JPS5883854A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPS5883854A JPS5883854A JP56181144A JP18114481A JPS5883854A JP S5883854 A JPS5883854 A JP S5883854A JP 56181144 A JP56181144 A JP 56181144A JP 18114481 A JP18114481 A JP 18114481A JP S5883854 A JPS5883854 A JP S5883854A
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- work
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本−一は１、印刷機ヤ露党装置Ｋ）−てクーＩｔ高精嵐
に位置決めする装置に係ｐ１譬に電子部品鋪達工易中Ｏ
印刺、露党電ど轟精直會豐す為斜晶Ｏ位置機ＴｏＫ遮用
して極めて好適な位置機め装置に閤すみ％Ｏで番る・ 従米、電子部品に印胴中露光によみ加工をはどζす―、
第１１１に示すよう亀機械鈎位ｔ＊め装置を用−ている
ｏｊｌｌｌｌ（転）に示すように、位置決めｔ−行なお
うとするワーク１を手作業又は自動供給＠ｔＫより図示
の位置に供給し、然るｌＮ第１図（至）に示すように、
１ツシヤ一２ｍ 、２ｋ 、２・ によｐ位置決めビン
＄ａ、３ｂ、＄・に押嶋てたｌ１％ワーワールｆ４上に
設けられ九真空黴着孔（ｍｌ示せずンによ１真璧黴着に
よって固定し、然る後１ツＶヤー２ｍ 、 １ｂ、 ！
＊ ｔＪｌｌ ａＯＡＯ位置に復元してから印刷作＊＊
が行ｔわれ′為Ｏ しかしながら、ζＯようＫ１１ｌ成され良質米Ｏ装置で
紘次のような火点があった・ （ｌ）１ツシヤー１ ａ ４２ ＠で押しえ時に、ガえ
ばワー／１が位置決めビン３畠、 ８ｂ Ｋ先Ｋａｌｊ
ヒｙｆ＠には調速して％／％１に−ようなタイ電ングと
なつえ場合、ワークｔｃｔｓｍとビンｌａ 、 ｌｌ５
Ｚｔ４＠り抵抗によ）グツシャー２Ｓでワーク１を押し
匈れずに停止してしｔい、ワーク１を定位置にセラ）出
来なく１に為ケースがし絋しば魯ｐ％筐えζ０道Ｏケ一
ス％ｈみＯ 切 前記欠点を補なうため１ツシヤーの押付力をよ）強
力にす為方法％あ“ＴｏｉｌＲ１ζ０方鉄ではワークが
ｌラス刺ｌｌＩ＆などＯ欠損し易一部品などの場舎は、
鎗（評１五るζ七によってビンＫｌり大ｍ壷か久績し、
欠諷し大分だけ位置精度が低下す為と言う重大な火点−
あ為＠★えワークが軟質ＯグッスチツタＩ［１に、２″
１？は、押付ける力によ）位置決めビ／Ｋａｌうた一分
が変形して寸法精ＷＬが低下するなどＯ鳩舎もある０＠
）１０ようを位置決め一榔拡機械帥構造が複雑で６Ｌ前
ＷＢＯよりな火点を倉パーする為の機構１１０１１１１
１に手数がかかる上、故障も多（、か９これも機構を制
御す為制御装置も會めで高備に龜１０ 以上の欠点嬬、丸形のワークを論Ｖ％え異形ＯワークＫ
か−て−ちぢ為しく狐われ、ＩＩＩＩＩＩＫ示し大オＳ
Ｏワー！Ｏガｃ１鴫舎に轡に着し一〇本員―紘以上のよ
うな欠点を除−え位置決め装置を提供すゐことに６Ａ。
に位置決めする装置に係ｐ１譬に電子部品鋪達工易中Ｏ
印刺、露党電ど轟精直會豐す為斜晶Ｏ位置機ＴｏＫ遮用
して極めて好適な位置機め装置に閤すみ％Ｏで番る・ 従米、電子部品に印胴中露光によみ加工をはどζす―、
第１１１に示すよう亀機械鈎位ｔ＊め装置を用−ている
ｏｊｌｌｌｌ（転）に示すように、位置決めｔ−行なお
うとするワーク１を手作業又は自動供給＠ｔＫより図示
の位置に供給し、然るｌＮ第１図（至）に示すように、
１ツシヤ一２ｍ 、２ｋ 、２・ によｐ位置決めビン
＄ａ、３ｂ、＄・に押嶋てたｌ１％ワーワールｆ４上に
設けられ九真空黴着孔（ｍｌ示せずンによ１真璧黴着に
よって固定し、然る後１ツＶヤー２ｍ 、 １ｂ、 ！
＊ ｔＪｌｌ ａＯＡＯ位置に復元してから印刷作＊＊
