JPH05138569A - 無接触プレス - Google Patents
無接触プレスInfo
- Publication number
- JPH05138569A JPH05138569A JP32654491A JP32654491A JPH05138569A JP H05138569 A JPH05138569 A JP H05138569A JP 32654491 A JP32654491 A JP 32654491A JP 32654491 A JP32654491 A JP 32654491A JP H05138569 A JPH05138569 A JP H05138569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- fluid
- air
- plate body
- pressure fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 板状体を傷や汚れを付着せずに加圧あるいは
引き上げる無接触プレスを提供する。 【構成】 流体送入口を設けた上方部の周囲に、下方に
向く周壁部を形成した椀状の基部の下方を解放し、該周
壁部の下端に作動面を設けた空気保持器と、該空気保持
器を移動させる移動機構とで構成される。
引き上げる無接触プレスを提供する。 【構成】 流体送入口を設けた上方部の周囲に、下方に
向く周壁部を形成した椀状の基部の下方を解放し、該周
壁部の下端に作動面を設けた空気保持器と、該空気保持
器を移動させる移動機構とで構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シ−トに半導体ウエハ
等の精密部品を張りつけたり、ウエハを剥したりまた引
っ張り上げたりする無接触プレスに関する。
等の精密部品を張りつけたり、ウエハを剥したりまた引
っ張り上げたりする無接触プレスに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハの裏面にシ−トを張りつけ
る場合、シ−トの上にウエハを置き、ウエハの上をロ−
ルにて押さえて張りつけていた。
る場合、シ−トの上にウエハを置き、ウエハの上をロ−
ルにて押さえて張りつけていた。
【０００３】しかしながらロ−ルには塵が付着してお
り、そのロ−ルにてウエハを押さえつけることによりウ
エハに塵が付着したり、またロ−ルがウエハに接触する
ことによりウエハを傷を付けることがある。
り、そのロ−ルにてウエハを押さえつけることによりウ
エハに塵が付着したり、またロ−ルがウエハに接触する
ことによりウエハを傷を付けることがある。
【０００４】またウエハをシ−トより引き剥す場合に
は、爪により剥したり、ウエハに吸着盤を吸着させ、引
き剥したりしていたのでウエハに塵を付けたり傷を付け
たりしていた。
は、爪により剥したり、ウエハに吸着盤を吸着させ、引
き剥したりしていたのでウエハに塵を付けたり傷を付け
たりしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、板状体Ｇの加圧や引き剥す場合に、板状体Ｇを塵に
より汚したり、傷つけたりすることの無い無接触プレス
を提供することである。
は、板状体Ｇの加圧や引き剥す場合に、板状体Ｇを塵に
より汚したり、傷つけたりすることの無い無接触プレス
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を
設けた上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を向いて
形成された周壁部３とにより、前記周壁部３下端に近ず
く板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記流体送入口１
から流入する前記高圧流体Ｃによるエゼクタ効果に伴う
負圧作用により前記板状体Ｇを吸引するとともに、前記
距離が小なるに際して流入する前記高圧流体Ｃによる圧
力室型エアクッション効果に伴う正圧作用により、前記
板状体Ｇを離間させるクッション室４を形成する空間を
有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂは、前記周
壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向に流出する前
記高圧流体Ｃが増速することによるベルヌーイ効果にと
もなう負圧作用により板状体Ｇを吸引するとともに、流
出する前記高圧流体Ｃによって板状体Ｇとの接触が阻止
される広幅かつ前記周壁部３の方向に連続する作動面５
を備え、しかも前記流体送入口１は前記作動面５と直角
に設けられている空気保持器Ａ及び空気保持器Ａと前記
板状体Ｇとの距離を保持さす移動機構からなる無接触プ
レスＫを提供する。
解決するために、高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を
