JP4622409B2 - 光配向方法 - Google Patents

光配向方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4622409B2
JP4622409B2 JP2004269709A JP2004269709A JP4622409B2 JP 4622409 B2 JP4622409 B2 JP 4622409B2 JP 2004269709 A JP2004269709 A JP 2004269709A JP 2004269709 A JP2004269709 A JP 2004269709A JP 4622409 B2 JP4622409 B2 JP 4622409B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarization axis
polarized light
alignment
alignment film
photo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2004269709A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006084800A (ja
Inventor
サユ 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Original Assignee
Ushio Denki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Denki KK filed Critical Ushio Denki KK
Priority to JP2004269709A priority Critical patent/JP4622409B2/ja
Priority to TW100149975A priority patent/TW201217870A/zh
Priority to TW094118406A priority patent/TW200611033A/zh
Priority to KR1020050064901A priority patent/KR100865978B1/ko
Priority to DE602005015921T priority patent/DE602005015921D1/de
Priority to EP05020042A priority patent/EP1637922B1/en
Priority to CNB2005100992968A priority patent/CN100451772C/zh
Priority to US11/226,226 priority patent/US7507448B2/en
Publication of JP2006084800A publication Critical patent/JP2006084800A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4622409B2 publication Critical patent/JP4622409B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133788Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K2323/00Functional layers of liquid crystal optical display excluding electroactive liquid crystal layer characterised by chemical composition
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K2323/00Functional layers of liquid crystal optical display excluding electroactive liquid crystal layer characterised by chemical composition
    • C09K2323/02Alignment layer characterised by chemical composition

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)

Description

本発明は、液晶表示素子の配向膜や、液晶パネルに取り付ける視野角補償フィルムに偏光光を照射して、光配向を行なう光配向方法に関し、特に、配向膜に照射される偏光光に偏光軸のばらつきがあるまま光配向を行っても、配向膜を所望の方向に配向させることができる光配向方法に関するものである。
液晶表示素子は、透明基板の表面に形成した配向膜に、液晶を所望の方向に配向させる処理(配向処理)を施し、該透明基板を2枚、配向膜を内側にして重ね、間に液晶をはさみこんで貼り合せたものである。
上記液晶表示素子の配向膜の配向処理に関し、配向膜に所定の波長の偏光光を照射し露光処理することにより配向を行なう、光配向と呼ばれる技術がある。光配向用の偏光光照射装置としては、例えば特許文献1や特許文献2に記載のものがある。
最近は、上記液晶表示素子の製作以外に、視野角補償フィルムの製作にも、上記偏光光照射装置が使用されるようになってきた。視野角補償フィルムは、ベースフィルム上に、紫外線硬化液晶を塗布し、一定方向に液晶分子を配列(配向)させた後、紫外線を照射して液晶を硬化させ、液晶分子の方向を固定させたものである。視野角補償フィルムを液晶パネルに貼ることで、画質の低下を補償する。
以下、ここでは視野角補償フィルムも含めて、光配向を生じさせる膜を光配向膜と呼ぶことにする。
上記特許文献1や特許文献2の従来例に記載される液晶表示素子の配向膜の光配向を行う偏光光照射装置は、特許文献1の図7や特許文献2の図5にも示されるように、光照射装置から出射する紫外線を含む光を、例えば複数のガラス板をブリュースタ角だけ傾けた偏光素子に入射させて偏光分離させ、出射した偏光光をインテグレータレンズ、平面鏡、コリメータレンズ、コリメータミラーなどを介して、光配向膜が塗布された基板や視野角補償フィルム等であるワークWに照射するものである。
特許第2928226号公報 特許第2960392号公報
光配向膜を光配向させるためには、所定の波長(例えば280〜320nm紫外線)であって、所定の値以上の消光比(例えばP偏光光に対しS偏光光の含まれる割合が1/10〜1/100)を有する偏光光が必要である。これは上記光配向膜の物性により決まる。消光比とは偏光光に含まれるP偏光成分とS偏光成分の割合である。
最近、光配向を行なうためのパラメータとして、上記の波長と消光比に加えて、照射面内における偏光光の方向(以下偏光軸と呼ぶ)のばらつきが問題にされるようになってきた。
上記従来例の偏光光照射装置を用いると、照射面における偏光軸の面内ばらつきは、例えば図5に示すように±0.5°程度になる。配向膜に照射される偏光光に偏光軸のばらつきが生じると、配向膜の配向の方向がばらつくことになり、製品不良の原因となることがある。
すなわち、偏光軸の面内ばらつきが大きい光で光配向を行なうと、製品である液晶表示素子のコントラストが、場所によって異なり画像の質が低下する。
偏光軸のばらつきをなくすために、われわれは特願2003−141665号(出願日平成15年5月20日)や特願2003−364062号(出願日平成15年10月24日)を提案している。しかし、これらは、光照射機に偏光軸のばらつきをなくするための特別な構成が必要となり、コストが高くなるという不利な点がある。
また、偏光光を照射する光源ランプとして、上記従来例に示される点光源のランプに替えて、大面積への対応が容易な棒状のランプを使用することも考えられており、棒状のランプを使用すると、偏光軸のばらつきをなくすことが難しくなる。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、配向膜に偏光軸のばらつきがあるまま偏光光を照射しても、配向膜の配向の方向がばらつくことなく所望の方向に配向させることができる光配向方法を提供することを目的とする。
本発明においては、上記課題を次のように解決する。
光照射装置からの光照射領域において、照射される偏光光の偏光軸のばらつきをあらかじめ測定しておき、配向膜を、偏光軸のばらつきが相殺される上記線対称の軸と略直交する方向に移動させる。移動させるのは、配向膜でも偏光光でもよい。
配向膜または偏光光を上記のように移動させることで、偏光軸のばらつきが相殺され、配向膜は、偏光軸のばらつきの中間方向に配向する。

