JP2021167251A - 非接触搬送装置、および非接触吸着盤 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができる非接触吸着装置を提供する。
【解決手段】薄板状ワークを非接触状態で吸着して搬送する非接触搬送装置３０であって、第１及び第２の非接触吸着盤３２、３４を備え、非接触吸着盤が、厚さ方向に貫通して延びる複数の吸引孔が配置された多孔質パッドと、多孔質パッドの裏面に連結されるホルダであって、表面に加圧気体流路と、加圧気体流路によって区切られた複数の島状部分とが形成され、島状部分を厚さ方向に貫通する連通孔を備え、多孔質パッドに連結されたとき、島状部分が、連通孔が吸引孔に連通した状態で頂面が多孔質パッドの裏面に密着するホルダとを備え、上流側の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路１４は、下流側の非接触吸着盤との接続領域において少なくとも一部分が搬送方向に直交する方向に延びる端部幅方向流路で終端している非接触搬送装置等が提供される。
【選択図】図３

Description

本発明は、非接触搬送装置、および非接触吸着盤、に関し、より詳細には、薄板状のワークを非接触状態で搬送する非接触搬送装置、および薄板状のワークを非接触状態で吸着する非接触吸着盤に関する。

半導体ウエハ、ＦＰＤ用ガラス基材等の厚さが薄いワークを浮上させて取扱う非接触吸着装置として、引用文献１の浮上ステージが知られている。この浮上ステージは、多孔質板の表面において、加圧空気によるワークの浮上と吸引によるワークの非接触吸着とを同時に行うことにより、ワークを多孔質板上で浮上させて搬送等している。

また、他の非接触吸着装置として、引用文献２の非接触吸着盤が知られている。この非接触吸着盤は、多孔質板の表面において、加圧空気の噴出と、吸引とを同時に行い、薄板状ワークを多孔質板上で浮上させつつ保持する非接触吸着を実現している。

これらの非接触吸着装置、および非接触吸着盤は、薄板状のワークを傷つけることなく、浮上させて搬送、または保持等することができるので、ＦＰＤ用ガラス基材等の薄板状のワークを加工する際に有効な装置である。

特開２００７−２７４９５号公報 特許第５５１２０５２号

上記特許文献１に記載された浮上ステージ(非接触搬送装置)は、LCD用ガラス基板等の薄板状ワークを搬送するものであるが、搬送距離が短く、一枚の多孔質板によって形成されている。このため、上記のような浮上ステージを用いて、薄板状ワークを長い距離にわたって搬送する、あるいは寸法が大きな薄板状ワークを搬送する際には、複数枚の多孔質板を搬送方向に連続的に並べて配置する必要がある。

しかし、このような構成では、ワークが、上流側の多孔質板から下流側の多孔質板に乗り移る際に、搬送方向に並べて配置された２枚の多孔質板の接続部位で、ワークの先端が下方に変位してしまうことがあった。

このような下方変位によって、ワーク自身が変形する、ワークが下流側の多孔質板上に円滑に乗り移れない等の問題が生じることがあった。特に、厚さ０．５ｍｍ未満というような極めて薄いワークでは、このような問題が顕著であった。

また、特許文献２に記載された非接触吸着盤は、上述したように、LCD用ガラス基板等の薄板状ワークを多孔質板上で浮上させつつ保持するものである。

しかしながら、上述の非接触吸着盤は、多孔質板の表面から噴出する加圧空気の噴出パターンを変更することができない。すなわち、多孔質の表面から噴出する加圧空気の噴出状態を局所的に変更することができない。このため、薄板状ワークを同一状態で浮上させることしかできなかった。具体的には、例えば、同一の薄板状ワークを、平板状、凸形状または凹形状というように、異なった形状で浮上させ保持することができなかった。

即ち、従来技術の非接触搬送装置、非接触吸着盤等の非接触吸着装置では、ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができなかった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができる非接触搬送装置、非接触吸着盤等の非接触吸着装置を提供することを目的とする。

詳細には、本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、複数枚の多孔質板が搬送方向に連続的に並べられた構成を備えながら、ワークが下流側の多孔質板へ乗り移る際に、ワークの先端部の下方変位を抑制することができる非接触搬送装置を提供することを目的とする。

詳細には、さらに、本発明は、多孔質パッドの表面から噴出する加圧空気の噴出状態を局所的に変更することができる非接触吸着盤を提供することを目的とする。

本発明によれば、
薄板状のワークを非接触状態で吸着して搬送する非接触搬送装置であって、
前記搬送方向に沿って配列された第１および第２の非接触吸着盤を備え、
前記第１および第２の非接触吸着盤のそれぞれが、
厚さ方向に貫通して延びる複数の吸引孔が格子状に配置された矩形状の多孔質パッドと、
前記多孔質パッドの裏面に連結された矩形状のホルダであって、表面に格子状の加圧気体流路と、該加圧気体流路によって区切られた格子状に配列された複数の島状部分とが形成され、前記吸引孔に対応して設けられ前記島状部分を厚さ方向に貫通して延びる連通孔を備え、前記多孔質パッドに連結されたとき、前記島状部分が、前記連通孔が前記多孔質パッドの吸引孔に連通した状態で頂面が前記多孔質パッドの裏面に密着するホルダとを備え、
搬送方向上流側に配置された前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、搬送方向下流側に配置された前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交する方向に延びるように配置された端部幅方向流路で終端している、
ことを特徴とする非接触搬送装置が提供される。

このような構成によれば、ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができる。詳細には、上流側の非接触吸着盤の加圧気体流路は、下流側の非接触吸着盤との接続領域において、搬送方向に直交する方向に延びるように配置された端部幅方向流路で終端している。このため、薄板状のワークは、第１の非接触吸着盤から第２の非接触吸着盤に乗り移る際、第１の非接触吸着盤の端部幅方向流路から接続領域の多孔質パッドの細孔に送り込まれ接続領域で多孔質パッドから噴出する高圧気体によって上方に向けて押し上げられ、ワークの高さを適正に制御できる。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に延びるように配置された端部搬送方向流路で終端している。

このような構成によれば、第２の非接触吸着盤では、搬送方向最上流側の部分において、多孔質パッドの表面から加圧気体の噴出量が、第１の非接触吸着盤の搬送方向最下流の部分における加圧気体の噴出量より少なくなるので、第２の非接触吸着盤に乗り移ったワークが過度に上方向に持ち上げられることが制される。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に延びるように配置された端部搬送方向流路で終端している。

