JPS631647A - 無接触吸着装置 - Google Patents
無接触吸着装置Info
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- JPS631647A JPS631647A JP61146448A JP14644886A JPS631647A JP S631647 A JPS631647 A JP S631647A JP 61146448 A JP61146448 A JP 61146448A JP 14644886 A JP14644886 A JP 14644886A JP S631647 A JPS631647 A JP S631647A
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- Japan
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- shielding plate
- side wall
- wall surface
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- peripheral surface
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（Ｗ１案上の利用分野）
本鉛明は、物体を無接触で吸着する装置に関し、例えば
半導体ウェハやフロッピーディスクなどのように傷つき
易いものを吸着して搬送するのに利用される。
半導体ウェハやフロッピーディスクなどのように傷つき
易いものを吸着して搬送するのに利用される。
（従来技術及びその問題点）
従来より、物体を無接触で吸着する装置として、特公昭
５１−４０３４３号公報に記載のものが公知である。
５１−４０３４３号公報に記載のものが公知である。
これは、空気を吸入する吸込管の周囲に空気を吐出する
＃数の吐出管を設け、平板状の物体に作用する吸引力と
噴出力との合力によって当該物体を無接触で保持するも
のである。しかし、この従来の装置においては、真空源
と圧縮空気源との両方を必要とするため、これらの設備
や配管を要してコスト高になるとともに構成および制御
が複雑になるという問題があった。
＃数の吐出管を設け、平板状の物体に作用する吸引力と
噴出力との合力によって当該物体を無接触で保持するも
のである。しかし、この従来の装置においては、真空源
と圧縮空気源との両方を必要とするため、これらの設備
や配管を要してコスト高になるとともに構成および制御
が複雑になるという問題があった。
（問題点を解決するための技術的手段）本発明は、上述
の問題に鑑み、圧縮空気源のみにより無接触の真空吸着
を行うことのできる装置を提供するものであって、その
技術的手段は、空気導入口２０ををした盲底円筒状の本
体２の内周面下端部には、円周面５から滑らかに連続し
て半径方向外方へ拡径する側壁面６が形成され、前記本
体２内には、円盤状の遮へい板１１．２２が前記側壁面
６の内方嶋近辺において内周面５との間にリング状の間
Ｆ）１５を形成するように設けられてなるものである。
の問題に鑑み、圧縮空気源のみにより無接触の真空吸着
を行うことのできる装置を提供するものであって、その
技術的手段は、空気導入口２０ををした盲底円筒状の本
体２の内周面下端部には、円周面５から滑らかに連続し
て半径方向外方へ拡径する側壁面６が形成され、前記本
体２内には、円盤状の遮へい板１１．２２が前記側壁面
６の内方嶋近辺において内周面５との間にリング状の間
Ｆ）１５を形成するように設けられてなるものである。
（作 用）
空気導入口２０から流入した空気は内周面５と遮へい板
１１との間の間ｌｌｌ５からリング状に下方へ噴出し、
コアンダ効果により噴流が側壁面６に付着して外方へ流
れる。このときに本体２内の遮へい板１１より下方の空
気が引かれて排出され負圧となり、ワークを吸着する。
１１との間の間ｌｌｌ５からリング状に下方へ噴出し、
コアンダ効果により噴流が側壁面６に付着して外方へ流
れる。このときに本体２内の遮へい板１１より下方の空
気が引かれて排出され負圧となり、ワークを吸着する。
ワークＷが本体２に接近しすぎると負圧が低下するので
、負圧とワークＷの重力とがつり合った状態で本体２と
無接触で保持される。
、負圧とワークＷの重力とがつり合った状態で本体２と
無接触で保持される。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において、吸着装置ｌは、底部３および周壁部４
からなる盲底円筒状の本体２を有しており、周壁部４の
内周面下端には、内周面５から滑らかに連続して半径方
向外方ヘアール状にｔ径する側壁面６が形成されており
、さらに下端部にはこの側壁面６から滑らかに連続する
輪方向と直角な平面部フが形成されている０本体２の底
部３には、内方へ突出するボス部８が設けられ、ボス部
８に嵌入穴９およびねじ大１Ｇが設けられている。
からなる盲底円筒状の本体２を有しており、周壁部４の
内周面下端には、内周面５から滑らかに連続して半径方