本発明においては、配向膜または偏光光を、偏光軸のばらつきが相殺される方向に移動させるようにしたので、偏光軸のばらつきがあるまま偏光光を照射しても、配向膜を所望の方向に配向させることができる。
本発明では、配向膜を偏光軸のばらつきが相殺される方向に移動させることで、配向膜を所望の方向に配向させることが可能なことを以下の実験で確認した。
図1に、本発明の実験で使用した光配向用偏光光照射装置の構成を示す。
図1において、ランプ1が放射する紫外線を含む光は、集光鏡2で集光され、第1の平面鏡3で反射され、インプットレンズ5によって平行光にされ偏光素子6に入射する。偏光素子6は、例えば、複数のガラス板を光軸に対してブリュースタ角だけ傾けて設けたものである。
偏光素子6に入射した光は偏光分離され、上記の偏光素子の場合はP偏光光のみが出射する。出射したP偏光光はインテグレータレンズ4に入射する。インテグレータレンズ4は、光照射面11での照度分布を均一にする光学素子である。
インテグレータレンズ4から出射したP偏光光は、シャッタ7を介して、第2の平面鏡8で反射され、ワークステージWS上に載置された、光配向膜が塗布された基板や視野角補償フィルム等であるワークWに照射される。
ワークWに照射する光に平行光が必要であれば、第2の平面鏡6とワークステージWSの間に、コリメータレンズ9またはコリメータミラーを設ける。図1は、コリメータレンズ9が設けられている場合を示している。
ワークステージWSは、図示しないワークステージ駆動機構により、所望の速度で光照射面に平行な面内で移動可能である。
図1に示す偏光光照射装置において、被照射面にはP偏光光が照射され、前記図5と同様の偏光軸のばらつきが生じている。
図2に、図1に示す偏光光照射装置の光照射面における偏光軸の傾きを示す。
偏光光の照射領域は500mm×400mmであり、この照射領域中のA,B,Cの位置におけるに偏光軸の傾きを偏光軸モニタにより測定した。
照射領域の中央部Bの位置での偏光軸の向きを基準にすると、照射領域の図中左側Aの位置における偏光軸は約+2°傾き、一方、照射領域の図中右側Cの位置における偏光軸は約−2°傾いている。したがって、照射領域全体では、偏光軸は約±2°ばらついているということになる。
図3に、偏光軸のばらつきの角度を測定する偏光軸モニタの一例を示す。
偏光軸モニタは、基本的には、照度計の光入射面に偏光板を取り付けたものであり、偏光板11を取り付けた筒12は本体13に対して回転する。本体13には、照度計が設けられ、照度計により測定された照度はモニタ14に表示される。
偏光光が照射される領域に上記偏光軸モニタを置き、筒12を回転させることにより偏光板11を回転させる。偏光板11と偏光光の偏光軸の方向が一致すると照度が最大になるので、そのときの角度を目盛りから読み取ることで、偏光軸の傾きを測定することができる。したがって、光照射領域の複数点を、照度計の本体の方向を変えないで偏光軸の角度を測定すれば、偏光軸のばらつきを測定することができる。
表1に、図2のA,B,Cの各位置の偏光軸のばらつきを示す。なお、位置AおよびCにおける偏光軸のばらつきの大きさは、光照射領域のほぼ中央である位置Bにおいて測定された偏光軸の方向を基準とし、それに対する偏光軸のずれの角度を示している。また、照射する偏光光の消光比(P偏光光とS偏光光の比)については5:1と20:1の2種類について実施した。
Figure 0004622409
配向膜の配向方向は、偏光光の方向、即ち偏光軸の傾きに応じて生じる。したがって、偏光軸がばらつくと配向膜の配向方向もばらつく。
図2のA,B,Cの各位置に試料ステージWS1〜WS3を置き、その上に10×10mmの配向膜のサンプルS1〜S3を置き、その位置を移動させないで、偏光光を照射したところ、配向膜は、上記に示した偏光軸のばらつきに応じた方向、即ち位置Bの配向方向を基準にすると、位置Aではそれに対して約+2°ずれた方向、位置Cでは約−2°ずれた方向に配向が生じた。
