KR20160078280A

KR20160078280A - 비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반

Info

Publication number: KR20160078280A
Application number: KR1020150184748A
Authority: KR
Inventors: 다다히로 나가츠마; 사오리 오니츠카; 기요타카 후지히라
Original assignee: 가부시키가이샤 단켄시루세코
Priority date: 2014-12-24
Filing date: 2015-12-23
Publication date: 2016-07-04
Also published as: JP2021167251A; TW201634369A; TWI665146B; JP2016121015A; KR102552128B1; JP6949455B2

Abstract

워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며, 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고, 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이, 두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 격자 형상으로 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와, 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 가압 기체 유로에 의해 구획된 격자 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 다공질 패드에 연결되었을 때, 섬 형상 부분은, 연통 구멍이 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고, 반송 방향 상류측에 배치된 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는 비접촉 반송 장치 등이 제공된다.

Description

비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반{NON-CONTACT TRANSFERRING DEVICE AND NON-CONTACT SUCTION PLATE}

본 발명은 비접촉 반송 장치 및 비접촉 흡착반에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 반송하는 비접촉 반송 장치 및 박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하는 비접촉 흡착반에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼, FPD용 유리 기재 등의 두께가 얇은 워크를 부상시켜 취급하는 비접촉 흡착 장치로서, 인용문헌 1의 부상 스테이지가 알려져 있다. 이 부상 스테이지는, 다공질판의 표면에 있어서, 가압 공기에 의한 워크의 부상과 흡인에 의한 워크의 비접촉 흡착을 동시에 행함으로써, 워크를 다공질판 상에서 부상시켜 반송 등을 하고 있다.

또한, 다른 비접촉 흡착 장치로서, 인용문헌 2의 비접촉 흡착반이 알려져 있다. 이 비접촉 흡착반은, 다공질판의 표면에 있어서, 가압 공기의 분출과, 흡인을 동시에 행하고, 박판 형상 워크를 다공질판 상에서 부상시키면서 보유 지지하는 비접촉 흡착을 실현하고 있다.

이들 비접촉 흡착 장치 및 비접촉 흡착반은, 박판 형상의 워크를 손상시키는 일 없이 부상시켜 반송 또는 보유 지지 등을 할 수 있으므로, FPD용 유리 기재 등의 박판 형상의 워크를 가공할 때에 유효한 장치이다.

일본 특허 출원 공개 제2007-27495호 공보 일본 특허 제5512052호

상기 특허문헌 1에 기재된 부상 스테이지(비접촉 반송 장치)는, LCD용 유리 기판 등의 박판 형상 워크를 반송하는 것이지만, 반송 거리가 짧고, 1매의 다공질판에 의해 형성되어 있다. 이로 인해, 상기한 바와 같은 부상 스테이지를 사용하여, 박판 형상 워크를 긴 거리에 걸쳐 반송하거나, 혹은 치수가 큰 박판 형상 워크를 반송할 때에는, 복수매의 다공질판을 반송 방향으로 연속적으로 배열하여 배치할 필요가 있다.

그러나, 이러한 구성에서는, 워크가, 상류측의 다공질판으로부터 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 반송 방향으로 나열되어 배치된 2매의 다공질판의 접속 부위에서, 워크의 선단이 하방으로 변위해 버리는 경우가 있었다.

이러한 하방 변위에 의해, 워크 자신이 변형되는, 워크가 하류측의 다공질판 상에 원활하게 이송될 수 없는 등의 문제가 발생하는 경우가 있었다. 특히, 두께 0.5㎜ 미만이라 하는 극히 얇은 워크에서는, 이러한 문제가 현저하였다.

또한, 특허문헌 2에 기재된 비접촉 흡착반은, 상술한 바와 같이, LCD용 유리 기판 등의 박판 형상 워크를 다공질판 상에서 부상시키면서 보유 지지하는 것이다.

그러나, 상술한 비접촉 흡착반은, 다공질판의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 패턴을 변경할 수 없다. 즉, 다공질의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 없다. 이로 인해, 박판 형상 워크를 동일 상태에서 부상시키는 것밖에 할 수 없었다. 구체적으로는, 예를 들어 동일한 박판 형상 워크를, 평판 형상, 볼록 형상 또는 오목 형상과 같이, 다른 형상으로 부상시켜 보유 지지할 수 없었다.

즉, 종래 기술의 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치에서는, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 없었다.

본 발명은 이러한 점에 비추어 이루어진 것이며, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상세하게는, 본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 복수매의 다공질판이 반송 방향으로 연속적으로 배열된 구성을 구비하면서, 워크가 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 워크의 선단부의 하방 변위를 억제할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상세하게는, 또한, 본 발명은 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 있는 비접촉 흡착반을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따르면,

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며,

상기 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이,

두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 격자 형상으로 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,

상기 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 격자 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,

반송 방향 상류측에 배치된 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치가 제공된다.

이러한 구성에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있다. 상세하게는, 상류측의 비접촉 흡착반의 가압 기체 유로는, 하류측의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다. 이로 인해, 박판 형상의 워크는, 제1 비접촉 흡착반으로부터 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 때, 제1 비접촉 흡착반의 단부 폭 방향 유로로부터 접속 영역의 다공질 패드의 세공으로 송입되고 접속 영역에서 다공질 패드로부터 분출되는 고압 기체에 의해 상방을 향해 밀어 올려지고, 워크의 높이를 적정하게 제어할 수 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제2 비접촉 흡착반에서는, 반송 방향 최상류측의 부분에 있어서, 다공질 패드의 표면으로부터 가압 기체의 분출량이, 제1 비접촉 흡착반의 반송 방향 최하류의 부분에 있어서의 가압 기체의 분출량보다 적어지므로, 제2 비접촉 흡착반으로 이송된 워크가 과도하게 상측 방향으로 들어 올려지는 것이 억제된다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반에서는, 반송 방향 최하류측의 부분에 있어서, 다공질 패드의 표면으로부터 가압 기체의 분출량이, 제2 비접촉 흡착반의 반송 방향 최상류의 부분에 있어서의 가압 기체의 분출량보다 적어지므로, 제2 비접촉 흡착반으로 이송되는 워크의 선단이 과도하게 상측 방향으로 들어 올려지는 것이 억제된다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 교대로 배치된, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되는 부분과, 개방된 직사각형 부분에서 종단되는 부분을 구비하고,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반은, 한쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 개방된 직사각형 부분이 다른 쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 유량, 압력 등을, 가압 기체 유로에 공급하는 가압 기체의 유량, 압력과는 다른 값으로 하는 것이 가능해지므로, 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 다공질 패드로부터 분출되는 가압 기체의 유량 등을 독자적으로 제어하는 것이 가능해진다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제2 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 유량, 압력 등을, 가압 기체 유로에 공급하는 가압 기체의 유량, 압력과는 다른 값으로 하는 것이 가능해지므로, 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 다공질 패드로부터 분출되는 가압 기체의 유량 등을 독자적으로 제어하는 것이 가능해진다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 독립 흡인 구멍이, 한쪽의 비접촉 흡착반의 다른 쪽의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 배치되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 서로 접촉하여 배치되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 이격하여 배치되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반으로부터 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 때, 워크는, 선단이 상방을 향해 밀어 올려지고, 그 후, 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 사이에 형성된 간극에서 자중에 의해 하방으로 가압되므로, 높이 위치가 유지된 상태에서 제2 비접촉 흡착반으로 이송될 수 있다.