が行ｔわれ′為Ｏ しかしながら、ζＯようＫ１１ｌ成され良質米Ｏ装置で
紘次のような火点があった・ （ｌ）１ツシヤー１ ａ ４２ ＠で押しえ時に、ガえ
ばワー／１が位置決めビン３畠、 ８ｂ Ｋ先Ｋａｌｊ
ヒｙｆ＠には調速して％／％１に−ようなタイ電ングと
なつえ場合、ワークｔｃｔｓｍとビンｌａ 、 ｌｌ５
Ｚｔ４＠り抵抗によ）グツシャー２Ｓでワーク１を押し
匈れずに停止してしｔい、ワーク１を定位置にセラ）出
来なく１に為ケースがし絋しば魯ｐ％筐えζ０道Ｏケ一
ス％ｈみＯ 切 前記欠点を補なうため１ツシヤーの押付力をよ）強
力にす為方法％あ“ＴｏｉｌＲ１ζ０方鉄ではワークが
ｌラス刺ｌｌＩ＆などＯ欠損し易一部品などの場舎は、
鎗（評１五るζ七によってビンＫｌり大ｍ壷か久績し、
欠諷し大分だけ位置精度が低下す為と言う重大な火点−
あ為＠★えワークが軟質ＯグッスチツタＩ［１に、２″
１？は、押付ける力によ）位置決めビ／Ｋａｌうた一分
が変形して寸法精ＷＬが低下するなどＯ鳩舎もある０＠
）１０ようを位置決め一榔拡機械帥構造が複雑で６Ｌ前
ＷＢＯよりな火点を倉パーする為の機構１１０１１１１
１に手数がかかる上、故障も多（、か９これも機構を制
御す為制御装置も會めで高備に龜１０ 以上の欠点嬬、丸形のワークを論Ｖ％え異形ＯワークＫ
か−て−ちぢ為しく狐われ、ＩＩＩＩＩＩＫ示し大オＳ
Ｏワー！Ｏガｃ１鴫舎に轡に着し一〇本員―紘以上のよ
うな欠点を除−え位置決め装置を提供すゐことに６Ａ。
本員−減、位ｔ＊め會骨攻うに秦り。て、ベルヌーイ定
態を利用してツーＩ會ワーＩホに〆一かｂ浮上さぜるこ
とＫよ抄、従来問題となつ九位置決めビンとワークの摩
さつ抵抗を殆んどゼーとし、極めて容易かつワークを欠
損させることもなく位置決めを行ない得るように構成し
た亀のである。
態を利用してツーＩ會ワーＩホに〆一かｂ浮上さぜるこ
とＫよ抄、従来問題となつ九位置決めビンとワークの摩
さつ抵抗を殆んどゼーとし、極めて容易かつワークを欠
損させることもなく位置決めを行ない得るように構成し
た亀のである。
以下、本発明の実施例を第２図によシ説明する。
第２図において、ワークホルダ４には、位置決めビン３
ａとｓｂの中間方向に向って斜上方に空気を吹出す吹出
口１１、およびワークホルダ４の各辺にほぼ平行に配列
された８個の真空吸着口４ｂが設けられている。ワーク
１は、先ず手作業又は自動供給装置によ多路２図（ｅ）
Ｋ示すように実線の位置に供給される。然る後、空気
吹出口４ａより空気を吹出すと、ワークホルダ４とワー
ク唱の間に矢印で示すようにビンｓａと３ｂの中間方向
に向つ′て気流が生じて、ワーク１は、ワークホルダ４
から０．１鋼密ないし１常渭程度浮上する。この時、空
気は前記のようにビン３ａと３ｂの中間方向に向って吹
出すので、ワーク１はこの気流に従がって気流の方向に
吹き流されビンＳａ 、 Ｓｂ 、 ＳａＫ触れて停止
する。仁の時、ワークホルダ４に設けられ九真ｇ！黴着
０４％の真空弁（−示せず）を胃（と同時＃ｃ！気の吹
出しを停止すれば、ツー！Ｓ紘＋Ｏ壇ｔｏ位置にｉｉｉ
＊され為Ｏ 本実施内によれ社、ワータａ！気で浮上され、かつ−電
方向に向って流れる気１１ＫＩ！りて吹ＳＳれて位置決
めされる為、従来機械的に位置決めすることがｉＩ麹で
あった薄い１２スチツタシー）０よう１に％ＯＫも適用
出来るＯ ＊５ｉｉｉは、比較的薄くてそ、ｊがあ為ようなガテＪ
ｌ［Ｘａ７ラスチツタシートＯワーワー １ ｋ！’Ｉ
ＩＶｈ九場舎Ｏ儒を示鳩舎買−であ為・ζＯ場鳩舎ワー
クホルダ４上にワーク１１が冑着せず部分的に浮自上つ
良状態に欺るＯこＯような状態でワー／１１を固定しよ
うとして真空執着を行なつ九時、空気が浮自上り大部分
Ｓから流入す１為、執着−電が行なわれないケースがし
ばし鑓あり九。しかし本実施内Ｏように、先ず空気吹−
ロ４ａよ）空気會吹ｍし”ｃｙ−タホルｆ４とＶ−タ１
１０１１１Ｋｊｌ＄１ａ（２）に示し九矢印のようＫ１
１ｌｌｌ！を生じさせ為と。
ａとｓｂの中間方向に向って斜上方に空気を吹出す吹出
口１１、およびワークホルダ４の各辺にほぼ平行に配列
