JPH04166845A - 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 - Google Patents
基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置Info
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- JPH04166845A JPH04166845A JP2292019A JP29201990A JPH04166845A JP H04166845 A JPH04166845 A JP H04166845A JP 2292019 A JP2292019 A JP 2292019A JP 29201990 A JP29201990 A JP 29201990A JP H04166845 A JPH04166845 A JP H04166845A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000007667 floating Methods 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント基板の露光装置等に用いられる基板の
位置決め装置及びプロキシミティ露光装置に関する。
位置決め装置及びプロキシミティ露光装置に関する。
従来方法は、プリント基板をプリント基板吸着プレート
もしくはプリント基板載置台の上を人手もしくは機械力
でしゆう動させて、位置決めビンへ押しあてるものであ
った。
もしくはプリント基板載置台の上を人手もしくは機械力
でしゆう動させて、位置決めビンへ押しあてるものであ
った。
上記従来技術は、プリント基板吸着プレートもしくはプ
リント基板載置台上にプリント基板を置き、この上を手
で滑らせて位置決めビンに押し当てて位置決めを行なっ
ており、プリント基板とこれを乗せるプリント基板吸着
プレートもしくはプリント基板載置台との間のしゆう動
に関して配慮がされておらず、このしゆう動によりプリ
ント基板面に傷が入る等の問題があった。又、押し当て
るビンに関しては、単に円柱形状又はこれに代わる形状
の単一部品で構成されており、プリント基板押し当て時
にこの押し当てビンとプリント基板端面の間の摩擦を極
力小さくする考慮がされておらず、この摩擦により滑ら
かに精度よく全ての押し当てビンに接触しづらい問題が
あった。
リント基板載置台上にプリント基板を置き、この上を手
で滑らせて位置決めビンに押し当てて位置決めを行なっ
ており、プリント基板とこれを乗せるプリント基板吸着
プレートもしくはプリント基板載置台との間のしゆう動
に関して配慮がされておらず、このしゆう動によりプリ
ント基板面に傷が入る等の問題があった。又、押し当て
るビンに関しては、単に円柱形状又はこれに代わる形状
の単一部品で構成されており、プリント基板押し当て時
にこの押し当てビンとプリント基板端面の間の摩擦を極
力小さくする考慮がされておらず、この摩擦により滑ら
かに精度よく全ての押し当てビンに接触しづらい問題が
あった。
本発明の目的は、基板の位置決め時に、しゆう５ ゛
動による基板面への傷の発生を無くし、押し当てビンと
基板端面の接触部の摩擦を低減し、基板を精度よく滑ら
かに位置決めを行なうことができるようにした基板位置
決め装置を提供することにある。
基板端面の接触部の摩擦を低減し、基板を精度よく滑ら
かに位置決めを行なうことができるようにした基板位置
決め装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、基板を精度よく滑らかに位置決め
してマスク上に形成された回路パターンを基板上に転写
露光できるようにしたプロキシミティ露光装置を提供す
ることにある。
してマスク上に形成された回路パターンを基板上に転写
露光できるようにしたプロキシミティ露光装置を提供す
ることにある。
上記目的を達成するために、プリント基板吸着プレート
もしくはプリント基板載置台にプリント基板浮上用の複
数のエアー吹き出し穴と、推力用の複数のエアー吹き出
し穴を設け、さらにこの供給配管を含めたエアーの供給
系とを設け、プリント基板をエアースライドによりプリ
ント基板吸着プレートもしくは、プリント基板載置台と
接触することなく位置決めローラの位置まで浮上移動す
るようにしたものである。
もしくはプリント基板載置台にプリント基板浮上用の複
数のエアー吹き出し穴と、推力用の複数のエアー吹き出
し穴を設け、さらにこの供給配管を含めたエアーの供給
系とを設け、プリント基板をエアースライドによりプリ
ント基板吸着プレートもしくは、プリント基板載置台と
接触することなく位置決めローラの位置まで浮上移動す
るようにしたものである。
また、プリント基板が精度良く位置決めされる゛６゛
