JP3445138B2 - 無接触搬送装置 - Google Patents
無接触搬送装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体ウ
ェハーやガラス板等の吸着・搬送などに用いられる無接
触搬送装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来より空気圧を利用して板状部材を無
接触状態で吸着し、搬送する無接触搬送装置が開発され
実用化されているが、最近特にこの無接触搬送装置が着
目されている。これは、第１の理由として最近半導体ウ
ェハーとしてその直径が１２インチのものが開発され、
従前の８インチのものに対して機械的なチャッキングが
困難になっているためである。 【０００３】また第２の理由として、半導体の集積度の
向上に伴ってウェハーに塵が付着することが極端に嫌わ
れるようになり、ベルトコンベアでは搬送が困難になっ
ているためである。つまりベルトコンベアはベルトが随
所で摺接し、塵が発生する。そしてその塵がベルトの上
に堆積するため、ベルトの上に載置したウェハーに塵が
付着するという問題が発生する。 【０００４】以下従来の無接触搬送装置について説明す
る。無接触搬送装置に用いられる空気保持装置として最
も基本的な第１従来例は図１０に示すように空気送入口
１とそれに滑かに連続した環状部２を有するベルマウス
３より構成されている。 【０００５】これは空気送入口１より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物４にベルマウス３を接
近させると、被保持物４との間の隙間ｈが次第に小さく
なり、それに伴って隙間ｈを通過する空気の流れの速度
が増加する。するとこの空気流によってベルヌーイ効果
を生じて被保持物４の表面に負圧が発生し、被保持物４
を吸いつける力が発生する。 【０００６】図１１はこの第１従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。この図１１から判るよう
にベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距離ｈの比が
０．００５の時はベルマウス３の中心から外周に至るま
で全ての領域において圧力は正圧である。 【０００７】ベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距
離ｈの比が０．０１の時はベルマウス３の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって次第に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【０００８】つまり、ベルマウス３と被保持物４とを互
いに接近させて行くと、相互間に負圧が作用し、被保持
物４がベルマウス３に吸い付けられる。そしてさらにベ
ルマウス３と被保持物４とを互いに接近させると、相互
間に正圧が作用しベルマウス３と被保持物４は反発す
る。従って、被保持物４はベルマウス３に対して一定の
距離を保って保持される。 【０００９】以上の基本的な構造を改良したものとし
て、特許出願公告平成１年第５１４１３号公報に記載の
第２従来例がある。これは、図１２に示すように空気送
入口１と環状部２との間にクッション室５を設けたもの
である。 【００１０】これは空気送入口１より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物４にベルマウス３を接
近させると、被保持物４との間の隙間ｈが次第に小さく
なり、それに伴って隙間ｈを通過する空気の流れの速度
が増加し、この空気流によってベルヌーイ効果を生じて
被保持物４の表面に負圧が発生し、被保持物４を吸いつ
ける力が発生するとともに、クッション室５内が正圧に
なってエアクッション効果により、被保持物４と反発す
る力が発生する。 【００１１】図１３はこの第２従来例のクッション室５
内の空気の速度分布を示す速度分布図である。この図か
ら判るように、クッション室５内の中心部は速い速度で
空気が下方に流れ、クッション室５の周辺部では流速が
遅くなる。 【００１２】図１４はこの第２従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。図１４から判るようにベ
ルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距離ｈの比が０．
００５の時はベルマウス３の中心から外周に至るまで全
ての領域において圧力は正圧である。 【００１３】ベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距
離ｈの比が０．０２の時はベルマウス３の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって急激に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【００１４】このようにこの第２従来例のものは、ベル