された８個の真空吸着口４ｂが設けられている。ワーク
１は、先ず手作業又は自動供給装置によ多路２図（ｅ）
Ｋ示すように実線の位置に供給される。然る後、空気
吹出口４ａより空気を吹出すと、ワークホルダ４とワー
ク唱の間に矢印で示すようにビンｓａと３ｂの中間方向
に向つ′て気流が生じて、ワーク１は、ワークホルダ４
から０．１鋼密ないし１常渭程度浮上する。この時、空
気は前記のようにビン３ａと３ｂの中間方向に向って吹
出すので、ワーク１はこの気流に従がって気流の方向に
吹き流されビンＳａ 、 Ｓｂ 、 ＳａＫ触れて停止
する。仁の時、ワークホルダ４に設けられ九真ｇ！黴着
０４％の真空弁（−示せず）を胃（と同時＃ｃ！気の吹
出しを停止すれば、ツー！Ｓ紘＋Ｏ壇ｔｏ位置にｉｉｉ
＊され為Ｏ 本実施内によれ社、ワータａ！気で浮上され、かつ−電
方向に向って流れる気１１ＫＩ！りて吹ＳＳれて位置決
めされる為、従来機械的に位置決めすることがｉＩ麹で
あった薄い１２スチツタシー）０よう１に％ＯＫも適用
出来るＯ ＊５ｉｉｉは、比較的薄くてそ、ｊがあ為ようなガテＪ
ｌ［Ｘａ７ラスチツタシートＯワーワー １ ｋ！’Ｉ
ＩＶｈ九場舎Ｏ儒を示鳩舎買−であ為・ζＯ場鳩舎ワー
クホルダ４上にワーク１１が冑着せず部分的に浮自上つ
良状態に欺るＯこＯような状態でワー／１１を固定しよ
うとして真空執着を行なつ九時、空気が浮自上り大部分
Ｓから流入す１為、執着−電が行なわれないケースがし
ばし鑓あり九。しかし本実施内Ｏように、先ず空気吹−
ロ４ａよ）空気會吹ｍし”ｃｙ−タホルｆ４とＶ−タ１
１０１１１Ｋｊｌ＄１ａ（２）に示し九矢印のようＫ１
１ｌｌｌ！を生じさせ為と。
ベルヌーイｏｊ１墓によ少、その気概が生じて一番ワー
ク下ＷｔＯ部分の圧力が下がるＯワーク１１の上ｌＮ杜
大気圧となっていｈＯで、ワーク１１は大気圧に押され
てそ９がきよう正されて平らになる為、真空吸着が容Ｊ
ＩＫ行なえるようになる０ここで、ワークホルダ４とツ
ー２１１０間ＫＦｉＱ気が供給されておｐ、−見矛盾す
るように考えられるが、空男吹出口４ａから供給される
９気量はわずかでＴｏ１１夷験で線支障な（周い得るこ
とが確認されている〇 なお以上の奥ＩＩＡガでは空気吹出口拡ｌ優だけ設は九
が、ワータＯ形状、大’Ｉさによって複数備配列するこ
と拡極めて有効であるＯ こＯように不動−によれば、次のよう＊＊れた効果が得
られる。
ク下ＷｔＯ部分の圧力が下がるＯワーク１１の上ｌＮ杜
大気圧となっていｈＯで、ワーク１１は大気圧に押され
てそ９がきよう正されて平らになる為、真空吸着が容Ｊ
ＩＫ行なえるようになる０ここで、ワークホルダ４とツ
ー２１１０間ＫＦｉＱ気が供給されておｐ、−見矛盾す
るように考えられるが、空男吹出口４ａから供給される
９気量はわずかでＴｏ１１夷験で線支障な（周い得るこ
とが確認されている〇 なお以上の奥ＩＩＡガでは空気吹出口拡ｌ優だけ設は九
が、ワータＯ形状、大’Ｉさによって複数備配列するこ
と拡極めて有効であるＯ こＯように不動−によれば、次のよう＊＊れた効果が得
られる。
（１） ワーク社空気によ）浮上し、かつ位置決めビ
゛ンに肉って吹ａｔされるように位置決めされるので、
位置決めビンとの摩さつ抵抗嬬殆んどな（な）、ワーＩ
は正しくかつ確実に位置決めされる０ （２）空気の吹輿貴を適正に調整することによりワ−夕
が吹流されゐ遭ＩＩ誉違〈す為ことが出来為ことと、機
械的に強く押付け１ことがな一為、ガラス亀どのような
゛欠損し蟲−％Ｋ）でも欠損させることなく位置決めす
為ζＪ：が娼来為〇―） 位置決め羨置抹、ワータホル
〆に！気吹尚孔を設けるのみであるので、極めて榔遼が
簡単であることから、故障は勤んどな（、かり安値に製
作し得ゐＯ
゛ンに肉って吹ａｔされるように位置決めされるので、
位置決めビンとの摩さつ抵抗嬬殆んどな（な）、ワーＩ
は正しくかつ確実に位置決めされる０ （２）空気の吹輿貴を適正に調整することによりワ−夕
が吹流されゐ遭ＩＩ誉違〈す為ことが出来為ことと、機
械的に強く押付け１ことがな一為、ガラス亀どのような
