圧力室型エ
アクツシヨン効果に伴う正圧作用により、前記板
状体Ｇを離間させるクツシヨン室４を形成する空
間を有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂ
は、前記周壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で
外向に流出する前記高圧流体Ｃが増速することに
よるベルヌーイ効果にともなう負圧作用により板
状体Ｇを吸引するとともに、流出する前記高圧流
体Ｃによつて板状体Ｇとの接触が阻止される広幅
かつ前記周壁部３の方向に連続する作動面５を備
え、しかも前記流体送入口１は前記作動面５と直
角に設けられている空気保持器Ａの前記作動面５
の周囲に、流体吸引源に接続する流体吸引口８を
備えたフード６により空〓９を設けて包囲してい
る。
流体送入口１から供給された高圧流体Ｃは、ク
ツシヨン室４から作動面５に近接する板状体Ｇに
向けて噴出される。 作動面５と板状体Ｇとの距離が大なる場合は、
空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌーイ効
果により負圧を生じ、板状体Ｇを引きつける。 前記距離が小なる場合、空気保持器Ａは、圧力
室型エアクツシヨン効果により圧力が上昇し、板
状体Ｇを引き離す。 空気保持器Ａより排出した排気は、フード６に
より捕捉され、流体吸引口８より吸引され所定の
場所に排出される。 従つて装置より排気が外部に流出しないため、
クリーンルームを汚染することはない。
ツシヨン室４から作動面５に近接する板状体Ｇに
向けて噴出される。 作動面５と板状体Ｇとの距離が大なる場合は、
空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌーイ効
果により負圧を生じ、板状体Ｇを引きつける。 前記距離が小なる場合、空気保持器Ａは、圧力
室型エアクツシヨン効果により圧力が上昇し、板
状体Ｇを引き離す。 空気保持器Ａより排出した排気は、フード６に
より捕捉され、流体吸引口８より吸引され所定の
場所に排出される。 従つて装置より排気が外部に流出しないため、
クリーンルームを汚染することはない。
第１図は本発明の側面断面図、第２図は平面図
を示す。 高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を設けた上
方部２周囲に下方に向く周壁部３を形成した椀状
の基部Ｂの下方を開放し、該周壁部３の下端に広
幅かつ該周壁部３方向に連続する作動面５を設け
て空気保持器Ａを形成する。 前記空気保持器Ａの周囲に空〓９を設けて、流
体吸引源に接続する流体吸引口８を備えたフード
６にて包囲し、排気吸引機構を備えた空気保持装
置を形成する。 流体送入口１には、送風機あるいは圧縮機等の
高圧流体供給装置が、流体吸引口８には、真空ポ
ンプ等の流体吸引装置が管路（図示せず）を介し
て接続している。 高圧流体供給装置より管路を介して送られてき
た高圧流体Ｃは、流体送入口１よりクツシヨン室
４を通り、作動面５に近接して置かれた板状体Ｇ
に向かつて噴出され、作動面５と板状体Ｇとで形
成される空〓を通り空気保持器Ａから排出され
る。 この間、作動面５と板状体Ｇとの距離が大きい
場合、作動面５と板状体Ｇとで形成される空間お
よびクツシヨン室４は、それぞれエゼクタのデイ
フユーザおよび真空室の機能を果たすため、空気
保持器Ａはエゼクタとして機能し、真空室は負圧
になる。 同時に、作動面５と板状体Ｇとの空〓を通る流
体は増速され、ベルヌーイ効果により静圧が低下
し、ともに板状体Ｇに対して大きな吸引力とな
る。 一方、板状体Ｇが吸引され作動面５と板状体Ｇ
との距離が小になると、クツシヨン室４は、圧力
室型エアクツシヨンの機能を果たし、クツシヨン
室４の圧力が上昇する。 同時に、前記空〓を通る流体もクツシヨン効果
を生じ、ともに板状体Ｇに対して反発力を生じ、
板状体Ｇが作動面５に接触するのを阻止する。 上述のごとく空気保持器Ａは、吸引機能として
エゼクタ効果およびベルヌーイ効果を持ち、また
反発機能として圧力室型エアクツシヨン効果およ
び流体のクツシヨン効果を持つているため、従来
技術に比し吸引力では1.4倍、反発力では1.3倍優
れており保持安定性が非常に高い。 作動面５と板状体Ｇとの空〓から排出した流体
は、作動面５の周囲を包囲するフード６に捕捉さ
れ、流体吸引口８より吸引され、所定の場所に排
出されるため、装置より排出して外部のクリーン
ルームを汚染することはない。 流体吸引口８より吸引される流体量は、流体送
入口１より送入される量より多くし、外部の流体
を吸引するようにし、外部を汚染することが無い
ようにする方法も良い使用方法である。 また逆に外部環境の方が排気より汚染している
場合は、排気を多少外部に排出する。 従つて、本発明では、流体供給量および流体吸
引量とが相関関係に無く、別個に選定できるた
め、操作が非常に容易である。 作動面５とフード６の下端部７との高さの相関
関係は、流体の外部へ流出させる量、あるいは外
部の流体の吸引量により決定する。 また複数個の空気保持器Ａを一個のフードにて
包囲するのも好例である。 第３図は、空気保持器Ａとフード６とを一体化
した別の実施例である。 本発明では、空気保持器Ａに本発明者による特
許第1563948号空気保持装置を用いているが、従
来技術の平板に噴出口を設けたもの、じようご状
のもの等のいわゆるベルヌーイチヤツクでもよ
い。
を示す。 高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を設けた上