設けた上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を向いて
形成された周壁部３とにより、前記周壁部３下端に近ず
く板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記流体送入口１
から流入する前記高圧流体Ｃによるエゼクタ効果に伴う
負圧作用により前記板状体Ｇを吸引するとともに、前記
距離が小なるに際して流入する前記高圧流体Ｃによる圧
力室型エアクッション効果に伴う正圧作用により、前記
板状体Ｇを離間させるクッション室４を形成する空間を
有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂは、前記周
壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向に流出する前
記高圧流体Ｃが増速することによるベルヌーイ効果にと
もなう負圧作用により板状体Ｇを吸引するとともに、流
出する前記高圧流体Ｃによって板状体Ｇとの接触が阻止
される広幅かつ前記周壁部３の方向に連続する作動面５
を備え、しかも前記流体送入口１は前記作動面５と直角
に設けられている空気保持器Ａ及び空気保持器Ａと前記
板状体Ｇとの距離を保持さす移動機構からなる無接触プ
レスＫを提供する。
【０００７】
【作用】流体送入口１から供給された高圧流体Ｃは、ク
ッション室４から作動面５に近接する板状体Ｇに向けて
噴出される。
ッション室４から作動面５に近接する板状体Ｇに向けて
噴出される。
【０００８】作動面５と板状体Ｇとの距離Ｈが大なる場
合は、空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌ−イ効
果により負圧を生じ、板状体Ｇを引きつける。
合は、空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌ−イ効
果により負圧を生じ、板状体Ｇを引きつける。
【０００９】前記距離Ｈが小なる場合、空気保持器Ａは
圧力室型エアクッション効果によりクッション室４の圧
力が上昇し、板状体Ｇを加圧する。
圧力室型エアクッション効果によりクッション室４の圧
力が上昇し、板状体Ｇを加圧する。
【００１０】従って、無接触プレスＫを加圧装置として
使用する場合は、空気保持器Ａと板状体Ｇとの距離Ｈを
小にし、引っ張り装置として使用する場合は、距離Ｈを
大にして使用する。
使用する場合は、空気保持器Ａと板状体Ｇとの距離Ｈを
小にし、引っ張り装置として使用する場合は、距離Ｈを
大にして使用する。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施令を図面により説明する。
【００１２】図１は、本発明の無接触プレスＫを示す。
【００１３】図２および図３は、本発明を構成する空気
保持器Ａを示す。
保持器Ａを示す。
【００１４】図１において、空気保持器Ａは、一端がボ
−ルネジ７に勘合するナット１３に取り付けられ、他端
がリニアシャフト１２に勘合するスリ−ブ１４に取り付
けられたブラケット６に装着されている。
−ルネジ７に勘合するナット１３に取り付けられ、他端
がリニアシャフト１２に勘合するスリ−ブ１４に取り付
けられたブラケット６に装着されている。
【００１５】ボ−ルネジ７は、モ−タ８の軸に連結して
おり、モ−タ８の回転により回転し、空気保持器Ａを台
９に搭載されている板状体Ｇ上を昇降させ、任意の位置
に保持することが可能である。
おり、モ−タ８の回転により回転し、空気保持器Ａを台
９に搭載されている板状体Ｇ上を昇降させ、任意の位置
に保持することが可能である。
【００１６】空気保持器Ａは、高圧流体Ｃが流入する流
体送入口１を設けた上方部２と、該上方部２の周囲にか
つ下を向いて形成された周壁部３とにより、前記周壁部
３下端に近ずく板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記
流体送入口１から流入する前記高圧流体Ｃによるエゼク
タ効果に伴う負圧作用により前記板状体Ｇを吸引すると
ともに、前記距離が小なるに際して流入する前記高圧流
体Ｃによる圧力室型エアクッション効果に伴う正圧作用
により、前記板状体Ｇを離間させるクッション室４を形
成する空間を有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部
Ｂは、前記周壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向
に流出する前記高圧流体Ｃが増速することによるベルヌ
ーイ効果にともなう負圧作用により板状体Ｇを吸引する
とともに、流出する前記高圧流体Ｃによって板状体Ｇと
の接触が阻止される広幅かつ前記周壁部３の方向に連続
する作動面５を備え、しかも前記流体送入口１は前記作