マウス３と被保持物４との距離に応じて吸引から反発へ
急激に力が変化するため、第１従来例のものより安定し
て被保持物４を保持することができる。 【００１５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の無接触搬送装置は、半導体ウェハーの直径が８イ
ンチ程度のものであると問題は無いのであるが、１２イ
ンチにもなると重量が８インチのものの２.３倍にもな
り、吸着力が十分ではないという問題がある。また半導
体ウェハーだけでなく、液晶ディスプレイも大型化して
おり、液晶ディスプレイ用のガラスの吸着搬送にも大き
な吸着力を必要とするようになった。 【００１６】本発明は、以上のような問題点を解消する
ものであり、簡単な構造で吸着力の大きな無接触搬送装
置を提供しようとするものである。 【００１７】 【課題を解決するための手段】本発明の無接触搬送装置
は、空気の送入口に連通するとともに空気の旋回流の発
生する旋回室を設け、旋回室と連通するとともに被搬送
物と対向する対向面を有するベルマウスを設けることに
よって、ベルマウス内部に空気の旋回流が発生するよう
にした。 【００１８】 【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、空気の送入口を有し、空気の送入口に連通するとと
もに空気の旋回流の発生する旋回室を設け、旋回室と連
通するとともに被搬送物と対向する対向面を有するベル
マウスを設けたものであり、ベルマウス内で空気の旋回
渦が発生するため、ベルマウスの中心部に負圧部分が生
じるとともに、ベルマウスと被搬送物との間の空気の流
れの速度が増加するという作用を有する。 【００１９】 【実施例】図１は本発明の無接触搬送装置の第１実施例
における縦断面図である。図１に於て６は空気送入口で
あり、旋回室７の中心に取り付けられている。旋回室７
は横断面が円形状であり、図２に示すように６つの羽根
８を放射状に有する旋回流発生板９が取り付けられてい
る。 【００２０】１０はベルマウスであり、その上端は旋回
室７の下端と結合しており下端には被搬送物４と対向す
る平坦面１１を有している。また平坦面１１には吐出口
１２が形成されている。 【００２１】本発明の無接触搬送装置の第１実施例は以
上のように構成され、以下その動作について説明する。
空気送入口６より空気を送り込むと、空気は旋回流発生
板９の下を通ってベルマウス１０の内部へ入る。この
時、空気流は６つの羽根８によって旋回流発生板９の下
面で旋回流となる。 【００２２】つまり図３に示すように、羽根８に対して
速度Ｖｒで入った空気流は方向を９０度変換して軸方向
の流れとなってベルマウス１０の流入口に至る。ベルマ
ウス１０の流入口では空気流は軸方向の速度成分Ｖｚと
回転速度成分Ｖθとを有する流れとなる。 【００２３】このように空気流は旋回したままベルマウ
ス１０の内部に入り、ベルマウス１０の内部で旋回しな
がら平坦面１１に向かう。ここで、被搬送物４がベルマ
ウス１０の平坦面１１に接近すると、平坦面１１と被搬
送物４の間の隙間ｈに於て速い空気の流れが発生し、ベ
ルヌーイの定理によって平坦面１１と被搬送物４の間で
負圧が発生する。 【００２４】さらにベルマウス１０の内部では空気が旋
回し渦が発生しているため、ベルマウス１０の中心部で
は負圧が発生する。このようにして被搬送物４はベルマ
ウス１０に強く吸い付けられる。 【００２５】このように被搬送物４がベルマウス１０に
吸い付けられる力は、旋回流によって影響を受ける。従
って羽根８の数と、図４に示す羽根８の流出角度αによ
って被搬送物４がベルマウス１０に吸い付けられる力を
設定することができる。つまり強い旋回流を必要とする
場合には羽根８の数を増加させるか、羽根８の流出角度
αを大きくすると良い。 【００２６】次に、以上の本発明の無接触搬送装置の第
１実施例のものの実験結果を説明する。図５はベルマウ
ス１０の内部に於ける速度分布を示す縦断面図である。
図６はベルマウス１０の内部に於ける速度分布を示す縦
断面図である。図５及び図６から判るようにベルマウス
１０の流入口の中心部付近では流速が遅く、ベルマウス
１０の流入口の内周部付近では流速が速い。つまり強制
渦に近い速度分布となっている。 【００２７】そしてベルマウス１０の下端付近では角運
動量一定の法則に従ってランキン渦の速度分布を示す。 【００２８】図７は本発明の無接触搬送装置の第１実施
例のものの圧力分布を示す。この測定結果は羽根８の数
が６で羽根８の流出角度α＝１０度とし、旋回室７の入
口の圧力Ｐ0＝０.１０〜０.１２Ｋｇｆ／ｃｍ2の場合で
ある。また、ここでＤはベルマウス１０の被搬送物４と
の対向面の外半径を示し、ｒは同内半径を示す。そして
ｈはベルマウス１０の平坦面１１と被搬送物４との間隔
を示す。 【００２９】図７より判るようにｈ／Ｄ＝０.０２２の
位置に於て、圧力は全面的に負圧でありベルマウス１０
の中心軸上で最大負圧を示しほぼＰ／Ｐ0＝−２.０とな
った。またｈ／Ｄ＝０.００５の位置に於て、ベルマウ
ス１０の中心軸上で最大負圧を示しほぼＰ／Ｐ0＝−１.
