KR101261313B1 - 평판 이송물 정렬픽업 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리, 강판, 반도체용 웨이퍼 등과 같은 평판 이송물을 이송하는 장치에 있어서, 진공흡착패드를 복수로 배열설치하여 진공흡착패드에 의해 평판 이송물을 석션 그립핑함과 동시에 평판 이송물을 센터링 정렬하고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하면서 안전하게 이송할 수 있도록 한 평판 이송물 정렬픽업 이송장치에 관한 것르오, 더욱 상세하게는, 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 평판 이송물의 측면에 설치되어 평판 이송물이 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치에 관한 것이다.

Description

평판 이송물 정렬픽업 이송장치{APPARATUS FOR ALIGNING AND PICK UP TRANSPORTING OF MOVING OBJECT}

본 발명은 유리, 강판, 반도체용 웨이퍼 등과 같이 딱딱하거나 필름 또는 웹 등과 같이 소프트한 각종 평판 이송물을 이송하는 장치에 있어서, 진공흡착패드를 복수로 배열설치하여 진공흡착패드에 의해 평판 이송물을 석션 그립핑함과 동시에 평판 이송물을 센터링 정렬하고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하면서 안전하게 이송할 수 있도록 한 평판 이송물 정렬픽업 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 유리, 강판, 반도체용 웨이퍼 등과 같은 평판 물체는 생산공정 및 생산 후공정에서 평판의 양면 중의 어느 일면을 흡착하여 이송하는데, 예를 들면 디스플레이용 평판유리의 생산공정에서 평판유리를 적합한 사이즈로 절단하는 공정과 절단된 유리의 측면을 라운드로 가공하는 공정 및 생산 후공정에서 평판유리 기판상에 회로를 패터닝하는 공정에서 흡착이 필요하다.

또한, 디스플레이용 평판 유리는 높은 표면 평활도 및 평행도를 필요로 하며 유리 표면에 발생한 스크래치는 완성된 디스플레이 장치의 일부 화소에 불량 화소 문제점을 야기하므로 안전하게 반전시키기 위해 비접촉 석션 그립핑 장치가 사용되고 있다.

비접촉 석션 그립핑 장치의 실시예로 대한민국 특허등록 제10-0928674호에 『평판 물체를 비접촉으로 석션 그립핑하는 비접촉 석션 그립핑 장치에 관한 것으로서, 평판 물체의 일 면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부와, 상기 평판 물체에서 보았을 때 볼록하게 라운드지도록 상기 압력부로부터 연장 형성되는 R부와, 상기 R부로부터 상기 평판 물체와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부와, 상기 측부와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구를 형성하는 연결부를 구비하는 하우징부와, 상기 공기 주입구로부터 공급되는 공기를 상기 평판 물체와 수직되는 방향으로 토출시키며, 상기 하우징부와 일정한 간격을 두고 형성되는 노즐팁을 가지며 상기 노즐팁으로부터 상기 공기주입구 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면을 가지며, 상기 하우징부 내부 빈 공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치』관한 기술이 게시된 바 있다.

그러나 종래의 석션 그립핑 장치에는 평판물체를 센터링 정렬할 수 있는 별도의 장치가 마련되어 있지 않아 석션 그립핑 장치로 평판물체를 석션 그립핑할 경우 평판물체가 센터링 정렬되지 않은 상태로 올려져 다음 공정으로의 이동과 작업진행에 불편함을 줄 뿐만 아니라 여러 장의 평판물체가 겹친 상태로 올려짐에 따라 평판물체가 서로 흡착되어 쉽게 떨어지지 않는 문제점이 발생하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 상기 가이드부재에 일체로 형성되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 해결하려는 과제로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 평판 이송물의 측면에 설치되어 평판 이송물이 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 해결하려는 과제로 한다.