본 발명의 다른 형태에 따르면,

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하는 비접촉 흡착반이며,

두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,

상기 다공질 패드의 이면에 연결된 홀더이며, 표면에, 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 정렬하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,

상기 홀더에는, 또한, 상기 표면에, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 흡착반이 제공된다.

이러한 구성에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있다. 상세하게는, 가압 기체 유로 내의 공급하는 가압 공기의 압력, 및/또는 유량과, 독립 가압 기체 유로에 공급하는 가압 공기의 압력, 및/또는 유량을, 독립적으로 할 수 있다. 이로 인해, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 유량 분포를 변경하는 것이 가능해진다. 이 유량 분포의 변경에 의해, 동일 형상의 박판 워크를 평판 형상으로 보유 지지하거나, 볼록 형상 또는 오목 형상으로 보유 지지하는 것이 가능해진다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 독립 가압 기체 유로가, 상기 비접촉 흡착반의 테두리부에 인접하여 배치되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

상기 독립 가압 기체 유로가 복수 형성되고,

각 독립 가압 기체 유로가 서로 분리되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면, 상기 비접촉 흡착반을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치가 제공된다.

본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면,

인접하여 배치된 상기 비접촉 흡착반은, 상기 테두리부끼리가 인접하도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 따르면,

비접촉 흡착반끼리가 접속되는 영역의 근방에서, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 양을, 다른 영역과는 독립적으로 제어할 수 있으므로, 반송 중의 워크가, 한쪽의 비접촉 흡착반으로부터 이것에 인접하는 다른 쪽의 비접촉 흡착반으로 이송될 때에 발생하는, 높이의 변동 등을 억제할 수 있다.

본 발명에 따르면, 워크의 비접촉 흡착 상태를 세밀하게 제어할 수 있는 비접촉 반송 장치, 비접촉 흡착반 등의 비접촉 흡착 장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 복수매의 다공질판이 반송 방향으로 연속적으로 배열된 구성을 구비하면서, 워크가 하류측의 다공질판으로 이송될 때에, 워크의 선단부의 하방 변위를 억제할 수 있는 비접촉 반송 장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 다공질 패드의 표면으로부터 분출되는 가압 공기의 분출 상태를 국소적으로 변경할 수 있는 비접촉 흡착반을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 분해 사시도.
도 2는 도 1의 비접촉 흡착반에 의한 워크(W)의 흡착 고정(비접촉 흡착)의 상태를 설명하기 위한 모식적인 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 4는 제1 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 6은 제2 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 7은 본 발명의 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 8은 제3 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 9는 본 발명의 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 10은 제4 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면.
도 11은 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치예를 나타내는 도면.
도 12는 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 배치예를 나타내는 도면.
도 13은 비접촉 반송 장치의 다른 구성예를 나타내는 도면.
도 14는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반 및 그 배치를 도시하는 도면.
도 15는 제5 실시 형태의 비접촉 흡착반의 구조를 설명하는 모식적인 단면도.
도 16은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 변형예를 나타내는 도면.
도 17은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 18은 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 19는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 변형예를 나타내는 도면.
도 20은 본 발명의 다른 비접촉 흡착반을 도시하는 평면도.
도 21은 본 발명의 다른 비접촉 흡착반을 도시하는 평면도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 구성을 설명한다. 도 1은 본 발명의 바람직한 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 분해 사시도이며, 도 2는 도 1의 비접촉 흡착반에 의한 워크(W)의 흡착 고정(비접촉 흡착)의 상태를 설명하기 위한 모식적인 단면도이다.

본 발명의 바람직한 실시 형태에서 사용되는 비접촉 흡착반은, 국제 공개 WO2013/129599호 공보에 기재되어 있는 비접촉 흡착반에 유사한 기본 구성을 갖고, 반도체 웨이퍼, FPD용 유리 기재 등의 박판 형상의 워크, 특히 두께 0.3 내지 0.4㎜ 정도의 액정 디스플레이용 유리판 등의 박판 형상의 워크를 비접촉 흡착하는 데 적합하다. 또한, 두께 0.1㎜ 정도의 유리판, 두께 0.05㎜의 필름 등의 극히 얇은 워크를 비접촉 흡착하는 데에도 적합하다.

비접촉 흡착반(1)은, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 표면에 워크의 비접촉 흡착 영역을 구비한 직사각 형상의 다공질 패드(2)와, 다공질 패드(2)를 하측(이면측)으로부터 보유 지지하는 직사각 형상의 패드 홀더(4)와, 홀더(4)의 이면측에 연결되는 직사각 형상의 베이스(6)를 구비하고 있다.

다공질 패드(2)는, 통기성의 다공질 카본으로 형성되어 있다. 다공질 패드(2)의 재료는, 통기성의 다공질 카본에 한정되는 것이 아니라, 다른 통기성의 다공질 재료, 예를 들어 다공성 SiC·다공성 알루미나 등을 사용할 수도 있다.

다공질 패드(2)의 투과량은, 0.4∼2Nml/min/㎟ 정도가 바람직하다[다공질 패드(2)의 두께가 5㎜, 압력 0.1㎫일 때].

다공질 패드(2)에는, 복수의 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 흡인 구멍(8)은, 다공질 패드(2)의 대략 전면에 걸쳐, 격자 형상으로 배열, 즉, 바둑판의 눈의 중앙에 배치된 상태로 배열되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡인 구멍(8)의 간격은 25㎜ 정도로 설정되어 있다.

