JPH0227662B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0227662B2
JPH0227662B2 JP56181144A JP18114481A JPH0227662B2 JP H0227662 B2 JPH0227662 B2 JP H0227662B2 JP 56181144 A JP56181144 A JP 56181144A JP 18114481 A JP18114481 A JP 18114481A JP H0227662 B2 JPH0227662 B2 JP H0227662B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
positioning
work
air
vacuum suction
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP56181144A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5883854A (ja
Inventor
Yasuhide Ootsu
Takeshi Oota
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP56181144A priority Critical patent/JPS5883854A/ja
Publication of JPS5883854A publication Critical patent/JPS5883854A/ja
Publication of JPH0227662B2 publication Critical patent/JPH0227662B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、印刷機や露光装置においてワークを
高精度に位置決めする装置に係り、特に電子部品
製造工程中の印刷、露光などの高精度を要する製
品の位置決めに適用して極めて好適な位置決め装
置に関するものである。
従来、電子部品に印刷や露光による加工をほど
こす際、第1図に示すような機械的位置決め装置
を用いている。第1図Aに示すように、位置決め
を行なおうとするワーク1を手作業又は自動供給
装置により図示の位置に供給し、然る後第1図B
に示すように、プツシヤー2a,2b,2cによ
り位置決めピン3a,3b,3cに押当てた後、
ワークホルダ4上に設けられた真空吸着孔(図示
せず)により真空吸着によつて固定し、然る後プ
ツシヤー2a,2b,2cを第1図Aの位置に復
元してから印刷作業等が行なわれる。
しかしながら、このように構成された従来の装
置では次のような欠点があつた。
(1) プツシヤー2a〜2cで押した時に、例えば
ワーク1が位置決めピン3a,3bに先に当り
ピン3cには到達していないようなタイミング
となつた場合、ワーク1の端面とピン3a,3
b間の摩さつ抵抗によりプツシヤー2aでワー
ク1を押し切れずに停止してしまい、ワーク1
を定位置にセツト出来なくなるケースがしばし
ばあり、またこの逆のケースもある。
(2) 前記欠点を補うためプツシヤーの押付力をよ
り強力にする方法もあるが、この方法ではワー
クがガラス製部品などの欠損し易い部品などの
場合は、強く押されることによつてピンに当つ
た部分が欠損し、欠損した分だけ位置精度が低
下すると言う重大な欠点がある。またワークが
軟質のプラスチツク板などでは、押付ける力に
より位置決めピンに当つた部分が変形して寸法
精度が低下するなどの場合もある。
(3) このような位置決め機構は機械的構造が複雑
であり、前記のような欠点をカバーする為の機
構部の調整に手数がかかる上、故障も多く、か
つこれら機構を制御する制御装置も含めて高価
になる。
以上の欠点は、丸形のワークを除いた異形のワ
ークにおいていちぢるしく現れ、第1図に示した
方形のワークの例に特に著しい。本発明は以上の
ような欠点を除いた位置決め装置を提供すること
にある。
本発明は、位置決めを行なうに際して、ベルヌ
ーイ定理を利用してワークとワークホルダーから
浮上させることにより、従来問題となつた位置決
めピンとワークの摩さつ抵抗を殆んどゼロとし、
極めて容易かつワークを欠損させることもなく位
置決めを行ない得るように構成したものである。
以下、本発明の実施例を第2図により説明す
る。
第2図において、ワークホルダ4には、位置決
めピン3aと3bの中間方向に向つて斜上方に空
気を吹出す吹出口1a、およびワークホルダ4の
各辺にほぼ平行に配列された8個の真空吸着口4
bが設けられている。ワーク1は、先ず手作業又
は自動供給装置により第2図cに示すように実線
の位置に供給される。然る後、空気吹出口4aよ
り空気を吹出すと、ワークホルダ4とワーク1の
間に矢印で示すようにピン3aと3bの中間方向
に向つて気流が生じて、ワーク1は、ワークホル
ダ4から0.1mmないし1mm程度浮上する。この時、
空気は前記のようにピン3aと3bの中間方向に
向つて吹出すので、ワーク1はこの気流に従がつ
て気流の方向に吹き流されピン3a,3b,3c
に触れて停止する。この時、ワークホルダ4に設
