JP2006135083A - 非接触支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】浮上パッド111,112、吸引パッド113が組みつけられるベースBSには、加圧室130Rと減圧室140Rとが形成されている。加圧室130Rは、第1の孔121を介して浮上パッド111,112、吸引パッド113と連通可能となっている。また、加圧室130Rと減圧室140Rとは第2の孔131を介して連通可能となっている。吸引パッド113は、管151によって加圧室130Rと遮断される態様にて減圧室140Rと連通される。また、管151の装入されない第2の孔131は、遮蔽部材150にて塞がれる。ここで、加圧室130Rには加圧エアが供給される一方、減圧室140Rは真空引きされる。
【選択図】 図2
Description
なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。
Claims (11)
- 加圧流体を噴出させる浮上パッドと周辺の流体を吸引する吸引パッドとの上方にワークを対向させることで、該ワークを非接触支持する非接触支持装置において、
前記浮上パッドと前記吸引パッドとが配置されるベースを備え、
前記ベースは、前記パッドが配置される配置領域を複数有するとともに、各配置領域は、前記2種類のパッドのどちらを配置するかを選択可能な領域であることを特徴とする非接触支持装置。 - 請求項1記載の非接触支持装置において、
前記ベースは、前記加圧流体が供給される加圧ポートと、前記吸引パッド周辺の流体を吸引すべく流体を引き込む減圧ポートと、前記各配置領域に配置されるパッドを前記加圧ポート及び前記減圧ポートのどちらと連通させるかを切り替える切替手段とを備えることを特徴とする非接触支持装置。 - 請求項2記載の非接触支持装置において、
前記ベースは、前記加圧ポートと連通する加圧室と前記減圧ポートと連通する減圧室とを更に備え、
前記切替手段は、前記各配置領域に配置されるパッドを前記加圧室及び前記減圧室のどちらと連通させるかを切り替えることを特徴とする非接触支持装置。 - 前記加圧室及び減圧室の2つの室は、前記ベース内に上下して併設され、
前記ベースには、前記各配置領域と前記2つの室のうち上方の室とを連通させる第1の孔と、前記2つの室を連通させる第2の孔とが設けられて且つ、
前記切替手段は、前記第1の孔の各々について、これと前記第2の孔とを介して、対応する前記配置領域に配置される前記パッドと前記2つの室のうちの下方の室とを連通させるか否かを切り替えるものである請求項3記載の非接触支持装置。 - 前記切替手段は、前記第1の孔と前記第2の孔とを介して前記パッドと前記下方の室とを連通させる管と、前記第2の孔を塞ぐ遮蔽部材とを備えることを特徴とする請求項4記載の非接触支持装置。
- 前記第2の孔は、前記第1の孔のそれぞれと対応するものであり、
前記第2の孔と該第2の孔に対応する前記第1の孔との一組ずつが前記各配置領域の下方に形成されてなる請求項5記載の非接触支持装置。 - 前記加圧ポート及び前記減圧ポートの双方とも前記ベースの下面に設けられてなる請求項2〜6のいずれかに記載の非接触支持装置。
- 前記ベースは、天板、中板及び底板を備え、
前記天板には、その上下に貫通するようにして前記第1の孔が設けられており、
前記中板には、前記天板の裏面とともに前記上方の室を区画形成する第1の凹部が設けられているとともに、該第1の凹部の底面と前記中板の下面との間を貫通するようにして前記第2の孔が設けられており、
前記底板には、前記中板の裏面とともに前記下方の室を区画形成する第2の凹部が設けられていることを特徴とする請求項4〜7のいずれかに記載の非接触支持装置。 - 前記浮上パッドと前記吸引パッドとは長方形の形状を有するとともに、隣接するパッド同士の辺が平行になるようにして配置されるものである請求項1〜8のいずれかに記載の非接触支持装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の非接触支持装置において、
前記ワークは、当該非接触支持装置の上方を略水平に搬送されるものであって、
前記ワークの搬送方向と交差する方向に前記配置領域が複数設けられてなることを特徴とする非接触支持装置。 - 請求項1〜10のいずれかに記載の非接触支持装置において、
前記ワークは、当該非接触支持装置の上方を略水平に搬送されるものであって、
前記ワークの搬送方向について、前記浮上パッドを間に介しつつ前記吸引パッドを2個以上配置可能であることを特徴とする非接触支持装置。
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