TWI602005B - Polarization polarized light irradiation device - Google Patents

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Description

光定向用偏極化光照射裝置
本發明是關於進行光定向時所進行之偏極化光的照射技術。
近年來，在獲得以液晶面板為開始的液晶顯示元件的定向膜或視野角補償膜的定向層時，漸採用藉著光照射進行定向的稱為光定向的技術。以下，將藉著光照射產生定向的膜或層總稱為光定向膜。此外，「定向膜」以至於「定向處理」是針對對象物的某種性質賦予方向性。
進行光定向的場合，藉著對光定向膜用的膜(以下稱膜材)照射偏極化光來進行。膜材是例如聚醯亞胺的樹脂製，將朝著預定方向(應定向的方向)偏光的偏極化光照射於膜材。藉著預定波長的偏極化光的照射，使膜材的分子構造(例如側鏈)成對齊於偏極化光的方向的狀態，獲得光定向膜。
光定向膜會隨著使用該膜的液晶面板的大型化而大型化。因此，所要求偏極化光的照射區域的寬幅成 為從1500mm以上的寬幅化。作為具備以上的寬廣照射區域的偏極化光照射裝置有例如專利文獻1所揭示的裝置。該裝置具備相當於照射區域寬度的長度的棒型光源，及使來自該光源的光偏光的金屬線格偏光元件，對著朝正交於光源長方向的方向搬運的膜材照射偏極化光。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本專利第4815995號公報
以上的光定向用的偏極化光照射裝置中，偏極化光照射的對象物(工件)為膜材連續成連接的長尺寸物(以下稱長尺寸工件)的場合，膜材已經設置在液晶基板上，帶有膜材的液晶基板為工件的場合。
專利文獻1中，揭示有將長尺寸工件捲繞成輥狀，從輥拉出長尺寸工件照射偏極化光的裝置。輥對輥的搬運時偏極化光所照射的長尺寸工件是在預定的位置裁斷之後，黏合於液晶基板。另一方面，針對相對於帶有膜材的液晶基板照射偏極化光的偏極化光照射裝置，則未見有可效率良好(短的黏合時間)製程的裝置構成的先前文獻。
本發明有鑑於以上的狀況，以提供一種可對如附帶膜的液晶基板的帶有膜材的板狀構件進行光定向製程的裝 置，可實現高生產性的裝置及方法為解決課題。
為解決上述課題，本案的請求項1記載的發明具備：照射單元，對所設定的照射區域照射偏極化光；載台，載放帶有光定向用膜材的基板；及載台移動機構，使該載台在該照射區域移動藉此對該載台上的該基板照射偏極化光，作為該載台設有第一第二的兩個載台，該載台移動機構是使該第一載台從設定在該照射區域的一方側的第一基板搭載位置移動到該照射區域，通過藉上述照射單元所照射偏極化光的該照射區域，並使得該第二載台從設定於該照射區域的另一方側的第二基板搭載位置移動到該照射區域，通過藉上述照射單元所照射偏極化光的該照射區域的機構，該載台移動機構是在該第一載台上的該基板從該第一基板搭載位置移動至通過該照射區域而到達第一前進到達位置之後使該第一載台回到該第一基板搭載位置，並在該第二載台上的該基板從該第二基板搭載位置移動至通過該照射區域而到達第二前進到達位置之後使得該第二載台回到該第二基板搭載位置的機構，其中，上述第一前進到達位置及上述第二前進到達位置分別與上述照射區域的距離為至少一個基板的長度，且一方的載台在進行照射偏極化光的同時，另一方的另一載台在進行回收基板動作及搭載 基板動作中的至少一個動作，上述照射單元是在上述第一第二的各載台進行去路移動時與進行回程路移動時的雙方，對各載台上的該基板的相同位置照射偏極化光，累計去路照射的曝光量與回程路照射的曝光量，設從一方的該載台回收該基板所需的時間為TL1；該基板搭載於一方的該載台所需的時間TL2；搭載於一方該的載台之該基板的調準所需的時間TL3；從另一方的該載台的基板搭載位置移動至一方的該載台的前進到達位置所需的時間為TE1時，控制成為TL1+TL2+TL3≦TE1的關係的構成。