본 발명은 상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 상기 가이드부재에 일체로 형성되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 한 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 상부센터고정부재 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 상부센터고정부재 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체가이드부는 코안다노즐로부터 토출된 코안다제트가 경사부를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 않는 1개 이상의 라운드수평부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 상부센터고정부재 하부 표면에는 평판 이송물과의 충돌을 방지하기 위하여 유체분사장치와 연결되는 유로가 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유로는 유체가 통과할 수 있는 핀홀 또는 포켓 중 선택되는 어느 한 형태로 구성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 포켓 구조는 상기 상부센터고정부재 하부 표면 둘레를 따라 링형 홈이 형성되며, 상기 링형홈에는 핀홀이 다수개 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 링형 홈에는 각 핀홀을 구획하는 격막이 다수개 설치됨을 특징으로 하는 평판이송물 정렬픽업이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 평판 이송물의 측면에 설치되어 평판 이송물이 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판이송물 정렬픽업이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 상기 가이드부재에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 한 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 진공흡착패드 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 진공흡착패드 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유체가이드부는 코안다노즐로부터 토출된 코안다제트가 경사부를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 않는 1개 이상의 라운드수평부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 가이드부재는 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 진공흡착패드는, 평판이송물의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판이송물과 평행을 이루도록 수평면으로 이루어지는 수평구간과, 상기 수평구간과 연결되면서 수평구간으로부터 상측으로 갈수록 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수평구간과 수직구간 사이에 형성되는 원호 면으로 이루어지는 원호구간과, 상기 수직구간과 연결되어 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구를 형성하는 연결부로 이루어지는 하우징과; 상기 유체주입구로부터 공급되는 유체를 평판이송물의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징 내부 공간에 삽입 설치되는 것으로서 상기 하우징과 간격을 두고 형성되는 노즐팁으로 이루어지는 노즐머리와, 상기 노즐머리의 상부 중앙으로부터 유체주입구 방향으로 연장형성되는 노즐목으로 이루어지는 코안다 노즐;을 포함하여 구성되는 비접촉 진공흡착패드인 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 진공흡착패드는, 평판이송물의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판이송물과 평행을 이루도록 수평면으로 이루어지는 수평구간과, 상기 수평구간과 연결되면서 수평구간으로부터 상측으로 갈수록 내경이 좁아지고 중심선과 예각을 이루는 예각 경사면으로 형성되는 예각 경사구간과, 상기 수평구간과 예각 경사구간 사이에 형성되는 원호 면으로 이루어지는 원호구간과, 상기 예각 경사구간과 연결되어 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구를 형성하는 연결부로 이루어지는 하우징과; 상기 유체주입구로부터 공급되는 유체를 평판이송물의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징 내부 공간에 삽입 설치되는 것으로서 상기 하우징과 간격을 두고 형성되는 노즐팁으로 이루어지는 노즐머리와, 상기 노즐머리의 상부 중앙으로부터 유체주입구 방향으로 연장형성되는 노즐목으로 이루어지는 코안다 노즐;을 포함하여 구성되는 비접촉 진공흡착패드인 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 비접촉 진공흡착패드의 수평구간에는 평판 이송물과의 충돌을 방지하기 위하여 수평구간의 가장자리 둘레를 따라 유체분사장치와 연결되는 유로가 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 유로는 유체가 통과할 수 있는 핀홀 또는 포켓 중 선택되는 어느 한 형태로 구성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 포켓 구조는 상기 상부센터고정부재 하부 표면 둘레를 따라 링형 홈이 형성되며, 상기 링형홈에는 핀홀이 다수개 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

또한, 상기 링형 홈에는 각 핀홀을 구획하는 격막이 다수개 설치됨을 특징으로 하는 평판이송물 정렬픽업이송장치를 제공하는 것을 과제의 해결수단으로 한다.