゛欠損し蟲−％Ｋ）でも欠損させることなく位置決めす
為ζＪ：が娼来為〇―） 位置決め羨置抹、ワータホル
〆に！気吹尚孔を設けるのみであるので、極めて榔遼が
簡単であることから、故障は勤んどな（、かり安値に製
作し得ゐＯ
＄１１１１（２）は従来の位置決め装置の位置決め前の
状ＷＩＡｔ示す斜ＩＩＩＩ、第１園−）は岡じ（位置決
め后の状態を示す斜視Ｉ１１継冨閣（２）は本尭−０位
置決め装置０ＩＩＩ造會示す斜ｉ＋ｇｓ、第２園−）紘
第冨閃（２）ＯＸ −Ｘ’１ｌｌｌ１１． ＩＩ ｚ
ｌｌｌ５ｍ位置決め０状−を示す斜視間、５ｉｌｌ（ｕ
はそｊＯ＆るワークが令ット１れえ状態を示す断ｗｌ１
％＃Ｉ３■―）紘空気吹出口よｐｖＣ幽しえ９気によっ
てそ）が自よう正され為状態を示す断ＩＩＷＡである０ １、’ｌｌ・・・・ワーク、１＆〜宜−・・・・プッシ
ャー、ｌａｗ’ｓ ・−・・位置決めビｙ、４・・・
−ワークホルダ、４＆１・・空気吹出口、４ｂ１・・真
！黴着口、ｉ１１浮自上つぇ部分。 ＡＳ１図 （Ａ） ｂ ＣＢ） 第２図 （Ａ） （Ｃ） ｂ
状ＷＩＡｔ示す斜ＩＩＩＩ、第１園−）は岡じ（位置決
め后の状態を示す斜視Ｉ１１継冨閣（２）は本尭−０位
置決め装置０ＩＩＩ造會示す斜ｉ＋ｇｓ、第２園−）紘
第冨閃（２）ＯＸ −Ｘ’１ｌｌｌ１１． ＩＩ ｚ
ｌｌｌ５ｍ位置決め０状−を示す斜視間、５ｉｌｌ（ｕ
はそｊＯ＆るワークが令ット１れえ状態を示す断ｗｌ１
％＃Ｉ３■―）紘空気吹出口よｐｖＣ幽しえ９気によっ
てそ）が自よう正され為状態を示す断ＩＩＷＡである０ １、’ｌｌ・・・・ワーク、１＆〜宜−・・・・プッシ
ャー、ｌａｗ’ｓ ・−・・位置決めビｙ、４・・・
−ワークホルダ、４＆１・・空気吹出口、４ｂ１・・真
！黴着口、ｉ１１浮自上つぇ部分。 ＡＳ１図 （Ａ） ｂ ＣＢ） 第２図 （Ａ） （Ｃ） ｂ
Claims (1)
- ワークホルダに複数Ｏ位置決めビンと真！執着口を設け
ζワータ、ｔ−位置機めビｙで位Ｉ１１にめし大後、真
９！黴着ｑ″Ｃ吸引して固定すゐ位置決め装置において
、ワークホルダに所１１０平藺方肉に空気を吹出す空気
吹出ｑを設け、ζＯ！２！気ｖＣ出口から吹′―シえ空
気によってワークを位置決めビｒに押しあてて位ｌｌ決
めし１しかＡｌｌに真！黴着ｑでそ０位１１に！７−タ
會圃定す為ようにし九位置決め鵜ｔ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56181144A JPS5883854A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56181144A JPS5883854A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883854A true JPS5883854A (ja) | 1983-05-19 |
| JPH0227662B2 JPH0227662B2 (ja) | 1990-06-19 |
Family
ID=16095651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56181144A Granted JPS5883854A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883854A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0347794A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置 |
| JPH04166845A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-12 | Hitachi Ltd | 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 |