흡인 구멍(8)은, 각 다공질 패드(2)를 두께 방향으로 관통하여 연장되도록 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡인 구멍(8)은, 다공질 패드(2)의 표면측이 직경 0.6㎜ 정도의 소직경부(8a)로 되고, 다공질 패드(2)의 이면측이 직경 4㎜ 정도의 대직경부로 되어 있다. 소직경부(8a)와 대직경부(8b)는, 다공질 패드(2)의 표면을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼부에 의해 연결되어 있다.

이러한 구성에 의해, 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)가 감압 흡인되면, 다공질 패드의 표면측에 개구된, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)로부터의 공기가 흡인되고, 흡인 구멍(8)이 형성되어 있는 다공질 패드(2)의 표면 영역이, 워크의 비접촉 흡착 고정을 행하는 비접촉 흡착 고정 영역으로 된다.

상술한 바와 같이, 패드 홀더(4)는, 다공질 패드(2)를 하측(이면측)으로부터 보유 지지하는 직사각 형상의 부재이며, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 형성되어 있다. 패드 홀더(4)를 CFRP·PEEK 등의 수지로 형성해도 된다.

패드 홀더(4)의 상면에는, 외주연에 벽 형상의 기립부(12)가 형성되어 있다. 기립부(12)는, 내부 치수가, 다공질 패드(2)의 외부 치수보다 약간 크고, 높이가 다공질 패드(2)의 두께보다 약간 낮아지도록 구성되어 있다.

따라서, 다공질 패드(2)는, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간(오목부)에 배치되면, 다공질 패드(2)의 상면(2a)이, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 정상면보다 약간 상방에 배치된 상태로 된다.

또한, 본 발명은 기립부(12)를 구비하지 않는 구성이어도 된다.

또한, 패드 홀더(4)의 상면(오목부의 저면)의 내측 영역에는, 격자 형상(바둑판의 눈 형상)으로 단면 직사각형의 홈(가압 기체 유로)(14)이 형성되고, 홈(14)에 의해 구획된 부분은, 정방 격자 형상으로 배열된 횡단면이 대략 정사각형의 섬 형상의 돌기부(16)로 되어 있다. 섬 형상의 돌기부(16)는, 격자 형상(바둑판의 눈 형상)으로 배치된 홈(14)과 함께, 바둑판의 눈 형상 구조를 구성하고 있다. 각 돌기부(16)의 정상면은 평탄하며, 중앙에, 패드 홀더(4)를 두께 방향으로 관통하는 연통 구멍(18)이 형성되어 있다.

또한, 홈(14)에 의해 구성되는 가압 기체 유로는, 일체적으로 연통되고, 전체적으로 1개의 유로로서 기능한다.

또한, 본 발명에 있어서 격자의 형태는, 상기 예의 정방 격자에 한정되지 않는다. 또한, 섬 형상의 돌기부의 횡단면 형상은, 돌기부(16)와 같은 대략 정사각형에 한정되지 않고, 다른 직사각형, 삼각형, 다각형, 원형 등이어도 된다.

다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)는, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내에 배치된 상태에서, 접착제 등에 의해 접합되어 고정되어 있다. 기립부(12)를 구비하지 않는 구성에서는, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)가 적층된 상태에서 접착제 등에 의해 접합되어 고정된다.

돌기부(16)는, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내에 배치되었을 때, 정상면이 다공질 패드(2)의 이면의 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)의 개구 단부의 주위의 영역에, 기밀 상태로 접촉하도록 구성되어 있다.

이 결과, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 접착제로 고정되면, 다공질 패드(2)의 이면과 패드 홀더(4)의 상면 사이에, 격자 형상으로 배치된 홈(14)과 이 홈(14)을 덮는 다공질 패드(2)에 의해 구획된 폐쇄 공간(가압 기체 유로)이 형성된다.

연통 구멍(18)은, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)의 대직경부(8b)와 대략 동일한 직경을 갖고, 다공질 패드(2)가 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간 내의 소정 위치에 수용되었을 때, 다공질 패드(2)에 형성된 각 흡인 구멍(8)과 두께 방향으로 정렬되도록 구성되어 있다.

이 결과, 다공질 패드(2)가, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 수용되면, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)과 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)이 유체 연통된다.

패드 홀더(4)에는, 홈(14)에 의해 형성된 가압 기체 유로의 전체와 외부 공간을 연통시키고, 이 가압 기체 유로에 가압 공기를 도입하기 위한 가압 공기 입구(20)가 형성되어 있다.

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)를, 패드 홀더(4)의 기립부(12)의 내측의 공간에 수용하고 접착 고정한 상태에서, 가압 공기 입구(20)로부터 가압 공기를 도입하면, 도입된 가압 공기는, 가압 기체 유로의 전체에 공급되고, 가압 공기는, 가압 기체 유로의 상면을 구성하는 다공질 패드(2)의 세공에 침입하고, 다공질 패드(2)를 투과하여, 또한 다공질 패드(2)의 표면 전체로부터 분출되게 된다.

이때, 격자 형상의 홈(14)(가압 기체 유로)이 하방에 배치되어 있는 다공질 패드(2)의 표면 부분에서는, 홈(14)(가압 기체 유로)이 하방에 배치되어 있지 않은 부분보다 많은 양의 가압 공기가, 혹은 높은 압력의 가압 공기가 분출된다.

베이스(6)는, 홀더(4)의 이면측에 연결되는 직사각 형상의 부재이며, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 형성되어 있다. 베이스(6)도, CFRP·PEEK 등의 수지로 형성할 수 있다.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 베이스(6)는, 패드 홀더(4)와 대략 동일 치수를 갖고, 평탄한 상면에 단면 직사각형의 베이스 홈(22)이 격자 형상으로 형성되어 있다. 따라서, 패드 홀더(4)의 평탄한 이면과 베이스(6)의 상면이 접합되면, 격자 형상의 베이스 홈(22)과 이것을 덮는 패드 홀더(4)의 이면에 의해, 격자 형상의 폐쇄 공간이 형성되게 된다.

베이스 홈(22)은, 패드 홀더(4)와 베이스(6)가 접합되었을 때, 격자 형상의 베이스 홈(22)의 교점이 패드 홀더(4)에 형성된 연통 구멍(18)과 두께 방향으로 정렬되도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)가 연결되면, 다공질 패드(2)의 흡인 구멍(8)이, 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)을 통해, 베이스(6)와 패드 홀더(4) 사이에 형성된 격자 형상의 폐쇄 공간의 교점에 연통되게 된다.