ために、位置決めピンにベアリングによって滑らかに回
転するローラを用いたものである。
転するローラを用いたものである。
さらに、エアーの吹き出し圧力の分布制御を行なわず、
エラースライドで位置決め用ローラに押し当てた時に、
圧力分布の違いによるプリント基板のローテーションを
防ぐために、ローラを３ケ所でなく４カ所設置し、位置
決め完了をセンサーによって検出するようにしたもので
ある。
エラースライドで位置決め用ローラに押し当てた時に、
圧力分布の違いによるプリント基板のローテーションを
防ぐために、ローラを３ケ所でなく４カ所設置し、位置
決め完了をセンサーによって検出するようにしたもので
ある。
即ち、本発明は、基板載置台と、基板を搬送位置決めす
るために、上記基板載置台に設けられた複数のエアー吹
き出し穴と、該エラー吹き出し穴からのエアーの吹き出
しを制御する第１の制御手段と、該第１の制御手段によ
って制御されたエアー吹き出し穴からのエアーの吹き出
しにより上記基板を浮上させて搬送された該基板の端辺
に当接して上記基板を２軸方向に位置決めすべく、ベア
リングにより回転自在に支持されたＸ軸及びＹ軸方向用
のローラと、該各ローラに基板の端辺が当接して位置決
めされたことを検知するＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め
完了検知用センサと、該各位置決め完了検知用センサに
おいてＸ軸及びＹ軸方向の基板の位置決めが完了したこ
とが検知されたとき、上記第１の制御手段を制御して上
記基板を基板載置台に載置すると共に上記Ｘ軸及びＹ軸
方向用のローラ及びＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め完了
検知用センサを待避させる第２の制御手段とを備えたこ
とを特徴とする基板の位置決め装置である。
るために、上記基板載置台に設けられた複数のエアー吹
き出し穴と、該エラー吹き出し穴からのエアーの吹き出
しを制御する第１の制御手段と、該第１の制御手段によ
って制御されたエアー吹き出し穴からのエアーの吹き出
しにより上記基板を浮上させて搬送された該基板の端辺
に当接して上記基板を２軸方向に位置決めすべく、ベア
リングにより回転自在に支持されたＸ軸及びＹ軸方向用
のローラと、該各ローラに基板の端辺が当接して位置決
めされたことを検知するＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め
完了検知用センサと、該各位置決め完了検知用センサに
おいてＸ軸及びＹ軸方向の基板の位置決めが完了したこ
とが検知されたとき、上記第１の制御手段を制御して上
記基板を基板載置台に載置すると共に上記Ｘ軸及びＹ軸
方向用のローラ及びＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め完了
検知用センサを待避させる第２の制御手段とを備えたこ
とを特徴とする基板の位置決め装置である。
また本発明は、マスクと基板とを間に微小間隙を形成し
てマスク上に形成された回路パターンを基板上に転写露
光するプロキシミティ露光装置において、上記基板を載
置する基板載置台と、上記基板を搬送位置決めするため
に、上記基板載置台に設けられた複数のエアー吹き出し
穴と、該エアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しを制
御する第１の制御手段と、該第１の制御手段によって制
御されたエアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しによ
り上記基板を浮上させて搬送された該基板の端辺に当接
して上記基板を２軸方向に位置決めすべく、ベアリング
により回転自在に支持された複数のローラと、該各ロー
ラに基板の端辺が当接して位置決めされたことを検知す
る複数の位置決め完了検知用センサと、該各位置決め完
了検知用センサにおいて基板の位置決めか完了したこと
が検知されたとき、上記第１の制御手段を制御して上記
基板を基板載置台に載置すると共に上記複数のローラ及
び複数の位置決め完了検知用センサを待避させる第２の
制御手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露
光装置である。
てマスク上に形成された回路パターンを基板上に転写露
光するプロキシミティ露光装置において、上記基板を載
置する基板載置台と、上記基板を搬送位置決めするため
に、上記基板載置台に設けられた複数のエアー吹き出し
穴と、該エアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しを制
御する第１の制御手段と、該第１の制御手段によって制
御されたエアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しによ