본 발명에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치는 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드를 1개 이상 배열설치하여 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드에 의해 평판 이송물을 그립핑 또는 석션 그립핑함과 동시에 평판 이송물을 센터링 정렬하고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하면서 안전하고 정밀하게 평판 이송물을 이송할 수 있으며, 비접촉 진공흡착패드를 사용하는 경우에는 평판의 표면도 동시에 보호할 수 있는 획기적인 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치 구성도
도 2는 본 발명의 수평방향 정렬에 따른 유체의 작용도.
도 3은 본 발명의 수직방향 정렬에 따른 유체의 작용도
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치 구성도
도 5는 본 발명의 라운드수평부를 나타낸 사시도
도 6 및 도 7은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 유로 구성도
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치 구성도
도 9는 본 발명 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 나타낸 구성도
도 10 및 도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 코안다노즐이 적용된 평판 이송물 정렬픽업 이송장치 구성도
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 비접촉 진공흡착패드 단면도
도 13 및 도 14는 본 발명의 제3실시예 및 제4실시예에 따른 유로 구성도

본 발명은 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 상기 가이드부재에 일체로 형성되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 한 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 상부센터고정부재 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 상부센터고정부재 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체가이드부는 코안다노즐로부터 토출된 코안다제트가 경사부를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 않는 1개 이상의 라운드수평부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 상부센터고정부재 하부 표면에는 평판 이송물과의 충돌을 방지하기 위하여 유체분사장치와 연결되는 유로가 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유로는 유체가 통과할 수 있는 핀홀 또는 포켓 중 선택되는 어느 한 형태로 구성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 포켓 구조는 상기 상부센터고정부재 하부 표면 둘레를 따라 링형 홈이 형성되며, 상기 링형홈에는 핀홀이 다수개 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 링형 홈에는, 각 핀홀을 구획하는 격막이 다수개 설치됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 평판 이송물의 측면에 설치되어 평판 이송물이 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판이송물 정렬픽업이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 상기 가이드부재에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체분사노즐은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 한 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 진공흡착패드 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 진공흡착패드 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유체가이드부는 코안다노즐로부터 토출된 코안다제트가 경사부를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 않는 1개 이상의 라운드수평부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 가이드부재는 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 진공흡착패드는, 평판이송물의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판이송물과 평행을 이루도록 수평면으로 이루어지는 수평구간과, 상기 수평구간과 연결되면서 수평구간으로부터 상측으로 갈수록 수직면으로 형성되는 수직구간과, 상기 수평구간과 수직구간 사이에 형성되는 원호 면으로 이루어지는 원호구간과, 상기 수직구간과 연결되어 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구를 형성하는 연결부로 이루어지는 하우징과; 상기 유체주입구로부터 공급되는 유체를 평판이송물의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징 내부 공간에 삽입 설치되는 것으로서 상기 하우징과 간격을 두고 형성되는 노즐팁으로 이루어지는 노즐머리와, 상기 노즐머리의 상부 중앙으로부터 유체주입구 방향으로 연장형성되는 노즐목으로 이루어지는 코안다 노즐;을 포함하여 구성되는 비접촉 진공흡착패드인 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 진공흡착패드는, 평판이송물의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판이송물과 평행을 이루도록 수평면으로 이루어지는 수평구간과, 상기 수평구간과 연결되면서 수평구간으로부터 상측으로 갈수록 내경이 좁아지고 중심선과 예각을 이루는 예각 경사면으로 형성되는 예각 경사구간과, 상기 수평구간과 예각 경사구간 사이에 형성되는 원호 면으로 이루어지는 원호구간과, 상기 예각 경사구간과 연결되어 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구를 형성하는 연결부로 이루어지는 하우징과; 상기 유체주입구로부터 공급되는 유체를 평판이송물의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징 내부 공간에 삽입 설치되는 것으로서 상기 하우징과 간격을 두고 형성되는 노즐팁으로 이루어지는 노즐머리와, 상기 노즐머리의 상부 중앙으로부터 유체주입구 방향으로 연장형성되는 노즐목으로 이루어지는 코안다 노즐;을 포함하여 구성되는 비접촉 진공흡착패드인 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 비접촉 진공흡착패드의 수평구간에는 평판 이송물과의 충돌을 방지하기 위하여 수평구간의 가장자리 둘레를 따라 유체분사장치와 연결되는 유로가 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 유로는 유체가 통과할 수 있는 핀홀 또는 포켓 중 선택되는 어느 한 형태로 구성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 포켓 구조는 상기 상부센터고정부재 하부 표면 둘레를 따라 링형 홈이 형성되며, 상기 링형홈에는 핀홀이 다수개 형성됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 링형 홈에는 각 핀홀을 구획하는 격막이 다수개 설치됨을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

이하 첨부되는 도면을 참조하여 본 발명의 평판 이송물 정렬픽업 이송장치의 구성에 대해 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제1실시예로서, 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치는, 평판이송물(40)을 그립핑하여 중심을 유지하면서 이송하는 상부센터고정부재(10)와, 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재(30)을 포함하여 구성된다.