動面５と直角に設けられている。
体送入口１を設けた上方部２と、該上方部２の周囲にか
つ下を向いて形成された周壁部３とにより、前記周壁部
３下端に近ずく板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記
流体送入口１から流入する前記高圧流体Ｃによるエゼク
タ効果に伴う負圧作用により前記板状体Ｇを吸引すると
ともに、前記距離が小なるに際して流入する前記高圧流
体Ｃによる圧力室型エアクッション効果に伴う正圧作用
により、前記板状体Ｇを離間させるクッション室４を形
成する空間を有する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部
Ｂは、前記周壁部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向
に流出する前記高圧流体Ｃが増速することによるベルヌ
ーイ効果にともなう負圧作用により板状体Ｇを吸引する
とともに、流出する前記高圧流体Ｃによって板状体Ｇと
の接触が阻止される広幅かつ前記周壁部３の方向に連続
する作動面５を備え、しかも前記流体送入口１は前記作
動面５と直角に設けられている。
【００１７】図６には、空気保持器Ａと板状体Ｇとの距
離Ｈと板状体Ｇに加わる圧力との関係を示す。
離Ｈと板状体Ｇに加わる圧力との関係を示す。
【００１８】Ｐは、板状体Ｇに加わる圧力。
【００１９】Ｐ0は、高圧流体Ｃの圧力を示す。
【００２０】まず無接触プレスＫにて板状体Ｇを加圧す
るプレスとして使用する場合。
るプレスとして使用する場合。
【００２１】空気保持器Ａを板状体Ｇとの距離Ｈをｈ以
下の位置に移動し（但し空気保持器Ａは板状体Ｇに接触
させない）、高圧流体Ｃを流体送入口１より供給する
と、空気保持器Ａは圧力室型エアクッション効果により
内部が正圧になり板状体Ｇを押さえつける力が生じる。
下の位置に移動し（但し空気保持器Ａは板状体Ｇに接触
させない）、高圧流体Ｃを流体送入口１より供給する
と、空気保持器Ａは圧力室型エアクッション効果により
内部が正圧になり板状体Ｇを押さえつける力が生じる。
【００２２】押さえつける力の調節は、高圧流体Ｃの圧
力および空気保持器Ａと板状体Ｇとの距離Ｈにより行な
う。
力および空気保持器Ａと板状体Ｇとの距離Ｈにより行な
う。
【００２３】次に無接触プレスＫを引き剥し装置として
使用する場合。
使用する場合。
【００２４】空気保持器Ａを板状体Ｇとの距離Ｈをｈ以
上のの位置に移動し、高圧流体Ｃを流体送入口１より供
給すると、空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌ−
イ効果を生じ、負圧を発生し板状体Ｇを引っ張り上げる
力を生じる。
上のの位置に移動し、高圧流体Ｃを流体送入口１より供
給すると、空気保持器Ａはエゼクタ効果およびベルヌ−
イ効果を生じ、負圧を発生し板状体Ｇを引っ張り上げる
力を生じる。
【００２５】この場合距離Ｈは、最大の負圧を発生する
ｈ0の位置がよい。
ｈ0の位置がよい。
【００２６】空気保持器Ａは、本発明の発明者に係る特
許第１５６３９４８号、特開昭６２−６０７４７号、特
開昭６２−２５１０９４号等と同様のものである。
許第１５６３９４８号、特開昭６２−６０７４７号、特
開昭６２−２５１０９４号等と同様のものである。
【００２７】また図４および図５に示すようなクッショ
ン室を溝１１にした空気保持器てもよい。
ン室を溝１１にした空気保持器てもよい。
【００２８】あるいはクッション室４を設けずに作動面
に流体を噴出する小孔を設けたものでもよい。
に流体を噴出する小孔を設けたものでもよい。
【００２９】
【発明の効果】本発明により、無接触状態にて板状体を
加圧あるいは引き上げることが可能であるので、塵によ
る汚染や傷の付着を極端に嫌う板状体を、クリ−ンに加
圧したり引き離したりすることが可能な無接触プレスを
提供することが可能になった。
加圧あるいは引き上げることが可能であるので、塵によ
る汚染や傷の付着を極端に嫌う板状体を、クリ−ンに加
圧したり引き離したりすることが可能な無接触プレスを
提供することが可能になった。
【図１】本発明の無接触プレスの説明図である。
【図２】空気保持器の側面断面図である。
【図３】空気保持器の下平面図である。
【図４】他の空気保持器の側面断面図である。
【図５】他の空気保持器の下平面図である。
【図６】空気保持器Ａと板状体Ｇとの距離Ｈと板状体Ｇ
に加わる圧力との関係を示す図である。
に加わる圧力との関係を示す図である。
１ 流体送入口 ２ 上方部 ３ 周壁部 ４ クッション室 ５ 作動面 ７ ボ−ルネジ ８ モ−タ Ａ 空気保持器 Ｃ 高圧流体 Ｇ 板状体
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧流体Ｃが流入する流体送入口１を設
けた上方部２と、該上方部２の周囲にかつ下を向いて形