けられた真空吸着口4bの真空弁(図示せず)を
開くと同時に空気の吹出しを停止すれば、ワーク
3はそのままの位置に固定される。
本実施例によれば、ワークは空気で浮上され、
かつ一定方向に向つて流れる気流に従つて吹流さ
れて位置決めされる為、従来機械的に位置決めす
ることが困難であつた薄いプラスチツクシートの
ようなものにも適用出来る。
第3図は、比較的薄くてそりがあるようなガラ
ス板又はプラスチツクシートのワーク11を用い
た場合の例を示す断面図である。この場合、ワー
クホルダ4上にワーク11が密着せず部分的に浮
き上つた状態になる。このような状態でワーク1
1を固定しようとして真空吸着を行なつた時、空
気が浮き上つた部分5から流入する為、吸着固定
が行なわれないケースがしばしばあつた。しかし
本実施例のように、先ず空気吹出口4aより空気
を吹出してワークホルダ4とワーク11の間に第
3図Bに示した矢印のように気流を生じさせる
と、ベルヌーイの定理により、その気流が生じて
いるワーク下面の部分の圧力が下がる。ワーク1
1の上面は大気圧となつているので、ワーク11
は大気圧に押されてそりがきよう正されて平らに
なる為、真空吸着が容易に行なえるようになる。
ここで、ワークホルダ4とワーク11の間には空
気が供給されており、一見矛循するように考えら
れるが、空気吹出口4aから供給される空気量は
わずかであり、実験では支障なく用い得ることが
確認されている。
なお以上の実施例では空気吹出口は1個だけ設
けたが、ワークの形状、大きさによつて複数個配
列することは極めて有効である。
このように本発明によれば、次のような優れた
効果が得られる。
(1) ワークは空気により浮上し、かつ位置決めピ
ンに向つて吹流されるように位置決めされるの
で、位置決めピンとの摩さつ抵抗は殆んどなく
なり、ワークは正しくかつ確実に位置決めされ
る。
(2) 空気の吹出量を適正に調整することによりワ
ークが吹流される速度を遅くすることが出来る
ことと、機械的に強く押付けることがない為、
ガラスなどのような欠損し易いものでも欠損さ
せることなく位置決めすることが出来る。
(3) 位置決め装置は、ワークホルダに空気吹出孔
を設けるのみであるので、極めて構造が簡単で
あることから、故障は殆んどなく、かつ安価に
製作し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図Aは従来の位置決め装置の位置決め前の
状態を示す斜視図、第1図Bは同じく位置決め后
の状態を示す斜視図、第2図Aは本発明の位置決
め装置の構造を示す斜視図、第2図Bは第2図A
の―′断面図、第2図Cは位置決めの状態を
示す斜視図、第3図Aはそりのあるワークがセツ
トされた状態を示す断面図、第3図Bは空気吹出
口より吹出した空気によつてそりがきよう正され
る状態を示す断面図である。 1,11…ワーク、2a〜2c…プツシヤー、
3a〜3c…位置決めピン、4…ワークホルダ、
4a…空気吹出口、4b…真空吸着口、5…浮き
上つた部分。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ワークホルダに複数の位置決めピンと真空吸
    着口を設け、ワークを位置決めピンで位置決めし
    た後、真空吸着口で吸引して固定する位置決め装
    置において、ワークホルダに所定の平面方向に空
    気を吹出す空気吹出口を設け、この空気吹出口か
    ら吹出した空気によつてワークを位置決めピンに
    押しあてて位置決めし、しかる後に真空吸着口で
    その位置にワークを固定するようにした位置決め
    装置。
JP56181144A 1981-11-13 1981-11-13 位置決め装置 Granted JPS5883854A (ja)

Priority Applications (1)

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JP56181144A JPS5883854A (ja) 1981-11-13 1981-11-13 位置決め装置

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JP56181144A JPS5883854A (ja) 1981-11-13 1981-11-13 位置決め装置

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JPS5883854A JPS5883854A (ja) 1983-05-19
JPH0227662B2 true JPH0227662B2 (ja) 1990-06-19

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JP56181144A Granted JPS5883854A (ja) 1981-11-13 1981-11-13 位置決め装置

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JPS5883854A (ja) 1983-05-19

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