向外方ヘアール状にｔ径する側壁面６が形成されており
、さらに下端部にはこの側壁面６から滑らかに連続する
輪方向と直角な平面部フが形成されている０本体２の底
部３には、内方へ突出するボス部８が設けられ、ボス部
８に嵌入穴９およびねじ大１Ｇが設けられている。
円板状の遮へい板１１は、嵌入部１２およびねじ部１３
を賓する軸部１４の下端部に一体的に設けられて・おり
、嵌入部１２が嵌入穴９内に嵌入して軸心の心出しが行
われているとともに、ねじ部１３がねじ穴１０に螺入し
て軸方向移動調整可能となっている。１！！へい板１１
は、内周面５との間にリング状の狭い間隙１５を形成す
るもので、平面部フ、より本体２の内方へ入った位置、
すなわち側壁面６の内方端の近辺において調整され、ロ
シクナット１６により固定されている。軸部１４には、
軸方向に貫通する検知穴１７、および上端部にポー）１
Ｂが設けられている。
を賓する軸部１４の下端部に一体的に設けられて・おり
、嵌入部１２が嵌入穴９内に嵌入して軸心の心出しが行
われているとともに、ねじ部１３がねじ穴１０に螺入し
て軸方向移動調整可能となっている。１！！へい板１１
は、内周面５との間にリング状の狭い間隙１５を形成す
るもので、平面部フ、より本体２の内方へ入った位置、
すなわち側壁面６の内方端の近辺において調整され、ロ
シクナット１６により固定されている。軸部１４には、
軸方向に貫通する検知穴１７、および上端部にポー）１
Ｂが設けられている。
ポート１８には図示しない圧力センサが接続されており
、遮へいＷｉｌｌの下方に形成される真空室１９の負圧
を検知するようにな９ている。また、本体２の周！！Ｄ
Ｒ４には、圧縮空気を導入するための導入口２０が設け
られており、ここから導入された空気は周壁部４とボス
部８との間に形成された空気室２１に流入するようにな
っている。
、遮へいＷｉｌｌの下方に形成される真空室１９の負圧
を検知するようにな９ている。また、本体２の周！！Ｄ
Ｒ４には、圧縮空気を導入するための導入口２０が設け
られており、ここから導入された空気は周壁部４とボス
部８との間に形成された空気室２１に流入するようにな
っている。
次に、上述の吸ＩＲ装Ｗ１の動作を説明する。ｉ４人口
２０から導入されて空気室２１へ流入した空気は、内周
面５と遮へい板１１との間の間ＦＪ！１５から円周面５
に沿ってリング状に下方へ噴出し、この噴流はコアンダ
効果により側壁面６に付着して平面部７から外方へ流れ
る。この状態において、真空！！１９の空気が側壁面６
に付着した噴流により引かれて排出させられ、真空１！
１９は負圧となり、その下方にある平板状のワークＷを
吸引するのである。吸引されたワークＷは、平面ｗ１に
接近するが、その間ＷＡＧが零に近づくと噴流の外方へ
の流出が妨げられ、真空！９の負圧が低下し、または正
圧になる。したがって、真！！！９の負正による吸引力
とワークＷの重力とがつり合った位置において、適当な
間隔Ｇを育した状態でワークＷはｔｅ、保持されるので
ある。
２０から導入されて空気室２１へ流入した空気は、内周
面５と遮へい板１１との間の間ＦＪ！１５から円周面５
に沿ってリング状に下方へ噴出し、この噴流はコアンダ
効果により側壁面６に付着して平面部７から外方へ流れ
る。この状態において、真空！！１９の空気が側壁面６
に付着した噴流により引かれて排出させられ、真空１！
１９は負圧となり、その下方にある平板状のワークＷを
吸引するのである。吸引されたワークＷは、平面ｗ１に
接近するが、その間ＷＡＧが零に近づくと噴流の外方へ
の流出が妨げられ、真空！９の負圧が低下し、または正
圧になる。したがって、真！！！９の負正による吸引力
とワークＷの重力とがつり合った位置において、適当な
間隔Ｇを育した状態でワークＷはｔｅ、保持されるので
ある。
上述の実施例において、圧縮空気の圧力、および遮へい
板１１の軸方向位置を調整し、ワークＷの重さや硬さな
どに応じた吸引力または間隔Ｃの大きさとなるようにす
ればよい １へい＠１１のＭｌ壁部が円周面ｔｔａとな
っているので、間隙１５がス１ノット状となって間隙１
５内において空気流が層流となり易く、側壁面６への付
着現象が安定している。しかし、遮へい板として、第２
１！Ｉに示すように、ＩＩＩ側壁部が円錐状面２２ａと
なった遮へい板２２を用いエツジ状の周縁部と内周面５
（または（ＩＦ＋ ５２面６）との間で間隙１５を形
成するようにしてもよい、また、円周面５を下方かに優
するような緩いテーパ状とすることも可能である。側壁
面６の断固形状は種々変形することが可能である。平面
部７を外方上方へ向かうて傾斜させてもよ（、省略して
もよい、導入口２０を周壁部４に複数個設けてもよく、
また底部３に設けてもよい、なお、ワークＷの水平方向
移動を防止するためのワーク位置決め周枠や、ワークＷ
に設けられた穴を塞ぐためのプラグ板などのアタッチメ
ントを適宜取付けることも可能である。
板１１の軸方向位置を調整し、ワークＷの重さや硬さな
どに応じた吸引力または間隔Ｃの大きさとなるようにす
ればよい １へい＠１１のＭｌ壁部が円周面ｔｔａとな
っているので、間隙１５がス１ノット状となって間隙１
５内において空気流が層流となり易く、側壁面６への付