このような構成によれば、第１の非接触吸着盤では、搬送方向最下流側の部分において、多孔質パッドの表面から加圧気体の噴出量が、第２の非接触吸着盤の搬送方向最上流の部分における加圧気体の噴出量より少なくなるので、第２の非接触吸着盤に乗り移るワークの先端が過度に上方向に持ち上げられることが制される。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交して延びるように配置された端部幅方向流路で終端している。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交して延びるように配置された端部幅方向流路で終端している。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１および第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、交互に配置された、閉鎖された矩形部分で終端する部と、開放した矩形部分で終端する部分とを備え、
前記第１および第２の非接触吸着盤は、一方の非接触吸着盤の前記加圧気体流路の開放した矩形部分が他方の非接触吸着盤の前記加圧気体流路の閉鎖された矩形部分に搬送方向に沿って整列するように、配置されている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１の非接触吸着盤のホルダは、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路を備えている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１の非接触吸着盤の独立加圧気体流路が、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、前記加圧気体流路の終端部の側縁側に設けられている。

このような構成によれば、独立加圧気体流路に供給する加圧空気の流量、圧力等を、加圧気体流路に供給する加圧気体の流量、圧力とは異なる値にすることが可能となるので、第２の非接触吸着盤との接続領域において、多孔質パッドから噴出する加圧気体の流量等を独自に制御することが可能となる。

本発明の他の好ましい態様によれば
前記第２の非接触吸着盤のホルダは、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路を備えている。

本発明の他の好ましい態様によれば
前記第２の非接触吸着盤の独立加圧気体流路が、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、前記加圧気体流路の終端部の側縁側に設けられている。

このような構成によれば、独立加圧気体流路に供給する加圧空気の流量、圧力等を、加圧気体流路に供給する加圧気体の流量、圧力とは異なる値にすることが可能となるので、第１の非接触吸着盤との接続領域において、多孔質パッドから噴出する加圧気体の流量等を独自に制御することが可能となる。

本発明の他の好ましい態様によれば
前記多孔質パッドは、前記吸引孔とは異なった吸引状態となる独立吸引孔を備えている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記独立吸引孔が、一方の非接触吸着盤の他方の非接触吸着盤との接続領域に配置されている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１および第２の非接触吸着盤が互いに接触して配置されている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第１および第２の非接触吸着盤が離間して配置されている。

このような構成によれば、第１の非接触吸着盤から第２の非接触吸着盤に乗り移る際、ワークは、先端が上方に向けて押し上げられ、その後、第１および第２の非接触吸着盤の間に形成された隙間で自重によって下方に付勢されるので、高さ位置が維持されたまま第２の非接触吸着盤に乗り移ることができる。

本発明の他の態様によれば、
薄板状のワークを非接触状態で吸着する非接触吸着盤であって、
厚さ方向に貫通して延びる複数の吸引孔が配置された矩形状の多孔質パッドと、
前記多孔質パッドの裏面に連結されたホルダであって、表面に、加圧気体流路と、該加圧気体流路によって区切られた複数の島状部分とが形成され、前記吸引孔に整列して設けられ前記島状部分を厚さ方向に貫通して延びる連通孔を備え、前記多孔質パッドに連結されたとき、前記島状部分は、前記連通孔が前記多孔質パッドの吸引孔に連通した状態で頂面が前記多孔質パッドの裏面に密着するホルダとを備え、
前記ホルダには、さらに、前記表面に、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路が形成されている、
ことを特徴とする非接触吸着盤が提供される。

このような構成によれば、ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができる。詳細には、加圧気体流路内の供給する加圧空気の圧力、および／または流量と、独立加圧気体流路に供給する加圧空気の圧力、および／または流量とを、独立してすることができる。このため、多孔質パッドの表面から噴出する加圧空気の流量分布を変更することが可能となる。この流量分布の変更によって、同一形状の薄板ワークを平板状で保持したり、凸形状または凹形状で保持したりすることが可能となる。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記独立加圧気体流路が、前記非接触吸着盤の縁部に隣接して配置されている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記多孔質パッドは、前記吸引孔とは異なった吸引状態となる独立吸引孔を備えている。

本発明の他の好ましい態様によれば、
前記独立加圧気体流路が、複数、形成され、
各独立加圧気体流路が相互に分離されている。

本発明の他の好ましい態様によれば、上記非接触吸着盤を備えていることを特徴とする非接触搬送装置が提供される。

本発明の他の好ましい態様によれば、
隣接して配置された前記非接触吸着盤は、前記縁部同士が隣接するように、配置されている。

このような構成によれば、
非接触吸着盤同士が接続される領域の近傍で、多孔質パッドの表面から噴出する加圧空気の量を、他の領域とは独立して制御することができるので、搬送中のワークが、一方の非接触吸着盤からこれに隣接する他方の非接触吸着盤に乗り移る際に発生する、高さの変動等を抑制することができる。

本発明によれば、ワークの非接触吸着状態を細かく制御することができる非接触搬送装置、非接触吸着盤等の非接触吸着装置が提供される。

また、本発明によれば、複数枚の多孔質板が搬送方向に連続的に並べられた構成を備えながら、ワークが下流側の多孔質板へ乗り移る際に、ワークの先端部の下方変位を抑制することができる非接触搬送装置が提供される。

さらにまた、本発明によれば、多孔質パッドの表面から噴出する加圧空気の噴出状態を局所的に変更することができる非接触吸着盤を提供することを目的とする。

本発明の好ましい実施形態の非接触搬送装置で使用される非接触吸着盤の分解斜視図である。 図１の非接触吸着盤によるワークＷの吸着固定（非接触吸着）の状態を説明するための模式的な断面図である。 本発明の第１実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 第１実施形態の変形例の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 本発明の第２実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 第２実施形態の変形例の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 本発明の第３実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 第３実施形態の変形例の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 本発明の第４実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 第４実施形態の変形例の非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置を示す図面である。 非接触搬送装置における非接触吸着盤の配置例を示す図面である。 非接触搬送装置における非接触吸着盤の他の配置例を示す図面である。 非接触搬送装置の他の構成例を示す図面である。 本発明の第５実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤、およびその配置を示す図面である。 第５実施形態の非接触吸着盤の構造を説明する模式的な断面図である。 本発明の第５実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の変形例を示す図面である。 本発明の第５実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の他の変形例を示す図面である。 本発明の第５実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の他の変形例を示す図面である。 本発明の第５実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤の他の変形例を示す図面である。 本発明の他の非接触吸着盤を示す平面図である。 本発明の他の非接触吸着盤を示す平面図である。

以下、本発明の好ましい実施形態の非接触搬送装置で使用される非接触吸着盤の構成を説明する。図１は、本発明の好ましい実施形態の非接触搬送装置で使用される非接触吸着盤の分解斜視図であり、図２は、図１の非接触吸着盤によるワークＷの吸着固定（非接触吸着）の状態を説明するための模式的な断面図である。