또한, 베이스(6)의 외주에는, 베이스 홈(22)을 베이스(6)의 외부의 진공원과 연통시키기 위한 관통 구멍인 진공 구멍(24)이 형성되어 있다.

이러한 구성에 의해, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결한 상태에서, 진공 구멍(24)으로부터 진공 흡인을 행하면, 패드 홀더(4)의 연통 구멍(18)을 통해, 다공질 패드(2)의 각 흡인 구멍(8)으로부터 흡인이 행해지고, 다공질 패드(2) 상의 워크를 다공질 패드(2)를 향해 흡인할 수 있다.

또한, 각 흡인 구멍(8)은, 격자 형상의 폐쇄 공간에 연통되므로, 각 흡인 구멍의 흡인 상태는 동일해진다.

패드 홀더(4)와 베이스(6)는, 나사, 볼트 등의 연결구에 의해 연결되어 있다. 베이스(6)의 상면의 외주를 따라 홈을 형성하고, 이 홈 내에 O링을 배치함으로써, 베이스(6)의 격자 형상의 베이스 홈(22)이 폐쇄 상태로 되도록 하여, 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결할 수 있다. 또한, 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 접착제로 연결하는 구성이어도 된다.

이러한 구성을 갖는 비접촉 흡착반은, 사용 시에는, 다공질 패드(2)와 패드 홀더(4)와 베이스(6)를 연결한 상태에서, 가압 공기 입구(20)로부터 가압 공기를 홈(14)과 다공질 패드(2)에 의해 형성된 가압 기체 유로에 도입하고, 또한 베이스(6)의 진공 구멍으로부터 진공 흡인을 행함으로써, 다공질 패드(2) 상에서 워크를 부상시킨 상태에서 흡착하는 워크의 비접촉 흡착을 행할 수 있다.

다음으로, 도 2를 따라, 비접촉 흡착에 대해 상세하게 설명한다.

상술한 바와 같이, 사용 시에, 패드 홀더(4)의 홈(14)과 다공질 패드(2)에 의해 형성된 또한 가압 기체 유로 외부의 압축 공기원으로부터 가압 공기를 도입하면, 가압 공기는, 다공질 패드(2)의 세공을 통해 다공질 패드(2) 내에 침입하고, 도 2에 화살표 P로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 표면(2a)으로부터 분출된다. 도 2에 화살표 P로 나타내는 바와 같이 분출되는 가압 공기에 의해, 워크(W)는 패드(2)의 표면(흡착면)(2a)으로부터 부상한다.

한편, 가압 공기의 도입과 동시에 행해지는 베이스(6)의 진공 구멍(24)으로부터의 진공 흡인에 의해, 패드의 표면(흡착면) 상에 부상하고 있는 워크(W)는, 다공질 패드(2)의 각 흡인 구멍(8)으로부터, 화살표 V로 나타내는 바와 같이 흡인된다. 이 결과, 워크(W)는, 가압 공기에 의한 부력과 진공 흡인에 의한 흡인력이 균형이 잡힌 흡착면(2a)으로부터 상방으로 소정 거리 G만큼 이격된 위치에서, 비접촉 흡착 고정되게 된다.

흡인 구멍(8)의 간격은, 예를 들어 25 내지 8㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 간격을 좁게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 간격을, 20㎜로부터 12㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.

또한, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)의 직경은, 예를 들어 0.8 내지 0.1㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 직경을 작게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 직경을 0.6㎜로부터 0.3㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.

또한, 단면 직사각형의 홈(가압 기체 유로)(14)의 폭은, 예를 들어 8.0 내지 1.0㎜의 범위에서, 적절히 변경 가능하다. 폭을 작게 할수록, 흡착 정밀도가 향상된다. 예를 들어, 폭을 4.0㎜로부터 2.0㎜로 변경하면, 정밀도가 1.5배로 된다.

흡인 구멍(8)의 간격, 흡인 구멍(8)의 소직경부(8a)의 직경, 및 가압 기체 유로(14)의 폭을, 상기한 작은 값으로 변경함으로써, 두께 0.1㎜의 유리(워크)의 흡착 유지하였을 때의 소정 거리 G의 편차가 1/3 내지 1/4 정도로 되고, 흡착 정밀도가 높아졌다. 또한, 두께 0.05㎜의 필름에서는, 흡착 유지하였을 때의 소정 거리 G의 편차가 1/4 내지 1/5 정도로 되었다.

이러한 구성의 비접촉 흡착반을 사용하여 본 발명의 비접촉 반송 장치를 구성하는 경우에는, 부상시킨 워크(W)를, 흡착면(2a)을 따라 이동시키는 로봇 핸드 등이 부가된다.

다음으로, 본 발명의 바람직한 형태의 비접촉 반송 장치에 대해 설명한다.

본 발명의 비접촉 반송 장치에서는, 비접촉 흡착반(1)과 같은 기본 구성을 갖는 비접촉 흡착반을 워크 반송 방향으로 배열함으로써 반송 경로를 형성하고, 이 반송 경로 상에서 박판 형상의 워크를 부상 흡착시키고, 로봇 핸드 등의 이송 수단으로, 워크를 반송 경로를 따라 반송한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치(30)에 있어서의 비접촉 흡착반의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 3의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 3에 도시된 제1 실시 형태의 비접촉 반송 장치(30)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(32)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(34)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이(이하, 다른 실시 형태의 도면에 있어서도 마찬가지), 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 가압 기체 유로(14)는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)이 서로 대향하는 변을 따라(즉, 반송 방향에 직교하는 방향인 폭 방향으로) 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(36)에서 종단되어 있다.

또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 각각에 있어서, 가장 접촉부에 가까운 측에 형성된 흡인 구멍(8, 8)간의 거리 d1이, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)에 있어서의 흡인 구멍간의 거리 d2보다 길게 설정되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(32, 34)의 접속부에 있어서의 흡인 구멍(8)의 간격은, 다른 부분에 있어서의 간격보다 크게 되어 있고, 또한 격자 형상의 가압 기체 유로(14)는, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 유로(36)에서 종단되어 있으므로, 제1 비접촉 반송 장치(32)로부터 제2 비접촉 반송 장치(34)로 이송될 때, 워크, 특히 워크 선단은, 크게 부상하게 된다.

도 4는 제1 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(30')에 있어서의 비접촉 흡착반(32', 34')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 4에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 4에 도시된 비접촉 반송 장치(30')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(32')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(34')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(30)와 동일한 구성을 구비하고 있다.

