JP2009295950A - スキャン露光装置およびスキャン露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スキャン露光装置1では、基板搬送機構14の第1の基板駆動ユニット16は、露光領域A,第1及び第2の基板保持領域B1,B2、及び第1の基板交換領域C1間で基板WをX方向に沿って往復移動可能であり、第2の基板駆動ユニット17は、露光領域A、第1及び第2の基板保持領域B1,B2、及び第2の基板交換領域C2間で基板WをX方向に沿って往復移動可能である。第1及び第2の基板駆動ユニット16,17は、基板WがY方向に所定の距離移動するように構成される。
【選択図】図1
Description
(1) 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、
前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
を備え、前記搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記各マスクのパターンを露光する露光領域と、該露光領域に対して前記所定の方向の上流側及び下流側にそれぞれ設けられ、前記直交方向に移動される際に前記基板を保持可能な第1及び第2の基板保持領域と、前記第1及び第2の基板保持領域に対して前記露光領域と反対側にそれぞれ設けられ、前記基板を搬入及び搬出可能な第1及び第2の基板交換領域と、が設けられたスキャン露光装置であって、
前記基板搬送機構は、前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域、及び前記第1の基板交換領域間で前記基板を前記所定の方向に沿って往復移動可能な第1の基板駆動ユニットと、前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域、及び前記第2の基板交換領域間で前記基板を前記所定の方向に沿って往復移動可能な第2の基板駆動ユニットと、を備え、
前記第1及び第2の基板駆動ユニットは、前記基板が前記直交方向に所定の距離移動するように構成されることを特徴とするスキャン露光装置。
(2) 前記第1及び第2の基板交換領域では、前記基板のプリアライメントが行われることを特徴とする(1)に記載のスキャン露光装置。
(3) 前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域は、これらの領域における前記基板を浮上搬送するための第1の浮上ユニットと、前記複数のマスク保持部と、前記複数の照射部と、が配置されるメインベッド上に位置し、
前記第1及び前記第2の基板交換領域は、これらの各領域における前記基板を浮上搬送するための第2の浮上ユニットがそれぞれ配置される一対のサブベッド上に位置することを特徴とする(1)又は(2)に記載のスキャン露光装置。
(4) 前記所定の距離とは、前記隣接するマスクのパターンの前記直交方向における中心間距離の略1/2であることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のスキャン露光装置。
(5) 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えるスキャン露光装置のスキャン露光方法であって、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記直交方向に所定の間隔ずつ離れた第1の転写パターンを形成する工程と、
前記複数のマスクに対して前記基板を前記直交方向に所定の距離移動する工程と、
前記所定の方向と反対方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記第1の転写パターン間に第2の転写パターンを形成する工程と、
前記露光装置で露光された露光済みの基板を搬出する工程と、
前記露光装置で露光される未露光基板を搬入する工程と、
を備え、前記第1の転写パターンの形成工程、前記移動工程、及び第2の転写パターンの形成工程を行うタイミングは、前記搬出及び搬入工程を行うタイミングと少なくともオーバーラップすることを特徴とするスキャン露光方法。
(6) 前記未露光基板をプリアライメントする工程を、さらに備え、
前記第1の転写パターンの形成工程、前記移動工程、及び第2の転写パターンの形成工程を行うタイミングは、前記搬出工程、前記搬入工程、及び前記プリアライメント工程を行うタイミングと略一致することを特徴とする(5)に記載のスキャン露光方法。
(7) 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えるスキャン露光装置のスキャン露光方法であって、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記直交方向に所定の間隔ずつ離れた第1の転写パターンを形成する工程と、
前記複数のマスクに対して前記基板を前記所定の方向と反対方向に搬送すると共に、前記直交方向に所定の距離移動する工程と、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記第1の転写パターン間に第2の転写パターンを形成する工程と、
前記露光装置で露光された露光済みの基板を搬出する工程と、
前記露光装置で露光される未露光基板を搬入する工程と、
を備え、前記移動工程において、前記所定の方向と反対方向への搬送と前記直交方向への移動は、同時に行なわれることを特徴とするスキャン露光方法。
