JP4622409B2 - 光配向方法 - Google Patents
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Description
上記液晶表示素子の配向膜の配向処理に関し、配向膜に所定の波長の偏光光を照射し露光処理することにより配向を行なう、光配向と呼ばれる技術がある。光配向用の偏光光照射装置としては、例えば特許文献1や特許文献2に記載のものがある。
最近は、上記液晶表示素子の製作以外に、視野角補償フィルムの製作にも、上記偏光光照射装置が使用されるようになってきた。視野角補償フィルムは、ベースフィルム上に、紫外線硬化液晶を塗布し、一定方向に液晶分子を配列(配向)させた後、紫外線を照射して液晶を硬化させ、液晶分子の方向を固定させたものである。視野角補償フィルムを液晶パネルに貼ることで、画質の低下を補償する。
以下、ここでは視野角補償フィルムも含めて、光配向を生じさせる膜を光配向膜と呼ぶことにする。
最近、光配向を行なうためのパラメータとして、上記の波長と消光比に加えて、照射面内における偏光光の方向(以下偏光軸と呼ぶ)のばらつきが問題にされるようになってきた。
上記従来例の偏光光照射装置を用いると、照射面における偏光軸の面内ばらつきは、例えば図5に示すように±0.5°程度になる。配向膜に照射される偏光光に偏光軸のばらつきが生じると、配向膜の配向の方向がばらつくことになり、製品不良の原因となることがある。
すなわち、偏光軸の面内ばらつきが大きい光で光配向を行なうと、製品である液晶表示素子のコントラストが、場所によって異なり画像の質が低下する。
また、偏光光を照射する光源ランプとして、上記従来例に示される点光源のランプに替えて、大面積への対応が容易な棒状のランプを使用することも考えられており、棒状のランプを使用すると、偏光軸のばらつきをなくすことが難しくなる。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、配向膜に偏光軸のばらつきがあるまま偏光光を照射しても、配向膜の配向の方向がばらつくことなく所望の方向に配向させることができる光配向方法を提供することを目的とする。
光照射装置からの光照射領域において、照射される偏光光の偏光軸のばらつきをあらかじめ測定しておき、配向膜を、偏光軸のばらつきが相殺される上記線対称の軸と略直交する方向に移動させる。移動させるのは、配向膜でも偏光光でもよい。
配向膜または偏光光を上記のように移動させることで、偏光軸のばらつきが相殺され、配向膜は、偏光軸のばらつきの中間方向に配向する。
図1に、本発明の実験で使用した光配向用偏光光照射装置の構成を示す。
図1において、ランプ1が放射する紫外線を含む光は、集光鏡2で集光され、第1の平面鏡3で反射され、インプットレンズ5によって平行光にされ偏光素子6に入射する。偏光素子6は、例えば、複数のガラス板を光軸に対してブリュースタ角だけ傾けて設けたものである。
偏光素子6に入射した光は偏光分離され、上記の偏光素子の場合はP偏光光のみが出射する。出射したP偏光光はインテグレータレンズ4に入射する。インテグレータレンズ4は、光照射面11での照度分布を均一にする光学素子である。
ワークWに照射する光に平行光が必要であれば、第2の平面鏡6とワークステージWSの間に、コリメータレンズ9またはコリメータミラーを設ける。図1は、コリメータレンズ9が設けられている場合を示している。
ワークステージWSは、図示しないワークステージ駆動機構により、所望の速度で光照射面に平行な面内で移動可能である。
図2に、図1に示す偏光光照射装置の光照射面における偏光軸の傾きを示す。
偏光光の照射領域は500mm×400mmであり、この照射領域中のA,B,Cの位置におけるに偏光軸の傾きを偏光軸モニタにより測定した。
照射領域の中央部Bの位置での偏光軸の向きを基準にすると、照射領域の図中左側Aの位置における偏光軸は約+2°傾き、一方、照射領域の図中右側Cの位置における偏光軸は約−2°傾いている。したがって、照射領域全体では、偏光軸は約±2°ばらついているということになる。
図3に、偏光軸のばらつきの角度を測定する偏光軸モニタの一例を示す。