如以下說明，根據本案的請求項1記載的發明，藉著使兩個步驟交替通過照射區域，可對各載台上的基板照射偏極化光，並可藉黏合時間的減少實現生產性高的光定向製程。此時，由於在第一基板搭載位置與照射區域之間，確保有第二載台上的基板可通過照射區域的量以上的空間，在第二基板搭載位置與照射區域之間，確保有第一載台上的基板可通過照射區域的量以上的空間，因此載台彼此間不會干涉而可進行均勻度高的光定向處理。
並且，根據本發明，除了上述效果外，由於第一第二的各載台上的基板，在去路與回程路的雙方進行光照射，所以可不浪費能源地有效進行光定向處理，並可增加移動 速度進一步提高生產性。
又，根據本發明，除了上述效果外，由於具備基板調準器，所以基板可相對於偏極化光的偏光軸朝著預定方向的狀態精度良好地照射偏極化光。因此，可維持高的光定向處理的精度與品質。
又，根據本發明，除了上述效果外，由於引導構件兼用於第一第二的載台的移動，所以載台移動機構的構成變得單純，並可獲得廉價的裝置成本。
1‧‧‧照射單元
11‧‧‧光源
14‧‧‧偏光元件
21‧‧‧載台
22‧‧‧載台
20A‧‧‧固定底座
20B‧‧‧活動底座
3‧‧‧載台移動機構
31‧‧‧引導構件
321‧‧‧滾珠螺桿
322‧‧‧滾珠螺桿
331‧‧‧驅動源
332‧‧‧驅動源
4‧‧‧控制單元
5‧‧‧升降銷
6‧‧‧基板調準器
S‧‧‧基板
R‧‧‧照射區域
第1圖為本發明的實施形態相關的光定向用偏極化光照射裝置的透視概略圖。
第2圖為第1圖表示的偏極化光照射裝置的前面概略圖。
第3圖為第1圖表示的載台移動機構3的上面概略圖。
第4圖表示載台21、22的基板S的搭載或回收用的機構的透視概略圖。
第5圖是針對實施形態的裝置所具備基板調準器6的概略表示的透視圖。
第6圖為安裝於控制單元4的序列程式說明用的圖，概略表示裝置的動作的圖。
接著，針對實施本發明用的形態(以下，稱實施形態)說明。
第1圖為本發明的實施形態相關的光定向用偏極化光照射裝置的透視概略圖。第1圖表示的偏極化光照射裝置成為以如帶有膜材液晶基板的基板S為工件進行光定向處理的裝置。
具體而言，第1圖的裝置具備：朝所設定的照射區域R照射偏極化光的照射單元1；載放著基板S的載台21、22；及使載台21、22在照射區域R移動，藉此對載台21、22上的液晶基板S照射偏極化光的載台移動機構3。
如第1圖表示，該實施形態中，合併設有兩個照射單元1。合併設置的方向為載台21、22的移動方向。各照射單元1為相同的構成，形成以大致矩形的圖形R1照射偏極化光。因此，該實施形態中，設定兩個大致矩形的照射圖形R1所成(包絡兩個照射圖形R1)的大致矩形的區域作為照射區域R。並且，兩個照射圖形R1也可以部份重疊，也可以不重疊。並且，如第1圖表示，照射區域R為水平面內的區域。
載台移動機構3為通過上述照射區域R使載台21、22移動的機構。該實施形態中，載台21、22是以水平的姿勢配置，移動方向為水平方向。以下，為說明的方便，稱載台移動機構3進行的移動方向為長方向，與移動方向垂直的水平方向稱為寬方向。
第2圖為第1圖表示的偏極化光照射裝置的前面概略圖。如第2圖表示，照射單元1是由：光源11；設置在光源11背後的鏡子12；將光源11與鏡子12收容在內部的燈罩13；及偏光元件14等所構成。
光源11為使用棒形的燈。本實施形態是以紫外線區的光進行光定向，所以使用高壓水銀的燈或對水銀施加其他金屬的金屬鹵化物水銀燈等。也可以排列複數個放射紫外線區所需波長的光的LED來獲得長的照射圖形。鏡子12作為有效進行偏極化光照射之用，因此使用剖面為橢圓或形成拋物線一部分形狀的管狀鏡子。一邊形成開縫配置長尺寸的左右一對鏡子，形成大致管狀的鏡子。