り上記基板を浮上させて搬送された該基板の端辺に当接
して上記基板を２軸方向に位置決めすべく、ベアリング
により回転自在に支持された複数のローラと、該各ロー
ラに基板の端辺が当接して位置決めされたことを検知す
る複数の位置決め完了検知用センサと、該各位置決め完
了検知用センサにおいて基板の位置決めか完了したこと
が検知されたとき、上記第１の制御手段を制御して上記
基板を基板載置台に載置すると共に上記複数のローラ及
び複数の位置決め完了検知用センサを待避させる第２の
制御手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露
光装置である。
プリント基板吸着プレートもしくはプリント基板載置台
上に任意に置かれたプリント基板は、複数の浮上用エア
ー吹き出し穴と、推力用エアー吹き出し穴とから吹き出
したクリーンエアーによって、プリント基板吸着プレー
トもしくはプリント基板載置台上より浮上し、位置決め
用ローラに押し当てられる。このプリント基板が、各々
配置された複数の位置決め用ローラに対して斜めに押し
当てられても、ビンとプリント基板の接触端辺との滑り
摩擦に比べ、位置決め用ローラはベアリングのころがり
抵抗のため非常に滑らかに動作し、プリント基板の２端
辺を各々の位置決め用ローラに１方向のエアー推力のみ
で自動的に押し当てることができ、各位置決め用ローラ
の近くに設けた位置決め完了センサによって２端辺が各
々の位置決め用ローラに押し当てられていることを検出
する。このため、プリント基板面にしゅう動による傷が
発生することなく、滑らかに精度よく位置決めを行なう
ことができる。
上に任意に置かれたプリント基板は、複数の浮上用エア
ー吹き出し穴と、推力用エアー吹き出し穴とから吹き出
したクリーンエアーによって、プリント基板吸着プレー
トもしくはプリント基板載置台上より浮上し、位置決め
用ローラに押し当てられる。このプリント基板が、各々
配置された複数の位置決め用ローラに対して斜めに押し
当てられても、ビンとプリント基板の接触端辺との滑り
摩擦に比べ、位置決め用ローラはベアリングのころがり
抵抗のため非常に滑らかに動作し、プリント基板の２端
辺を各々の位置決め用ローラに１方向のエアー推力のみ
で自動的に押し当てることができ、各位置決め用ローラ
の近くに設けた位置決め完了センサによって２端辺が各
々の位置決め用ローラに押し当てられていることを検出
する。このため、プリント基板面にしゅう動による傷が
発生することなく、滑らかに精度よく位置決めを行なう
ことができる。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第１図のＡ−Ａ断
面視である第２図により説明する。
面視である第２図により説明する。
第１図及び第２図に示す如く本発明によるプリント基板
等の基板の位置決め装置は、プリント基板吸着台もしく
はプリント基板載置台１と、これに取付けられた複数の
プリント基板浮上用エアー吹き出しノズル２ａ、及び複
数の推力用エアー吹き出しノズル２ｂと、これらのノズ
ルにエアーを供給する区別された配管６ａ、 ６ｂと、
各配管６ａ、 ６ｂにエアーを区別して分配する分配器
７ａ、 ７ｂと、制御装゛１０゛ 置１０からの指令でこれらのエアー供給の制御を行なう
バルブ８ａ、 ８ｂと、プリント基板９がエアーの浮上
と推力によって押し当てられ、ビン３ｂとベアリング３
ａにより滑らかに回転できる位置決めローラ３と、プリ
ント基板９の２辺ＣＢ及びＢＤが位置決めローラ３に押
しつけられた状態を検出する位置決め完了検知センサ４
と、ビン３ｂを介して、位置決めローラ３と位置決め完
了検出センサ４が取り付けられ、アクチュエータ１１に
より２方向に上下動が可能で、かつＸ方向、Ｙ方向に移
動可能な手段を有するベース５とから構成される。
等の基板の位置決め装置は、プリント基板吸着台もしく
はプリント基板載置台１と、これに取付けられた複数の
プリント基板浮上用エアー吹き出しノズル２ａ、及び複
数の推力用エアー吹き出しノズル２ｂと、これらのノズ
ルにエアーを供給する区別された配管６ａ、 ６ｂと、
各配管６ａ、 ６ｂにエアーを区別して分配する分配器
７ａ、 ７ｂと、制御装゛１０゛ 置１０からの指令でこれらのエアー供給の制御を行なう
バルブ８ａ、 ８ｂと、プリント基板９がエアーの浮上
と推力によって押し当てられ、ビン３ｂとベアリング３
ａにより滑らかに回転できる位置決めローラ３と、プリ
ント基板９の２辺ＣＢ及びＢＤが位置決めローラ３に押
しつけられた状態を検出する位置決め完了検知センサ４
と、ビン３ｂを介して、位置決めローラ３と位置決め完
了検出センサ４が取り付けられ、アクチュエータ１１に
より２方向に上下動が可能で、かつＸ方向、Ｙ方向に移
動可能な手段を有するベース５とから構成される。