偏光軸モニタは、基本的には、照度計の光入射面に偏光板を取り付けたものであり、偏光板11を取り付けた筒12は本体13に対して回転する。本体13には、照度計が設けられ、照度計により測定された照度はモニタ14に表示される。
偏光光が照射される領域に上記偏光軸モニタを置き、筒12を回転させることにより偏光板11を回転させる。偏光板11と偏光光の偏光軸の方向が一致すると照度が最大になるので、そのときの角度を目盛りから読み取ることで、偏光軸の傾きを測定することができる。したがって、光照射領域の複数点を、照度計の本体の方向を変えないで偏光軸の角度を測定すれば、偏光軸のばらつきを測定することができる。
図2のA,B,Cの各位置に試料ステージWS1〜WS3を置き、その上に10×10mmの配向膜のサンプルS1〜S3を置き、その位置を移動させないで、偏光光を照射したところ、配向膜は、上記に示した偏光軸のばらつきに応じた方向、即ち位置Bの配向方向を基準にすると、位置Aではそれに対して約+2°ずれた方向、位置Cでは約−2°ずれた方向に配向が生じた。
なお、本実験で使用した配向膜は、視野角や色や輝度などを補償する光学補償フィルムと呼ばれる配向膜である。
ここで、光照射領域の偏光軸は、位置Bを軸として図面左右方向(位置A方向と位置Bの方向)に対称にばらついているものと考えられる。そこで、図2に示すスキャン用レールRに沿って、上記照射領域中を、図中右側の位置Cから位置B、位置Aへと、即ち、偏光軸のばらつきが相殺される方向に、配向膜を移動させながら光配向処理を行なった。
このときの、照射する偏光光の消光比については、上記と同様に5:1と20:1の2種類を使用し、配向膜の移動速度も1.5m/分から3m/分の間で、一定速度となるよう適宜設定した。
このことより、偏光軸のばらつきがあるまま偏光光を照射しても、偏光軸のばらつきを相殺する方向に配向膜を移動させることで、配向膜を所望の方向に配向させられると考えられる。すなわち、配向膜への偏光光の照射量が、配向膜が光配向するに必要な照射量に達するまでの間に、偏光軸のばらつきが相殺される方向に配向膜を移動させることで、配向膜の配向方向を、照射する偏光光の偏光軸のばらつきの中間方向に配向させることができる。
ただし、本実験においては、偏光光が照射されている光照射領域の照度均一度は約±10%であり、A,B,C各位置での照度は基本的に一致しており、配向膜の移動スピードも一定である。即ち、位置AおよびCにおける露光量は一致している。
なお、上記実験では偏光光に対して配向膜を移動させたが、照射する偏光光を移動させても同等の結果を得られると考えられる。
(i) 図4の(ア)に示すように、光照射領域よりも小さい光配向膜が塗布された基板を、光照射領域内で偏光軸のばらつきが相殺される分だけ移動させてもよい。
(ii)図4の(イ)に示すように、光照射領域とほぼ同じ大きさの光配向膜が塗布された基板を、全体が光照射領域を通り過ぎるように移動してもよい。
(iii) 偏光軸のばらつきが相殺されるなら、図4の(ウ)のような方向に移動させてもよい。
なお、移動の方法も、一定速度で走査(スキャン)する方法でもよいし、間歇的に搬送する方法でもかまわない。ただし、偏光軸のばらつきが相殺されるためには、相殺する位置での露光量は一致させる必要がある。したがって、各位置での偏光光の照度が同じであれば、走査速度、または間歇的に搬送するときの停止時間は、常に一定でなければならない。
なお、上記では、点光源のランプを用いる場合について説明したが、前記したように大面積への対応が容易な棒状のランプを使用することもでき、棒状のランプを使用して偏光軸のばらつきが相殺される方向に配向膜を移動させることで、上記と同様に偏光軸のばらつきをなくすことができる。
2 集光鏡
3 第1平面鏡
4 インテグレータレンズ
5 インプットレンズ
6 偏光素子
7 シャッタ
8 第2平面鏡
9 コリメータレンズ
10 光照射装置
R スキャン用レール
W ワーク
WS ワークステージ
Claims (1)
- 配向膜に偏光光を照射し光配向を行なう光配向方法において、
偏光光の偏光軸が線対称なばらつきを有する光照射領域に対し、配向膜を、上記偏光軸のばらつきが相殺される上記線対称の軸と略直交する方向に、相対的に移動させる
ことを特徴とする光配向方法。
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