０となり、ベルマウス１０の外周部に向かうにつれて正
圧になる。 【００３０】つまり、ｈとＤの関係がｈ／Ｄ＝０.０２
２になるようにベルマウス１０と被搬送物４との間隔を
離した場合は被搬送物４はベルマウス１０に強く吸い付
けられ、ｈとＤの関係がｈ／Ｄ＝０.００５になるよう
にベルマウス１０と被搬送物４との間隔を近づけた場合
は被搬送物４には負圧と正圧の両方が作用する。 【００３１】このように、被搬送物４をベルマウス１０
から離すとベルマウス１０に吸い付けられ、被搬送物４
をベルマウス１０に近づけるとベルマウス１０から反発
力を受ける。従って、被搬送物４はベルマウス１０から
一定の間隔を保って持ち上げられる。 【００３２】図８は本発明の無接触搬送装置の第２実施
例における縦断面図である。図８において１３は流入管
であり、流入管１３の下端には旋回流発生手段１４が結
合されている。旋回流発生手段１４の内面には断面が翼
形状の羽根１５が４枚等間隔に設けられている。１６は
ベルマウスであり、旋回流発生手段１４の下端に結合さ
れている。 【００３３】図９は本発明の無接触搬送装置の第２実施
例の旋回流発生手段１４の羽根１５によって発生された
旋回流の速度ベクトルを表している。 【００３４】本発明の無接触搬送装置の第２実施例のも
のは以上の構成よりなり、以下その作用を説明する。図
９に示すように流入管１３より空気流が速度Ｖｚ1＝Ｖ1
で流入し、羽根１５の流出角度＝αであった場合、羽根
１５を通過した空気流は軸方向の速度成分Ｖｚ2と旋回
方向の速度成分Ｖθ2の合成された速度成分Ｖ2を有する
旋回流となる。 【００３５】このように本発明の無接触搬送装置の第２
実施例のものも、第１実施例のものと同様旋回流が発生
し強い吸着力を発揮する。 【００３６】 【発明の効果】本発明の無接触搬送装置は上記の如く構
成したので、従来の無接触搬送装置と比較して簡単な構
造で吸着力の大きな無接触搬送装置を提供することがで
きるものである。 【００３７】
ェハーやガラス板等の吸着・搬送などに用いられる無接
触搬送装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来より空気圧を利用して板状部材を無
接触状態で吸着し、搬送する無接触搬送装置が開発され
実用化されているが、最近特にこの無接触搬送装置が着
目されている。これは、第１の理由として最近半導体ウ
ェハーとしてその直径が１２インチのものが開発され、
従前の８インチのものに対して機械的なチャッキングが
困難になっているためである。 【０００３】また第２の理由として、半導体の集積度の
向上に伴ってウェハーに塵が付着することが極端に嫌わ
れるようになり、ベルトコンベアでは搬送が困難になっ
ているためである。つまりベルトコンベアはベルトが随
所で摺接し、塵が発生する。そしてその塵がベルトの上
に堆積するため、ベルトの上に載置したウェハーに塵が
付着するという問題が発生する。 【０００４】以下従来の無接触搬送装置について説明す
る。無接触搬送装置に用いられる空気保持装置として最
も基本的な第１従来例は図１０に示すように空気送入口
１とそれに滑かに連続した環状部２を有するベルマウス
３より構成されている。 【０００５】これは空気送入口１より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物４にベルマウス３を接
近させると、被保持物４との間の隙間ｈが次第に小さく
なり、それに伴って隙間ｈを通過する空気の流れの速度
が増加する。するとこの空気流によってベルヌーイ効果
を生じて被保持物４の表面に負圧が発生し、被保持物４
を吸いつける力が発生する。 【０００６】図１１はこの第１従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。この図１１から判るよう
にベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距離ｈの比が
０．００５の時はベルマウス３の中心から外周に至るま
で全ての領域において圧力は正圧である。 【０００７】ベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距
離ｈの比が０．０１の時はベルマウス３の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって次第に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【０００８】つまり、ベルマウス３と被保持物４とを互
いに接近させて行くと、相互間に負圧が作用し、被保持
物４がベルマウス３に吸い付けられる。そしてさらにベ
ルマウス３と被保持物４とを互いに接近させると、相互