偏光元件14是使得從光源11所放射的光形成光定向所需的偏極化光的元件。作為偏光元件14可使用在透明基板上設置條紋狀的絕緣體(或導電性或半導體)材料所成微小格子的金屬線格偏光元件。燈罩13具有光照射口，將偏光元件14配置在光源11與光照射口之間的配置。並且，一個偏光元件14多形成為矩形小元件的場合，通常，採用將偏光元件14複數個排列於寬方向(光源11的長方向)對照射區域R照射偏極化光的構成。又，偏光元件14也有採用作為與燈罩13不同單元(偏光元件單元)而安裝在燈罩13的構造。其他，也有配置波長選擇等、調整照射之偏極化光的特性用的濾器。
另一方面，如第1圖表示，該實施形態的裝置具備兩個載台21、22。以下，設兩個載台21、22為第 一載台21、第二載台22。針對移動該等載台21、22的載台移動機構3，使用第1圖、第2圖及第3圖進一步詳細說明。第3圖為第1圖表示的載台移動機構3的上面概略圖。此外，第2圖與其控制系一起表示第1圖表示的載台移動機構3。
如第1圖~第3圖表示，載台移動機構3包含：貫穿照射區域R延伸的引導構件31，沿著引導構件31使第一第二載台21、22移動的驅動源321、322。如第1圖及第3圖表示，隔著照射區域R設有兩個引導構件31。引導構件31具體為線性導件，呈彼此平行延伸。兩個載台21、22是沿著兩個引導構件31而被引導移動。亦即，兩個引導構件31成為可兼用於第一載台21的引導與第二載台22的引導。
在第一載台21的下面固定有一對導塊211。導塊211的固定位置是與兩側的引導構件31的位置對應。導塊211內設有軸承，以兩側的引導構件31貫穿導塊211的狀態配置有第一載台21，使得第一載台21可藉著引導構件31被引導。第二載台22也是同樣的構造，在固定於下面的一對導塊211貫穿有引導構件31，藉此被引導而移動。
各載台21、22的移動是驅動源321、322轉動滾珠螺桿331、332來進行。亦即，如第1圖及第3圖表示，載台移動機構3具備：移動第一載台21的第一滾珠螺桿331，及移動第二載台22的第二滾珠螺桿332。
第一滾珠螺桿331的一端是連結於第一驅動源321，另一端被以軸承333所支撐。同樣地，第二滾珠螺桿332的一端是連結於第二驅動源322，另一端被以軸承334所支撐。第一第二滾珠螺桿331、332是相對於一對引導構件31延伸的方向配置成精度良好地平行延伸。
在第一載台21下面的大致中央，固定有栓鎖(螺紋彼此咬合)於第一滾珠螺桿331的被驅動塊212。第一驅動源321是有如AC伺服馬達的馬達，第一驅動源321一旦旋轉第一滾珠螺桿331時，一邊被一對引導構件31所引導並使得第一載台21成直線移動。同樣，在第二載台22下面的大致中央，固定有栓鎖於第二滾珠螺桿332的被驅動塊222，第二驅動源322一旦旋轉第二滾珠螺桿332時，一邊被一對引導構件31所引導並使得第二載台22成直線移動。
又，實施形態的偏極化光照射裝置具備控制裝置整體的控制單元4。在控制單元4具有記憶載台移動機構3等的各部動作控制用的序列程式的記憶部41，及執行序列程式的運算處理部42等。來自控制單元4的控制訊號被傳送到包含兩個驅動源321、322的裝置的各部。
另一方面，實施形態的偏極化光照射裝置也具備對載台21、22上之基板S的搭載或從載台21、22之基板S的回收用的機構。針對該點，使用第4圖加以說明。第4圖是表示載台21、22的基板S的搭載或回收用 的機構的透視概略圖。
為進行偏極化光照射而有將基板S載放在載台21、22上的必要，並有針對偏極化光照射結束後的基板S從載台21、22回收的必要。該等的動作雖也有以手操作進行的場合，但是在量產線通常是以機器人進行。此時，有機器人的手臂不會干涉載台21、22的必要。為此之構成，實施形態的載台21、22內設有升降銷5。
亦即，如第4圖表示，在載台21、22設有銷用孔50。銷用孔50為上下延伸的孔，到達載台21、22的表面。銷用孔50是相對於載台21、22的中央成均等的位置設有3~4個左右，在各銷用孔50內配置有升降銷5。各升降銷5可藉著未圖示的升降機構同步升降。在載台21、22上載放基板S時，使各升降銷5上升至上限位置。在此狀態下，保持著基板S的機器人使基板S在載台21、22的上方移動，以其狀態下降後將基板S載放在各銷上。隨後在機器人的手臂退避之後，使各升降銷5成一體下降將基板S載放在載台21、22上。