また、本発明のスキャン露光方法によれば、第1の転写パターン形成後に第2の転写パターンを形成する前の移動工程において、所定の方向と反対方向(即ち、露光時の搬送方向と反対方向)への搬送と、直交方向への移動は同時に行なわれるので、スループットを向上することができる。
従って、メインベッド23上には、後述する露光領域A、及び露光領域Aの上流側及び下流側にそれぞれ設けられる第1及び第2の基板保持領域B1,B2における基板Wを浮上搬送するための第1の浮上ユニット15aと、複数のマスク保持部11と、複数の照射部13と、が配置される。また、プリアライメント台3,4を構成する各サブベッド26a,26b上には、第1及び第2の基板保持領域B1,B2に対して露光領域Aと反対側にそれぞれ設けられる各第1及び第2の基板交換領域C1、C2における基板Wを浮上搬送するための各第2の浮上ユニット15bがそれぞれ配置される。
さらに、撮像手段35を移動案内軸36によってX方向に移動可能としたので、上流側及び下流側の両側に撮像手段35を設ける必要がなく、コストダウンを図ることができる。
次に、本発明の第2実施形態に係るスキャン露光装置及び露光方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、第1実施形態と同一又は同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
この間、吸着パッド57によって基板W´を吸着・保持した第2の基板駆動ユニット17は、第2の基板交換領域C2aから第1の基板保持領域B1aへ移動する(ステップS11b)。
また、第1の基板交換領域C1aに位置する基板Wも、第1の基板駆動ユニット16のX方向搬送機構50の駆動により、一定の速度でX方向に搬送されて露光領域Aに進入する。そして、第1検知位置SP1に設けられた撮像手段35によって基板WとマスクMとの位置誤差が修正された後、それぞれのマスクMを介して照射部13から露光用光ELが照射されてマスクパターン61が露光転写される。
これにより、露光領域Aを通過して第2の基板交換領域C2aに位置する基板W´と第2の基板保持領域B2aに位置する基板Wには、Y方向に所定の間隔Gずつ離れた複数の第1の転写パターン83が形成される(ステップS14a、ステップS12b)。
同様に、第1の転写パターン83が形成された基板W´も、第2の基板駆動ユニット17のX方向搬送機構51とY方向搬送機構55の両方の駆動により、第2の基板駆動ユニット17の基板Wを保持する吸着パッド57をマスク保持部11に対してY方向に所定の距離Lだけ移動させつつ、X方向に移動させ、第1の基板保持領域B1bに位置させる(ステップS13b)。
また、第1の基板交換領域C1bに位置する基板Wも、第1の基板駆動ユニット16のX方向搬送機構50の駆動により、一定の速度でX方向に搬送されて露光領域Aに進入する。そして、第1検知位置SP1に設けられた撮像手段35によって基板WとマスクMとの位置誤差が修正された後、それぞれのマスクMを介して照射部13から露光用光ELが照射されてマスクパターン62が露光転写して第2の転写パターン84を形成する。
これにより、露光領域Aを通過して第2の基板交換領域C2bに位置する基板W´と第2の基板保持領域B2bに位置する基板Wには、全面にマスクパターン61,62が露光転写される。
また、この露光方法では、第1の転写パターン83の形成後、各基板W,W´をX方向と反対方向への搬送及びY方向への移動が同時に行なわれ、第2の転写パターン84を形成する際の待機位置へ移動させることができるので、スループットを向上することができる。
なお、各基板W,W´をX方向及びY方向に同時に移動させる場合に基板W、W´のアライメントが行なわれてもよい。
この間、第2の基板駆動ユニット17が第2の基板交換領域C2に移動した状態で、基板搬送ロボット6によって第2の基板交換領域C2に基板Wの搬入が行われる(ステップS21b)。そして、搬入された基板Wのプリアライメントが行われた後(ステップS22b)、基板Wが第2の基板駆動ユニット17の吸着バッド57によって吸着・保持される(ステップS23b)。
また、第2の基板交換領域C2aに位置する基板W´は、第2の基板駆動ユニット17のX方向搬送機構51の駆動により、第1の基板保持領域B1aに移動させる(ステップS24b)。
この間、第1の基板交換領域C1bに位置する基板Wは待機しているが、基板W´の露光転写が完了した後、有効なマスクパターンがマスクパターン61からマスクパターン62に切り替えられる(ステップS23a)。
また、第1の転写パターン83が形成された基板W´は、第2の基板駆動ユニット17のX方向搬送機構51とY方向搬送機構55の両方の駆動により、第2の基板駆動ユニット17の基板Wを保持する吸着パッド57をマスク保持部11に対してY方向に所定の距離Lだけ移動させつつ、X方向に移動させ、第1の基板保持領域B1bに位置させる(ステップS27b)。
また、この露光方法では、第1の転写パターン83の形成後、各基板W,W´をX方向と反対方向への搬送及びY方向への移動が同時に行なわれ、第2の転写パターン84を形成する際の待機位置へ移動させることができるので、スループットを向上することができる。
さらに、基板Wの露光動作、すなわち、基板Wの第1の転写パターン83の形成工程と、基板W´の搬入工程を行なうタイミングとがオーバーラップしており、基板W´の第2の転写パターン84の形成工程と、基板Wの搬出工程を行なうタイミングとがオーバーラップしており、スループットを向上することができる。