間に正圧が作用しベルマウス３と被保持物４は反発す
る。従って、被保持物４はベルマウス３に対して一定の
距離を保って保持される。 【０００９】以上の基本的な構造を改良したものとし
て、特許出願公告平成１年第５１４１３号公報に記載の
第２従来例がある。これは、図１２に示すように空気送
入口１と環状部２との間にクッション室５を設けたもの
である。 【００１０】これは空気送入口１より空気を送りなが
ら、半導体ウェハー等の被保持物４にベルマウス３を接
近させると、被保持物４との間の隙間ｈが次第に小さく
なり、それに伴って隙間ｈを通過する空気の流れの速度
が増加し、この空気流によってベルヌーイ効果を生じて
被保持物４の表面に負圧が発生し、被保持物４を吸いつ
ける力が発生するとともに、クッション室５内が正圧に
なってエアクッション効果により、被保持物４と反発す
る力が発生する。 【００１１】図１３はこの第２従来例のクッション室５
内の空気の速度分布を示す速度分布図である。この図か
ら判るように、クッション室５内の中心部は速い速度で
空気が下方に流れ、クッション室５の周辺部では流速が
遅くなる。 【００１２】図１４はこの第２従来例の断面と圧力との
関係を示す圧力分布図である。図１４から判るようにベ
ルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距離ｈの比が０．
００５の時はベルマウス３の中心から外周に至るまで全
ての領域において圧力は正圧である。 【００１３】ベルマウス３の直径Ｄと被保持物４との距
離ｈの比が０．０２の時はベルマウス３の中心部付近は
正圧になり、中心から外周に向かって急激に負圧にな
り、さらに外周に向かうと負圧が弱くなる。 【００１４】このようにこの第２従来例のものは、ベル
マウス３と被保持物４との距離に応じて吸引から反発へ
急激に力が変化するため、第１従来例のものより安定し
て被保持物４を保持することができる。 【００１５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の無接触搬送装置は、半導体ウェハーの直径が８イ
ンチ程度のものであると問題は無いのであるが、１２イ
ンチにもなると重量が８インチのものの２.３倍にもな
り、吸着力が十分ではないという問題がある。また半導
体ウェハーだけでなく、液晶ディスプレイも大型化して
おり、液晶ディスプレイ用のガラスの吸着搬送にも大き
な吸着力を必要とするようになった。 【００１６】本発明は、以上のような問題点を解消する
ものであり、簡単な構造で吸着力の大きな無接触搬送装
置を提供しようとするものである。 【００１７】 【課題を解決するための手段】本発明の無接触搬送装置
は、空気の送入口に連通するとともに空気の旋回流の発
生する旋回室を設け、旋回室と連通するとともに被搬送
物と対向する対向面を有するベルマウスを設けることに
よって、ベルマウス内部に空気の旋回流が発生するよう
にした。 【００１８】 【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、空気の送入口を有し、空気の送入口に連通するとと
もに空気の旋回流の発生する旋回室を設け、旋回室と連
通するとともに被搬送物と対向する対向面を有するベル
マウスを設けたものであり、ベルマウス内で空気の旋回
渦が発生するため、ベルマウスの中心部に負圧部分が生
じるとともに、ベルマウスと被搬送物との間の空気の流
れの速度が増加するという作用を有する。 【００１９】 【実施例】図１は本発明の無接触搬送装置の第１実施例
における縦断面図である。図１に於て６は空気送入口で
あり、旋回室７の中心に取り付けられている。旋回室７
は横断面が円形状であり、図２に示すように６つの羽根
８を放射状に有する旋回流発生板９が取り付けられてい
る。 【００２０】１０はベルマウスであり、その上端は旋回
室７の下端と結合しており下端には被搬送物４と対向す
る平坦面１１を有している。また平坦面１１には吐出口
１２が形成されている。 【００２１】本発明の無接触搬送装置の第１実施例は以
上のように構成され、以下その動作について説明する。
空気送入口６より空気を送り込むと、空気は旋回流発生
板９の下を通ってベルマウス１０の内部へ入る。この
時、空気流は６つの羽根８によって旋回流発生板９の下
面で旋回流となる。 【００２２】つまり図３に示すように、羽根８に対して
速度Ｖｒで入った空気流は方向を９０度変換して軸方向
の流れとなってベルマウス１０の流入口に至る。ベルマ
ウス１０の流入口では空気流は軸方向の速度成分Ｖｚと
回転速度成分Ｖθとを有する流れとなる。 【００２３】このように空気流は旋回したままベルマウ
ス１０の内部に入り、ベルマウス１０の内部で旋回しな
がら平坦面１１に向かう。ここで、被搬送物４がベルマ