在偏極化光照射後回收基板S時，進行與此相反的動作，使各升降銷5一體上升舉起基板S，使機器人的手臂進入到被舉起後的基板S的下側進行基板S的回收。此外，作為在機器人的作動範圍搬運基板S的機構是使用如AGV(Auto Guided Vehicle)的機器人搬運機構或空氣輸送帶的單張式搬運機構。
實施形態的裝置是藉載台移動機構3移動第 一第二載台21、22，交替通過照射區域R藉此對於各載台21、22上的基板S交替地照射偏極化光。此時，嘗試使基板S上的各點偏極化光的累計曝光量不致於不均勻。以下，針對該點參閱第3圖加以說明。
實施形態的裝置中，對第一載台21之基板S的搭載和從第一載台21的基板S的回收是在相同的位置進行。以下，將此位置稱為第一基板搭載回收位置。並且，對第二載台22之基板S的搭載和從第二載台22的基板S的回收也是在相同的位置進行。以下，將此位置稱為第二基板搭載回收位置。第一基板搭載回收位置被設定在照射區域R的一方側(例如第3圖表示的左側)，而第二基板搭載回收位置被設定在照射區域R的另一方側(例如第3圖表示的右側)。
載台移動機構3在第一基板搭載位置將搭載著基板S的第一載台21移動至照射位置R並通過，隨後返回。並且，在第一基板搭載位置從第一載台21回收基板S。又，載台移動機構3在第二基板搭載回收位置將搭載著基板S的第二載台22移動至照射位置R並通過，隨後返回。並且，在第二基板搭載回收位置從第二載台22回收基板S。再者，為說明的方便上，稱第一載台21前進並後退滾動時的位置為第一前進到達位置，稱為第二載台22前進並後退滾動時的位置為第二前進到達位置。並且，在第2圖及第3圖中，以符號21’表示位於第一前進到達位置的第一載台，以符號22’表示位於第二前進到達 位置的第二載台。
如以上實施形態的裝置中，各基板搭載回收位置是對應各載台21、22，照射區域R的位置或大小等予以最適當化。亦即，實施形態的裝置中，作為位在第一基板搭載回收位置的第一載台21與照射區域R之間的空間(以下，稱第一空間)，至少確保第二載台22上的基板S的長度(載台21、22移動方向的長度)以上。亦即，第一空間成為即使第二載台22’到達第二前進到達位置時僅不與第一載台21干涉的空間。最好是第一空間的長度(第2圖以L1表示)成為第二載台22的長度以上。
又，作為位在第二基板搭載回收位置的第二載台22與照射區域R之間的空間(以下，稱第二空間)，至少確保第一載台21上的基板S的長度以上。亦即，第二空間成為即使第一載台21’到達第一前進到達位置時僅不與第二載台22干涉的空間。最好是第二空間的長度(第2圖以L2表示)成為第一載台21的長度以上。
該實施形態中，第一載台21與第二載台22為相同尺寸W，因此L1=L2>W。進一步表示具體的一例時，例如設基板S為1500×1800mm左右的尺寸時，設各載台21、22的長度W為1550×1850mm左右，並設L1=L2為2600mm左右。為確保如以上的空間，選擇載台移動機構3的滾珠螺桿331、332等的長度，並設定各載台21、22的移動行程。
並且，實施形態的裝置具備為了進行正確光 定向用的偏極化光照射之調節基板S的位置與方向的基板調準器6。針對基板調準器6，使用第5圖說明。第5圖是針對實施形態的裝置所具備基板調準器6的概略表示的透視圖。第5圖中，作為一例雖表示設置在第一載台21的基板調準器6，但對於第二載台22也是相同。
如第5圖表示，第一載台21是由固定底座20A與固定底座20A上的活動底座20B等所構成。上述的被驅動塊212或導塊211是形成固定在固定底座20A下面的構件。