本発明の好ましい実施形態で使用される非接触吸着盤は、国際公開WO2013/129599号公報に記載されている非接触吸着盤に類似した基本構成を有し、半導体ウエハ、ＦＰＤ用ガラス基材等の薄板状のワーク、特に、厚さ０．３ないし０．４mm程度の液晶ディスプレイ用ガラス板等の薄板状のワークを非接触吸着するのに適している。また、厚さ０．１ｍｍ程度のガラス板、厚さ０．０５ｍｍのフィルム等の極めて薄いワークを非接触吸着するのにも適している。

非接触吸着盤１は、図１に示されているように、表面にワークの非接触吸着領域を備えた矩形状の多孔質パッド２と、多孔質パッド２を下側（裏側）から保持する矩形状のパッドホルダ４と、ホルダ４の裏側に連結される矩形状のベース６とを備えている。

多孔質パッド２は、通気性の多孔質カーボンで形成されている。多孔質パッド２の材料は、通気性の多孔質カーボンに限定されるものではなく、他の通気性の多孔質材料、例えばポーラスSiC・ポーラスアルミナ等を使用することもできる。
多孔質パッド２の透過量は、０．４〜２Nml/min/mm²程度が好ましい(多孔質パッド２の厚さが５ｍｍ、圧力０．１MPaのとき)。

多孔質パッド２には、複数の吸引孔８が形成されている。図１に示されているように、吸引孔８は、多孔質パッド２の略全面に亘って、格子状に配列、すなわち碁盤の目の中央に配置された状態で配列されている。本実施形態では、吸引孔８の間隔は２５ｍｍ程度に設定されている。

吸引孔８は、各多孔質パッド２を厚さ方向に貫通して延びるように形成されている。本実施形態では、吸引孔８は、多孔質パッド２の表面側が直径０．６ｍｍ程度の小径部８ａとされ、多孔質パッド２の裏面側が直径４ｍｍ程度の大径部とされている。小径部８ａと大径部８ｂとは、多孔質パッド２の表面に向かって先細るテーパ部によって連結されている。

このような構成によって、吸引孔８の大径部８ｂが減圧吸引されると、多孔質パッドの表面側に開口した、吸引孔８の小径部８ａからの空気が吸引され、吸引孔８が形成されている多孔質パッド２の表面領域が、ワークの非接触吸着固定を行う非接触吸着固定領域となる。

上述したように、パッドホルダ４は、多孔質パッド２を下側（裏側）から保持する矩形状の部材であり、例えば、アルミ合金等の金属材料で形成されている。パッドホルダ４を、CFRP・PEEKなどの樹脂で形成してもよい。

パッドホルダ４の上面には、外周縁に壁状の立上がり部１２が形成されている。立ち上がり部１２は、内寸が、多孔質パッド２の外寸より若干大きく、高さが多孔質パッド２の厚さより若干低くなるように構成されている。

したがって、多孔質パッド２は、パッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間（凹部）に配置されると、多孔質パッド２の上面２ａが、パッドホルダ４の立上がり部１２の頂面より僅かに上方に配置された状態となる。
尚、本発明は、立上がり部１２を備えない構成でもよい。

また、パッドホルダ４の上面（凹部の底面）の内側領域には、格子状（碁盤の目状）に断面矩形の溝（加圧気体流路）１４が形成され、溝１４によって区切られた部分は、正方格子状に配列された横断面が略正方形の島状の突起部１６とされている。島状の突起部１６は、格子状（碁盤の目状）に配置された溝１４とともに、碁盤の目状構造を構成している。各突起部１６の頂面は平坦であり、中央に、パッドホルダ４を厚さ方向に貫通する連通孔１８が開いている。
尚、溝１４によって構成される加圧気体流路は、一体的に連通し、全体で１つの流路として機能する。
また、本発明において格子の態様は、上記例の正方格子に限定されない。さらに、島状の突起部の横断面形状は、突起部１６のような略正方形に限定されず、他の長方形、三角形、多角形、円形等であってもよい。

多孔質パッド２とパッドホルダ４とは、多孔質パッド２がパッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間内に配置された状態で、接着剤等によって接合され固定されている。立上がり部１２を備えない構成では、多孔質パッド２とパッドホルダ４とが積層された状態で接着剤等によって接合され、固定される。

突起部１６は、多孔質パッド２がパッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間内に配置されたとき、頂面が多孔質パッド２の裏面の吸引孔８の大径部８ｂの開口端の周囲の領域に、気密状態で当接するように構成されている。

この結果、多孔質パッド２がパッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間に接着剤で固定されると、多孔質パッド２の裏面とパッドホルダ４の上面との間に、格子状に配置された溝１４とこの溝１４を覆う多孔質パッド２によって区切られた閉鎖空間(加圧気体流路)が形成される。

連通孔１８は、多孔質パッド２の吸引孔８の大径部８ｂと略同一の直径を有し、多孔質パッド２がパッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間内の所定位置に収容されたとき、多孔質パッド２に形成された各吸引孔８と厚さ方向に整列するように構成されている。

この結果、多孔質パッド２が、パッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間に収容されると、多孔質パッド２の吸引孔８とパッドホルダ４の連通孔１８とが流体連通する。

パッドホルダ４には、溝１４によって形成された加圧気体流路の全体と外部空間とを連通させ、この加圧気体流路に加圧空気を導入するための加圧空気入口２０が形成されている。

このような構成によって、多孔質パッド２を、パッドホルダ４の立上がり部１２の内側の空間に収容し接着固定した状態で、加圧空気入口２０から加圧空気を導入すると、導入された加圧空気は、加圧気体流路の全体に供給され加圧空気は、加圧気体流路の上面を構成する多孔質パッド２の細孔に侵入し、多孔質パッド２を透過して、さらに多孔質パッド２の表面全体から噴出することになる。

このとき、格子状の溝１４（加圧気体流路）が下方に配置されている多孔質パッド２の表面部分では、溝１４（加圧気体流路）が下方に配置されていない部分より多くの量の加圧空気が、或いは高い圧力の加圧空気が噴出する。

ベース６は、ホルダ４の裏側に連結される矩形状の部材であり、例えば、アルミ合金等の金属材料で形成されている。ベース６も、CFRP・PEEKなどの樹脂で形成することができる。

図１に示されているように、ベース６は、パッドホルダ４と略同一寸法を有し、平坦な上面に断面矩形のベース溝２２が格子状に形成されている。したがって、パッドホルダ４の平坦な裏面とベース６の上面とが接合されると、格子状のベース溝２２とこれを覆うパッドホルダ４の裏面とによって、格子状の閉鎖空間が形成されることになる。