ウス１０の平坦面１１に接近すると、平坦面１１と被搬
送物４の間の隙間ｈに於て速い空気の流れが発生し、ベ
ルヌーイの定理によって平坦面１１と被搬送物４の間で
負圧が発生する。 【００２４】さらにベルマウス１０の内部では空気が旋
回し渦が発生しているため、ベルマウス１０の中心部で
は負圧が発生する。このようにして被搬送物４はベルマ
ウス１０に強く吸い付けられる。 【００２５】このように被搬送物４がベルマウス１０に
吸い付けられる力は、旋回流によって影響を受ける。従
って羽根８の数と、図４に示す羽根８の流出角度αによ
って被搬送物４がベルマウス１０に吸い付けられる力を
設定することができる。つまり強い旋回流を必要とする
場合には羽根８の数を増加させるか、羽根８の流出角度
αを大きくすると良い。 【００２６】次に、以上の本発明の無接触搬送装置の第
１実施例のものの実験結果を説明する。図５はベルマウ
ス１０の内部に於ける速度分布を示す縦断面図である。
図６はベルマウス１０の内部に於ける速度分布を示す縦
断面図である。図５及び図６から判るようにベルマウス
１０の流入口の中心部付近では流速が遅く、ベルマウス
１０の流入口の内周部付近では流速が速い。つまり強制
渦に近い速度分布となっている。 【００２７】そしてベルマウス１０の下端付近では角運
動量一定の法則に従ってランキン渦の速度分布を示す。 【００２８】図７は本発明の無接触搬送装置の第１実施
例のものの圧力分布を示す。この測定結果は羽根８の数
が６で羽根８の流出角度α＝１０度とし、旋回室７の入
口の圧力Ｐ0＝０.１０〜０.１２Ｋｇｆ／ｃｍ2の場合で
ある。また、ここでＤはベルマウス１０の被搬送物４と
の対向面の外半径を示し、ｒは同内半径を示す。そして
ｈはベルマウス１０の平坦面１１と被搬送物４との間隔
を示す。 【００２９】図７より判るようにｈ／Ｄ＝０.０２２の
位置に於て、圧力は全面的に負圧でありベルマウス１０
の中心軸上で最大負圧を示しほぼＰ／Ｐ0＝−２.０とな
った。またｈ／Ｄ＝０.００５の位置に於て、ベルマウ
ス１０の中心軸上で最大負圧を示しほぼＰ／Ｐ0＝−１.
０となり、ベルマウス１０の外周部に向かうにつれて正
圧になる。 【００３０】つまり、ｈとＤの関係がｈ／Ｄ＝０.０２
２になるようにベルマウス１０と被搬送物４との間隔を
離した場合は被搬送物４はベルマウス１０に強く吸い付
けられ、ｈとＤの関係がｈ／Ｄ＝０.００５になるよう
にベルマウス１０と被搬送物４との間隔を近づけた場合
は被搬送物４には負圧と正圧の両方が作用する。 【００３１】このように、被搬送物４をベルマウス１０
から離すとベルマウス１０に吸い付けられ、被搬送物４
をベルマウス１０に近づけるとベルマウス１０から反発
力を受ける。従って、被搬送物４はベルマウス１０から
一定の間隔を保って持ち上げられる。 【００３２】図８は本発明の無接触搬送装置の第２実施
例における縦断面図である。図８において１３は流入管
であり、流入管１３の下端には旋回流発生手段１４が結
合されている。旋回流発生手段１４の内面には断面が翼
形状の羽根１５が４枚等間隔に設けられている。１６は
ベルマウスであり、旋回流発生手段１４の下端に結合さ
れている。 【００３３】図９は本発明の無接触搬送装置の第２実施
例の旋回流発生手段１４の羽根１５によって発生された
旋回流の速度ベクトルを表している。 【００３４】本発明の無接触搬送装置の第２実施例のも
のは以上の構成よりなり、以下その作用を説明する。図
９に示すように流入管１３より空気流が速度Ｖｚ1＝Ｖ1
で流入し、羽根１５の流出角度＝αであった場合、羽根
１５を通過した空気流は軸方向の速度成分Ｖｚ2と旋回
方向の速度成分Ｖθ2の合成された速度成分Ｖ2を有する
旋回流となる。 【００３５】このように本発明の無接触搬送装置の第２
実施例のものも、第１実施例のものと同様旋回流が発生
し強い吸着力を発揮する。 【００３６】 【発明の効果】本発明の無接触搬送装置は上記の如く構
成したので、従来の無接触搬送装置と比較して簡単な構
造で吸着力の大きな無接触搬送装置を提供することがで
きるものである。 【００３７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す縦断
面図である。 【図２】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
平面図である。 【図３】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
拡大縦断面図である。 【図４】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
拡大平面図である。 【図５】本発明の無接触搬送装置の実施例１に於ける圧