方部２周囲に下方に向く周壁部３を形成した椀状
の基部Ｂの下方を開放し、該周壁部３の下端に広
幅かつ該周壁部３方向に連続する作動面５を設け
て空気保持器Ａを形成する。 前記空気保持器Ａの周囲に空〓９を設けて、流
体吸引源に接続する流体吸引口８を備えたフード
６にて包囲し、排気吸引機構を備えた空気保持装
置を形成する。 流体送入口１には、送風機あるいは圧縮機等の
高圧流体供給装置が、流体吸引口８には、真空ポ
ンプ等の流体吸引装置が管路（図示せず）を介し
て接続している。 高圧流体供給装置より管路を介して送られてき
た高圧流体Ｃは、流体送入口１よりクツシヨン室
４を通り、作動面５に近接して置かれた板状体Ｇ
に向かつて噴出され、作動面５と板状体Ｇとで形
成される空〓を通り空気保持器Ａから排出され
る。 この間、作動面５と板状体Ｇとの距離が大きい
場合、作動面５と板状体Ｇとで形成される空間お
よびクツシヨン室４は、それぞれエゼクタのデイ
フユーザおよび真空室の機能を果たすため、空気
保持器Ａはエゼクタとして機能し、真空室は負圧
になる。 同時に、作動面５と板状体Ｇとの空〓を通る流
体は増速され、ベルヌーイ効果により静圧が低下
し、ともに板状体Ｇに対して大きな吸引力とな
る。 一方、板状体Ｇが吸引され作動面５と板状体Ｇ
との距離が小になると、クツシヨン室４は、圧力
室型エアクツシヨンの機能を果たし、クツシヨン
室４の圧力が上昇する。 同時に、前記空〓を通る流体もクツシヨン効果
を生じ、ともに板状体Ｇに対して反発力を生じ、
板状体Ｇが作動面５に接触するのを阻止する。 上述のごとく空気保持器Ａは、吸引機能として
エゼクタ効果およびベルヌーイ効果を持ち、また
反発機能として圧力室型エアクツシヨン効果およ
び流体のクツシヨン効果を持つているため、従来
技術に比し吸引力では1.4倍、反発力では1.3倍優
れており保持安定性が非常に高い。 作動面５と板状体Ｇとの空〓から排出した流体
は、作動面５の周囲を包囲するフード６に捕捉さ
れ、流体吸引口８より吸引され、所定の場所に排
出されるため、装置より排出して外部のクリーン
ルームを汚染することはない。 流体吸引口８より吸引される流体量は、流体送
入口１より送入される量より多くし、外部の流体
を吸引するようにし、外部を汚染することが無い
ようにする方法も良い使用方法である。 また逆に外部環境の方が排気より汚染している
場合は、排気を多少外部に排出する。 従つて、本発明では、流体供給量および流体吸
引量とが相関関係に無く、別個に選定できるた
め、操作が非常に容易である。 作動面５とフード６の下端部７との高さの相関
関係は、流体の外部へ流出させる量、あるいは外
部の流体の吸引量により決定する。 また複数個の空気保持器Ａを一個のフードにて
包囲するのも好例である。 第３図は、空気保持器Ａとフード６とを一体化
した別の実施例である。 本発明では、空気保持器Ａに本発明者による特
許第1563948号空気保持装置を用いているが、従
来技術の平板に噴出口を設けたもの、じようご状
のもの等のいわゆるベルヌーイチヤツクでもよ
い。
以上述べたように、本発明により板状体の無接
触保持操作において、保持安定性が高く、排気が
流出しないため、外部環境を汚染することなく、
かつ操作が容易な排気吸引機構を備えた空気保持
装置を提供することができる。
触保持操作において、保持安定性が高く、排気が
流出しないため、外部環境を汚染することなく、
かつ操作が容易な排気吸引機構を備えた空気保持
装置を提供することができる。
第１図は、本発明の側面断面図である。第２図
は、本発明の平面図である。第３図は、本発明の
別の実施例の側面断面図である。第４図は、本発
明の別の実施例の下平面図である。 図において、１〜流体送入口、２〜上方部、３
〜周壁部、４〜クツシヨン室、５〜作動面、６〜
フード、７〜下端部、８〜流体吸引口、９〜空
〓、Ａ〜空気保持器、Ｃ〜高圧流体。
は、本発明の平面図である。第３図は、本発明の
別の実施例の側面断面図である。第４図は、本発
明の別の実施例の下平面図である。 図において、１〜流体送入口、２〜上方部、３
〜周壁部、４〜クツシヨン室、５〜作動面、６〜
フード、７〜下端部、８〜流体吸引口、９〜空
〓、Ａ〜空気保持器、Ｃ〜高圧流体。
Claims (1)
- １ 高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を設けた
上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を向いて
形成された周壁部３とにより、前記周壁部３下端
に近ずく板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記
流体送入口１から流入する前記高圧流体Ｃによる
エゼクタ効果に伴う負圧作用により前記板状体Ｇ
を吸引するとともに、前記距離が小なるに際して
流入する前記高圧流体Ｃによる圧力室型エアクツ
シヨン効果に伴う正圧作用により、前記板状体Ｇ
を離間させるクツシヨン室４を形成する空間を有
する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂは、前
記周壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向に
流出する前記高圧流体Ｃが増速することによるベ
ルヌーイ効果にともなう負圧作用により板状体Ｇ
を吸引するとともに、流出する前記高圧流体Ｃに
よつて板状体Ｇとの接触が阻止される広幅かつ前