ベース溝２２は、パッドホルダ４とベース６が接合されたとき、格子状のベース溝２２の交点がパッドホルダ４に形成された連通孔１８と厚さ方向に整列するように、配置されている。

このような構成により、多孔質パッド２とパッドホルダ４とベース６とが連結されると、多孔質パッド２の吸引孔８が、パッドホルダ４の連通孔１８を介して、ベース６とパッドホルダ４の間に形成された格子状の閉鎖空間の交点に連通することになる。

また、ベース６の外周には、ベース溝２２をベース６の外部の真空源と連通させるための貫通孔である真空孔２４が形成されている。

このような構成によって、多孔質パッド２とパッドホルダ４とベース６とを連結した状態で、真空孔２４から真空吸引を行うと、パッドホルダ４の連通孔１８を介して、多孔質パッド２の各吸引孔８から吸引が行われ、多孔質パッド２上のワークを多孔質パッド２に向けて吸引することができる。
なお、各吸引孔８は、格子状の閉鎖空間に連通するので、各吸引孔の吸引状態は同一となる。

パッドホルダ４とベース６とは、ねじ、ボルト等の連結具によって連結されている。ベース６の上面の外周に沿って溝を形成し、この溝内にＯリングを配置することによって、ベース６の格子状のベース溝２２が閉鎖状態となるようにして、パッドホルダ４とベース６とを連結することができる。また、パッドホルダ４とベース６とを接着剤で連結する構成でもよい。

このような構成を有する非接触吸着盤は、使用時には、多孔質パッド２とパッドホルダ４とベース６とを連結した状態で、加圧空気入口２０から加圧空気を溝１４と多孔質パッド２によって形成された加圧気体流路に導入し、且つベース６の真空孔から真空吸引を行うことによって、多孔質パッド２上でワークを浮上させた状態で吸着するワークの非接触吸着を行うことができる。

次に、図２に沿って、非接触吸着について、詳細に説明する。

上述したように、使用時に、パッドホルダ４の溝１４と多孔質パッド２とによって形成された且つ加圧気体流路外部の圧縮空気源から加圧空気を導入すると、加圧空気は、多孔質パッド２の細孔を通して多孔質パッド２内に侵入し、図２に矢印Ｐで示すように、多孔質パッド２の表面２ａから噴出する。図２に矢印Ｐで示すように噴出する加圧空気によって、ワークＷはパッド２の表面（吸着面）２ａから浮上する。

一方、加圧空気の導入と同時に行われるベース６の真空孔２４からの真空吸引によって、パッドの表面（吸着面）上に浮上しているワークＷは、多孔質パッド２の各吸引孔８から、矢印Ｖで示すように吸引される。この結果、ワークＷは、加圧空気による浮力と真空吸引による吸引力が釣り合う吸着面２ａから上方に所定距離Ｇだけ離れた位置で、非接触吸着固定されることになる。

吸引孔８の間隔は、例えば２５乃至８ｍｍの範囲で、適宜、変更可能である。間隔を狭くするほど、吸着精度が向上する。例えば、間隔を、２０ｍｍから１２ｍｍに変更すると、精度が１．５倍となる。

また、吸引孔８の小径部８ａの直径は、例えば０．８乃至０．１ｍｍの範囲で、適宜、変更可能である。直径を小さくするほど、吸着精度が向上する。例えば、直径を０．６ｍｍから０．３ｍｍに変更すると、精度が１．５倍となる。

さらに、断面矩形の溝（加圧気体流路）１４の幅は、例えば８．０乃至１．０ｍｍの範囲で、適宜、変更可能である。幅を小さくするほど、吸着精度が向上する。例えば、幅を４．０ｍｍから２．０ｍｍに変更すると、精度が１．５倍となる。

吸引孔８の間隔、吸引孔８の小径部８ａの直径、および加圧気体流路１４の幅を、上記の小さな値に変更することにより、厚さ０．１ｍｍのガラス(ワーク)の吸着保持した際の所定距離Ｇのバラツキが１／３ないし１／４程度になり、吸着精度が高くなった。また、厚さ０．０５ｍｍのフィルムでは、吸着保持した際の所定距離Ｇのバラツキが１／４ないし１／５程度になった。

このような構成の非接触吸着盤を用いて本発明の非接触搬送装置を構成する場合には、浮上させたワークＷを、吸着面２ａに沿って移動させるロボットハンド等が付加される。

次に、本発明の好ましい態様の非接触搬送装置について説明する。
本発明の非接触搬送装置では、非接触吸着盤１のような基本構成を有する非接触吸着盤をワーク搬送方向に配列することによって搬送経路を形成し、この搬送経路上で薄板状のワークを浮上吸着させ、ロボットハンド等の移送手段で、ワークを搬送経路に沿って搬送する。

図３は、本発明の第１実施形態の非接触搬送装置３０における非接触吸着盤の配置を示す図面である。なお、図３の矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。
図３に示された第１実施形態の非接触搬送装置３０では、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤３２と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤３４とが、搬送方向に沿って接触状態で配列されている。

第１および第２の非接触吸着盤３２、３４は、上述した非接触吸着盤１と同様の構成を備え、最上部の多孔質パッド２には正方格子状に吸引孔８が形成されている。さらに、多孔質パッド２上に点線で示すように(以下、他実施形態の図面においても同様)、多孔質パッド２の下方のパッドホルダには格子状の加圧気体流路１４が形成されている。

本実施形態では、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４の加圧気体流路１４は、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４が互いに接触する接触部（接続領域）において、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４が互いに対向する辺に沿って（すなわち、搬送方向に直交する方向である幅方向に）延びるように配置された端部幅方向流路３６で終端している。

さらに、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４のそれぞれにおいて、最も接触部に近い側に設けられた吸引孔８、８の間の距離ｄ１が、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４における吸引孔間の距離ｄ２より長く設定されている。

このような構成によれば、第１および第２の非接触吸着盤３２、３４の接続部における吸引孔８の間隔は、他の部分における間隔より大きくなっており、さらに、格子状の加圧気体流路１４は、幅方向に延びるように配置された端部流路３６で終端しているので、第１の非接触搬送装置３２から第２の非接触搬送装置３４に乗り移る際、ワーク、特にワーク先端は、大きく浮上することなる。

図４は、第１実施形態の変形例の非接触搬送装置３０’における非接触吸着盤３２’、３４’の配置を示す図面である。なお、図４においても矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。

図４に示された非接触搬送装置３０’は、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤３２’と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤３４’とが、搬送方向に沿って所定距離だけ離間して配列されている点を除き、非接触搬送装置３０と同一の構成を備えている。
尚、本明細書では、搬送方向に所定距離離間して配列された状態も「接続」に含める。