상기 가이드부재(30)에는 평판 이송물이 상부센터고정부재(10) 중앙방향으로 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐(32)을 포함하여 구성되는데, 상기 유체분사노즐(32)은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 구성된다.

상기 가이드부재(30)에서 수평 및 상향방향의 유체가 평판 이송물을 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙방향으로 센터링하거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하는 메카니즘에 대하여 상세히 설명한다.

먼저, 평판 이송물의 센터링은 도 2에 도시한 바와 같이 가이드부재(30) 내의 유체흐름의 거동에서 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드와 평판 이송물 사이 거리에 반비례한 유체저항력이 발생되므로 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙에서 멀어져 있는 평판 이송물(40)의 가장자리 부근(A)이 수평 및 상향방향의 유체의 힘(P)을 받게 되고, 따라서, 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙방향으로의 유체의 힘(P)의 수평방향 분력이 반대편의 힘(Q)의 수평방향 분력 보다 커서 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙방향으로 가려는 힘을 발생시키게 된다.

또한, 마찬가지로 도 3에 도시한 바와 같이, 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙에서 멀어져 있는 평판 이송물(40)의 가장자리 부근(A)이 수평 및 상향방향의 유체의 힘(P)을 받게 되고, 따라서, 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙방향으로의 유체의 힘(P)의 수직방향 분력이 반대편의 힘(Q)의 수직방향 분력 보다는 커서 수평을 유지하려는 힘을 발생시키게 되므로 결국, 상기 상부센터고정부재 또는 진공흡착패드 중앙방향으로 가려는 힘과 수평을 유지하려는 힘이 동시에 가해져 평판 이송물의 센터링이 이루어지게 된다.

따라서, 상부센터고정부재의 경우 진공흡착패드의 진공흡착 인력없이 수평 및 상향방향의 유체의 힘(P)만으로도 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되어 안정적으로 평판 이송물을 이송할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 제2실시예로서, 도 4에 도시한 바와 같이, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재(10)와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재(25)를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재(25)는 평판 이송물(40)의 수평면에 대하여 수직또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부(261)와, 상기 직선부(261) 하부가 상부센터고정부재(10) 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부(262)와, 상기 라운드부(262)로부터 상부센터고정부재 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부(263)로 이루어진 유체가이드부(26)와; 상기 유체가이드부(26)의 라운드부(262)가 시작되는 직선부(261) 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭(27)과; 상기 유체가이드부(26)와 노즐블럭(27)에 의해 형성되는 코안다노즐(271)을 포함하여 구성된다.

상기 코안다노즐(271)에서 토출된 유체는 라운드부(262)와 경사부(263)를 따라 흐르므로 유체의 분사력이 평판이송물(40)의 측면에 대해 상향방향으로 작용하여 평판 이송물이 센터링된다.

그러나 이 경우에 코안다노즐 유체는 코안다효과로 라운드부(262)와 경사부(263)를 따라 흐르는 상향력만 작용하여 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하는 분리기능을 수행할 수 없게 된다.

따라서, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 유체가이드부(26)는 코안다노즐(271)로부터 토출된 코안다제트가 경사부(263)를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부(262)가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 않는 1개 이상의 라운드수평부(264)를 포함하여 구성된다.

상기 라운드수평부(264)에서는 코안다노즐(271)로부터 토출된 코안다제트가 상기 라운드부(262)가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어지게 되므로 상기 경사부(263)를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되므로 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하는 분리기능을 수행할 수 있게 된다.