| JP2007164023A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | San Ei Giken Inc | 露光方法および露光装置 |
| WO2009025228A1 (ja) * | 2007-08-20 | 2009-02-26 | Nec Engineering, Ltd. | 版給排装置及びそれを用いた刷版作成装置 |
| JP2009067589A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-04-02 | Nec Engineering Ltd | 版給排装置及びそれを用いた刷版作成装置 |
| CN103358711A (zh) * | 2012-03-28 | 2013-10-23 | 施乐公司 | 配准和固支介质衬底片材的气动台 |
| CN104044362A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 施乐公司 | 利用矢量空气流的气动式片材对准和夹持 |
-
1981
- 1981-11-13 JP JP56181144A patent/JPS5883854A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0347794A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置 |
| JPH04166845A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-12 | Hitachi Ltd | 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 |
| JP2007164023A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | San Ei Giken Inc | 露光方法および露光装置 |
| WO2009025228A1 (ja) * | 2007-08-20 | 2009-02-26 | Nec Engineering, Ltd. | 版給排装置及びそれを用いた刷版作成装置 |
| JP2009067589A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-04-02 | Nec Engineering Ltd | 版給排装置及びそれを用いた刷版作成装置 |
| US8567315B2 (en) | 2007-08-20 | 2013-10-29 | Nec Engineering, Ltd. | Plate supply and discharge device and printing plate forming device using same |
| CN103358711A (zh) * | 2012-03-28 | 2013-10-23 | 施乐公司 | 配准和固支介质衬底片材的气动台 |
| CN103358711B (zh) * | 2012-03-28 | 2016-01-20 | 施乐公司 | 配准和固支介质衬底片材的气动台 |
| CN104044362A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 施乐公司 | 利用矢量空气流的气动式片材对准和夹持 |
| JP2014172758A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Xerox Corp | 空気力を利用したシート見当合わせと誘導された空気流による固定 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0227662B2 (ja) | 1990-06-19 |
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