活動底座20B在固定底座20A上被設置成可在XYθ的方向移動。亦即，在固定底座20A上設置XYθ移動機構62，XYθ移動機構62可使活動底座20B在XYθ方向移動進行活動底座20B的位置與姿勢的微調節。並且，此時的XY方向為水平面內的正交方向，例如X方向為長方向(移動方向)，Y方向為寬方向。θ是相對於XY方向的垂直軸周圍的圓周方向，該例為垂直軸周圍的圓周方向。以上的XYθ移動機構62是由各公司所販售的種種的種類，可適當選擇組裝，因此省略詳細說明及圖示。
並且，針對XYθ移動機構62是針對XY方向中的其中任一方向可與載台移動機構3的移動兼用，作為Xθ移動機構或Yθ移動機構。
另一方面，在載放於載台21、22的基板S施以調準標記S1。基板調準器6，主要是以攝影調準標記 S1的調準感測器61；上述XYθ移動機構62；及根據來自調準感測器61的輸出控制XYθ移動機構62的調準用控制部63所構成。
調準標記S1通常是在基板S上的預定位置設置兩處。調準感測器61是根據調準標記S1的位置及應調準的基準位置或基準方向在預定的位置設置兩個可進行調準標記S1的攝影。
表示一例時，如第5圖表示，調準標記S1設置在沿著方形的基板S的寬方向的兩個角部。調準感測器61是相對於第一載台21配置在進行基板S的搭載動作的位置(以下，稱搭載位置)的上方。兩個調準感測器61的位置是與基板S上的調準標記S1的分開距離一致，連結兩個調準感測器61的線則是與載台移動機構3中的寬方向一致。
如上述在第一載台21搭載著基板S時，形成各調準感測器61進行各調準標記S1攝影的狀態。在各調準感測器61的攝影區內設定有基準位置，該基準位置為調準標記S1的中心應定位的位置。
調準用控制部63進行從各調準感測器61的輸出數據(圖像數據)的處理，控制XYθ移動機構62進行調準。具體而言，調準用控制部63，根據兩個調準感測器61檢測的各個調準標記S1的位置資訊，及預先輸入調準用控制部63的兩個調準標記S1的距離資訊，進行載台22的XYθ方向的移動距離數據的運算以使得調準感測 器61攝影的調準標記S1的重心位於基準位置，並控制XYθ移動機構62使得活動底座20B在XYθ方向移動。藉此結束調準。
調準一旦結束時，連結兩個調準標記的S1的線(已搭載基板S的寬方向)成為精度良好定位於載台移動機構3的寬方向的狀態。寬方向的基板S的位置也形成為預定的位置。所謂預定位置是例如兩個引導構件31的正中央的位置。
XYθ移動機構62在將基板S載放於活動底座20B上的期間，固定活動底座20B的位置及姿勢。因此，基板S為寬方向與載台移動機構3的寬方向精度良好地一致，在寬方向以位在預定位置的狀態朝著移動方向直線移動進行搬運。
再者，在調準感測器61進行調準標記S1攝影的活動底座20B上的位置有進行基板S粗定位配置的必要，但此一配置在以機器人進行基板S搭載的場合，以對機器人的教導即已足夠。以手動操作進行的場合，在活動底座20B上設置如承板的構件，並將基板S抵接於此配置可進行粗定位。
又，實施形態的裝置具備確認兩個載台21、22的位置或狀態用的數個感測器。針對此點，使用第2圖說明。
首先，在各載台21、22內設置檢測基板S的載放的感測器(以下，稱基板感測器)71。並在載台移動機構3 配置：檢測第一載台21位於第一基板搭載回收位置的感測器(以下，稱第一裝載位置感測器)72；檢測第一載台21位於前進到達位置的感測器(以下，稱第一到達位置感測器)73；檢測第二載台22位於第二基板搭載回收位置的感測器(以下，稱第二裝載位置感測器)74；及檢測第二載台22位於前進到達位置的感測器(以下，稱第二到達位置感測器)75。該等感測器71~75的輸出被傳送到控制到控制單元4。各感測器71~75是如近程感測器、極限感測器的機械式感測器，或從光感測器等適當選擇來使用。
接著，一邊參閱第6圖說明安裝在控制單元4的序列程式。第6圖為安裝於控制單元4的序列程式說明用的圖，概略表示裝置的動作的圖。以下的說明也是光定向用偏極化光照射方法的實施形態的說明。