成された周壁部３とにより、前記周壁部３下端に近ずく
板状体Ｇとの距離が大なるに際して前記流体送入口１か
ら流入する前記高圧流体Ｃによるエゼクタ効果に伴う負
圧作用により前記板状体Ｇを吸引するとともに、前記距
離が小なるに際して流入する前記高圧流体Ｃによる圧力
室型エアクッション効果に伴う正圧作用により、前記板
状体Ｇを離間させるクッション室４を形成する空間を有
する椀状の基部Ｂを備える一方、該基部Ｂは、前記周壁
部３下端に、前記板状体Ｇとの間で外向に流出する前記
高圧流体Ｃが増速することによるベルヌーイ効果にとも
なう負圧作用により板状体Ｇを吸引するとともに、流出
する前記高圧流体Ｃによって板状体Ｇとの接触が阻止さ
れる広幅かつ前記周壁部３の方向に連続する作動面５を
備えいる空気保持器Ａ及び空気保持器Ａと前記板状体Ｇ
との距離を保持さす移動機構からなる無接触プレス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32654491A JPH05138569A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 無接触プレス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32654491A JPH05138569A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 無接触プレス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138569A true JPH05138569A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=18189019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32654491A Pending JPH05138569A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | 無接触プレス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05138569A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11502049A (ja) * | 1995-01-13 | 1999-02-16 | ザクリイトエ アクトシオネルノエ オブスケストボ ナウクノ−プロイズボドストベナザ フイルマ ″アズ″ | プラズマジェットでウェーハを処理する装置 |
| JP2011125935A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd | 保持具 |
| JP2017196668A (ja) * | 2016-04-25 | 2017-11-02 | 株式会社青山製作所 | ボルトのかしめ方法及びかしめ装置 |
| CN110039566A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-07-23 | 方彐云 | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 |
-
1991
- 1991-11-13 JP JP32654491A patent/JPH05138569A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11502049A (ja) * | 1995-01-13 | 1999-02-16 | ザクリイトエ アクトシオネルノエ オブスケストボ ナウクノ−プロイズボドストベナザ フイルマ ″アズ″ | プラズマジェットでウェーハを処理する装置 |
| JP2011125935A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd | 保持具 |
| JP2017196668A (ja) * | 2016-04-25 | 2017-11-02 | 株式会社青山製作所 | ボルトのかしめ方法及びかしめ装置 |
| US10569373B2 (en) | 2016-04-25 | 2020-02-25 | Aoyama Seisakusho Co., Ltd. | Bolt caulking method and bolt caulking device |
| CN110039566A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-07-23 | 方彐云 | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 |
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