3,4 プリアライメント台
10 基板搬送機構
11 マスク保持部
13 照射部
16 第1の基板駆動ユニット
17 第2の基板駆動ユニット
35 撮像手段
61 マスクパターン
62 マスクパターン
83 第1の転写パターン
84 第2の転写パターン
A 露光領域
B1 第1の基板保持領域
B2 第2の基板保持領域
C1 第1の基板交換領域
C2 第2の基板交換領域
L 所定の距離
M マスク
W 基板
Claims (7)
- 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、
前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
を備え、前記搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記各マスクのパターンを露光する露光領域と、該露光領域に対して前記所定の方向の上流側及び下流側にそれぞれ設けられ、前記直交方向に移動される際に前記基板を保持可能な第1及び第2の基板保持領域と、前記第1及び第2の基板保持領域に対して前記露光領域と反対側にそれぞれ設けられ、前記基板を搬入及び搬出可能な第1及び第2の基板交換領域と、が設けられたスキャン露光装置であって、
前記基板搬送機構は、前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域、及び前記第1の基板交換領域間で前記基板を前記所定の方向に沿って往復移動可能な第1の基板駆動ユニットと、前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域、及び前記第2の基板交換領域間で前記基板を前記所定の方向に沿って往復移動可能な第2の基板駆動ユニットと、を備え、
前記第1及び第2の基板駆動ユニットは、前記基板が前記直交方向に所定の距離移動するように構成されることを特徴とするスキャン露光装置。 - 前記第1及び第2の基板交換領域では、前記基板のプリアライメントが行われることを特徴とする請求項1に記載のスキャン露光装置。
- 前記露光領域、前記第1及び第2の基板保持領域は、これらの領域における前記基板を浮上搬送するための第1の浮上ユニットと、前記複数のマスク保持部と、前記複数の照射部と、が配置されるメインベッド上に位置し、
前記第1及び前記第2の基板交換領域は、これらの各領域における前記基板を浮上搬送するための第2の浮上ユニットがそれぞれ配置される一対のサブベッド上に位置することを特徴とする請求項1又は2に記載のスキャン露光装置。 - 前記所定の距離とは、前記隣接するマスクのパターンの前記直交方向における中心間距離の略1/2であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のスキャン露光装置。
- 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えるスキャン露光装置のスキャン露光方法であって、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記直交方向に所定の間隔ずつ離れた第1の転写パターンを形成する工程と、
前記複数のマスクに対して前記基板を前記直交方向に所定の距離移動する工程と、
前記所定の方向と反対方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記第1の転写パターン間に第2の転写パターンを形成する工程と、
前記露光装置で露光された露光済みの基板を搬出する工程と、
前記露光装置で露光される未露光基板を搬入する工程と、
を備え、前記第1の転写パターンの形成工程、前記移動工程、及び第2の転写パターンの形成工程を行うタイミングは、前記搬出及び搬入工程を行うタイミングと少なくともオーバーラップすることを特徴とするスキャン露光方法。 - 前記未露光基板をプリアライメントする工程を、さらに備え、
前記第1の転写パターンの形成工程、前記移動工程、及び第2の転写パターンの形成工程を行うタイミングは、前記搬出工程、前記搬入工程、及び前記プリアライメント工程を行うタイミングと略一致することを特徴とする請求項5に記載のスキャン露光方法。 - 所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、前記直交方向に並んで配置され、複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えるスキャン露光装置のスキャン露光方法であって、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記直交方向に所定の間隔ずつ離れた第1の転写パターンを形成する工程と、
前記複数のマスクに対して前記基板を前記所定の方向と反対方向に搬送すると共に、前記直交方向に所定の距離移動する工程と、
前記所定の方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射して、前記基板に前記各マスクのパターンを露光することで、前記第1の転写パターン間に第2の転写パターンを形成する工程と、
前記露光装置で露光された露光済みの基板を搬出する工程と、
前記露光装置で露光される未露光基板を搬入する工程と、
を備え、前記移動工程において、前記所定の方向と反対方向への搬送と前記直交方向への移動は、同時に行なわれることを特徴とするスキャン露光方法。
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