力分布図である。 【図６】本発明の無接触搬送装置の実施例１に於ける圧
力分布図である。 【図７】本発明の無接触搬送装置の実施例１の位置と圧
力の関係を示す図である。 【図８】本発明の無接触搬送装置の実施例２を示す縦断
面図である。 【図９】本発明の無接触搬送装置の実施例２における速
度ベクトルを示す側面図である。 【図１０】従来の無接触搬送装置の例１を示す縦断面図
である。 【図１１】従来の無接触搬送装置の例１の位置と圧力の
関係を示す図である。 【図１２】従来の無接触搬送装置の例２を示す縦断面図
である。 【図１３】従来の無接触搬送装置の例２に於ける圧力分
布図である。 【図１４】従来の無接触搬送装置の例２の位置と圧力の
関係を示す図である。 【符号の説明】 １ 空気送入口 ２ 環状部 ３ ベルマウス ４ 被保持物 ６ 空気送入口 ７ 旋回室 ８ 羽根 ９ 旋回流発生板 １０ ベルマウス １１ 平坦面 １２ 吐出口 ｈ 隙間 α 流出角度 Ｄ ベルマウスの外半径 ｒ ベルマウスの内半径
面図である。 【図２】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
平面図である。 【図３】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
拡大縦断面図である。 【図４】本発明の無接触搬送装置の実施例１を示す部分
拡大平面図である。 【図５】本発明の無接触搬送装置の実施例１に於ける圧
力分布図である。 【図６】本発明の無接触搬送装置の実施例１に於ける圧
力分布図である。 【図７】本発明の無接触搬送装置の実施例１の位置と圧
力の関係を示す図である。 【図８】本発明の無接触搬送装置の実施例２を示す縦断
面図である。 【図９】本発明の無接触搬送装置の実施例２における速
度ベクトルを示す側面図である。 【図１０】従来の無接触搬送装置の例１を示す縦断面図
である。 【図１１】従来の無接触搬送装置の例１の位置と圧力の
関係を示す図である。 【図１２】従来の無接触搬送装置の例２を示す縦断面図
である。 【図１３】従来の無接触搬送装置の例２に於ける圧力分
布図である。 【図１４】従来の無接触搬送装置の例２の位置と圧力の
関係を示す図である。 【符号の説明】 １ 空気送入口 ２ 環状部 ３ ベルマウス ４ 被保持物 ６ 空気送入口 ７ 旋回室 ８ 羽根 ９ 旋回流発生板 １０ ベルマウス １１ 平坦面 １２ 吐出口 ｈ 隙間 α 流出角度 Ｄ ベルマウスの外半径 ｒ ベルマウスの内半径
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】空気の送入口を有し、前記空気の送入口に
連通するとともに空気流を旋回させる羽根を有する旋回
室を設け、前記旋回室と連通するとともに被搬送物と対
向する平坦面を有するベルマウスを設け、前記ベルマウ
ス内で空気の旋回流が発生するようにし、これによって
前記ベルマウスの中心部に負圧を発生させるようにした
ことを特徴とする無接触搬送装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7354898A JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7354898A JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
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| JP3445138B2 true JP3445138B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=13521410
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7354898A Expired - Fee Related JP3445138B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 無接触搬送装置 |
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| JP (1) | JP3445138B2 (ja) |
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1998
- 1998-03-06 JP JP7354898A patent/JP3445138B2/ja not_active Expired - Fee Related
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