本発明によるプリント基板の位置決め方法は、位置決め
ローラ３と位置決め完了検知センサ４の取り付けられた
ベース５をＸ方向に上昇させ、次いでＸ、Ｙ移動によっ
てプリント基板方向の一定の決められた位置へ移動させ
る。この後プリント基板９をプリント基板吸着台（プレ
ート）もしくはプリント基板載置台１の上に任意に置き
、制御装置１０からの指令によりバルブ８ａを開いてク
リーンエアーを分配器７ａと配管６ａを通して、プリン
ト基板浮上用エアー吹き出しノズル２ａに供給し、プリ
ント基板９をプリント基板吸着台（プレート）もしくは
プリント基板載置台１から浮上させ非接触な状態にする
。次に制御装置１０からの指令でバルブ８ｂを開きクリ
ーンエアーを分配器７ｂと配管６ｂを通して、推力用エ
アー吹き出しノズル２ｂに供給し、浮上しているプリン
ト基板９を位置決めローラ側へ移動させ、プリント基板
９のＣＢとＢＤの２辺を位置決めローラ３へ押し付ける
。この時それぞれの位置決め完了検知センサ４が各辺Ｃ
Ｂ。
ローラ３と位置決め完了検知センサ４の取り付けられた
ベース５をＸ方向に上昇させ、次いでＸ、Ｙ移動によっ
てプリント基板方向の一定の決められた位置へ移動させ
る。この後プリント基板９をプリント基板吸着台（プレ
ート）もしくはプリント基板載置台１の上に任意に置き
、制御装置１０からの指令によりバルブ８ａを開いてク
リーンエアーを分配器７ａと配管６ａを通して、プリン
ト基板浮上用エアー吹き出しノズル２ａに供給し、プリ
ント基板９をプリント基板吸着台（プレート）もしくは
プリント基板載置台１から浮上させ非接触な状態にする
。次に制御装置１０からの指令でバルブ８ｂを開きクリ
ーンエアーを分配器７ｂと配管６ｂを通して、推力用エ
アー吹き出しノズル２ｂに供給し、浮上しているプリン
ト基板９を位置決めローラ側へ移動させ、プリント基板
９のＣＢとＢＤの２辺を位置決めローラ３へ押し付ける
。この時それぞれの位置決め完了検知センサ４が各辺Ｃ
Ｂ。
ＢＤの端辺を検出すると、その信号が制御装置１０に送
られ、制御装置１０は指令を出してバルブ８ａ。
られ、制御装置１０は指令を出してバルブ８ａ。
８ｂを閉じてクリーンエアーの供給を止める。その後制
御装置１０からの指令に基いて真空吸着等の手段（図示
せず）で位置決めされたプリント基板９をプリント基板
吸着プレート（台）もしくはプリント基板載置台１上へ
固定する。そこで例えば露光する場合、プリント基板９
に対向させてマスク（図示せず）を配置する関係で、位
置決めローラ３や位置決め完了センサ４等が邪魔になる
ため、制御装置１０からアクチュエータ１１への駆動指
令に基いてベース５をＸ移動によってプリント基板から
遠ざかる方向へ移動させ、Ｚ動作により下方向へ動作さ
せローラ３や位置決め完了検知センサ４がプリント基板
９より上に位置しないように退避させる。これらの一連
の動作によりプリント基板９は位置決めが完了する。
御装置１０からの指令に基いて真空吸着等の手段（図示
せず）で位置決めされたプリント基板９をプリント基板
吸着プレート（台）もしくはプリント基板載置台１上へ
固定する。そこで例えば露光する場合、プリント基板９
に対向させてマスク（図示せず）を配置する関係で、位
置決めローラ３や位置決め完了センサ４等が邪魔になる
ため、制御装置１０からアクチュエータ１１への駆動指
令に基いてベース５をＸ移動によってプリント基板から
遠ざかる方向へ移動させ、Ｚ動作により下方向へ動作さ
せローラ３や位置決め完了検知センサ４がプリント基板
９より上に位置しないように退避させる。これらの一連
の動作によりプリント基板９は位置決めが完了する。
次にマスクに対してプリント基板９を近接させて配置さ
せることによりプロキシミティ露光を行うことができる
。露光装置全体としては、例えば特開昭６４−１２９３
号公報に詳細に示されている。
せることによりプロキシミティ露光を行うことができる
。露光装置全体としては、例えば特開昭６４−１２９３
号公報に詳細に示されている。
以上説明したように、本実施例によれば、位置決め時に
プリント基板裏面に摺動による傷をつけずに、滑らかに
精度よく位置決め動作を自動で行なうことができる効果
がある。
プリント基板裏面に摺動による傷をつけずに、滑らかに
精度よく位置決め動作を自動で行なうことができる効果
がある。
本発明によれば以下の効果がある。
（１）基板の裏面が位置決め時に基板吸着台もしくは基
板載置台と非接触で摺動しないため、基板の裏面にしゆ
う動による傷の発生を防止できる。
板載置台と非接触で摺動しないため、基板の裏面にしゆ
う動による傷の発生を防止できる。
° １２゜
（２）位置決めローラをベアリング等を使用しない単な
るビンとしたものでは、ビンとプリント基板端辺の接触
時、摩擦により滑らかに動作せず、位置決めができない
（十数ｍｍ〜±１ｍｍ）ことがあったのに対し、ローラ
にベアリングを組み込んだ今回の位置決めローラでは、