着現象が安定している。しかし、遮へい板として、第２
１！Ｉに示すように、ＩＩＩ側壁部が円錐状面２２ａと
なった遮へい板２２を用いエツジ状の周縁部と内周面５
（または（ＩＦ＋ ５２面６）との間で間隙１５を形
成するようにしてもよい、また、円周面５を下方かに優
するような緩いテーパ状とすることも可能である。側壁
面６の断固形状は種々変形することが可能である。平面
部７を外方上方へ向かうて傾斜させてもよ（、省略して
もよい、導入口２０を周壁部４に複数個設けてもよく、
また底部３に設けてもよい、なお、ワークＷの水平方向
移動を防止するためのワーク位置決め周枠や、ワークＷ
に設けられた穴を塞ぐためのプラグ板などのアタッチメ
ントを適宜取付けることも可能である。
（発明の効果）
本発明によると、圧縮空気源のみにより物体を無接触で
吸着することができる。しかも構造が簡単てあり、取扱
いや保守が容易である。したがうぞ、半導体ウェハやフ
ロッピーディスクなどのように傷つき易いものを無接触
で吸着して搬送することが可能である。
吸着することができる。しかも構造が簡単てあり、取扱
いや保守が容易である。したがうぞ、半導体ウェハやフ
ロッピーディスクなどのように傷つき易いものを無接触
で吸着して搬送することが可能である。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は吸着装置の正面
断面図、第２図は遮へい板の他の実施例を示す正面断面
図である。 １−・・吸着筒Ｍ（無接触吸着装置）、２−・・本体、
３・・・底部、５・・・内周面、６・・・側壁面、７・
・・平面部、１０・・・ねじ大、１１．２２−・・遮へ
い板、１３・・・ねじ部、１４・・・軸部、１５・・・
間隙、２０・・・導入口（空気導入口）、Ｇ・・・間隔
、Ｗ・・・ワーク。
断面図、第２図は遮へい板の他の実施例を示す正面断面
図である。 １−・・吸着筒Ｍ（無接触吸着装置）、２−・・本体、
３・・・底部、５・・・内周面、６・・・側壁面、７・
・・平面部、１０・・・ねじ大、１１．２２−・・遮へ
い板、１３・・・ねじ部、１４・・・軸部、１５・・・
間隙、２０・・・導入口（空気導入口）、Ｇ・・・間隔
、Ｗ・・・ワーク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、空気導入口を有した有底円筒状の本体の内周面下端
部には、内周面から滑らかに連続して半径方向外方へ拡
径する側壁面が形成され、前記本体内には、円盤状の遮
へい板が前記側壁面の内方端近辺において内周面との間
にリング状の間隙を形成するように設けられてなる無接
触吸着装置。 ２、前記本体の下端部には、前記側壁面から滑らかに連
続する軸方向と直角な平面部が形成されてなる特許請求
の範囲第１項記載の無接触吸着装置。 ３、前記遮へい板は前記本体内において軸方向移動調整
可能に設けられてなる特許請求の範囲第１項または第２
項記載の無接触吸着装置。 ４、前記本体の底部には内外を貫通するねじ穴が設けら
れており、該ねじ穴に螺合して貫通する軸部に前記遮へ
い板が一体的に設けられているとともに、前記軸部は軸
方向に貫通する検知穴が設けられてなる特許請求の範囲
第３項記載の無接触吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146448A JPS631647A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 無接触吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146448A JPS631647A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 無接触吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631647A true JPS631647A (ja) | 1988-01-06 |
| JPH0343175B2 JPH0343175B2 (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=15407867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61146448A Granted JPS631647A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 無接触吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631647A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0677300U (ja) * | 1993-03-27 | 1994-10-28 | 太陽誘電株式会社 | 回路基板支持装置 |