또한, 도 6 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 상부센터고정부재 하부 표면(111)에는 평판 이송물과의 충돌을 방지하기 위하여 유체분사장치와 연결되는 유로(131)가 형성되고, 상기 유로는 유체가 통과할 수 있는 핀홀 또는 포켓 중 선택되는 어느 한 형태로 구성되며, 상기 포켓 구조는 상기 상부센터고정부재 하부 표면 둘레를 따라 링형 홈(135)이 형성되며, 상기 링형홈에는 핀홀이 다수개 형성되고, 상기 링형 홈에는 각 핀홀을 구획하는 격막(137)이 다수개 설치되어 상부센터고정부재와 평판이송물 사이의 간격을 안정적으로 유지할 수 있다.

본 발명의 제3실시예로서, 도 8에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 평판 이송물 정렬픽업 이송장치는, 평판이송물(40)을 석션 그립핑하여 이송하는 진공흡착패드(10)와, 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재(30)을 포함하여 구성된다.

상기 가이드부재(30)에는 평판 이송물이 진공흡착패드 중앙방향으로 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐(32)을 포함하여 구성되는데, 상기 유체분사노즐(32)은 하단면은 수평면으로 형성하고 상단면은 상향으로 경사지게 형성하여 유체분사노즐로부터 토출되는 유체가 수평 및 상향방향으로 동시에 분사되어 평판 이송물이 센터링되면서 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 구성된다.

또한, 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체(50)가 더 분사하는 것을 특징으로 하는 바, 상기 측면하향경사방향 유체노즐(51)은 도 9와 같이 상기 가이드부재 하단부위에 일체로 형성될 수있으며, 가이드부재와 별도로 형성될 수도 있다.

본 발명의 제4실시예로서, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 평판 이송물 정렬픽업 이송장치는, 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드(10)와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재(25)를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재(25)는 평판 이송물(40)의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부(261)와, 상기 직선부(261) 하부가 진공흡착패드(10) 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부(262)와, 상기 라운드부(262)로부터 진공흡착패드 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부(263)로 이루어진 유체가이드부(26)와; 상기 유체가이드부(26)의 라운드부(262)가 시작되는 직선부(261) 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭(27)과; 상기 유체가이드부(26)와 노즐블럭(27)에 의해 형성되는 코안다노즐(271)을 포함하여 구성된다.

상기 코안다노즐(271)에서 토출된 유체는 라운드부(262)와 경사부(263)를 따라 흐르므로 유체의 분사력이 평판이송물(40)의 측면에 대해 상향방향으로 작용하여 평판 이송물이 센터링된다.

그러나 이 경우에 코안다노즐 유체는 코안다효과로 라운드부(262)와 경사부(263)를 따라 흐르는 상향력만 작용하여 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하는 분리기능을 수행할 수 없게 된다.

따라서, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 유체가이드부(26)는 코안다노즐(271)로부터 토출된 코안다제트가 경사부(263)를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되도록 상기 라운드부(262)가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어져 경사부가 형성되지 1개 이상의 라운드수평부(264)를 포함하여 구성된다.

상기 라운드수평부(264)에서는 코안다노즐(271)로부터 토출된 코안다제트가 상기 라운드부(262)가 끝나는 지점에서 상기 경사부가 끊어지게 되므로 상기 경사부(263)를 따라 흘러가지 않고 평판 이송물 측면수평방향으로 분사되므로 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감을 방지하는 분리기능을 수행할 수 있게 된다.

또한, 상기 가이드부재는 도 9에 도시한 바와 같이, 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체(50)를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐(51)을 더 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 진공흡착패드는 접촉 진공흡착패드와 비접촉 진공흡착 패드를 모두 사용할 수 있으며, 접촉 진공흡착패드는 일반적으로 사용되는 것으로서 이미 공지된 구성이므로 설명을 생략하고 이하 비접촉 진공흡착패드에 대하여 설명한다.