裝置的作動開始的初期狀態是如第6(1)圖表示，第一載台21是位在第一基板搭載回收位置，第二載台22是位在第二基板搭載回收位置。在此狀態下，第6圖中未圖示的機器人首先將基板S載放於第一載台21。第一載台21內的基板感測器71檢測基板S的載放並將此訊號傳送到控制單元4時，序列程式使第一載台21上的基板S用的基板調準器6動作。其結果，活動底座20B在XYθ方向移動使基板S的位置及姿勢成預定狀態。
接著，序列程式將控制訊號傳送至載台移動機構3，驅動第一驅動源321使第一載台21以預定的行 程前進。所謂預定的行程是如第6(2)圖表示，第一載台21通過照射區域R到達第一前進到達位置的行程。第一前進到達位置是第一載台21的後端與照射區域R的端一致的位置，或稍微超過的位置。
以第一到達位置感測器73確認第一載台21已到達第一前進到達位置時，序列程式將控制訊號傳送到第一驅動源321，使第一載台21反轉，僅以相同的行程後退。藉此，如第6(3)圖表示，第一載台21回到第一基板搭載回收位置。在此期間，第二基板搭載回收位置則是進行基板S對第二載台22的搭載動作。亦即，機器人根據來自序列程式的控制訊號在預定的時差中將基板S載放於第二載台22。第二載台22中，同樣在基板感測器71確認基板S的載放之後，序列程式使第二載台22上的基板S用的基板調準器6動作，進行調準。如第6(3)圖表示第一載台21在回到第一基板搭載回收位置時，結束第二載台22的調準。
在此狀態下，序列程式將控制訊號傳送至第二驅動源322，驅動第二驅動源322使第二載台22前進預定的行程。所謂預定的行程是如第6(4)圖表示，第二載台22通過照射區域R到達第二前進到達位置的行程。第二前進到達位置是第二載台22的後端與照射區域R的端一致的位置，或稍微超越該端的位置。
以第二到達位置感測器75確認第二載台22已到達第二前進到達位置時，序列程式對第二驅動源322 傳送控制訊號，使第二載台22反轉，僅以相同的行程後退。藉此，如第6(5)圖表示，第二載台22回到第二基板搭載回收位置。在此期間，第一基板搭載回收位置中，第一裝載位置感測器72在確認第一載台21已位於第一基板搭載位置之後，進行從第一載台21之基板S的回收與下一個基板S對第一載台21的搭載。亦即，機器人從第一載台21取去基板S，將下一個基板S搭載於第一載台21。
並且，如第6(5)圖表示第二載台22回到第二基板搭載位置時，結束下一個基板S對第一載台21的搭載動作，且結束對其基板S之調準的狀態。序列程式在第6(5)圖的狀態中，再次對第一驅動源321送出控制訊號，使第一載台21前進到第一前進到達位置為止，並驅動第一驅動源321使其回到第一基板搭載回收位置為止。在此期間，第二基板搭載回收位置中，第二裝載位置感測器74在確認第二載台22已位於第二基板搭載回收位置之後，進行從第二載台22之基板S的回收與下一個基板S對第二載台22的搭載，進行第二載台22的調準。以後的動作為同樣，設計序列程式使裝置重複以上的動作在兩個載台21、22上交替進行光定向。並且，基板S是藉著如AGV或輸送帶等的搬運機構搬運至機器人為止，進行光定向之後，利用搬運機構搬運到下一個製程用的裝置的位置。
根據如上述的構成及動作相關實施形態的光 定向用偏極化光照射裝置或方法，使兩個載台21、22交替通過偏極化光所照射的一個照射區域R藉此對各載台21、22上的基板S照射偏極化光，所以偏極化光正在照射一方載台21、22上的基板S的期間，在另一方的載台21、22可進行基板S的回收動作及下一個基板S的搭載動作。因此，可大幅縮短黏合時間，實現生產性更為提升的光定向製程。
此時，在第一基板搭載回收位置與照射區域R之間，確保有第二載台22上的基板S的長度量以上的空間L1，並在第二基板搭載回收位置與照射區域R之間，確保有第一載台21上的基板S的長度量以上的空間L2，所以載台21、22彼此不會干涉地使各基板S通過照射區域R。