또한, 본 명세서에서는, 반송 방향으로 소정 거리 이격하여 배열된 상태도 「접속」에 포함한다.

이러한 구성에 있어서도, 제1 비접촉 반송 장치(32')로부터 제2 비접촉 반송 장치(34')로 이송될 때, 워크, 특히 워크 선단은, 크게 부상하게 된다. 이로 인해, 제1 비접촉 반송 장치(32')와 제2 비접촉 반송 장치(34')의 경계의 간극 또는 간극의 하방에 센서 등의 기기를 배치하는 구성 등에 유효하다.

도 5는 본 발명의 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반(40)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 5의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 5에 도시된 제2 실시 형태의 비접촉 반송 장치(40)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(42)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(44)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)의 가압 기체 유로(14)는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42, 44)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(46)에서 종단되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 단부 유로(46)의 폭은, 4㎜ 정도로, 가압 기체 유로(14)의 다른 부분보다 좁게 설정되어 있다.

도 6은 제2 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(40')에 있어서의 비접촉 흡착반(42', 44')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 6에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 6에 도시된 비접촉 반송 장치(40')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(42')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(44')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(40)와 동일한 구성을 구비하고 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반(42')으로부터 제2 비접촉 흡착반(44')으로 이송될 때, 워크는, 선단이 상방을 향해 밀어 올려지고, 그 후, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(42', 44')의 사이에 형성된 간극에서 자중에 의해 하방으로 가압되므로, 높이 위치가 유지된 채로 제2 비접촉 흡착반(44')으로 이송될 수 있다.

도 7은 본 발명의 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반(50)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 7의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 7에 도시된 제3 실시 형태의 비접촉 반송 장치(50)에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(52)과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(54)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(52)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 폭 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로(56)에서 종단되어 있다.

또한, 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(54)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)이 서로 접촉하는 접촉부(접속 영역)에 있어서, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(58)에서 종단되어 있다.

또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)에서는, 도 7의 상태에서 접촉 배치되었을 때, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54)의 각각에 있어서, 접촉부에 가장 가까운 측에 형성된 흡인 구멍(8, 8)간의 거리 d3이, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(52, 54) 내에서 인접하는 흡인 구멍간의 거리와 동등해지도록 설정되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 비접촉 흡착반(52)으로부터 제2 비접촉 흡착반(54)에 걸쳐, 흡인 구멍(8)이 대략 등피치로 형성되고, 또한 흡인 구멍(8)과 폭 방향의 가압 기체 유로가 교대로 배치되게 되므로, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(52)으로부터 제2 비접촉 흡착반(54)으로 이송될 수 있다.

도 8은 제3 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(50')에 있어서의 비접촉 흡착반(52', 54')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 7에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 8에 도시된 비접촉 반송 장치(50')는, 제1 비접촉 흡착반(52')과 제2 비접촉 흡착반(54')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 도 7의 비접촉 반송 장치(50)와 동일한 구성을 구비하고 있다.

도 9는 본 발명의 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치(60)에 있어서의 비접촉 흡착반(62, 64)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 9의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 9에 도시된 제4 실시 형태의 비접촉 반송 장치(60)에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)과 제2 비접촉 흡착반(64)이, 반송 방향을 따라 접촉 상태로 배열되어 있다.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 구성을 구비하고, 최상부의 다공질 패드(2)에는 정방 격자 형상으로 흡인 구멍(8)이 형성되어 있다. 또한, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더에는 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)에 있어서, 흡인 구멍 및 폭 방향의 가압 기체 통로가, 폭 방향(즉, 반송 방향에 직교하는 방향)의 한쪽의 측(도 9 하측)과 다른 쪽의 측(도 9 상측)에서, 반송 방향으로 반 피치 어긋나 배치되어 있다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에 있어서는, 폭 방향으로 연장되는 단부 폭 방향 유로(66)에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에 있어서는, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(68)에서 종단되어 있다.

즉, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에서는, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에서는, 반송 방향 하류측을 향해 개방된 직사각형 부분에서 종단되어 있다.

이 결과, 제1 비접촉 흡착반(62)에서는, 가압 기체 유로가 지그재그 형상으로 배치되어 있게 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제2 비접촉 흡착반(64)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 하측)에 있어서는, 반송 방향으로 연장되는 단부 반송 방향 유로(68)에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 상측)에 있어서는, 폭 방향으로 연장되는 단부 폭 방향 유로(66)에서 종단되어 있다.

즉, 본 실시 형태에서는, 제2 비접촉 흡착반(64)의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 폭 방향의 한쪽의 측(도 9 상측)에서는, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되고, 폭 방향의 다른 쪽의 측(도 9 하측)에서는, 반송 방향 상류측을 향해 개방된 직사각형 부분에서 종단되어 있다.

이 결과, 제2 비접촉 흡착반(64)에서도, 가압 기체 유로가 지그재그 형상으로 배치되어 있게 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 비접촉 흡착반(62)과 제2 비접촉 흡착반(64)이, 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 지그재그 형상으로 배치되어 있는 가압 기체 유로가 상대적으로 상보적 배치로 되도록 배열되어 있다.

즉, 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62)의 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분이, 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64)의 가압 기체 유로의 반송 방향 상류측을 향해 개방된 직사각형 부분에, 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다. 그리고, 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62)의 가압 기체 유로의 반송 방향 하류측을 향해 개방된 직사각형 부분이, 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64)의 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에, 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62, 64)의 접속부에 있어서도, 흡인 구멍과 폭 방향의 가압 기체 유로가 등피치로 배치되므로, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(62)으로부터 제2 비접촉 흡착반(64)으로 이송될 수 있다.

도 10은 제4 실시 형태의 변형예의 비접촉 반송 장치(60')에 있어서의 비접촉 흡착반(62', 64')의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 10에 있어서도 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 10에 도시된 비접촉 반송 장치(60')는, 반송 방향 상류측의 제1 비접촉 흡착반(62')과 반송 방향 하류측의 제2 비접촉 흡착반(64')이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격하여 배열되어 있는 점을 제외하고, 비접촉 반송 장치(60)와 동일한 구성을 구비하고 있다.

이러한 구성에 있어서도, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(62', 64')의 접속부에 있어서, 흡인 구멍과 폭 방향의 가압 기체 유로를 등피치로 배치할 수 있고, 이에 의해, 워크는, 높이 위치가 유지된 상태에서 제1 비접촉 흡착반(62')으로부터 제2 비접촉 흡착반(64')으로 이송될 수 있다.