なお、本実験で使用した配向膜は、視野角や色や輝度などを補償する光学補償フィルムと呼ばれる配向膜である。
ここで、光照射領域の偏光軸は、位置Bを軸として図面左右方向(位置A方向と位置Bの方向)に対称にばらついているものと考えられる。そこで、図2に示すスキャン用レールRに沿って、上記照射領域中を、図中右側の位置Cから位置B、位置Aへと、即ち、偏光軸のばらつきが相殺される方向に、配向膜を移動させながら光配向処理を行なった。
このときの、照射する偏光光の消光比については、上記と同様に5:1と20:1の2種類を使用し、配向膜の移動速度も1.5m/分から3m/分の間で、一定速度となるよう適宜設定した。
上記のようにして、偏光光を照射したところ、配向膜の配向方向には、ほとんどずれが生じず、配向方向は、位置Bにて移動せずに照射した場合と同等の、0°近辺の値になった。
このことより、偏光軸のばらつきがあるまま偏光光を照射しても、偏光軸のばらつきを相殺する方向に配向膜を移動させることで、配向膜を所望の方向に配向させられると考えられる。すなわち、配向膜への偏光光の照射量が、配向膜が光配向するに必要な照射量に達するまでの間に、偏光軸のばらつきが相殺される方向に配向膜を移動させることで、配向膜の配向方向を、照射する偏光光の偏光軸のばらつきの中間方向に配向させることができる。
ただし、本実験においては、偏光光が照射されている光照射領域の照度均一度は約±10%であり、A,B,C各位置での照度は基本的に一致しており、配向膜の移動スピードも一定である。即ち、位置AおよびCにおける露光量は一致している。
なお、上記実験では偏光光に対して配向膜を移動させたが、照射する偏光光を移動させても同等の結果を得られると考えられる。
図4に、同様の効果が期待できる他の移動方法について示す。ここでは、前記図5と同様の対称な偏光軸のばらつきを有する光照射領域を仮定する。
(i) 図4の(ア)に示すように、光照射領域よりも小さい光配向膜が塗布された基板を、光照射領域内で偏光軸のばらつきが相殺される分だけ移動させてもよい。
(ii)図4の(イ)に示すように、光照射領域とほぼ同じ大きさの光配向膜が塗布された基板を、全体が光照射領域を通り過ぎるように移動してもよい。
(iii) 偏光軸のばらつきが相殺されるなら、図4の(ウ)のような方向に移動させてもよい。
なお、移動の方法も、一定速度で走査(スキャン)する方法でもよいし、間歇的に搬送する方法でもかまわない。ただし、偏光軸のばらつきが相殺されるためには、相殺する位置での露光量は一致させる必要がある。したがって、各位置での偏光光の照度が同じであれば、走査速度、または間歇的に搬送するときの停止時間は、常に一定でなければならない。
なお、上記では、点光源のランプを用いる場合について説明したが、前記したように大面積への対応が容易な棒状のランプを使用することもでき、棒状のランプを使用して偏光軸のばらつきが相殺される方向に配向膜を移動させることで、上記と同様に偏光軸のばらつきをなくすことができる。
本発明の実験に用いた光配向用偏光光照射装置の構成を示す図である。 図1に示す光配向用偏光光照射装置の光照射面における偏光軸の傾きを示す図である。 偏光軸のばらつきの角度を測定する偏光軸モニタの一例を示す図である。 配向膜を所望の方向に配向させることができる他の移動方法を説明する図である。 従来の偏光光照射装置の光照射面における偏光軸の面内ばらつきの一例を示す図である。
符号の説明
1 ランプ
2 集光鏡
3 第1平面鏡
4 インテグレータレンズ
5 インプットレンズ
6 偏光素子
7 シャッタ
8 第2平面鏡
9 コリメータレンズ
10 光照射装置
R スキャン用レール
W ワーク
WS ワークステージ