このような構成においても、第１の非接触搬送装置３２’から第２の非接触搬送装置３４’に乗り移る際、ワーク、特にワーク先端は、大きく浮上することなる。このため、第１の非接触搬送装置３２’と第２の非接触搬送装置３４’の境界の間隙または間隙の下方にセンサ等の機器を配置する構成などに有効である。

図５は、本発明の第２実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤４０の配置を示す図面である。なお、図５の矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。
図５に示された第２実施形態の非接触搬送装置４０では、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤４２と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤４４とが、搬送方向に沿って接触状態で配列されている。

第１および第２の非接触吸着盤４２、４４は、上述した非接触吸着盤１と同様の構成を備え、最上部の多孔質パッド２には正方格子状に吸引孔８が形成されている。さらに、多孔質パッド２上に点線で示すように、多孔質パッド２の下方のパッドホルダには格子状の加圧気体流路１４が形成されている。

本実施形態では、第１および第２の非接触吸着盤４２、４４の加圧気体流路１４は、第１および第２の非接触吸着盤４２、４４が互いに接触する接触部（接続領域）において、幅方向に延びるように配置された端部幅方向流路４６で終端している。

さらに、本実施形態では、端部流路４６の幅は、４ｍｍ程度と、加圧気体流路１４の他の部分より狭く設定されている。

図６は、第２実施形態の変形例の非接触搬送装置４０’における非接触吸着盤４２’、４４’の配置を示す図面である。なお、図６においても矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。

図６に示された非接触搬送装置４０’は、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤４２’と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤４４’とが、搬送方向に沿って所定距離だけ離間して配列されている点を除き、非接触搬送装置４０と同一の構成を備えている。

このような構成によれば、第１の非接触吸着盤４２’から第２の非接触吸着盤４４’に乗り移る際、ワークは、先端が上方に向けて押し上げられ、その後、第１および第２の非接触吸着盤４２’、４４’の間に形成された隙間で自重によって下方に付勢されるので、高さ位置が維持されたまま第２の非接触吸着盤４４’に乗り移ることができる。

図７は、本発明の第３実施形態の非接触搬送装置における非接触吸着盤５０の配置を示す図面である。なお、図７の矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。
図７に示された第３実施形態の非接触搬送装置５０では、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤５２と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤５４とが、搬送方向に沿って接触状態で配列されている。

第１および第２の非接触吸着盤５２、５４は、上述した非接触吸着盤１と同様の構成を備え、最上部の多孔質パッド２には正方格子状に吸引孔８が形成されている。さらに、多孔質パッド２上に点線で示すように、多孔質パッド２の下方のパッドホルダには格子状の加圧気体流路１４が形成されている。

本実施形態では、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤５２のホルダの格子状の加圧気体流路は、第１および第２の非接触吸着盤５２、５４が互いに接触する接触部（接続領域）において、幅方向に延びるように配置された端部幅方向流路５６で終端している。

さらに、搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤５４のホルダの格子状の加圧気体流路は、第１および第２の非接触吸着盤５２、５４が互いに接触する接触部（接続領域）において、搬送方向に延びる端部搬送方向流路５８で終端している。

さらに、第１および第２の非接触吸着盤５２、５４では、図７の状態で接触配置されたとき、第１および第２の非接触吸着盤５２、５４の各々において、接触部に最も近い側に設けられた吸引孔８、８の間の距離ｄ３が、第１および第２の非接触吸着盤５２、５４内で隣接する吸引孔間の距離と等しくなるように設定されている。

このような構成によれば、第１の非接触吸着盤５２から第２の非接触吸着盤５４にかけて、吸引孔８が略等ピッチで設けられ、且つ、吸引孔８と幅方向の加圧気体流路が交互に配置されることになるので、ワークは、高さ位置が維持されたまま第１の非接触吸着盤５２から第２の非接触吸着盤５４に乗り移ることができる。

図８は、第３実施形態の変形例の非接触搬送装置５０’における非接触吸着盤５２’、５４’の配置を示す図面である。なお、図７においても矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。

図８に示された非接触搬送装置５０’は、第１の非接触吸着盤５２’と第２の非接触吸着盤５４’とが、搬送方向に沿って所定距離だけ離間して配列されている点を除き、図７の非接触搬送装置５０と同一の構成を備えている。

図９は、本発明の第４実施形態の非接触搬送装置６０における非接触吸着盤６２、６４０の配置を示す図面である。なお、図９の矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。
図９に示された第４実施形態の非接触搬送装置６０では、第１の非接触吸着盤６２と第２の非接触吸着盤６４とが、搬送方向に沿って接触状態で配列されている。

第１および第２の非接触吸着盤６２、６４は、上述した非接触吸着盤１と同様の構成を備え、最上部の多孔質パッド２には正方格子状に吸引孔８が形成されている。さらに、多孔質パッド２上に点線で示すように、多孔質パッド２の下方のパッドホルダには格子状の加圧気体流路１４が形成されている。

本実施形態では、第１および第２の非接触吸着盤６２、６４において、吸引孔および幅方向の加圧気体通路が、幅方向（すなわち、搬送方向に直交する方向）の一方の側（図９下側）と他方の側（図９上側）とで、搬送方向に半ピッチずれて配置されている。

そして、本実施形態では、第１の非接触吸着盤６２のホルダの格子状の加圧気体流路は、幅方向の一方の側（図９下側）においては、幅方向に延びる端部幅方向流路６６で終端し、幅方向の他方の側（図９上側）においては、搬送方向に延びる端部搬送方向流路６８で終端している。

すなわち、本実施形態では、第１の非接触吸着盤６２のホルダの格子状の加圧気体流路は、幅方向の一方の側（図９下側）では、閉鎖された矩形部分で終端し、幅方向の他方の側（図９上側）では、搬送方向下流側に向かって開放した矩形部分で終端している。

この結果、第１の非接触吸着盤６２では、加圧気体流路が千鳥状に配置されていることになる。

さらに、本実施形態では、第２の非接触吸着盤６４のホルダの格子状の加圧気体流路は、幅方向の一方の側（図９下側）においては、搬送方向に延びる端部搬送方向流路６８で終端し、幅方向の他方の側（図９上側）においては、幅方向に延びる端部幅方向流路６６で終端している。

すなわち、本実施形態では、第２の非接触吸着盤６４のホルダの格子状の加圧気体流路は、幅方向の一方の側（図９上側）では、閉鎖された矩形部分で終端し、幅方向の他方の側（図９下側）では、搬送方向上流側に向かって開放した矩形部分で終端している。