비접촉 진공흡착패드는 예각경사형과 수직형으로 구분하여 사용한다. 먼저, 수직형 비접촉 진공흡착패드는 평판이송물의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판이송물과 평행을 이루도록 수평면으로 이루어지는 수평구간과, 상기 수평구간과 연결되면서 수평구간으로부터 상측으로 갈수록 내경이 좁아지고 중심선과 예각을 이루는 예각 경사면으로 형성되는 예각 경사구간과, 상기 수평구간과 예각 경사구간 사이에 형성되는 원호 면으로 이루어지는 원호구간과, 상기 예각 경사구간과 연결되어 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구를 형성하는 연결부로 이루어지는 하우징과; 상기 유체주입구로부터 공급되는 유체를 평판이송물의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징 내부 공간에 삽입 설치되는 것으로서 상기 하우징과 간격을 두고 형성되는 노즐팁으로 이루어지는 노즐머리와, 상기 노즐머리의 상부 중앙으로부터 유체주입구 방향으로 연장형성되는 노즐목으로 이루어지는 코안다 노즐;을 포함하여 구성된다.

비접촉 진공흡착패드(10)는 평판이송물의 석션 그립핑시 평판이송물이 어느 한쪽으로 기울어지면서 비접촉 진공흡착패드(10)에 충돌하는 것을 방지하기 위해 1개 이상 설치하는데, 비접촉 진공흡착패드(10) 한개의 큰 힘보다는 비접촉 진공흡착패드(10) 다수개의 작은 힘이 평판이송물의 비접촉 석션그립 및 충돌방지에 유리하다. 즉 비접촉 진공흡착패드(10)를 1개 이상 설치할 경우 각 비접촉 진공흡착패드(10)의 인력과 척력이 평판이송물의 전체 면에 골고루 작용하기 때문에 비접촉 진공흡착패드(10)의 석션 그립핑 시 평판이송물이 어느 한쪽 방향으로 기울어지지 않고 수평을 유지하므로 비접촉 진공흡착패드(10)와 평판이송물의 충돌을 방지할 수 있다.

상기 비접촉 진공흡착패드의 구성을 구체적으로 살펴보면, 도 12에 도시된 바와 같이 비접촉 진공패드(10, NCP:non-contact vacuum pad)는 평판이송물을 비접촉으로 그리핑하여 이송하기 위해 코안다 제트에 의한 진공을 얻을 수 있는 구조로 형성되는 하우징(11)과, 하우징(11)의 내부에 결합되는 노즐(12)로 구성된다.

하우징(11)은, 평판이송물(40)의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 평판 이송물(40)과 평행을 이루는 수평면으로 이루어지는 수평구간(111)과, 수평구간(111)으로부터 상측으로 갈수록 내경 폭이 좁아지도록 연장 형성되는 경사면으로 형성되는 예각 경사구간(112)과, 수평구간(111)과 예각 경사구간(112) 사이에 형성되는 원호면으로 이루어지는 원호구간(115)과, 예각 경사구간(112)과 연결되면서 외부에서 공급되는 유체를 주입하는 유체주입구(114)가 구비된 연결부(113)로 구성된다.

예각 경사구간(112)은, 하우징(11)의 중심에서 수직으로 중심선을 그었을 때 중심선과 이루는 각도가 직각보다 작은 예각을 이루는 예각 경사면으로서, 연결부(113)의 유체주입구(114)로 공급된 유체는 코안다 효과에 의해 예각 경사구간(112)과 원호구간(115)과 수평구간(111)을 따라 흐르게 되는데, 예각 경사구간(112)이 하우징(11) 중심선과 이루는 각도가 90°이하의 예각으로 경사지게 형성되기 때문에 종래의 수직구간과 수평구간이 직각을 이루는 하우징 구조일 때보다 유체의 이동거리가 짧아져 유체의 손실을 최소화할 수 있다.

즉, 종래의 수직구간과 수평구간이 직각을 이루는 하우징(11) 구조일 경우 유체가 수직의 직각구간에서 수평구간으로 흐르려 할 때 흐름이 직각으로 급속도록 전환되기 때문에 수평구간으로 흐르는 유체의 성분도 있지만 직각으로 전환되는 과정에서 소실되는 유체의 성분 또한 많아 유체 손실이 커지는 단점이 있다.

