JPS63142653A - プロ−バ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウェハのプローブテスト用装置（以下プロ
ーバ装置という）に関するものである０〔従来の技術〕 第２図は従来のブローバ装置のチャック、ローダ孔の断
面図を示すもので、第２図において、１はＷ　ｆｆ１ｌ
ｌ定ウエハ（以下ウェハという）・　２＆′ｉウエハ１
を保持するチャック、３はチャック支持台、４は吸引口
、５は真空装置、６はローダ部である。

次に動作について説明する。ウェハテスト終了後、チャ
ック２は第２図の位置に来る。この位置で、真空装置５
によって真空引きしていたウェハ１を、真空引きをやめ
ることによって、チャック２から遊離させるとともに、
ローダ部６のチャックに対して反対側から空気を送るこ
とにより、チャック２からはずれたウェハをローダ孔６
へ格子。

〔発明が解決しようと下る問題点〕

従来のブローバ装置は以上のように構成さγｔでいるが
、この場合、真空引さをやめてもウェハｌはチャック２
より十分にずｎす、また空気を送ってもローダＦ！ｉＩ
！、６ヘウエハ１が移らないという欠点があり、又、送
風される空気によって、不良品に打たｎたインクが流ち
るなどσ〕問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、プローバのジャムを低減できるとともに、ウ
ェハテストの時間短縮が可能なブローバ装置を得ること
？目的とする０ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るブローバ装置は、吸引口の方間を変え、
ローダ孔の方向へ１頃；欝して配設するとともに、吸引
口には真空装置のみならす切り換えスイッチを介して送
風装置をも接続させたものである０ 〔作用〕 この発明においては、吸引口の方向をローダ側へ傾斜し
て設けたことにより、送風装置によって送られる空気に
よって、チャックからはずされたウェハをローダ部へ的
確′Ｄ）つ速や力）に格下ことが可能となる。

〔実施例〕

以下この発明の一実施例を第１＃ｉＪについて説明する
。第１図において、Ｌ２．３．５．６は上記従来のもの
と同様であり、７はローダ部６の方向へ傾斜して配設さ
れた吸引口、８は送風装置、９は真空装＃５と送風装置
８の切り換えスイッチである。

次に動作について説明Ｔる。ウニへテスト終了俊、チャ
ック２は図の位置に来る。この位置で、真空装置５によ
って真空引きしていたウェハ１の真空引きをやめると同
時に切り換えスイッチ９を動作させ、真空引きから送風
に切り換える。そしτ向きを変えた吸引ロアから空気を
送り込むのと同時に、ローダ部６のチャックに対して反
対側から空気を送ることによって、チャック２からはす
ｎたウェハをローダ６へ格下〇 〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によｎば、チャックの吸引口の向
きを変えるとともに、送風装置を設けたので、ブローμ
のジャムが低減し、ウェハテストの時間短縮につながり
、テストが容易に実施できるなどの丁ぐｎた効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるブローμ装置のチャ
ック、ローダ部の断面図、第２図は従来のプローバ装置
のチャック、ローダ部の断面図である。 図中、１はウェハ、２はチャック、３はチャック支持台
、５は真空装置、６はローダ部、７は吸引口、８は送風
装置、９は切り換えスイッチである。 尚、図中同一符号は同一まには相当部分をボす。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空装置に接続された吸引口を有するチャックを有する
   ものにおいて、上記チャックの吸引口をローダ側に傾斜
   して配設するとともに、この吸引口に切り換えスイッチ
   を介して送風装置を接続したことを特徴とするプローバ
   装置。