位置決め精度が０．１ｍｍ以内（±０．０１ｍｍ程度）
と向上したことから、位置決めの精度が大幅に向上する
。
るビンとしたものでは、ビンとプリント基板端辺の接触
時、摩擦により滑らかに動作せず、位置決めができない
（十数ｍｍ〜±１ｍｍ）ことがあったのに対し、ローラ
にベアリングを組み込んだ今回の位置決めローラでは、
位置決め精度が０．１ｍｍ以内（±０．０１ｍｍ程度）
と向上したことから、位置決めの精度が大幅に向上する
。
（３）位置決めローラやビンが３ケの場合、吹き出しエ
アーの圧力分布制御を行なわないと、基板に圧力差によ
って生じる各部分の推力差により、モーメント力による
ローテーションが生じて位置決めができなかったのに対
し、ローラを４ケとすることで圧力分布制御を行なわな
くてもモーメント力によるローテーションを押え、上記
（２）の位置決め精度が可能で、エアーの供給方法に圧
力分布制御が不要である。
アーの圧力分布制御を行なわないと、基板に圧力差によ
って生じる各部分の推力差により、モーメント力による
ローテーションが生じて位置決めができなかったのに対
し、ローラを４ケとすることで圧力分布制御を行なわな
くてもモーメント力によるローテーションを押え、上記
（２）の位置決め精度が可能で、エアーの供給方法に圧
力分布制御が不要である。
（４）位置決めローラや位置決め完了検出センサが退避
できるため、プロキシミティ露光において、基板より上
に位置するものがなく、基板上にマ°１４゜ スフを載置したり、マスクの取り扱い等に有利である。
できるため、プロキシミティ露光において、基板より上
に位置するものがなく、基板上にマ°１４゜ スフを載置したり、マスクの取り扱い等に有利である。
第１図は本発明のプロキシミティ露光装置における基板
位置決め装置を示すちょうかん図、第２図は第１図のＡ
−Ａ線断面を示す断面図である。 １・・基板吸着台もしくは基板載置台 ２ａ・・・基板浮上用エアー吹き出しノズル２ｂ・・・
推力用エアー吹き出しノズル３・・・位置決めローラ
３ａ・・・ベアリング３ｂ・・・ビン ４・・・位置決め完了検知センサ ５・・・ベース ６ａ・・・浮上用エアー供給配管 ６ｂ・・・推力用エアー供給配管 ７ａ・・浮上用エアー分配器 ７ｂ・・推力用エアー分配器 ８ａ・・・浮上用エアー供給バルブ ８ｂ・・推力用エアー供給バルブ ９・・プリント基板 ＣＢ、ＢＤ・・・プリント基板９の各辺１０・・・制御
装置 １１・・・アクチュエータ代理人 弁理
士 小 川 勝 男 ３４ａ
位置決め装置を示すちょうかん図、第２図は第１図のＡ
−Ａ線断面を示す断面図である。 １・・基板吸着台もしくは基板載置台 ２ａ・・・基板浮上用エアー吹き出しノズル２ｂ・・・
推力用エアー吹き出しノズル３・・・位置決めローラ
３ａ・・・ベアリング３ｂ・・・ビン ４・・・位置決め完了検知センサ ５・・・ベース ６ａ・・・浮上用エアー供給配管 ６ｂ・・・推力用エアー供給配管 ７ａ・・浮上用エアー分配器 ７ｂ・・推力用エアー分配器 ８ａ・・・浮上用エアー供給バルブ ８ｂ・・推力用エアー供給バルブ ９・・プリント基板 ＣＢ、ＢＤ・・・プリント基板９の各辺１０・・・制御
装置 １１・・・アクチュエータ代理人 弁理
士 小 川 勝 男 ３４ａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板載置台と、基板を搬送位置決めするために、上
記基板載置台に設けられた複数のエアー吹き出し穴と、
該エアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しを制御する
第１の制御手段と、該第１の制御手段によって制御され
たエアー吹き出し穴からのエアーの吹き出しにより上記
基板を浮上させて搬送された該基板の端辺に当接して上
記基板を２軸方向に位置決めすべく、ベアリングにより
回転自在に支持されたＸ軸及びＹ軸方向用のローラと、
該各ローラに基板の端辺が当接して位置決めされたこと
を検知するＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め完了検知用セ
ンサと、該各位置決め完了検知用センサにおいてＸ軸及
びＹ軸方向の基板の位置決めが完了したことが検知され
たとき、上記第１の制御手段を制御して上記基板を基板
載置台に載置すると共に上記Ｘ軸及びＹ軸方向用のロー
ラ及びＸ軸及びＹ軸方向用の位置決め完了検知用センサ
を待避させる第２の制御手段とを備えたことを特徴とす
る基板の位置決め装置。 ２、上記基板載置台として、基板を真空吸着して載置す
るように構成したことを特徴とする請求項１記載の基板
の位置決め装置。 ３、上記第２の制御手段は、上記Ｘ軸方向用のローラを
支持するＸ軸方向支持部材上に上記Ｘ軸方向用の位置決
め完了検知用センサを取付けてＸ軸方向支持部材をＸ軸
方向及びＺ軸方向に移動できるように構成し、上記Ｙ軸