도 11 및 도 12는 비접촉 반송 장치에 있어서의 비접촉 흡착반의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.

도 11의 비접촉 반송 장치(70)에서는, 비접촉 흡착반을 긴 변이 워크의 반송 방향을 따르도록 배향시키고, 8행 2열로 배열하고 있다. 이 구성에서는, 비접촉 흡착반의 열의 사이는 이격되고, 반송 방향에 있어서의 가압 기체 유로의 관계는 도 4의 형태와 마찬가지의 배치로 되어 있다.

도 12의 비접촉 반송 장치(80)에서는, 비접촉 흡착반을 짧은 변이 워크의 반송 방향을 따르도록 배향시키고, 2행 4열로 배열하고 있다. 이 구성에서는, 비접촉 흡착반의 열의 사이는 이격되고, 가압 기체 유로의 배치는 도 4의 형태와 마찬가지의 배치로 되어 있다.

도 11 및 도 12에 도시된 비접촉 반송 장치(70, 80)는, 비접촉 흡착반의 상하류에 배치된 복수기의 부상 장치(90)를 구비하고 있다. 이 부상 장치(90)는, 예를 들어 다공질판으로부터 분출되는 가압 공기로 워크를 부상시키는 방식의 것이다.

비접촉 반송 장치(70, 80)에서는, 각 비접촉 흡착반은, 복수개의 바 상에 뗏목 형상으로 연결 고정, 또는 대형의 기판 상에 고정되거나 하여 소정 상태로 배열되어 있다.

이들 비접촉 반송 장치(70, 80)에서는, 어느 비접촉 흡착반의 폭 방향 측방에 접촉 상태로 배치되는 다른 비접촉 흡착반은, 어느 비접촉 흡착반측에 위치하는 측부 테두리부(측방측의 접촉 영역)에서, 가압 기체 유로가, 비접촉 흡착반의 길이 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)에서 종단되어 있다. 이 구성을, 도 13을 예로 설명한다.

도 13에 도시되어 있는 구성은, 도 10의 비접촉 반송 장치(60')를 구성하는 각 비접촉 흡착반(62', 64')의 측방에, 각각, 제1 및 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")이 접촉 상태로 배치된 구성을 구비하고 있다.

비접촉 흡착반(62', 64')에 접촉 배치된 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")에서는, 일측의 접촉 영역, 즉, 비접촉 흡착반(62', 64')과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)(66")에서 종단되어 있다.

또한, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 타측의 접촉 영역, 즉, 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향으로 연장되는 홈(68")에서 종단되어 있다.

또한, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 다른 쪽의 측에 접촉 배치된 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")에서는, 일측의 접촉 영역, 즉, 제1 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")과의 접촉 영역에 있어서, 가압 유체 홈(가압 기체 유로)(14)이, 반송 방향에 직교하는 방향(W 방향)으로 연장되는 홈(폭 방향 홈)(66")에서 종단되어 있다.

또한, 제2 추가의 비접촉 흡착반(62", 64")의 타측에 있어서, 가압 유체 홈(14)은, 반송 방향으로 연장되는 홈(68")에서 종단되어 있다.

이 구성에서는, 인접하는 비접촉 흡착반간에 있어서의, 흡인 구멍(8)의 폭 방향(W 방향) 간격 d4가, 동일 비접촉 흡착반 내에 있어서의 흡인 구멍(8)의 폭 방향(W 방향) 간격 d5와 거의 동등해지도록 설정되어 있다.

즉, 비접촉 흡착반(62')의 제1 추가의 비접촉 흡착반(62")측의 흡인 구멍(8)과, 비접촉 흡착반(62')에 접촉 배치된 제1 추가의 비접촉 흡착반(62")의 비접촉 흡착반(62')측의 흡인 구멍(8) 사이의, 폭 방향(W 방향) 간격 d4가, 각 비접촉 흡착반(62', 62") 내에 있어서의 흡인 구멍(8)간의 폭 방향(W 방향) 간격 d5와 거의 동등해지도록 구성되어 있다.

또한, 서로 동등한 상기 d4, d5는, 비접촉 흡착반 내의 인접하는 흡인 구멍(8)의 길이 방향 간격 d6과도 동등해지도록 구성되어 있다.

다음으로, 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에 대해 설명한다.

도 14는 본 발명의 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에 있어서의 비접촉 흡착반(92, 94)의 배치를 도시하는 도면이다. 또한, 도 14의 화살표 A로 나타내어지는 방향이 워크 반송 방향이다.

도 14에 도시된 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치(90)에서는, 제1 비접촉 흡착반(92)과 제2 비접촉 흡착반(94)이, 반송 방향을 따라 소정 거리만큼 이격한 상태로 배열되어 있다.

제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 기본 구성을 구비하고 있다. 다공질 패드(2)의 하방의 패드 홀더(4)에는, 다공질 패드(2) 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 격자 형상의 가압 기체 유로(14)가 형성되어 있다. 또한, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)은, 상술한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지로, 다공질 패드에 형성된 복수의 흡인 구멍(8)을 구비하고 있다.

상술한 비접촉 흡착반(1)과의 차이점은, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)이, 가압 기체 유로(14)에 더하여, 이 가압 기체 유로(14)와 분리된 독립 가압 기체 유로(96)를 구비하고 있는 점, 및 흡인 구멍(8)과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍(98)을 구비하고 있는 점이다.

이하, 이 점에 대해, 상세하게 설명한다.

상술한 바와 같이, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 독립 가압 기체 유로(96)가, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측의 테두리부에 있어서, 반송 방향 A에 직교하여 연장되도록 형성되어 있다. 상세하게는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에 있어서, 각 독립 가압 기체 유로(96)는, 다른 비접촉 흡착반(94, 92)과의 접속 영역에 있어서, 가압 기체 유로(14)의 종단부의 단부(선단)측에 형성되어 있다.

각 독립 가압 기체 유로(96)는, 도 15에 도시되는 바와 같이, 패드 홀더(4)에 홈(14)과는 분리된, 즉, 가압 기체 유로(14)와는 연통되지 않는 상태로 형성된 독립 급기 홈(96)에 의해 구성되어 있다[도 15는 비접촉 흡착반(92)에 대해서는, 독립 급기 홈(96)을 명확하게 나타내기 위해 다른 구성은 생략하고 있음]. 이 결과, 독립 가압 기체 유로(96)에는, 가압 기체 유로(14)와는 다른 유량, 압력의 가압 유체를 공급할 수 있다.