| WO2000009975A1 (de) * | 1998-08-11 | 2000-02-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Messeinrichtung zum berührungslosen messen von eigenschaften eines bewegten metallbandes |
| JP2006160434A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 非接触搬送装置 |
| CN101934931A (zh) * | 2009-04-07 | 2011-01-05 | 三星康宁精密琉璃株式会社 | 非接触型抽吸抓取装置以及具有该装置的非接触型抽吸抓取框架 |
| JP2012106331A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-06-07 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 非接触吸着装置 |
| KR101293288B1 (ko) * | 2010-04-19 | 2013-08-09 | 주식회사 에이엠에이치시스템즈 | 예각 비접촉 진공패드 |
| JP2015216376A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. | 非接触式の基板把持装置 |
| CN106737803A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-31 | 东莞市圣荣自动化科技有限公司 | 一种机器人吸持夹具上结构改良的吸盘 |
| CN110182427A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-30 | 安徽盛烨电子有限公司 | 一种自动垫纸设备 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191459A (ja) * | 1975-02-07 | 1976-08-11 | ||
| JPS5628140A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-19 | Gunze Ltd | Method of taking out pasteboard one by one |
| JPS61111251A (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-29 | Kuresen Sangyo Kk | 平板状部材の保持装置 |
| JPS6233182A (ja) * | 1985-08-01 | 1987-02-13 | イ−・ア−ル・スクイブ・アンド・サンズ・インコ−ポレイテツド | ７−オキサビシクロヘプタン置換ジ酸ジアミドプロスタグランジン類縁体 |
| JPS6292337A (ja) * | 1985-10-17 | 1987-04-27 | Canon Inc | ウエハ保持装置 |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP61146448A patent/JPS631647A/ja active Granted
Patent Citations (5)
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| JPH0677300U (ja) * | 1993-03-27 | 1994-10-28 | 太陽誘電株式会社 | 回路基板支持装置 |
| WO2000009975A1 (de) * | 1998-08-11 | 2000-02-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Messeinrichtung zum berührungslosen messen von eigenschaften eines bewegten metallbandes |
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| CN106737803A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-31 | 东莞市圣荣自动化科技有限公司 | 一种机器人吸持夹具上结构改良的吸盘 |
| CN106737803B (zh) * | 2017-02-15 | 2018-12-25 | 泉州市墨语贸易有限公司 | 一种机器人吸持夹具上结构改良的吸盘 |
| CN110182427A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-30 | 安徽盛烨电子有限公司 | 一种自动垫纸设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0343175B2 (ja) | 1991-07-01 |
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