方向用のローラを支持するＹ軸方向支持部材上に上記Ｙ
軸方向用の位置決め完了検知用センサを取付けてＹ軸方
向支持部材をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動できるように
構成した制御手段を有することを特徴とする請求項１記
載の基板の位置決め装置。 ４、マスクと基板とを間に微小間隙を形成してマスク上
に形成された回路パターンを基板上に転写露光するプロ
キシミティ露光装置において、上記基板を載置する基板
載置台と、上記基板を搬送位置決めするために、上記基
板載置台に設けられた複数のエアー吹き出し穴と、該エ
アー吹き出し穴からのエアーの吹き出しを制御する第１
の制御手段と、該第１の制御手段によつて制御されたエ
アー吹き出し穴からのエアーの吹き出しにより上記基板
を浮上させて搬送された該基板の端辺に当接して上記基
板を２軸方向に位置決めすべく、ベアリングにより回転
自在に支持された複数のローラと、該各ローラに基板の
端辺が当接して位置決めされたことを検知する複数の位
置決め完了検知用センサと、該各位置決め完了検知用セ
ンサにおいて基板の位置決めが完了したことが検知され
たとき、上記第１の制御手段を制御して上記基板を基板
載置台に載置すると共に上記複数のローラ及び複数の位
置決め完了検知用センサを待避させる第２の制御手段と
を備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。 ５、上記基板載置台として、基板を真空吸着して載置す
るように構成したことを特徴とする請求項３記載のプロ
キシミティ露光装置。 ６、上記第２の制御手段は、上記Ｘ軸方向用のローラを
支持するＸ軸方向支持部材上に上記Ｘ軸方向用の位置決
め完了検知用センサを取付けてＸ軸方向支持部材をＸ軸
方向及びＺ軸方向に移動できるように構成し、上記Ｙ軸
方向用のローラを支持するＹ軸方向支持部材上に上記Ｙ
軸方向用の位置決め完了検知用センサを取付けてＹ軸方
向支持部材をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動できるように
構成した制御手段を有することを特徴とする請求項３記
載のプロキシミティ露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2292019A JPH04166845A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2292019A JPH04166845A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04166845A true JPH04166845A (ja) | 1992-06-12 |
Family
ID=17776479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2292019A Pending JPH04166845A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 基板の位置決め装置及びプロキシミティ露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04166845A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100529897B1 (ko) * | 2003-04-25 | 2005-11-22 | 엘지전자 주식회사 | 노광기의 피딩장치 |
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| JP2008304853A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Nsk Ltd | 近接スキャン露光装置及びエアパッド |
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1990
- 1990-10-31 JP JP2292019A patent/JPH04166845A/ja active Pending
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| US8567315B2 (en) | 2007-08-20 | 2013-10-29 | Nec Engineering, Ltd. | Plate supply and discharge device and printing plate forming device using same |
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