또한, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측에 배열된 흡기 구멍이, 다른 흡인 구멍(8)과는 상이한 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍(98)으로서 구성되어 있다. 상세하게는, 제1 및 제2 비접촉 흡착반(92, 94)에 있어서, 가장 다른 비접촉 흡착반(94, 92)측(선단측)에 위치하는 흡인 구멍이, 독립 흡인 구멍(98)으로서 구성되어 있다.

각 독립 흡인 구멍(98)은, 도 15에 도시되는 바와 같이, 각 흡인 구멍(8)이 연통되는 베이스(6)의 베이스(22)와는 상이한 흡인 홈(100)에 연통되어 있다[도 15는 비접촉 흡착반(94)에 대해서는, 독립 흡인 구멍(98), 흡인 홈(100)을 명확하게 나타내기 위해 다른 구성은 생략하고 있음]. 이 결과, 독립 흡인 구멍(98)은, 다른 흡인 구멍(8)과는 상이한 흡인 상태로 할 수 있다.

이러한 구성에 따르면, 반송 방향으로 직렬 배치된 2매의 비접촉 흡착반(92, 94)의 접속 영역에서는, 다른 영역과 상이한 흡인 상태를 실현하는 것이 가능해진다. 이로 인해, 가압 기체 유로(14) 및 독립 가압 기체 유로(96)에의 가압 기체 공급 상태, 또한 흡인 구멍(8) 및 독립 흡인 구멍(98)으로부터 흡인 상태를 적절히 조정함으로써, 2매의 비접촉 흡착반(92, 94) 사이에서의 박판 형상 워크의 이송 등을 원활하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 제5 실시 형태의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반(92, 94)에서는, 독립 가압 기체 유로(96)가, 다른 쪽의 비접촉 흡착반(94, 92)과 접속되는 측의 테두리부에 있어서, 반송 방향 A에 직교하여 연장되도록 형성되어 있었다. 그러나, 본 발명의 비접촉 반송 장치에서 사용되는 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로(96)의 구성은, 이것에 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도 16에 도시되어 있는 바와 같이, 비접촉 흡착반의 주연 전체에 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(102)가 형성된 구성, 도 17에 도시되어 있는 바와 같이 비접촉 흡착반의 양 측부 테두리를 따라 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(104)가 형성된 구성이어도 된다.

도 17의 구성에서는, 워크의 양 측부 테두리에 있어서의 부력을 독립적으로 제어할 수 있다. 이로 인해, 워크의 양 측부 테두리의 부력을 상대적으로 작게 혹은 크게 함으로써, 워크를 반송 방향에 직교하는 방향으로 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 하여, 비접촉 상태로 흡착 유지할 수 있다.

또한, 도 18에 도시되어 있는 바와 같이, 비접촉 흡착반의 폭 방향 중앙을 길이 방향으로 연장되도록, 독립 가압 기체 유로(106)가 형성된 구성, 도 19에 도시되어 있는 바와 같이 비접촉 흡착반의 선단측 영역의 폭 방향 중앙에 직사각 형상의 독립 가압 기체 유로(108)가 형성된 구성이어도 된다.

도 18의 구성에서는, 워크의 폭 방향 중앙부에 있어서의 부력을 독립적으로 제어할 수 있다. 이로 인해, 워크의 폭 방향 중앙부에 있어서의 부력을, 상대적으로 크게 혹은 작게 함으로써, 워크를 반송 방향에 직교하는 방향으로 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 하여, 비접촉 상태로 흡착 유지할 수 있다.

또한, 도 17에 도시되는 구성과 도 18에 도시되는 구성을 조합하여, 비접촉 흡착반의 양 측부 테두리를 따라 연장되는 독립 가압 기체 유로와, 폭 방향 중앙을 길이 방향으로 연장되는 독립 가압 기체 유로를 구비한 비접촉 흡착반이어도 된다.

이들 독립 가압 기체 유로(102, 104, 106, 108)도, 독립 가압 기체 유로(100)와 마찬가지로, 패드 홀더(4)에 홈(14)과는 분리된, 즉, 가압 기체 유로(14)와는 연통되지 않는 상태로 형성된 독립 급기 홈에 의해 구성되어 있다.

또한, 도 16 내지 도 19에 나타내는 실시 형태에서는, 독립 가압 기체 유로의 주위에 배치된 흡인 구멍을 독립 흡인 구멍으로 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성에 따르면, 독립 가압 기체 유로, 독립 흡인 구멍이 형성된 영역에서는, 다른 영역과 상이한 흡인 상태를 실현하는 것이 가능해진다.

상기 본 발명의 각 실시 형태 및 그 변형예의 비접촉 반송 장치에서 사용된 비접촉 흡착반을, 비접촉 상태로 워크를 보유 지지하기 위한 비접촉 흡착반으로서, 단독으로 사용하는 것도 가능하다.

다음으로, 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반에 대해 설명한다.

도 20은 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반(120)을 도시하는 개략적인 평면도이다. 도 20에 도시된 비접촉 흡착반(120)은, 외형이 원형이지만, 상기 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지의 기본 구성을 구비하고, 다공질 패드(122)와, 패드 홀더와, 베이스(6)를 구비하고 있다. 비접촉 흡착반(120)도, 상기한 비접촉 흡착반(1)과 마찬가지로 박판 형상의 워크를 비접촉 흡착하지만, 박판 형상의 워크 흡착 유지 장치로서 단독으로 사용되는 것이다.

비접촉 흡착반(120)에 있어서도, 다공질 패드(122)에는, 비접촉 흡착반(1)의 흡인 구멍(8)과 마찬가지의 흡인 구멍(124)이 형성되어 있다. 또한, 비접촉 흡착반(1)의 가압 기체 유로(14)와 마찬가지의 가압 기체 유로(126)가 형성되어 있다. 또한, 비접촉 흡착반(120)에 있어서는, 다공질 패드 상에 점선으로 나타내는 바와 같이, 가압 기체 유로(126)는, 환상 및 방사상 부분으로부터 일체적으로 구성되어 있다.

비접촉 흡착반(120)에서는, 패드 홀더의 주연부에, 가압 기체 유로(126)로부터 분리한 환상의 독립 가압 기체 유로(128)가 형성되어 있다. 독립 가압 기체 유로(128)는, 제5 실시 형태의 독립 가압 기체 유로(96)와 마찬가지로, 가압 기체 유로(126)와 연통되지 않고, 가압 기체 유로(126)에 공급되는 가압 기체와는 다른 유량, 압력 등의 가압 기체를 공급할 수 있도록 구성되어 있다.