この結果、第２の非接触吸着盤６４でも、加圧気体流路が千鳥状に配置されていることになる。

さらに、本実施形態では、第１の非接触吸着盤６２と第２の非接触吸着盤６４とが、図９に示されているように、千鳥状に配置されている加圧気体流路が相対的に相捕的配置となるように配列されている。

すなわち、上流側の第１の非接触吸着盤６２の加圧気体流路の閉鎖された矩形部分が、下流側の第２の非接触吸着盤６４の加圧気体流路の搬送方向上流側に向かって開放した矩形部分に、搬送方向に沿って整列するように配置されている。そして、上流側の第１の非接触吸着盤６２の加圧気体流路の搬送方向下流側に向かって開放した矩形部分が、下流側の第２の非接触吸着盤６４の加圧気体流路の閉鎖された矩形部分に、搬送方向に沿って整列するように配置されている。

このような構成によれば、第１および第２の非接触吸着盤６２、６４の接続部においても、吸引孔と幅方向の加圧気体流路とが等ピッチで配置されるので、ワークは、高さ位置が維持されたまま第１の非接触吸着盤６２から第２の非接触吸着盤６４に乗り移ることができる。

図１０は、第４実施形態の変形例の非接触搬送装置６０’における非接触吸着盤６２’、６４’の配置を示す図面である。なお、図１０においても矢印Aで示される方向がワーク搬送方向である。

図１０に示された非接触搬送装置６０’は、搬送方向上流側の第１の非接触吸着盤６２’と搬送方向下流側の第２の非接触吸着盤６４’とが、搬送方向に沿って所定距離だけ離間して配列されている点を除き、非接触搬送装置６０と同一の構成を備えている。

このような構成においても、第１および第２の非接触吸着盤６２’、６４’の接続部において、吸引孔と幅方向の加圧気体流路とを等ピッチで配置することができ、これにより、ワークは、高さ位置が維持されたまま第１の非接触吸着盤６２’から第２の非接触吸着盤６４’に乗り移ることができる。

図１１および図１２は、非接触搬送装置における非接触吸着盤の他の配置例を示す図面である。

図１１の非接触搬送装置７０では、非接触吸着盤を長辺がワークの搬送方向に沿うように配向させ、８行２列に配列している。この構成では、非接触吸着盤の列の間は離間され、搬送方向における加圧気体流路の関係は図４の態様と同様の配置となっている。

図１２の非接触搬送装置８０では、非接触吸着盤を短辺がワークの搬送方向に沿うように配向させ、２行４列に配列している。この構成では、非接触吸着盤の列の間は離間され、加圧気体流路の配置は図４の態様と同様の配置となっている。

図１１及び図１２に示された非接触搬送装置７０、８０は、非接触吸着盤の上下流に配置された複数器の浮上装置９０を備えている。この浮上装置９０は、例えば、多孔質板から噴出する加圧空気でワークを浮上させる方式のものである。

非接触搬送装置７０、８０では、各非接触吸着盤は、複数本のバーの上に筏状に連結固定、または大型の基板上に固定される等して所定状態に配列されている。

これら非接触搬送装置７０、８０では、或る非接触吸着盤の幅方向側方に接触状態で配置される他の非接触吸着盤は、或る非接触吸着盤側に位置する側縁部（側方側の接触領域）で、加圧気体流路が、非接触吸着盤の長手方向に直交する方向（Ｗ方向）に延びる溝（幅方向溝）で終端している。この構成を、図１３を例に説明する。

図１３に示されている構成は、図１０の非接触搬送装置６０’を構成する各非接触吸着盤６２’、６４’の側方に、それぞれ、第１および第２の追加の非接触吸着盤６２”、６４”が接触状態で配置された構成を備えている。

非接触吸着盤６２’、６４’に接触配置された第１の追加の非接触吸着盤６２”、６４”では、一方側の接触領域すなわち非接触吸着盤６２’、６４’との接触領域において、加圧流体溝（加圧気体流路）１４が、搬送方向に直交する方向（Ｗ方向）に延びる溝（幅方向溝）６６”で終端している。
また、第１の追加の非接触吸着盤６２”、６４”の他方側の接触領域すなわち第２の追加の非接触吸着盤６２”、６４”との接触領域において、加圧流体溝（加圧気体流路）１４が、搬送方向に延びる溝６８”で終端している。

さらに、第１の追加の非接触吸着盤６２”、６４”の他方の側に接触配置された第２の追加の非接触吸着盤６２”、６４”では、一方側の接触領域すなわち第１の追加の非接触吸着盤６２”、６４”との接触領域において、加圧流体溝（加圧気体流路）１４が、搬送方向に直交する方向（Ｗ方向）に延びる溝（幅方向溝）６６”で終端している。
また、第２の追加の非接触吸着盤６２”、６４”の他方側において、加圧流体溝１４は、搬送方向に延びる溝６８”で終端している。

この構成では、隣接する非接触吸着盤間における、吸引孔８の幅方向（Ｗ方向）間隔ｄ４が、同一非接触吸着盤内における吸引孔８の幅方向（Ｗ方向）間隔ｄ５とほぼ等しくなるように設定されている。

すなわち、非接触吸着盤６２’の第１の追加の非接触吸着盤６２”側の吸引孔８と、非接触吸着盤６２’に接触配置された第１の追加の非接触吸着盤６２”の非接触吸着盤６２’側の吸引孔８との間の、幅方向（Ｗ方向）間隔ｄ４が、各非接触吸着盤６２’６２”内における吸引孔８間の幅方向（Ｗ方向）間隔ｄ５とほぼ等しくなるように構成されている。

また、さらに、互いに等しい上記ｄ４、ｄ５は、非接触吸着盤内の隣接する吸引孔８の長手方向間隔ｄ６とも等しくなるように構成されている。

次に、本発明の第５実施態様の非接触搬送装置９０について説明する。
図１４は、本発明の第５実施形態の非接触搬送装置９０における非接触吸着盤９２、９４の配置を示す図面である。なお、図１４の矢印Ａで示される方向がワーク搬送方向である。
図１４に示された第５実施形態の非接触搬送装置９０では、第１の非接触吸着盤９２と第２の非接触吸着盤９４とが、搬送方向に沿って所定距離だけ離間した状態で配列されている。

第１および第２の非接触吸着盤９２、９４は、上述した非接触吸着盤１と同様の基本構成を備えている。多孔質パッド２の下方のパッドホルダ４には、多孔質パッド２上に点線で示すように、格子状の加圧気体流路１４が形成されている。また、第１および第２の非接触吸着盤９２、９４は、上述した非接触吸着盤１と同様、多孔質パッドに形成された複数の吸引孔８を備えている。