假如各基板搭載回收位置與照射區域R之間的空間小於各基板S的長度時，則載台21、22不能彼此不干涉地使基板S通過照射區域R。此時，針對基板S上的長度方向(移動方向)後側的區域，偏極化光的曝光量和其他的區域比較減少，而使得光定向處理變得不均勻。
針對黏合時間多少進行嚴格討論時，設從一方的載台21、22回收基板S所需的時間為TL1、基板S搭載於一方的載台21、22所需的時間為TL2、搭載基板S的調準所需的時間為TL3、從另一方的載台21、22的基板搭載回收位置移動至前進到達位置所需的時間為TE1、從另一方的前進到達位置至回到基板搭載回收位置為止的時 間為TE2的場合，形成TL1+TL2+TL3≦TE1+TE2。
但是，一方的載台21、22也可持續朝回程路移動(從前進到達位置回到基板搭載回收位置的移動)進行其他載台21、22的去路移動(從基板搭載位置至前進到達位置為止的移動)，此時，則形成TL1+TL2+TL3≦TE1。如此一來，可進一步縮短黏合時間。
上述的例雖是使針對一方載台21、22進行基板S的回收及搭載的時間帶的全部與另一方載台21、22進行移動的時間帶重疊，但也可以部份重疊。此時，另一方面，載台21、22中即使基板S的搭載結束但其他的載台21、22的移動尚未結束，所以會產生待機的時間。待機時間一旦產生時會增長該量的黏合時間，但是與僅有一個載台的場合比較仍可縮短黏合時間，提高其生產性。
此外，上述實施形態中，各載台21、22是在到達各前進到達位置時和從各前進位置回到基板搭載回收位置為止時照射偏極化光，使雙方的曝光量成為累計曝光量。但是，這並非必要條件，例如也可以在回程時以阻隔件阻隔光或關掉光源11，成為不照射偏極化光的狀態。但是以阻隔件阻隔時會造成光源11點亮的浪費，且點亮或關掉光源11時，會使得點燈狀態至穩定為止的不穩定時間帶變長。並且，僅進行去路或回程路一方的偏極化光照射時，為了確保所需的累計曝光量而有不得不使載台21、22的移動速度變慢的問題。在去路與回程路照射偏極化光時，則不會有以上的問題，可增加移動速度來進一 步提高生產性。
並且，實施形態的裝置是在搭載於載台21、22的基板S的調準進行之後，進行照射區域R的通過動作，所以所照射偏極化光的偏光軸的方向會精度良好地與和預定的方向一致。因此，可進一步提高光定向處理的品質。
照射在照射區域R的偏極化光的偏光軸的方向是由偏光元件14的姿勢所規定。上述的金屬線格偏光元件的場合，具有電場成分的偏極化光會大量照射在與金屬線格(條紋的格子)延伸的方向垂直的方向，將膜材定向於該方向。實施形態的裝置是例如配置偏光元件14使偏光軸朝向第1圖表示的載台移動機構3的寬方向(照射單元1內的光源11的長方向)。此時，載台21、22上的基板S的寬方向只要精度良好地與載台移動機構3的寬方向一致時，基板S上的膜材也可在寬方向精度良好地進行光定向。各基板調準器6是如上述具有使光定向的方向精度良好地與預定方向一致的意義。
此外，光定向的方向精度主要雖是在θ方向的調準，但是寬方向的調準具有從照射區域R搬運基板S不致使一部份露出的意義。照射區域R是在其區域內設定偏極化光的照度成非常均勻的區域，所以其區域露出時，露出的部份會降低偏極化光的照度以致曝光量不足。因此，該部份會變得光定向不足。本實施形態也進行寬方向的調準，因此不會有以上的問題。
又，實施形態的裝置中，一對引導構件31兼用於第一第二載台21、22的移動，所以載台移動機構3的構成變得單純，且裝置的成本也可較為廉價。但是，針對第一第二的各載台21、22，也可分別以其他的引導構件引導的構成。
又，載台移動機構3也可使用如空氣上浮並以磁力移動的線性馬達載台。並且，使用線性馬達載台的場合也可不需要引導機構。