그러나 본 발명과 같이 예각 경사구간(112)과 수평구간(111)의 연결구조일 경우 유체가 예각 경사구간(112)에서 수평구간(111)으로 흐를 때 완만한 전환이 이루어지므로 직각 구조일 때보다 많은 량의 유체가 수평구간(111)으로 흐르기 때문에 유체의 손실이 그만큼 적다.

또한, 예각 경사구간(112)이 형성될 경우 예각 경사구간(112)과 수평구간(111) 사이에 형성되는 원호구간(115)의 반경도 커지게 되어 수평구간(111)과 평판이송물(40) 사이의 비접촉 간격을 최대한 멀어지게 함으로써, 평판 이송물체(40)에 손상을 주지 않고 더욱 안정적으로 평판이송물(40)을 이송할 수 있으며 수평구간(111)과 예각 경사구간(112)이 직각을 이룰 때보다 하우징(11)의 두께를 줄일 수 있다.

이와 같이 수평구간(111)과 평판이송물(40) 사이의 비접촉 간격이 커지는 것은 원호구간(115)의 반경이 커질수록 원호구간(115)과 수평구간(111)을 따라 흐르는 유체의 유량이 증가하기 때문이며, 또한, 예각 경사구간(112)을 형성할 경우 모멘텀(momentum)의 변화로 인해 유체가 밖으로 빠져나가는 힘이 더 커져 평판이송물(40)의 진공 흡착력을 대폭 향상시킬 수 있다.

노즐(12)은 유체주입구(114)로부터 공급되는 유체를 평판이송물(40)의 수직방향으로 토출할 수 있도록 하우징(11) 내부 공간에 삽입설치되는 것으로서, 예각 경사구간(112)과 이격되는 끝이 뾰족한 노즐팁(122)으로 이루어지는 노즐머리(121)와, 노즐머리(121)보다 작은 폭으로 노즐머리(121)의 상부 중앙으로부터 유체주입구(114) 방향으로 연장형성되는 노즐목(123)으로 구성된다.

여기서, 수평구간(111)과, 원호구간(115)과, 예각 경사구간(112)과, 노즐(12)은 코안다 효과를 얻기 위한 중요한 구조로서, 노즐의 위치는 코안다효과를 극대화하기 위하여 원호구간이 시작되기 전의 예각 경사구간(112)에 두는 것이 바람직하며, 연결부(113) 및 유체주입구(114)는 코안다 효과와는 무관하므로 다양한 변형이 가능하다.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 비접촉 진공흡착패드의 예각경사구간(112)이 수직으로 형성된 수직구간인 것을 제외하고는 모든 구성요소가 예각경사형과 동일한 수직형 비접촉 진공흡착패드를 사용할 수 있음은 물론이다.

또한, 도 13 내지 도 14에 도시한 바와 같이, 비접촉 진공흡착패드(10)의 수평구간(111) 에는 외주를 따라 유체분사장치(132)와 연결되는 유로(131)를 형성하여 비접촉 진공흡착패드(10)로 평판이송물(40)을 석션 그립핑할 때 비접촉 진공흡착패드와 평판이송물이 서로 충돌하는 방지하기 위하여 수평구간(111)과 평판이송물(40) 사이의 간격을 안정적으로 유지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

유체분사장치(132)는 유체를 분사할 수 있는 장치이면 모두 가능하며, 또한, 유체분사장치(132)와 유로(131)를 연결하는 배관라인(133)에는 압력을 제어할 수 있도록 릴리프 밸브, 감압밸브, 솔레노이드밸브 및 안전밸브 등과 같은 압력제어밸브(134)를 설치하는 것이 바람직하다.

유로(131)는 수평구간(111)의 일단 둘레를 따라 다수개 형성되는 것으로서, 유체가 수평면으로 이루어지는 수평구간(111)의 상부에서 하부를 통과하여 평판이송물(40)에 토출되는 구조로 형성된다.