Claims (1)

  1. 配向膜に偏光光を照射し光配向を行なう光配向方法において、
    偏光光の偏光軸が線対称なばらつきを有する光照射領域に対し、配向膜を、上記偏光軸のばらつきが相殺される上記線対称の軸と略直交する方向に、相対的に移動させる
    ことを特徴とする光配向方法。
JP2004269709A 2004-09-16 2004-09-16 光配向方法 Active JP4622409B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004269709A JP4622409B2 (ja) 2004-09-16 2004-09-16 光配向方法
TW100149975A TW201217870A (en) 2004-09-16 2005-06-03 Process for optical alignment
TW094118406A TW200611033A (en) 2004-09-16 2005-06-03 Method for optical alignment
KR1020050064901A KR100865978B1 (ko) 2004-09-16 2005-07-18 광 배향 방법
DE602005015921T DE602005015921D1 (de) 2004-09-16 2005-09-14 Verfahren zur Ausrichtung durch Bestrahlung mit linear polarisiertem Licht
EP05020042A EP1637922B1 (en) 2004-09-16 2005-09-14 Process for alignment by irradiation with linearly polarised light
CNB2005100992968A CN100451772C (zh) 2004-09-16 2005-09-14 光取向方法
US11/226,226 US7507448B2 (en) 2004-09-16 2005-09-15 Process for optical alignment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004269709A JP4622409B2 (ja) 2004-09-16 2004-09-16 光配向方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006084800A JP2006084800A (ja) 2006-03-30
JP4622409B2 true JP4622409B2 (ja) 2011-02-02

Family

ID=35276526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004269709A Active JP4622409B2 (ja) 2004-09-16 2004-09-16 光配向方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7507448B2 (ja)
EP (1) EP1637922B1 (ja)
JP (1) JP4622409B2 (ja)
KR (1) KR100865978B1 (ja)
CN (1) CN100451772C (ja)
DE (1) DE602005015921D1 (ja)
TW (2) TW201217870A (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006202628A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Dainippon Printing Co Ltd 偏光光照射装置、偏光光照射方法、光配向膜、及び位相差フィルム
CN109656061A (zh) * 2012-12-07 2019-04-19 群康科技(深圳)有限公司 光配向光源系统及光配向工艺
TWI516878B (zh) 2012-12-07 2016-01-11 群康科技(深圳)有限公司 光配向光源系統及光配向製程
JP5344105B1 (ja) 2013-03-08 2013-11-20 ウシオ電機株式会社 光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法
JP6597149B2 (ja) * 2015-10-08 2019-10-30 ウシオ電機株式会社 光照射装置
JP2019101226A (ja) * 2017-12-01 2019-06-24 シャープ株式会社 偏光照射装置、及び、感光膜付き基板の製造方法
KR102467219B1 (ko) * 2017-12-05 2022-11-14 엘지디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자를 포함하는 편광조사 장치 및 이를 이용한 편광조사 방법
CN113156713B (zh) * 2021-04-12 2022-12-06 Tcl华星光电技术有限公司 光配向装置及其控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09211465A (ja) * 1996-02-01 1997-08-15 Lg Electron Inc 光配向用光照射装置及び光照射方法
JP2000147506A (ja) * 1998-11-06 2000-05-26 Lg Electronics Inc 光照射装置
JP2002098969A (ja) * 2000-09-26 2002-04-05 Konica Corp 光配向層の製造方法
JP2004145141A (ja) * 2002-10-25 2004-05-20 Jsr Corp 光配向法および液晶表示素子