上述した非接触吸着盤１との相違点は、第１および第２の非接触吸着盤９２、９４が、加圧気体流路１４に加え、この加圧気体流路１４と分離された独立加圧気体流路９６を備えている点、および吸引孔８とは異なった吸引状態となる独立吸引孔９８を備えている点である。
以下、この点について、詳細に説明する。

上述したように、第５実施形態の非接触搬送装置で使用される第１および第２の非接触吸着盤９２、９４では、独立加圧気体流路９６が、他方の非接触吸着盤９４、９２と接続される側の縁部において、搬送方向Ａに直交して延びるように形成されている。詳細には、第１および第２の非接触吸着盤９２、９４において、各独立加圧気体流路９６は、他の非接触吸着盤９４、９２との接続領域において、加圧気体流路１４の終端部の端(先端)側に設けられている。

各独立加圧気体流路９６は、図１５に示されるように、パッドホルダ４に溝１４とは分離された即ち加圧気体流路１４とは連通しない状態に形成された独立給気溝９６によって構成されている(図１５は、非接触吸着盤９２については、独立給気溝９６を明確に示すため他の構成は省略している。)。この結果、独立加圧気体流路９６には、加圧気体流路１４とは異なる流量、圧力の加圧流体を供給することができる。

さらに、第５実施形態の非接触搬送装置で使用される第１および第２の非接触吸着盤９２、９４では、他方の非接触吸着盤９４、９２と接続される側に配列された吸気孔が、他の吸引孔８とは異なった吸引状態となる独立吸引孔９８として構成されている。詳細には、第１および第２の非接触吸着盤９２、９４において、最も他の非接触吸着盤９４、９２側(先端側)に位置する吸引孔が、独立吸引孔９８として構成されている。

各独立吸引孔９８は、図１５に示されるように、各吸引孔８が連通するベース６のベース２２とは異なる吸引溝１００に連通されている。(図１５は、非接触吸着盤９４については、独立吸引孔９８、吸引溝１００を明確に示すため他の構成は省略している。)。この結果、独立吸引孔９８は、他の吸引孔８とは異なる吸引状態とすることができる。

このような構成によれば、搬送方向に直列配置された２枚の非接触吸着盤９２、９４の接続領域では、他の領域と異なる吸引状態を実現することが可能となる。このため、加圧気体流路１４および独立加圧気体流路９６への加圧気体供給状態、さらに吸引孔８および独立吸引孔９８から吸引状態を適宜、調整することにより、２枚の非接触吸着盤９２、９４間での薄板状ワークの乗移り等を円滑の行うことが可能となる。

なお、第５実施形態の非接触搬送装置で使用される非接触吸着盤９２、９４では、独立加圧気体流路９６が、他方の非接触吸着盤９４、９２と接続される側の縁部において、搬送方向Ａに直交して延びるように形成されていた。しかしながら、本発明の非接触搬送装置で使用される非接触吸着盤の独立加圧気体流路９６の構成は、これに限定されるものではない。

例えば、図１６に示されているように、非接触吸着盤の周縁全体に延びるように、独立加圧気体流路１０２が設けられた構成、図１７に示されているように非接触吸着盤の両側縁に沿って延びるように、独立加圧気体流路１０４が設けられた構成でもよい。
図１７の構成では、ワークの両側縁における浮力を独立して制御することができる。このため、ワークの両側縁の浮力を相対的に小さく或いは大きくすることにより、ワークを搬送方向に直交する方向に凸状あるいは凹状にして、非接触状態で吸着保持することができる。

さらに、図１８に示されているように、非接触吸着盤の幅方向中央を長手方向に延びるように、独立加圧気体流路１０６が設けられた構成、図１９に示されているように非接触吸着盤の先端側領域の幅方向中央に矩形状の独立加圧気体流路１０８が設けられた構成でもよい。

図１８の構成では、ワークの幅方向中央部における浮力を独立して制御することができる。このため、ワークの幅方向中央部における浮力を、相対的に大きく或いは小さくすることにより、ワークを搬送方向に直交する方向に凸状あるいは凹状にして、非接触状態で吸着保持することができる。

さらに、図１７に示される構成と図１８に示される構成を組み合わせ、非接触吸着盤の両側縁に沿って延びる独立加圧気体流路と、幅方向中央を長手方向に延びる独立加圧気体流路とを備えた非接触吸着盤でもよい。

これらの独立加圧気体流路１０２、１０４、１０６、１０８も、独立加圧気体流路１００と同様に、パッドホルダ４に溝１４とは分離された即ち加圧気体流路１４とは連通しない状態に形成された独立給気溝によって構成されている。

また、図１６ないし図１９に示す実施形態では、独立加圧気体流路の周囲に配置された吸引孔を独立吸引孔とするのが好ましい。

このような構成によれば、独立加圧気体流路、独立吸引孔が形成された領域では、他の領域と異なる吸引状態を実現することが可能となる。

上記本発明の各実施形態およびその変形例の非接触搬送装置で使用された非接触吸着盤を、非接触状態でワークを保持するための非接触吸着盤として、単独で使用することも可能である。

次に、本発明の他の態様の非接触吸着盤について説明する。
図２０は、本発明の他の態様の非接触吸着盤１２０を示す概略的な平面図である。図２０に示された非接触吸着盤１２０は、外形が円形であるが、上記非接触吸着盤１と同様の基本構成を備え、多孔質パッド１２２と、パッドホルダと、ベース６とを備えている。非接触吸着盤１２０も、上記の非接触吸着盤１と同様に薄板状のワークを非接触吸着するが、薄板状のワーク吸着保持装置として単独で使用されるものである。

非接触吸着盤１２０においても、多孔質パッド１２２には、非接触吸着盤１の吸引孔８と同様の吸引孔１２４が形成されている。さらに、非接触吸着盤１の加圧気体流路１４と同様の加圧気体流路１２６が設けられている。なお、非接触吸着盤１２０においては、多孔質パッド上に点線で示すように、加圧気体流路１２６は、環状および放射状部分から一体的に構成されている。

非接触吸着盤１２０では、パッドホルダの周縁部に、加圧気体流路１２６から分離した環状の独立加圧気体流路１２８が設けられている。独立加圧気体流路１２８は、第５実施形態の独立加圧気体流路９６と同様に、加圧気体流路１２６と連通せず、加圧気体流路１２６に供給される加圧気体とは異なる流量、圧力等の加圧気体を供給することができるように構成されている。

この結果、非接触吸着盤１２０で円形のワークを吸着保持する場合、ワークの外縁部のみ吸引を相対的に強めたり、弱めたりして、ワークを、凸状あるいは凹状に非接触で吸着保持すること等が可能となる。