上述實施形態中，雖有必要將針對第一載台21之基板S的搭載位置與回收位置設定在照設區域R的一方側，將針對第二載台22之基板S的搭載位置與回收位置設定在照設區域R的另一方側，但是在一方側中搭載位置與回收位置並無位在相同位置的必要，對於另一方側也相同。例如在一方側中，也可將基板回收位置設定在從基板搭載位置看去時接近照射區域R的位置。此時，將光定向後的基板S在基板回收位置從載台21、22抽去之後，使得該等載台21、22進一步後退到達基板搭載位置，並在此搭載下一個基板S。此時，針對基板回收位置也有即使不確保如上述空間L1、L2量也不致有問題的場合。
並且，雖有將兩個載台21、22交替通過一個照射區域R的必要，但是照射單元1可不須如上述為兩個的必要，也可以僅一個照射單元1對一個照射區域R照射偏極化光的構成。也可以三個以上的照射單元1對一個照 射區域R照射偏極化光的構成。
再者，本發明中，「載台」的用語有較通常進一步廣為解釋的必要。即，在具有如真空吸附的吸附孔的複數個銷上載放基板S並將基板S吸附於該等複數個銷上，使複數個銷成一體移動使基板S通過照射區域的場合。因此，「載台」只要是可一邊保持基板一邊使基板移動的構成即可，並不限於梯形的構件。
針對機器人，也有一個機器人在第一第二載台21、22之間進行基板S的搭載與回收的場合，也有在第一第二載台21、22分別設有機器人而分別進行基板S的搭載及回收的場合。
又，作為基板S雖假設黏貼著膜材的液晶基板，但是也有以液晶顯示器以外的顯示裝置用的基板作為對象物來進行光定向用偏極化光照射的場合，也有以視野角補償的目的而照射偏極化光的場合。
1‧‧‧照射單元
3‧‧‧載台移動機構
4‧‧‧控制單元
11‧‧‧光源
12‧‧‧鏡子
13‧‧‧燈罩
14‧‧‧偏光元件
21‧‧‧載台
21’‧‧‧第一載台
22‧‧‧載台
22’‧‧‧第二載台
31‧‧‧引導構件
41‧‧‧記憶部
42‧‧‧運算處理部
71‧‧‧感測器(基板感測器)
72‧‧‧感測器(第一裝載位置感測器)
73‧‧‧感測器(第一到達位置感測器)
74‧‧‧感測器(第二裝載位置感測器)
75‧‧‧感測器(第二到達位置感測器)
211‧‧‧導塊
321‧‧‧滾珠螺桿
322‧‧‧滾珠螺桿
331‧‧‧驅動源
332‧‧‧驅動源
L1‧‧‧空間
L2‧‧‧空間
S‧‧‧基板
R‧‧‧照射區域
R1‧‧‧矩形的圖形

Claims (1)

  1. 一種光定向用偏極化光照射裝置，其特徵為，具備：照射單元，對所設定的照射區域照射偏極化光；載台，載放帶有光定向用膜材的基板；及載台移動機構，使該載台在該照射區域移動藉此對該載台上的該基板照射偏極化光，作為該載台設有第一第二的兩個載台，該載台移動機構是使該第一載台從設定在該照射區域的一方側的第一基板搭載位置移動到該照射區域，通過藉上述照射單元所照射偏極化光的該照射區域，並使得該第二載台從設定於該照射區域的另一方側的第二基板搭載位置移動到該照射區域，通過藉上述照射單元所照射偏極化光的該照射區域的機構，該載台移動機構是在該第一載台上的該基板從該第一基板搭載位置移動至通過該照射區域而到達第一前進到達位置之後該使第一載台回到該第一基板搭載位置，並在該第二載台上的該基板從該第二基板搭載位置移動至通過該照射區域而到達第二前進到達位置之後使得該第二載台回到該第二基板搭載位置的機構，其中，上述第一前進到達位置及上述第二前進到達位置分別與上述照射區域的距離為至少一個基板的長度，且一方的載台在進行照射偏極化光的同時，另一方的另一的載台在進行回收基板動作及搭載基板動作中的至少一個動作， 上述照射單元是在上述第一第二的各載台的去路移動時與回程路移動時的雙方，對各載台上的該基板的相同位置照射偏極化光，累計去路照射進行的曝光量與回程路照射進行的曝光量，設從一方的該載台回收該基板所需的時間為TL1；該基板搭載於一方的該載台所需的時間TL2；搭載於一方的該載台之該基板的調準所需的時間TL3；及從另一方的載台的基板搭載位置移動至一方的載台的前進到達位置所需的時間為TE1時，控制成為TL1+TL2+TL3≦TE1的關係。
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