이 결과, 비접촉 흡착반(120)으로 원형의 워크를 흡착 유지하는 경우, 워크의 외측 테두리부만 흡인을 상대적으로 강화하거나, 약화시켜, 워크를, 볼록 형상 혹은 오목 형상으로 비접촉으로 흡착 유지하는 것 등이 가능해진다.

비접촉 흡착반(120)에서는, 흡인 구멍(124)은, 모두 동일한 흡인 상태로 되지만, 상기 제5 실시 형태와 같이, 일부의 흡인 구멍을, 독립 흡인 구멍으로 한 구성이어도 된다.

도 21은 상기 본 발명의 다른 형태의 비접촉 흡착반(120)의 변형예의 비접촉 흡착반(130)을 도시하는 도면이다.

도 21에 도시된 비접촉 흡착반(130)은, 비접촉 흡착반(120)에서는, 일체적으로 구성되어 있었던 가압 기체 유로(126)를, 중심부의 제1 가압 기체 유로(132)와, 직경 방향 중간부의 제2 가압 기체 유로(134)로 분리하고, 각각에, 다른 유량, 압력의 가압 기체를 공급 가능하게 한 점에서, 비접촉 흡착반(120)과 다르다.

즉, 비접촉 흡착반(120)에서는, 중앙부의 제1 가압 기체 유로(132)와, 직경 방향 중간부의 제2 가압 기체 유로(134)와, 직경 방향 외측부의 독립 가압 기체 유로(128)의 3 계통의 가압 기체 유로가, 각각, 독립적으로 형성되어 있다.

또한, 흡인 구멍도, 중심부의 제1 흡인 구멍(136)과, 직경 방향 중간부의 제2 흡인 구멍(138)과, 직경 방향 외측부의 제3 흡인 구멍(140)을, 각각, 독립된 흡인 상태로 되도록 구성되어 있다.

이러한 구성에 따르면, 각 가압 기체 유로에의 가압 기체 공급 상태와, 각 흡인 구멍으로부터 흡인 상태를 적절히 조정함으로써, 워크의 흡착 유지 상태를 최적화할 수 있다.

본 발명의 상기 실시 형태에 한정되는 일 없이, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변경, 변형이 가능하다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 가압 유체로서 가압 공기를 사용하고 있었지만, 가압 공기 대신에, 가압한 다른 유체, 예를 들어 물, 오일, 질소 가스, 아르곤 가스 등을 사용해도 된다.

1 : 비접촉 흡착반
8 : 흡인 구멍
14 : 가압 기체 유로
30 : 비접촉 반송 장치
32 : 제1 비접촉 흡착반
34 : 제2 비접촉 흡착반
36 : 단부 폭 방향 유로
58 : 단부 반송 방향 유로

Claims

박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하여 반송하는 비접촉 반송 장치이며,
상기 반송 방향을 따라 배열된 제1 및 제2 비접촉 흡착반을 구비하고,
상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 각각이,
두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 격자 형상으로 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,
상기 다공질 패드의 이면에 연결되는 직사각 형상의 홀더이며, 표면에 격자 형상의 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 격자 형상으로 배열된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 대응하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,
반송 방향 상류측에 배치된 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 반송 방향 하류측에 배치된 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는 것을 특징으로 하는, 비접촉 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향으로 연장되도록 배치된 단부 반송 방향 유로에서 종단되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 적어도 일부분이, 상기 반송 방향에 직교하여 연장되도록 배치된 단부 폭 방향 유로에서 종단되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반의 홀더의 격자 형상의 가압 기체 유로는, 교대로 배치된, 폐쇄된 직사각형 부분에서 종단되는 부분과, 개방된 직사각형 부분에서 종단되는 부분을 구비하고,
상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반은, 한쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 개방된 직사각형 부분이 다른 쪽의 비접촉 흡착반의 상기 가압 기체 유로의 폐쇄된 직사각형 부분에 반송 방향을 따라 정렬되도록 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있는, 비접촉 반송 장치.
제7항에 있어서, 상기 제1 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제2 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 비접촉 흡착반의 홀더는, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로를 구비하고 있는, 비접촉 반송 장치.
제9항에 있어서, 상기 제2 비접촉 흡착반의 독립 가압 기체 유로가, 상기 제1 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 있어서, 상기 가압 기체 유로의 종단부의 측부 테두리측에 형성되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있는, 비접촉 반송 장치.
제11항에 있어서, 상기 독립 흡인 구멍이, 한쪽의 비접촉 흡착반의 다른 쪽의 비접촉 흡착반과의 접속 영역에 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 서로 접촉하여 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비접촉 흡착반이 이격하여 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.
박판 형상의 워크를 비접촉 상태에서 흡착하는 비접촉 흡착반이며,
두께 방향으로 관통하여 연장되는 복수의 흡인 구멍이 배치된 직사각 형상의 다공질 패드와,
상기 다공질 패드의 이면에 연결된 홀더이며, 표면에, 가압 기체 유로와, 상기 가압 기체 유로에 의해 구획된 복수의 섬 형상 부분이 형성되고, 상기 흡인 구멍에 정렬하여 형성되고 상기 섬 형상 부분을 두께 방향으로 관통하여 연장되는 연통 구멍을 구비하고, 상기 다공질 패드에 연결되었을 때, 상기 섬 형상 부분은, 상기 연통 구멍이 상기 다공질 패드의 흡인 구멍에 연통된 상태에서 정상면이 상기 다공질 패드의 이면에 밀착하는 홀더를 구비하고,
상기 홀더에는, 또한, 상기 표면에, 상기 가압 기체 유로와 분리된 독립 가압 기체 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 비접촉 흡착반.
제15항에 있어서, 상기 독립 가압 기체 유로가, 상기 비접촉 흡착반의 테두리부에 인접하여 배치되어 있는, 비접촉 흡착반.
제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 다공질 패드는, 상기 흡인 구멍과는 다른 흡인 상태로 되는 독립 흡인 구멍을 구비하고 있는, 비접촉 흡착반.
제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 독립 가압 기체 유로가 복수 형성되고,
각 독립 가압 기체 유로가 서로 분리되어 있는, 비접촉 흡착반.
제15항 또는 제16항에 기재된 비접촉 흡착반을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 비접촉 반송 장치.
제19항에 있어서, 인접하여 배치된 상기 비접촉 흡착반은, 상기 테두리부끼리가 인접하도록 배치되어 있는, 비접촉 반송 장치.