記周壁部３の方向に連続する作動面５を備え、し
かも前記流体送入口１は前記作動面５と直角に設
けられている空気保持器Ａの前記作動面５の周囲
に流体吸引源に接続する流体吸引口８を備えたフ
ード６により、空〓９を設けて包囲した排気吸引
機構を備えた空気保持装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165286A JPS62251094A (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 排気吸引機構を備えた空気保持装置 |
| KR860010726A KR870005887A (ko) | 1985-12-30 | 1986-12-15 | 무접촉 운반 장치 |
| DE19863642937 DE3642937A1 (de) | 1985-12-30 | 1986-12-16 | Beruehrungslose foerdereinrichtung |
| US07/343,344 US5067762A (en) | 1985-06-18 | 1989-04-26 | Non-contact conveying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165286A JPS62251094A (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 排気吸引機構を備えた空気保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62251094A JPS62251094A (ja) | 1987-10-31 |
| JPH0512113B2 true JPH0512113B2 (ja) | 1993-02-17 |
Family
ID=14032441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9165286A Granted JPS62251094A (ja) | 1985-06-18 | 1986-04-22 | 排気吸引機構を備えた空気保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62251094A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256590U (ja) * | 1988-06-30 | 1990-04-24 | ||
| JP5370664B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2013-12-18 | 村田機械株式会社 | 基板の移載装置、およびその方法 |
| JP5822437B2 (ja) * | 2010-06-16 | 2015-11-24 | 日本空圧システム株式会社 | 保持具 |
| JP2014003237A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Tokyo Electron Ltd | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| JP5830440B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2015-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| WO2017017750A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | 株式会社ニレコ | 青果物把持具 |
| US10369706B2 (en) * | 2017-08-09 | 2019-08-06 | The Boeing Company | End effectors carrying plies of limp material for shaping by a mandrel |
| GB2584069B (en) * | 2019-03-27 | 2023-11-08 | Millitec Food Systems Ltd | Flow gripper |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5525037A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-22 | Seiko Epson Corp | Liquid form material injecting of display body |
-
1986
- 1986-04-22 JP JP9165286A patent/JPS62251094A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5525037A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-22 | Seiko Epson Corp | Liquid form material injecting of display body |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62251094A (ja) | 1987-10-31 |
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