유로(131)는 도 13에 도시된 바와 같은 관통공 형태의 핀홀 구조, 도 14에 도시된 바와 같은 포켓 구조로 형성할 수 있다.

포켓 구조는 도 14에 도시된 같이 수평구간(111)의 저면 일단 둘레를 따라 링형 홈(135)을 형성하고, 이에 대응하는 수평구간(111)의 상면에는 링형 홈(135)과 연통되도록 링형 홈(135)보다 작은 크기의 관통공(136)이 수평구간(111)의 상면 일단 둘레를 따라 다수개 천공된다. 따라서, 유체분사장치(132)로부터 공급된 유체는 관통공(136)과 링형 홈(135)을 거쳐 평판이송물(40)의 수직방향으로 토출되어 수평구간(111)과 평판이송물(40) 사이와의 간격을 안정적으로 유지할 수 있다.

여기서, 상기 링형 홈(135)에는 링형 홈(135)을 따라 다수개의 격막(137)을 설치하여 각 관통공(136)을 구획함으로써, 구획간격을 넓이거나 좁혀 압력을 조절할 수 있도록 한다. 즉, 격막(137)의 폭이 넓을 경우 각 관통공(136)을 구획하는 구획간격이 좁아지므로 토출되는 유체의 압력이 증가하고, 격막(137)의 폭이 좁아질 경우 각 관통공(136)을 구획하는 구획간격이 넓어지므로 토출되는 유체의 압력이 감소되어 평판이송물(40)을 밀어내는 척력을 조절할 수 있다.

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이상에서 설명한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변경이 가능하므로 전술한 실시내용 및 도면에 한정되는 것은 아니다.

10:비접촉 진공패드 11:하우징 12:노즐
111:수평구간 112:예각 경사구간 113:연결부
114:유체주입구 115:원호구간 121:노즐머리
122:노즐팁 123:노즐목 131:유로
132:유체분사장치 133:배관라인 134:압력제어밸브
135:링형 홈 136:관통공 137:격막
261:수직부 262:라운드부 263:경사부
271:코안다 노즐

Claims (27)

1. 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 상기 가이드부재에 일체로 형성되어 평판 이송물이 센터링되면서 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 부양되고, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
   
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3. 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 이송할 수 있도록 수평으로 설치되는 상부센터고정부재와; 상기 상부센터고정부재의 하측방향 둘레로 상협하광형태로 설치되어 상기 상부센터고정부재 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 상부센터고정부재 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 상부센터고정부재 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
   
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9. 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재와; 평판 이송물의 측면에 설치되어 평판 이송물이 센터링되거나, 평판 이송물 간의 흡착 및 딸려올라감이 방지되도록 평판 이송물 방향으로 측면수평 및 측면상향경사방향 유체를 분사하는 유체분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
   
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13. 딱딱하거나 플렉시블한 평판 이송물을 흡착하여 이송할 수 있도록 수평으로 배열 설치되는 1개 이상의 진공흡착패드와; 상기 진공흡착패드의 하측방향 둘레를 따라 하향으로 갈수록 넓어지는 상협하광형태로 설치되어 상기 진공흡착패드 중앙방향으로 평판 이송물의 센터링을 유도하는 가이드부재를 포함하여 구성되고, 상기 가이드부재는 평판 이송물의 수평면에 대하여 수직 또는 상협하광 형태로 경사지게 형성되는 직선부와, 상기 직선부 하부가 진공흡착패드 방향으로 라운드지도록 형성되는 라운드부와, 상기 라운드부로부터 진공흡착패드 방향으로 상향 경사지도록 연장형성되는 경사부로 이루어진 유체가이드부와; 상기 유체가이드부의 라운드부가 시작되는 직선부 하부면에 근접하여 설치되는 노즐블럭과; 상기 유체가이드부와 노즐블럭에 의해 형성되는 코안다노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
    
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15. 제13항에 있어서,
    상기 가이드부재는 평판 이송물이 흡착되어 딸려올라가지 않도록 평판 이송물을 분리시키는 측면하향경사방향의 분리유체를 분사하는 측면하향경사방향의 분리유체노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
    
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