JP2008304853A - 近接スキャン露光装置及びエアパッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】近接スキャン露光装置1は、複数のマスクMに近接しながらX方向に搬送される基板Wに対して複数のマスクMを介して露光用光ELを照射し、基板Wに複数のマスクMのパターンPを露光する。近接スキャン露光装置1は、基板Wを浮上させて支持する複数のエアパッド23,24,25a,25bを備え、複数のエアパッド23,24,25a,25bのうち、マスクMと対向配置されるエアパッド25aは、マスクMの露光領域より大きい。
【選択図】図6
Description
(1) 複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記基板を浮上させて支持する複数のエアパッドを備え、
前記複数のエアパッドのうち、前記マスクと対向配置される前記エアパッドは、前記マスクの露光領域より大きいことを特徴とする近接スキャン露光装置。
(2) 前記マスクと対向配置される前記エアパッドは、複数の排気孔及び複数の吸気孔を有する吸排気エアパッドであることを特徴とする(1)に記載の近接スキャン露光装置。
(3) 前記複数のエアパッドは、長手方向が前記所定方向と交差する方向に沿うように敷設される前記マスクと対向配置される前記エアパッドと、長手方向が前記所定方向に沿うように敷設される他のエアパッドと、を有することを特徴とする(1)又は(2)に記載の近接スキャン露光装置。
(4) 前記基板が前記マスクと対向配置される領域より上流側に配置される前記エアパッドは、前記長手方向が前記所定方向に沿うように敷設され、複数の排気孔を有する排気エアパッドであることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
(5) 隣接する前記エアパッド間には、少なくとも一つの検出手段が、前記エアパッドの上面より突出しないように配置されていることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
(6) (1)〜(5)のいずれかに記載の近接スキャン露光装置に使用されることを特徴とするエアパッド。
2 装置ベース
3,4,8 レベルブロック
13 メインフレーム
15 サブフレーム
20 基板搬送機構
21 浮上ユニット
23,24 排気エアパッド(エアパッド、他のエアパッド)
25a,25b 吸排気エアパッド(エアパッド)
26 排気孔
27 吸気孔
40 基板駆動ユニット
50 基板プリアライメント機構
51,52 基準ピン
53,54 押し当てピン
60 基板アライメント機構
61 アライメント用カメラ
62 θ補正用吸着ピン
70 マスク保持機構
71 マスク保持部
72 マスク駆動部
80 照射部
82 ガイドレール
83 スライダ
84a,84b ストッパ部材
90 遮光装置
92 ブラインド駆動ユニット
108,109 ブラインド部材
108a,109a 一端部
120 マスクチェンジャー
121 マスクトレー部
125 エアパッド
126 位置決めピン
140 マスクプリアライメント機構
141 排気エアパッド(エアパッド)
143 押し付け板
144 押し付けピン
160,160a,160b,161 レーザー変位計(検出手段、ギャップセンサ)
171 マスクアライメント用カメラ(検出手段)
172 追従用カメラ(検出手段)
173 追従用照明(検出手段)
190 制御部
CP 交換位置
WP 受け渡し位置
EP 露光位置
RP 後退位置
IA 基板搬入側領域
EA マスク配置領域
OA 基板搬出領域
Claims (6)
- 複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記基板を浮上させて支持する複数のエアパッドを備え、
前記複数のエアパッドのうち、前記マスクと対向配置される前記エアパッドは、前記マスクの露光領域より大きいことを特徴とする近接スキャン露光装置。 - 前記マスクと対向配置される前記エアパッドは、複数の排気孔及び複数の吸気孔を有する吸排気エアパッドであることを特徴とする請求項1に記載の近接スキャン露光装置。
- 前記複数のエアパッドは、長手方向が前記所定方向と交差する方向に沿うように敷設される前記マスクと対向配置される前記エアパッドと、長手方向が前記所定方向に沿うように敷設される他のエアパッドと、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の近接スキャン露光装置。
- 前記基板が前記マスクと対向配置される領域より上流側に配置される前記エアパッドは、前記長手方向が前記所定方向に沿うように敷設され、複数の排気孔を有する排気エアパッドであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
- 隣接する前記エアパッド間には、少なくとも一つの検出手段が、前記エアパッドの上面より突出しないように配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の近接スキャン露光装置に使用されることを特徴とするエアパッド。
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