非接触吸着盤１２０では、吸引孔１２４は、全て同一の吸引状態となるが、上記第５実施態様のように、一部の吸引孔を、独立吸引孔とした構成でもよい。

図２１は、上記本発明の他の態様の非接触吸着盤１２０の変形例の非接触吸着盤１３０を示す図面である。
図２１に示された非接触吸着盤１３０は、非接触吸着盤１２０では、一体的に構成されていた加圧気体流路１２６を、中心部の第１の加圧気体流路１３２と、径方向中間部の第２の加圧気体流路１３４とに分離し、それぞれに、異なる流量、圧力の加圧気体を供給可能とした点で、非接触吸着盤１２０と異なっている。
即ち、非接触吸着盤１２０では、中央部の第１の加圧気体流路１３２と、径方向中間部の第２の加圧気体流路１３４と、径方向外方部の独立加圧気体流路１２８の３系統の加圧気体流路が、それぞれ、独立して設けられている。

さらに、吸引孔も、中心部の第１吸引孔１３６と、径方向中間部の第２吸引孔１３８と、径方向外方部の第３吸引孔１４０とを、それぞれ、独立した吸引状態となるように構成されている。

このような構成によれば、各加圧気体流路への加圧気体供給状態と、各吸引孔から吸引状態とを適宜調整することにより、ワークの吸着保持状態を最適化することができる。

本発明の前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内で種々の変更、変形が可能である。

尚、上記実施形態では、加圧流体として加圧空気を使用していたが、加圧空気に代えて、加圧した他の流体、例えば、水、油、窒素ガス、アルゴンガス等を用いても良い。

１：非接触吸着盤
８：吸引孔
１４：加圧気体流路
３０：非接触搬送装置
３２：第１の非接触吸着盤
３４：第２の非接触吸着盤
３６：端部幅方向流路
５８：端部搬送方向流路

Claims (20)

1. 薄板状のワークを非接触状態で吸着して搬送する非接触搬送装置であって、
   前記搬送方向に沿って配列された第１および第２の非接触吸着盤を備え、
   前記第１および第２の非接触吸着盤のそれぞれが、
   厚さ方向に貫通して延びる複数の吸引孔が格子状に配置された矩形状の多孔質パッドと、
   前記多孔質パッドの裏面に連結された矩形状のホルダであって、表面に格子状の加圧気体流路と、該加圧気体流路によって区切られた格子状に配列された複数の島状部分とが形成され、前記吸引孔に対応して設けられ前記島状部分を厚さ方向に貫通して延びる連通孔を備え、前記多孔質パッドに連結されたとき、前記島状部分が、前記連通孔が前記多孔質パッドの吸引孔に連通した状態で頂面が前記多孔質パッドの裏面に密着するホルダとを備え、
   搬送方向上流側に配置された前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、搬送方向下流側に配置された前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交する方向に延びるように配置された端部幅方向流路で終端している、
   ことを特徴とする非接触搬送装置。
2. 前記第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に延びるように配置された端部搬送方向流路で終端している、
   請求項１に記載の非接触搬送装置。
3. 前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に延びるように配置された端部搬送方向流路で終端している、
   請求項１または２に記載の非接触搬送装置。
4. 前記第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交して延びるように配置された端部幅方向流路で終端している、
   請求項１ないし３のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
5. 前記第１の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、少なくとも一部分が、前記搬送方向に直交して延びるように配置された端部幅方向流路で終端している、
   請求項１ないし４のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
6. 前記第１および第２の非接触吸着盤のホルダの格子状の加圧気体流路は、交互に配置された、閉鎖された矩形部分で終端する部と、開放した矩形部分で終端する部分とを備え、
   前記第１および第２の非接触吸着盤は、一方の非接触吸着盤の前記加圧気体流路の開放した矩形部分が他方の非接触吸着盤の前記加圧気体流路の閉鎖された矩形部分に搬送方向に沿って整列するように、配置されている、
   請求項１に記載の非接触搬送装置。
7. 前記第１の非接触吸着盤のホルダは、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路を備えている、
   請求項１ないし６のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
8. 前記第１の非接触吸着盤の独立加圧気体流路が、前記第２の非接触吸着盤との接続領域において、前記加圧気体流路の終端部の側縁側に設けられている、
   請求項７に記載の非接触搬送装置。
9. 前記第２の非接触吸着盤のホルダは、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路を備えている、
   請求項１ないし８のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
10. 前記第２の非接触吸着盤の独立加圧気体流路が、前記第１の非接触吸着盤との接続領域において、前記加圧気体流路の終端部の側縁側に設けられている、
    請求項１ないし９のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
11. 前記多孔質パッドは、前記吸引孔とは異なった吸引状態となる独立吸引孔を備えている、
    請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
12. 前記独立吸引孔が、一方の非接触吸着盤の他方の非接触吸着盤との接続領域に配置されている、
    請求項１１に記載の非接触搬送装置。
13. 前記第１および第２の非接触吸着盤が互いに接触して配置されている、
    請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
14. 前記第１および第２の非接触吸着盤が離間して配置されている、
    請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の非接触搬送装置。
15. 薄板状のワークを非接触状態で吸着する非接触吸着盤であって、
    厚さ方向に貫通して延びる複数の吸引孔が配置された矩形状の多孔質パッドと、
    前記多孔質パッドの裏面に連結されたホルダであって、表面に、加圧気体流路と、該加圧気体流路によって区切られた複数の島状部分とが形成され、前記吸引孔に整列して設けられ前記島状部分を厚さ方向に貫通して延びる連通孔を備え、前記多孔質パッドに連結されたとき、前記島状部分は、前記連通孔が前記多孔質パッドの吸引孔に連通した状態で頂面が前記多孔質パッドの裏面に密着するホルダとを備え、
    前記ホルダには、さらに、前記表面に、前記加圧気体流路と分離された独立加圧気体流路が形成されている、
    ことを特徴とする非接触吸着盤。
16. 前記独立加圧気体流路が、前記非接触吸着盤の縁部に隣接して配置されている、
    請求項１５に記載の非接触吸着盤。
17. 前記多孔質パッドは、前記吸引孔とは異なった吸引状態となる独立吸引孔を備えている、
    請求項１５または１６に記載の非接触吸着盤。
18. 前記独立加圧気体流路が、複数、形成され、
    各独立加圧気体流路が相互に分離されている、
    請求項１５ないし１７のいずれか１項に記載の非接触吸着盤。
19. 請求項１５ないし１８のいずれか１項に記載の非接触吸着盤を備えている、
    ことを特徴とする非接触搬送装置。
20. 隣接して配置された前記非接触吸着盤は、前記縁部同士が隣接するように、配置されている、
    請求項１９に記載の非接触搬送装置。

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