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5817743A (en) * 1996-03-29 1998-10-06 Alliant Techsystems Inc. Process and materials for inducing pre-tilt in liquid crystals and liquid crystal displays
CN1188901A (zh) * 1996-05-27 1998-07-29 斯坦利电气株式会社 使用偏振存储膜作为取向膜的液晶显示器的制造
US6307609B1 (en) * 1997-08-05 2001-10-23 Wayne M. Gibbons Polarized light exposure systems for aligning liquid crystals
US6061138A (en) * 1997-08-05 2000-05-09 Elsicon, Inc. Optical exposure systems and processes for alignment of liquid crystals
KR20010024339A (ko) * 1997-10-01 2001-03-26 모리시타 요이찌 액정배향막과 그 제조방법 및 그것을 이용한액정표시장치와 그 제조방법
JP2960392B2 (ja) 1997-10-29 1999-10-06 ウシオ電機株式会社 液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置
TW536644B (en) 1997-10-29 2003-06-11 Ushio Electric Inc Polarized light radiation device for alignment film of liquid crystal display element
JP2928226B2 (ja) 1997-10-29 1999-08-03 ウシオ電機株式会社 液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置
US6532047B1 (en) 1998-10-27 2003-03-11 Ushiodenki Kabushiki Kaisha Irradiation device for polarized light for optical alignment of a liquid crystal cell element
JP3384346B2 (ja) * 1999-01-14 2003-03-10 ウシオ電機株式会社 液晶表示素子の光配向用偏光光照射装置
US6194039B1 (en) * 1999-10-22 2001-02-27 Elsicon, Inc. Materials for inducing alignment in liquid crystals and liquid crystal displays
JP3678120B2 (ja) 2000-06-06 2005-08-03 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
US20030206337A1 (en) * 2002-05-06 2003-11-06 Eastman Kodak Company Exposure apparatus for irradiating a sensitized substrate
US6874899B2 (en) * 2002-07-12 2005-04-05 Eastman Kodak Company Apparatus and method for irradiating a substrate
US20040207847A1 (en) * 2003-04-18 2004-10-21 Hardy Joseph A. Apparatus and methods for alignment of optical barrier apparatus
JP4135557B2 (ja) 2003-05-20 2008-08-20 ウシオ電機株式会社 光配向用偏光光照射装置
JP2005128271A (ja) 2003-10-24 2005-05-19 Ushio Inc 光配向用偏光光照射装置および光配向用偏光光照射装置における偏光軸の調整方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09211465A (ja) * 1996-02-01 1997-08-15 Lg Electron Inc 光配向用光照射装置及び光照射方法
JP2000147506A (ja) * 1998-11-06 2000-05-26 Lg Electronics Inc 光照射装置
JP2002098969A (ja) * 2000-09-26 2002-04-05 Konica Corp 光配向層の製造方法
JP2004145141A (ja) * 2002-10-25 2004-05-20 Jsr Corp 光配向法および液晶表示素子

Also Published As

Publication number Publication date
DE602005015921D1 (de) 2009-09-24
US7507448B2 (en) 2009-03-24
CN100451772C (zh) 2009-01-14
EP1637922A1 (en) 2006-03-22
TW200611033A (en) 2006-04-01
CN1749833A (zh) 2006-03-22
KR100865978B1 (ko) 2008-10-29
EP1637922B1 (en) 2009-08-12
TWI362538B (ja) 2012-04-21
JP2006084800A (ja) 2006-03-30
KR20060053859A (ko) 2006-05-22
TWI378304B (ja) 2012-12-01
US20060057306A1 (en) 2006-03-16
TW201217870A (en) 2012-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4506412B2 (ja) 偏光素子ユニット及び偏光光照射装置
KR100865978B1 (ko) 광 배향 방법
JP3146998B2 (ja) 液晶表示素子の配向膜光配向用偏光光照射装置
TWI355544B (en) Production method of liquid crystal display and ex
US8922757B2 (en) Photo-alingment apparatus, and method for fabricating liquid crystal display
TWI521258B (zh) 光配向照射裝置
JP2012173693A (ja) 露光装置及び露光方法
JP2012078697A (ja) 液晶用配向膜露光方法及びその装置並びにそれを用いて製作された液晶パネル
JP2012123207A (ja) 露光装置及び露光方法
JP2015106015A (ja) 偏光光照射装置、偏光光照射方法および偏光光照射プログラム
JP2005128271A (ja) 光配向用偏光光照射装置および光配向用偏光光照射装置における偏光軸の調整方法
JP4135557B2 (ja) 光配向用偏光光照射装置
WO2018193913A1 (ja) 光照射装置
KR20120064020A (ko) 노광장치 및 노광방법
JP2017044917A (ja) 光配向処理装置
JP2012113095A (ja) 露光装置及び露光方法
JP2008020831A (ja) 液晶装置の製造方法及び液晶装置の製造装置
JP5430589B2 (ja) 露光装置及び露光方法
JP2023008001A (ja) 偏光光照射装置、これを備える露光装置、および偏光光照射方法
JP2004287336A (ja) 露光装置およびこの露光装置を用いた液晶素子製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090805

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090908

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100413

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100521

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101005

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101018

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4622409

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250